XPSPeak分峰步骤origin讲解学习

实验条件：样品用VG Scientific ESCALab220i-XL型光电子能谱仪分析。

激发源为Al KαX射线，功率约300 W。

分析时的基础真空为3×10-9 mbar。

电子结合能用污染碳的C1s峰（284.8 eV）校正。

X-ray photoelectron spectroscopy data were obtained with an ESCALab220i-XL electron spectrometer from VG Scientific using 300W AlKα radiat ion. The base pressure was about 3×10-9 mbar. The binding energies were referenced to the C1s line at 284.8 eV from adventitious carbon.处理软件：Avantage 4.15XPS数据考盘后的处理数据步骤Origin作图：1.open Excel文件，可以看到多组数据和谱图，一个sheet 对应一张谱图及相应的数据（两列）。

2.将某一元素的两列数据直接拷贝到Origin中即可作出谱图。

（注意：X轴为结合能值，Y轴为每秒计数）3. 如果某种元素有两种以上化学态，需要进行分峰处理时，按“XPS Peak 分峰步骤”进行。

XPS Peak分峰步骤1．将所拷贝数据转换成所需格式：把所需拟合元素的数据引入Origin后，将column A和C中的值复制到一空的记事本文档中（即成两列的格式，左边为结合能，右边为峰强），并存盘。

如要对数据进行去脉冲处理或截取其中一部分数据，需在Origin中做好处理。

2．打开XPS Peak，引入数据：点Data----Import(ASCII)，引入所存数据，则出现相应的XPS谱图。

3．选择本底：点Background，在所出现的小框中的High BE和Low BE下方将出现本底的起始和终点位置（因软件问题，此位置最好不改，否则无法再回到Origin），本底将连接这两点，Type可据实际情况选择。

XPS Peak 分峰步骤or i g i n实验条件：样品用VG Scientific ESCALab220i-XL型光电子能谱仪分析。

激发源为AlK a X射线，功率约300 W。

分析时的基础真空为3X10"9 mbar。

电子结合能用污染碳的C1s峰(284.6 eV)校正。

X-ray photoelectr on spectroscopy data were obta ined with an ESCALab220i-XL electron spectrometer from VG Scientific using 300W AlK a radiation. The base pressure was about 310-9 mbar. The binding en ergies were refere need to the C1s line at 284.6 eV from adve ntitious carb on.XPS数据考盘后的处理数据步骤数据是.TXT文件，凡是可以打开TXT文件的软件都可以使用。

下面以origi n5.0 为例：1. open文件，可以看到一列数据，找到Region 1(一个Region对应一张谱图)。

2. 继续向下找到Kinetic Energy，其下面一个数据为动能起始值，即谱图左侧第一个数据。

用公式BE始=1486.6-KE始-换算成结合能起始值，是一个常数值，即荷电位移，每个样品有一个值在邮件正文中给出。

3. 再下面一个数据是步长值，如0.05或0.1或1,每张谱图间有可能不一样。

4. 继续向下8行，可以找到401或801这样的数，该数为通道数，即有401或801个数据点。

5. 再下面的数据开始两个数据是脉冲，把它们舍去，接下来的401或801个数据都是丫轴数据，将它们copy到B(Y)。

6. X轴：点A(X)，再点右键，然后点set column values出现一个对话框，在from中填1,在to中填401(通道数)，在col(A)中填BE始-0.05*(i-1)，最后点do it。

origin分峰操作
1.安装origin7.0
2.安装插件PeakFittingModule for origin 7.0, 之后在origin中出现一个
分峰的小图标。

（origin7.5以上的版本安装后，安装文件里有一个PFM文件夹，双击里面的插件orgin分峰插件就安装好了，然后在程序里会多一个图标。

）
3.选择数据曲线，点击分峰图标，出现下图：
选择分峰的区域，NEXT
选择滤波函数，NEXT
设定基线，NEXT
基线运算，NEXT
设定峰的类型，个数，高度阈值，按Pick Peaks，NEXT
增删峰位，NEXT
调整峰位，峰高，峰宽，使分峰的拟合结果与原图最接近，NEXT
峰位拟合（一般不用），NEXT
按Plot可以得到最终的分峰结果，其它选项可以进行相关的分析计算，相关属性信息，Finish 结束。

欢迎阅读材料Ｘ射线光电子能谱数据处理及分峰的分析实例例：将剂量为1?107ions/cm 2，能量为45KeV 的碳离子注入单晶硅中，然后在1100C 退火2h 进行热处理。

对单晶硅试样进行XPS 测试，试对其中的C 1s 高分辨扫瞄谱进行解析，以确定各种可能存在的官能团。

分析过程：1、在Origin 中处理数据中B 中4。

2、打开XPS Peak ，引入数据：点Data--Import (ASCII)，引入所存数据，则出现相应的XPS谱图，见图5、图63，图74、加峰：点Add peak，出现小框，在Peak Type处选择s、p、d、f等峰类型（一般选s），在Position 处选择希望的峰位，需固定时则点fix前小方框，同法还可选半峰宽（FWHM）、峰面积等。

各项中的constraints可用来固定此峰与另一峰的关系。

点Delete peak可去掉此峰。

然后再点Add peak 选第二个峰，如此重复。

在选择初始峰位时，如果有前人做过相似的实验，可以查到相应价键对应的峰位最好。

但是如果这种实验方法比较新，前人没有做过相似的，就先用标准的峰位为初始值。

最优化所有的峰位，然后看峰位位置的变化。

本例中加了三个峰，C元素注入单晶硅后可能形成C-C、C-Si和C-H三个价键。

根据这三个价键对应的结合能确定其初始峰位，然后添加。

具体过程见图8、9、10。

图8图9图105678Word点击Data――Export （spectrum），则将拟合好的数据存盘，然后在Origin中从多列数据栏打开，则可得多列数据，并在Origin中作出拟合后的图。

