半导体器件物理 哈理工 复习资料 缩印
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第一章1试画出金属及半导体相对真空能级的能带图,并标出有关电势符号加以说明?2当金属-半导体紧密接触以后,如何建立统一的费米能级E f?说明Фb=Φm-Χs的物理意义是什么?3说明公式qΦs=qΧs+q(E c-E f)的物理意义?4什么是“肖特基势垒”?写出其表达式?它是对什么区域电子而言?5金属-半导体结的正偏如何?6金属-半导体结的反偏特性如何?7肖特基势垒qΦb是金半结什么偏置下建立的?8金半的1/c2~(V R+Φ0)曲线是什么原理制作?9金半1/c2~V曲线有何应用?10什么是界面态?11表面态对E0<E f及E0>E f时对金半自建场有何影响?12试简述金半I-V的电流输运理论?13从热电子发射出发说明dn=N(c)·f(E)·dE的物理意义?14试简述热电子发射理论求得的电流方程式I0=ART2exp(-qΦm/KT)是如何建立的?15有金属-真空系统推倒的电流公式可用于M-S结吗?16写出金半的正偏、反偏及总的电流表达式?17如何从S-M结上的I-V特性曲线求I0及Φb?18什么是镜像力?它对电势有何影响?19在M-S结中镜像力对金属的势垒有何影响?20在M-S结的反偏时,其实际值与理论值差异是如何形成的?写出修正式?21试画出MIS结的能带图,并说明MIS对半导体势垒的影响?22MIS二极管的传导电流何种特性?写出其电流表达式?23MIS的氧化层对载流子有何影响?24什么是SBD二极管?有何特点?举例IC及高频方面的应用?25什么是欧姆接触(非整流的MS结)?26画出N型半导体或P型半导体形成欧姆接触能带图,并作说明。
27为什么说实际欧姆接触仅是一种近似?电流机制是什么?28获得良好的欧姆接触的工艺措施是什么?29SBD二极管“周边效应”有何影响?30SBD二极管的改进结构如何?31什么是异质结?第二章1什么是PN结?什么是平衡PN结?2画出平衡PN结的能带图,并说明PN结平衡的标志是什么?3平衡结的空间电荷区是如何建立的,作图说明。
第一章 半导体物理基础能带:1-1什么叫本征激发?温度越高,本征激发的载流子越多,为什么?1-2试定性说明Ge 、Si 的禁带宽度具有负温度系数的原因。
1-3、试指出空穴的主要特征及引入空穴的意义。
1-4、设晶格常数为a 的一维晶格,导带极小值附近能量E c (k)和价带极大值附近能量E v (k)分别为:2222100()()3C k k k E k m m -=+和22221003()6v k k E k m m =-;m 0为电子惯性质量,1k a π=;a =0.314nm ,341.05410J s -=⨯⋅,3109.110m Kg -=⨯,191.610q C -=⨯。
试求:①禁带宽度;②导带底电子有效质量;③价带顶电子有效质量。
题解:1-1、 解:在一定温度下,价带电子获得足够的能量(≥E g )被激发到导带成为导电电子的过程就是本征激发。
其结果是在半导体中出现成对的电子-空穴对。
如果温度升高,则禁带宽度变窄,跃迁所需的能量变小,将会有更多的电子被激发到导带中。
1-2、 解:电子的共有化运动导致孤立原子的能级形成能带,即允带和禁带。
温度升高,则电子的共有化运动加剧,导致允带进一步分裂、变宽;允带变宽,则导致允带与允带之间的禁带相对变窄。
反之,温度降低,将导致禁带变宽。
因此,Ge 、Si 的禁带宽度具有负温度系数。
1-3、准粒子、荷正电:+q ; 、空穴浓度表示为p (电子浓度表示为n ); 、E P =-E n (能量方向相反)、m P *=-m n *。
空穴的意义:引入空穴后,可以把价带中大量电子对电流的贡献用少量空穴来描述,使问题简化。
