XPSPeak分峰步骤origin讲解学习

实验条件：样品用VG Scientific ESCALab220i-XL型光电子能谱仪分析。

激发源为Al KαX射线，功率约300 W。

分析时的基础真空为3×10-9 mbar。

电子结合能用污染碳的C1s峰（284.8 eV）校正。

X-ray photoelectron spectroscopy data were obtained with an ESCALab220i-XL electron spectrometer from VG Scientific using 300W AlKα radiat ion. The base pressure was about 3×10-9 mbar. The binding energies were referenced to the C1s line at 284.8 eV from adventitious carbon.处理软件：Avantage 4.15XPS数据考盘后的处理数据步骤Origin作图：1.open Excel文件，可以看到多组数据和谱图，一个sheet 对应一张谱图及相应的数据（两列）。

2.将某一元素的两列数据直接拷贝到Origin中即可作出谱图。

（注意：X轴为结合能值，Y轴为每秒计数）3. 如果某种元素有两种以上化学态，需要进行分峰处理时，按“XPS Peak 分峰步骤”进行。

XPS Peak分峰步骤1．将所拷贝数据转换成所需格式：把所需拟合元素的数据引入Origin后，将column A和C中的值复制到一空的记事本文档中（即成两列的格式，左边为结合能，右边为峰强），并存盘。

如要对数据进行去脉冲处理或截取其中一部分数据，需在Origin中做好处理。

2．打开XPS Peak，引入数据：点Data----Import(ASCII)，引入所存数据，则出现相应的XPS谱图。

3．选择本底：点Background，在所出现的小框中的High BE和Low BE下方将出现本底的起始和终点位置（因软件问题，此位置最好不改，否则无法再回到Origin），本底将连接这两点，Type可据实际情况选择。

Origin 三板斧，轻松处理XPS 各种谱图王博 吕晋军 齐尚奎能谱数据转化成ASC 码文件后可以用EXCEL 、ORIGIN 等软件进行处理。

这篇文章的目的是向大家介绍用ORIGIN 软件如何处理能谱数据，以及它的优势所在。

下面将分三部分介绍如何用ORIGIN 软件处理能谱数据：1、多元素谱图数据处理 2、剖面分析数据处理 3、复杂谱图的解叠一、 多元素谱图的处理：1、将ASC 码文件用NOTEPAD 打开：2、复制Y 轴数值。

打开ORIGIN ，将Y 轴数据粘贴到B （Y ）：Y 轴数值X 轴起始点 X 轴步长采集的数据点总数元素名称3、如图：点击工具栏plot，选择line4、出现下图：点击B（Y），再点击<->Y，使B（Y）成为Y轴数据。

然后在“set X values”中输入起始值和步长。

5、点击OK，得到下图：6、利用ORIGIN提供的工具可以方便的进行平滑、位移。

A.位移：1）如图：选择analysis→translate→vertical或horizontal可以进行水平或垂直方向的位移。

我们以水平位移为例进行讲解。

2）在图中双击峰顶，如图示（小窗口给出的是此点的X，Y值）3）然后在图中单击其他位置找到合适的X值（小窗口给出的是红十字的X，Y值）4）双击红十字的位置，峰顶就会位移到此处：位移可以反复多次的进行，垂直方向的位移和水平方向的一样。

B、平滑1）如图选择：2）出现下面的小窗口3）点击settings出现下面的界面（如果想用平滑后的代替原始的，选择”replace original”,如果想重新做图选”add to worksheet”，下面的数值不用改变）4）点击operation,选择savizky-golay进行平滑。

得到下图：二、剖面分析数据处理：1、用写字板打开ASC码文件，选取所需要的元素元素名称剖面分析中的CYCLE 数起始值及步长Y轴数据2、打开ORIGIN软件，如图示：选择column→add new columns如果你的数据有九个cycle那么你要在下面的窗口选择8。

origin分峰操作
1.安装origin7.0
2.安装插件PeakFittingModule for origin 7.0, 之后在origin中出现一个
分峰的小图标。

（origin7.5以上的版本安装后，安装文件里有一个PFM文件夹，双击里面的插件orgin分峰插件就安装好了，然后在程序里会多一个图标。

）
3.选择数据曲线，点击分峰图标，出现下图：
选择分峰的区域，NEXT
选择滤波函数，NEXT
设定基线，NEXT
基线运算，NEXT
设定峰的类型，个数，高度阈值，按Pick Peaks，NEXT
增删峰位，NEXT
调整峰位，峰高，峰宽，使分峰的拟合结果与原图最接近，NEXT
峰位拟合（一般不用），NEXT
按Plot可以得到最终的分峰结果，其它选项可以进行相关的分析计算，相关属性信息，Finish 结束。

