N阱
P型衬底
24.09.2020 4
硅芯片上的电子世界--电阻
• 电阻:具有稳定的导电能力(半导体、导体); • 芯片上的电阻:薄膜电阻;
薄膜电阻
宽度:微米
厚度:百纳米 硅片
24.09.2020 5
电阻的版图设计
• 能与CMOS工艺兼容的电阻主要有四种:
• 扩散电阻、多晶硅电阻、阱电阻、MOS电阻
22
硅芯片上的电子世界—晶体管
• 三级管:pnp,npn • 硅芯片上的三极管:
24.09.2020
P+ …N…+. P+
N阱
P型衬底
23
三极管的设计
CMOS工艺下可以做双极晶体管。 以N阱工艺为例说明PNP, NPN如何形成。
(1)多晶硅电阻 最常用,结构简单。在场氧(非薄氧区域)。
多晶硅电阻(poly)
辅助标志层: res_dum
24.09.2020
P型衬底
为什么电阻要做在 场氧区?
6
(2)扩散电阻
在源漏扩散时形成,有N+扩散和P+扩散电阻。在CMOS N阱 工艺下,N+扩散电阻是做在PSUB上,P+扩散是在N阱里。
24.09.2020 13
平板电容
辅助标志层: cap_dum
比例电容的版图结构
P型衬底
24.09.2020
C2=8C1
14
平板电容
常见结构:MIM, PIP, MIP;
PIP、MIP结构,传统结构;
MIM结构,使用顶层金属与其下一层金属;
精度好;
下极板与衬底的寄生电容小;
钝化层
第n层金属
MIM 上电级
集成电路CAD设计