1-4、①禁带宽度Eg 根据dk k dEc )(=2023k m +2102()k k m -=0;可求出对应导带能量极小值E min 的k 值: k min =143k , 由题中E C 式可得:E min =E C (K)|k=k min =2104k m ;由题中E V 式可看出,对应价带能量极大值Emax 的k 值为:k max =0;并且E min =E V (k)|k=k max =22106k m ;∴Eg =E min -E max =221012k m =222012m a π =23423110219(1.05410)129.110(3.1410) 1.610π----⨯⨯⨯⨯⨯⨯⨯=0.64eV②导带底电子有效质量m n2222200022833C d E dk m m m =+=;∴ 22023/8C n d E m m dk == ③价带顶电子有效质量m ’ 22206V d E dk m =-,∴2'2021/6V n d E m m dk ==- 掺杂:2-1、什么叫浅能级杂质?它们电离后有何特点?2-2、什么叫施主?什么叫施主电离?2-3、什么叫受主?什么叫受主电离?2-4、何谓杂质补偿?杂质补偿的意义何在?题解:2-1、解:浅能级杂质是指其杂质电离能远小于本征半导体的禁带宽度的杂质。
半导体器件物理复习文档PPT复习内容2.突变结:P区和N区之间的杂质分布变化陡峭的PN结。
3.线性缓变结:P区和N区之间的杂质分布变化比较缓慢,可看成是线性变化的PN结。
4.单边突变结:PN结一侧的掺杂浓度比另一侧的高得多,表示为P+N或PN+。
5.2.空间耗尽区(也即空间电荷区),耗尽层近似;耗尽近似是对实际电荷分布的理想近似,包含两个含义:(1)在冶金结附近区域,-xp(2)耗尽区以外的电荷密度处处为0。
6.正向注入(扩散),反向抽取(漂移)正偏时:扩散流大于漂移流,n区电子扩散到p区(-xp)处积累成为p区的少子;p区的空穴扩散到n区的(xn)处积累成为n区的少子。
这一过程称为正向注入。
反偏时:p区的电子漂移到n区,n区的空穴漂移到p区,这一过程称为反向抽取7.4.变容二极管,肖特基二极管,隧道二极管,长二极管,短二极管(1)工作在反偏状态下的二极管,势垒电容随反偏电压的增加而减小,称为变容二极管(2)金属和半导体形成整流接触时具有正向导通,反向截止的作用,称作肖特基二极管(3)n区和p区都为简并掺杂的pn结称为隧道二极管(4)pn结的p区和n区准中性区域的宽度远大于扩散长度时,则称这个二极管为长二极管(5)pn结轻掺杂一侧的准中性区域的宽度与扩散长度同数量级或更小时,则称这个二极管为窄基区二极管或短二极管8. 势垒电容Cj:形成空间电荷区的电荷随外加电压变化(结电容或耗尽层电容)二极管的反向偏置结电容随反向电压的增加而减小扩散电容Cd:p-n结两边扩散区中,当加正向偏压时,有少子的注入,并积累电荷,它也随外电压而变化.扩散区的电荷数量随外加电压的变化所产生的电容效应。
9.电荷存储和反向恢复时间:正偏时,电子从n区注入到p区,空穴从p区注入到n区,在耗尽层边界有少子的积累。
导致p-n结内有等量的过剩电子和空穴-电荷的存储。
突然反向时,这些存储电荷不能立即去除,消除存储的电荷有两种途径:复合和漂移。
半导体器件物理复习题一.平衡半导体:概念题:1. 平衡半导体的特征(或称谓平衡半导体的定义) 所谓平衡半导体或处于热平衡状态的半导体, 是指无外界 (如电压、电场、磁场或温度梯度等)作用影响的半导体。
在这种情况下,材料的所有特性均与时间和温度无关。
2. 本征半导体:本征半导体是不含杂质和无晶格缺陷的纯净半导体。
3. 受主(杂质)原子:形成 P 型半导体材料而掺入本征半导体中的杂质原子(一般为元素周期表中的Ⅲ族元素) 。
4. 施主(杂质)原子:形成 N 型半导体材料而掺入本征半导体中的杂质原子(一般为元素周期表中的Ⅴ族元素) 。
5. 杂质补偿半导体:半导体中同一区域既含受主杂质又含施主杂质的半导体。
6. 兼并半导体:对 N 型掺杂的半导体而言,电子浓度大于导带的有效状态密度,费米能级高于导带底 ( E FE c 0);对 P 型掺杂的半导体而言,空穴浓度大于价带的有效状态密度。
费米能级低于价带顶( E F E v 0 )。
7.有效状态密度:4 2m n*3/2在导带能量范围( E c ~)内,对导带量子态密度函数g c EEE c 与h 3电子玻尔兹曼分布函数f F EexpE EF 的乘积进行积分(即kT4 2m n*3/23nE E expE EF dE )得到的 Nc 22m n * kT 2 称谓导带中h 3ckTh 2E c电子的有效状态密度。