Origin分峰教程
对于两个重叠在一起的峰我们有时需要将其分开，以下图为例。

选择菜单栏中的Analysis——Peaks and Baseline——Multiple Peak Fit——Open Dialog后弹出如下对话框：
接着选择Fits Peak（Pro）如下图所示：
点击Next
此时，可以根据需要点击User Defined
得到下图
点击Find按钮。

如图所示：
击Next，得到下图，再点击Modify/Del，进行调整，
调整完后，点击Done按钮。

如图所示
点击Next，
并在复选框Auto Subtract Baseline前打勾，进入下一步Next，
此时可以选择自动寻峰或者手动寻峰。

若手动寻峰，则将Enable Auto Find后的对号去掉，并点击Add。

如下图。

在重叠峰可能出现的位置双击，之后Done
Next
点击Modify/Del，进行调整，使叠加峰与原始峰尽可能重叠。

点击Done。

之后在Generate Report From Current Result后打勾。

点击Fit后，如图
最后点击Finish完成。

可通过Book1查看峰的相关数据。

.
如有侵权请联系告知删除，感谢你们的配合！
精品。

X P S分峰的分析实例材料Ｘ射线光电子能谱数据处理及分峰的分析实例例：将剂量为1 107ions/cm2，能量为45KeV的碳离子注入单晶硅中，然后在1100C退火2h进行热处理。

对单晶硅试样进行XPS测试，试对其中的C1s高分辨扫瞄谱进行解析，以确定各种可能存在的官能团。

分析过程：1、在Origin中处理数据图1将实验数据用记事本打开，其中C1s 表示的是C1s电子，299.4885表示起始结合能，-0.2500表示结合能递减步长，81表示数据个数。

从15842开始表示是光电子强度。

从15842以下数据选中Copy到Excel软件B列中，为光电子强度数据列。

同时将299.4885Copy到Excel软件A列中，并按照步长及个数生成结合能数据，见图2图2将生成的数据导入Origin软件中，见图3。

图3此时以结合能作为横坐标，光电子强度作为纵坐标，绘出C1s谱图，检查谱图是否有尖峰，如果有，那是脉冲，应把它们去掉，方法为点Origin 软件中的Data-Move Data Points，然后按键盘上的↓或↑箭头去除脉冲。

本例中的实验数据没有脉冲，无需进行此项工作。

将column A和B中的值复制到一空的记事本文档中（即成两列的格式，左边为结合能，右边为峰强），并存盘，见图4。

图42、打开XPS Peak，引入数据：点Data--Import(ASCII)，引入所存数据，则出现相应的XPS谱图，见图5、图63、选择本底：点Background，因软件问题， High BE和Low BE的位置最好不改，否则无法再回到Origin，此时本底将连接这两点，Type可据实际情况选择，一般选择Shirley 类型，见图7。

图74、加峰：点Add peak，出现小框，在Peak Type处选择s、p、d、f等峰类型（一般选s），在Position处选择希望的峰位，需固定时则点fix前小方框，同法还可选半峰宽（FWHM）、峰面积等。

材料Ｘ射线光电子能谱数据处理及分峰的分析实例例：将剂量为1 107ions/cm2，能量为45KeV的碳离子注入单晶硅中，然后在1100C 退火2h进行热处理。

对单晶硅试样进行XPS测试，试对其中的C1s高分辨扫瞄谱进行解析，以确定各种可能存在的官能团。

分析过程：1、在Origin中处理数据图1将实验数据用记事本打开，其中C1s 表示的是C1s电子，299.4885表示起始结合能，-0.2500表示结合能递减步长，81表示数据个数。

从15842开始表示是光电子强度。

从15842以下数据选中Copy到Excel软件B列中，为光电子强度数据列。

同时将299.4885Copy到Excel软件A列中，并按照步长及个数生成结合能数据，见图2图2将生成的数据导入Origin软件中，见图3。

图3此时以结合能作为横坐标，光电子强度作为纵坐标，绘出C谱图，检查谱1s图是否有尖峰，如果有，那是脉冲，应把它们去掉，方法为点Origin 软件中的Data-Move Data Points，然后按键盘上的↓或↑箭头去除脉冲。

本例中的实验数据没有脉冲，无需进行此项工作。

将column A和B中的值复制到一空的记事本文档中（即成两列的格式，左边为结合能，右边为峰强），并存盘，见图4。

图42、打开XPS Peak，引入数据：点Data--Import (ASCII)，引入所存数据，则出现相应的XPS谱图，见图5、图63、选择本底：点Background，因软件问题， High BE和Low BE的位置最好不改，否则无法再回到Origin，此时本底将连接这两点，Type可据实际情况选择，一般选择Shirley 类型，见图7。