XPS能谱数据处理王博吕晋军齐尚奎能谱数据转化成ASC码文件后可以用EXCEL、ORIGIN等软件进行处理。

这篇文章的目的是向大家介绍用ORIGIN软件如何处理能谱数据，以及它的优势所在。

下面将分三部分介绍如何用ORIGIN软件处理能谱数据：1、多元素谱图数据处理2、剖面分析数据处理3、复杂谱图的解叠一、多元素谱图的处理：1、将ASC码文件用NOTEPAD打开：2、复制Y轴数值。

1.安装origin7.02.安装插件PeakFittingModule for origin 7.0, 之后在origin中出现一个分峰的小图标。

3.选择数据曲线，点击分峰图标，出现下图：选择分峰的区域，NEXT选择滤波函数，NEXT设定基线，NEXT基线运算，NEXT设定峰的类型，个数，高度阈值，按Pick Peaks，NEXT 增删峰位，NEXT调整峰位，峰高，峰宽，使分峰的拟合结果与原图最接近，NEXT峰位拟合（一般不用），NEXT按Plot可以得到最终的分峰结果，其它选项可以进行相关的分析计算，相关属性信息，Finish 结束XPS Peak分峰步骤1．将所拷贝数据转换成所需格式：把所需拟合元素的数据引入Origin后，将column A和B中的值复制到一空的记事本文档中（即成两列的格式，左边为结合能，右边为峰强），并存盘。

如要对数据进行去脉冲处理或截取其中一部分数据，需在Origin中做好处理。

2．打开XPS Peak，引入数据：点Data----Import(ASCII)，引入所存数据，则出现相应的XPS谱图。

3．选择本底：点Background，在所出现的小框中的High BE和Low BE下方将出现本底的起始和终点位置（因软件问题，此位置最好不改，否则无法再回到Origin），本底将连接这两点，Type可据实际情况选择。

4．选峰：点Add peak，出现小框，在Peak Type处选择s、p、d、f等峰类型（如C1s峰则选s，S2p峰则选p），在Position处选择希望的峰位，需固定时则点fix前小方框，同法还可选半峰宽（FWHM）、峰面积等。

各项中的constraints可用来固定此峰与另一峰的关系，如Pt4f7/2和Pt4f5/2的峰位间距可固定为3.45，峰面积比可固定为4:3等。

点Delete peak可去掉此峰。

然后再点Add peak选第二个峰，如此重复。

5．选好所需拟合的峰个数及大致参数后，点Optimise region进行拟合，观察拟合后总峰与原始峰的重合情况，如不好，可以多次点Optimise region。

Origin分峰教程
对于两个重叠在一起的峰我们有时需要将其分开，以下图为例。

选择菜单栏中的Analysis——Peaks and Baseline——Multiple Peak Fit——Open Dialog后弹出如下对话框：
接着选择Fits Peak（Pro）如下图所示：
点击Next
此时，可以根据需要点击User Defined
得到下图
点击Find按钮。

如图所示：
击Next，得到下图，再点击Modify/Del，进行调整，
调整完后，点击Done按钮。

如图所示
点击Next，
并在复选框Auto Subtract Baseline前打勾，进入下一步Next，
此时可以选择自动寻峰或者手动寻峰。

若手动寻峰，则将Enable Auto Find后的对号去掉，并点击Add。

如下图。

在重叠峰可能出现的位置双击，之后Done
Next
点击Modify/Del，进行调整，使叠加峰与原始峰尽可能重叠。

点击Done。

之后在Generate Report From Current Result后打勾。

点击Fit后，如图
最后点击Finish完成。

可通过Book1查看峰的相关数据。

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如有侵权请联系告知删除，感谢你们的配合！
精品。

X P S分峰的分析实例材料Ｘ射线光电子能谱数据处理及分峰的分析实例例：将剂量为1 107ions/cm2，能量为45KeV的碳离子注入单晶硅中，然后在1100C退火2h进行热处理。

对单晶硅试样进行XPS测试，试对其中的C1s高分辨扫瞄谱进行解析，以确定各种可能存在的官能团。

分析过程：1、在Origin中处理数据图1将实验数据用记事本打开，其中C1s 表示的是C1s电子，299.4885表示起始结合能，-0.2500表示结合能递减步长，81表示数据个数。

从15842开始表示是光电子强度。

从15842以下数据选中Copy到Excel软件B列中，为光电子强度数据列。

同时将299.4885Copy到Excel软件A列中，并按照步长及个数生成结合能数据，见图2图2将生成的数据导入Origin软件中，见图3。

图3此时以结合能作为横坐标，光电子强度作为纵坐标，绘出C1s谱图，检查谱图是否有尖峰，如果有，那是脉冲，应把它们去掉，方法为点Origin 软件中的Data-Move Data Points，然后按键盘上的↓或↑箭头去除脉冲。

本例中的实验数据没有脉冲，无需进行此项工作。

将column A和B中的值复制到一空的记事本文档中（即成两列的格式，左边为结合能，右边为峰强），并存盘，见图4。

图42、打开XPS Peak，引入数据：点Data--Import(ASCII)，引入所存数据，则出现相应的XPS谱图，见图5、图63、选择本底：点Background，因软件问题， High BE和Low BE的位置最好不改，否则无法再回到Origin，此时本底将连接这两点，Type可据实际情况选择，一般选择Shirley 类型，见图7。

图74、加峰：点Add peak，出现小框，在Peak Type处选择s、p、d、f等峰类型（一般选s），在Position处选择希望的峰位，需固定时则点fix前小方框，同法还可选半峰宽（FWHM）、峰面积等。