4 2m *p 3/2在价带能量范围 (~E v )内,对价带量子态密度函数 g v EE vE 与h 3空 穴 玻 尔 兹 曼 函 数 f F Eexp E F E 的乘积进行积分(即kTEv42m *p3/23E F E2 m * kT2p 0E v E expdE )得到的 N v 2p称谓价带空h3kTh 2穴的有效状态密度。
8. 以导带底能量 E c 为参考,导带中的平衡电子浓度:E c E F其含义是:导带中的平衡电子浓度等于导带中的有效状态密度乘n 0 N c expkT以能量为导带低能量时的玻尔兹曼分布函数。
重庆⼤学《半导体器件物理》2019-2020学年上学期期末试卷半导体器件物理2019-2020学年期末试卷专业:电⼦科学与技术第⼀部分:选择题(30分)半导体材料的主要特征是什么?A)⾼电导率、⾼热导率B)低电导率、低热导率C)⾼电导率、低热导率D)低电导率、⾼热导率pn结的主要特征是什么?A)电压降低、电流增加B)电压升⾼、电流减少C)电压不变、电流增加D)电压不变、电流减少晶体管的主要类型是什么?A)双极晶体管、场效晶体管B)单极晶体管、双极晶体管C)场效晶体管、单极晶体管D)双极晶体管、单极晶体管半导体器件的主要应⽤领域是什么?A)计算机、通信、消费电⼦B)医疗、能源、交通C)航空、国防、教育D)环境、农业、⾦融半导体材料的主要缺陷是什么?A)点缺陷、线缺陷、⾯缺陷B)点缺陷、⾯缺陷、体缺陷C)线缺陷、⾯缺陷、体缺陷D)点缺陷、线缺陷、体缺陷第⼆部分:简答题(40分)简要介绍半导体材料的定义和分类。
(10分)什么是pn结?请列举两个主要特征。
(10分)简要介绍晶体管的⼯作原理和主要类型。
(10分)什么是半导体器件的热噪声?请列举两个主要影响因素。
(10分)第三部分:论述题(30分)选择以下论述题之⼀,写⼀篇⼤约300字的结构良好的论述。
论半导体器件在现代电⼦技术中的重要性。
论半导体材料的发展趋势和挑战。
第四部分:案例分析(20分)阅读以下案例,回答相关问题:案例:⼀种新型半导体器件的设计和制作这种器件的主要特征是什么?(5分)这种器件的设计和制作过程中涉及到了哪些半导体器件物理的概念?(5分)这种器件的应⽤前景是什么?(10分)注意:本试卷总分为120分。
学⽣必须回答第⼀部分和第⼆部分的所有题⽬。
学⽣可以选择第三部分的⼀个论述题。
第四部分的案例分析必须详细准确。
试卷时间为2⼩时。
半导体器件物理_复习重点第一章PN结1.1 PN结是怎么形成的?1.2 PN结的能带图(平衡和偏压)1.3 内建电势差计算1.4 空间电荷区的宽度计算Naxp?Ndxn1.5 PN结电容的计算第二章PN结二极管2.1理想PN结电流模型是什么?2.2 少数载流子分布(边界条件和近似分布)2.3 理想PN结电流??eVa??J?Js?exp???1? ??kT??Js?eDppn0Lp?eDnnp0Ln?1D1n??en??Na?n0Nd?2iDp?? ?p0??2.4 PN结二极管的等效电路(扩散电阻和扩散电容的概念)?2.5 产生-复合电流的计算2.6 PN结的两种击穿机制有什么不同?第三章双极晶体管3.1 双极晶体管的工作原理是什么?3.2 双极晶体管有几种工作模式,哪种是放大模式?3.3 双极晶体管的少子分布(图示)3.4 双极晶体管的电流成分(图示),它们是怎样形成的?3.5 低频共基极电流增益的公式总结(分析如何提高晶体管的增益系数)??1?pE0DELBtanh(xB/LB)NB1?1??NEnB0DBLEtanh(xE/LE)1DBxB??DExE 11?T??cosh(xB/LB)1?(x/L)2BB2??1?1Jr0?eV? exp??BE?Js0?2kT?????T????1??3.6 等效电路模型(Ebers-Moll模型和Hybrid-Pi模型)(画图和简述)3.7 双极晶体管的截止频率受哪些因素影响?3.8 双极晶体管的击穿有哪两种机制?第四章MOS场效应晶体管基础4.1 MOS结构怎么使半导体产生从堆积、耗尽到反型的变化?(加负压时,半导体产生堆积型,因为负电荷出现在金属板上,如果电场穿入半导体,作为多子的空穴将会被推向氧化物—半导体表面,形成堆积;加一个小的正压时,正电荷堆积在金属板上,如果电荷穿过电场时,作为多子的空穴被推离氧化物—半导体表面,形成一个负的空间电荷区;加一个更大的正压时,MOS电容中负电荷的增多表示更大的空间电荷区以及能带弯曲程度更大,半导体表面从P型转化为N型。