图74、加峰：点Add peak，出现小框，在Peak Type处选择s、p、d、f等峰类型（一般选s），在Position处选择希望的峰位，需固定时则点fix前小方框，同法还可选半峰宽（FWHM）、峰面积等。

Origin软件分析XPS数据
纵坐标：Intensity(cps)
横坐标：bindingenergy（eV）
除了氢氦元素，其他的元素都可以进行分析；先进行宽扫，确定样品有何种元素，再对该元素进行窄扫。

该元素的不同键接方式都对应不同的峰，所以对元素窄扫的峰要进行分峰（分峰之前要进行调整基线）。

如何分峰，不同的键接方式会对应不同的结合能。

第一步：先把元素的窄扫峰用origin画出来；
纵坐标：Intensity(cps)
横坐标：bindingenergy（eV）
第二步：调整基线；
选择CeateBaseline-----next------next-----add/modify添加（双击）或去除（delete）基点，保证基线水平-----Finish
最小化图，会出现调整基线后的坐标。

插入一列，
单机右键选择setcolumnvalues输入col（b）-col（d）：即开始纵坐标减去调整基线后的纵坐标。

再用横坐标与刚开始得到的纵坐标作图------调整基线后的XPS窄扫图。

第三步：对峰求积分面积；
选择integratepeaks-----next-------狂点------完成
即area为峰的面积。

第四步：分峰较难（有专门的分峰软件，origin也能分峰）
第五步：求组分元素比：
元素比等于：窄扫峰面积/XPS灵敏度因子（每一个元素的灵敏度因子不一致）
西北工业大学的XPS 设备选择的是铝板（AlKα）。

Xps数据avantage软件分峰拟合操作1.打开软件，选择目标文件，打开2.选中C 1s图谱，点击放大。

3.点击，弹出窗口4.选择Shirley，变为下列图。

5.选取图谱中主峰两侧较为平滑的区域，分别将横坐标输入Start〔大〕和End〔小〕，并可通过上下箭头进行微调。

确定合理后，点击Add，主峰下方会出现如图绿线。

工具栏下方会出现C1s相关信息表格，Peak BE即为C1s峰值。

与标准峰值284.8eV比较即可得出所得实验谱的偏差，本例为+3.2eV。

6.选择目标实验谱本例中为Mn2p，放大。

点击，弹出窗口7.在Shift By后输入偏差值，因本实验谱偏大3.2eV，故需将其减小相应值，即点击，会观察到实验谱横坐标减小相应值，点击Close。

即完成能量校正。

8.点击，类似C1s校正，选择主峰对Mn2p3/2加峰9.选择Peak Fit，点击，弹出窗口，选择Add Fitted Peak，如图，并排三个书写框，PeakCentre即为某元素某化学态对应峰值，首先输入，FWHM Start其次输入，大小为峰值+0.5，FWHM End最后输入，为峰值-0.5，无误后点击Add Peak完成加峰。

10.对各状态对应峰值依次添加，加完之后，点击OK，如图。

11.对上图图谱下拉，对信息表格进行编辑。

删除主峰〔本例为Mn2p〕对应信息，点击左侧任意字母后，右键，取消Show Constraints对勾。

将Name改为易识别以区分的名字，然后将FWHM fit para全部改为1.25，并全选，点右键，锁定。

并将Peak BE也全部锁定。

12.上拉显现图谱，选择某一特征峰后，图谱中会出现对应峰的拖拽工具，逐次选定每一个峰，并将图谱中对应谱线下拉至底部。

13.根据操作者对样品的理解，先向上拖动主要状态对应谱线，最后拖动最少量状态对应谱线。

直至实验谱与拟合谱最大程度重合。

14.点击，再依次点击accep→tOK。

⼤⽓、好看！巧⽤Origin完成XPS能谱峰的分峰拟合材料的X射线光电⼦能谱(XPS)数据曲线⼀般是多峰叠加的⼀条复杂的曲线，需要对该曲线进⾏基线扣除、分峰拟合。

⽽对XPS能谱数据的这两种处理，通常需要⽤XPSpeaks进⾏处理。

其实，Origin绘图软件也能实现。

下⾯以图1中的A图为例，为⼤家演⽰Origin的分峰拟合过程。

图1 Cu2O@Cu4(SO4)(OH)6的XPS能谱(来源：黄⼩燕,古颖,钟嘉豪,等. Cu2O包覆碱式铜盐催化剂的形成机理及催化性能[J]. 华南师范⼤学学报(⾃然科学版),2019,51 (1): 41-46)⾸先绘制出线图（line），然后点击菜单Analysis→Peaks and Baseline→ Multiple Peak Fit→OpenDialog...，具体操作步骤如图2所⽰。

图2 分峰拟合的操作步骤于是，会弹出图3所⽰的对话框，选择峰拟合函数Peak Function为Gaussian，然后点击“OK”。

图3 拟合函数的选择弹出⼀条提⽰框：双击拾取峰位置，或者单击并敲击←、→⽅向键精确调节峰中⼼位置，最后按回车或点击“Open NLFit”。

图4 弹出的多峰选择提⽰我们按照提⽰，在曲线上选择每条隐藏的峰中⼼位置（这要凭经验判断隐藏的峰位置），在选择峰位置后会出现多条红⾊竖线，如图5所⽰。

图5 寻峰回车或点击“Open NLFit”后，会弹出⼀个对话框，点击“Done”即可得到如图6所⽰的分峰拟合效果。

当然，我们只是双击确定峰位置，没有精细调节，所以图6所⽰的分峰效果较差，⼤家可以多次尝试确定精确的峰位置，这样分峰拟合越完美。

图6 Origin分峰拟合的效果华算科技专注理论计算模拟服务，具有超强的技术实⼒和专业性。

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XPSPEAK41分峰软件的使用和数据处理1.安装和启动XPSPEAK412.导入数据打开XPSPEAK41后，在菜单栏中选择"File"，然后选择"Open"，浏览到数据文件所在的位置，选择文件并导入。

3.数据处理-线性基线校正如果数据中存在随着能量的增加而线性增长或减小的基线，则需要进行线性基线校正。

选择"Data"，然后选择"Linear baseline correction"，按照提示进行操作。

-非线性基线校正当数据中的基线变化比较复杂时，可以选择非线性基线校正方法。

选择"Data"，然后选择"Shirley background subtraction"或"Scofield background subtraction"，按照提示进行操作。

-能量校正4.峰分离和拟合-高斯峰分离如果数据中存在多个高斯峰，可以使用高斯峰分离方法进行拟合。

选择"Peak fitting"，然后选择"Gaussian peak shape"，按照提示进行操作。

-尖峰拟合如果数据中存在尖峰，可以使用尖峰拟合方法进行拟合。

选择"Peak fitting"，然后选择"Lorenztian peak shape"，按照提示进行操作。

-压缩区域和多峰分离5.数据导出在完成数据处理和峰形拟合后，可以将处理后的数据导出。

选择"File"，然后选择"Save"，选择保存的文件格式和位置。

总之，XPSPEAK41是一种功能强大、操作便捷的XPS数据处理软件。

通过使用这些功能，可以对XPS数据进行基线校正、能量校正、峰分离和拟合等操作，并且可以导出处理后的数据，为研究和分析提供有价值的结果。

多峰分离你想不到的好办法作者：jqzhu不管你的数据是什么，只要是你想多峰分离，下面的方法可都适合您！以XPSPeak 4.1 版本为例首先下载XPSPeak软件其次安装软件开始分峰啦请注意!!!!!!!!!第一步将数据复制到excel 表格中，要如图所示中间空一列第二步将excel 中的数据进行复制如下图所示复制哟即三列一起复制第三步复制到text 文本文档中如下图所示看到没两列数据间很宽哟第四步打开XPS Peak 软件出现两个界面如下图第五步导入text 文本这里特别要注意，不能把你测试的整个数据往里导，只能是截取你要进行多峰分离的峰，如果一个数据中有好多个峰都需要多峰分离，那就是每个峰单独截取出来复制到Excel 中，然后复制到text中进行单击data→弹出选项框→选择Import (ASCII) →找到你的text文件第六步去背底按下图数字顺序单击就OK 啦第七步按顺序来6个步骤1.单击1 所示Add Peak 弹出右边的框框2.然后在2 所示Position 内输入角度（X轴对应数据）这个数值根据你以往经验或者说白了就是你想要什么位置就什么位置3.所示的Fix 前方框内点击一下表示该峰就固定为你输入的数字；如果不选择表示随意，峰会在你输入的数值附近形成(理论上这种方式更可取，但实际上分出来的峰可能不是你想要的，所有要谨慎使用Fix选项)4.点击4所示的Optimise 优化一下下而已5.点击Optimise Peak 还是优化一下下而已6.点击Accept到此为止你已经添加了1个峰，如果你认为你的某个叠加峰有n个小峰组成，那么请重复1-6步骤，重复重复再重复，重复多少次就有多少峰。

第八步拟合也就是开始用这软件进行峰的分离采用的最小二乘法进行1. 点击1 所示Optimise All 等待2 中数值不变，再继续点击1，看2圈中数值，直到你点击1，2圈中数值不再变化。

说明你成功了!!!!!!!保存数据：点击3圈中的Save XPS保存数据关于2圈中的数值，自然是越小越好，接近0是最好的啦如果数值比较大，如几十甚至上百上千的，只能说明你设定的峰的数量不对或者是你采用了固定的位置，使得拟合程度不高。