1、微电子封装定义及封装的作用?1)为基本的电子电路处理和存储信息建立互连和合适的操作环境的科学和技术,是一个涉及多学科并且超越学科的制造和研究领域。
2)作用---为芯片及部件提供保护、能源、冷却、与外部环境的电气连接+机械连接2、什么是电迁移?电迁移是指在高电流密度(105-106A/cm2)下金属中的质量迁移的现象。
3、什么是芯片尺寸封装?芯片尺寸封装(CSP)是指封装外壳尺寸比芯片本身尺寸仅大一点(最大为芯片尺寸的1.2倍)的一类新型封装技术。
5、可作为倒装芯片凸点的材料有哪些?高可靠性的焊凸点应该在那个工艺阶段制作?凸点的典型制作方法有哪些?其中什么方法也常用于BGA器件焊球的植球?1)凸点材料:a) 钎料:单一钎料连接:高Pb (3Sn97Pb、5Sn95Pb )-陶瓷芯片载体;低Pb (60Sn40Pb )-有机芯片载体双钎料连接:高熔点凸点用低熔点钎料连接到芯片载体C4-Controled Collapse Chip Connection)b) 金属:Au、Cuc) 导电环氧树脂:低成本、低可靠性2)高可靠性的焊凸点制作,是在IC还处于圆片阶段时制作焊凸点。
3)蒸发沉积法;模板印刷法;电镀法;钉头凸点法;钎料传送法;微球法;钎料液滴喷射(印刷)法4)微球法6、扩散焊在什么情况下会采用中间层?中间层材料应具有哪些性能?1)结晶化学性能差别较大的两种材料连接时,极易在接触界面生成脆性金属间化合物。
措施:选择中间层,使中间层金属与两侧材料都能较好的结合,生成固溶体,则实现良好的连接。
2)两种材料的热膨胀系数差别大,在接头区域极易产生很大的内应力。
措施:用软的中间层(甚至几个中间层)过渡,缓和接头的内应力3)扩散连接时,中间层材料非常主要,除了能够无限互溶的材料以外,异种材料、陶瓷、金属间化合物等材料多采用中间夹层的扩散连接。
4)中间层可采用多种方式添加,如薄金属垫片、非晶态箔片、粉末(对难以制成薄片的脆性材料)和表面镀膜(如蒸镀、PVD、电镀、离子镀、化学镀、喷镀、离子注入等)。
1、微电子封装定义及封装的作用?1)为基本的电子电路处理和存储信息建立互连和合适的操作环境的科学和技术,是一个涉及多学科并且超越学科的制造和研究领域。
2)作用---为芯片及部件提供保护、能源、冷却、与外部环境的电气连接+机械连接2、什么是电迁移?电迁移是指在高电流密度(105-106A/cm2)下金属中的质量迁移的现象。
3、什么是芯片尺寸封装?芯片尺寸封装(CSP)是指封装外壳尺寸比芯片本身尺寸仅大一点(最大为芯片尺寸的1.2倍)的一类新型封装技术。
5、可作为倒装芯片凸点的材料有哪些?高可靠性的焊凸点应该在那个工艺阶段制作?凸点的典型制作方法有哪些?其中什么方法也常用于BGA器件焊球的植球?1)凸点材料:a) 钎料:单一钎料连接:高Pb (3Sn97Pb、5Sn95Pb )-陶瓷芯片载体;低Pb (60Sn40Pb )-有机芯片载体双钎料连接:高熔点凸点用低熔点钎料连接到芯片载体C4-Controled Collapse Chip Connection)b) 金属:Au、Cuc) 导电环氧树脂:低成本、低可靠性2)高可靠性的焊凸点制作,是在IC还处于圆片阶段时制作焊凸点。
3)蒸发沉积法;模板印刷法;电镀法;钉头凸点法;钎料传送法;微球法;钎料液滴喷射(印刷)法4)微球法6、扩散焊在什么情况下会采用中间层?中间层材料应具有哪些性能?1)结晶化学性能差别较大的两种材料连接时,极易在接触界面生成脆性金属间化合物。
措施:选择中间层,使中间层金属与两侧材料都能较好的结合,生成固溶体,则实现良好的连接。
2)两种材料的热膨胀系数差别大,在接头区域极易产生很大的内应力。
措施:用软的中间层(甚至几个中间层)过渡,缓和接头的内应力3)扩散连接时,中间层材料非常主要,除了能够无限互溶的材料以外,异种材料、陶瓷、金属间化合物等材料多采用中间夹层的扩散连接。
4)中间层可采用多种方式添加,如薄金属垫片、非晶态箔片、粉末(对难以制成薄片的脆性材料)和表面镀膜(如蒸镀、PVD、电镀、离子镀、化学镀、喷镀、离子注入等)。
半导体物理与器件第四版知识点总结半导体物理与器件第四版知识点总结?全书涵盖了量子力学、固体物理、半导体材料物理及半导体器件物理等内容,共三部分(合计15章)。
第一部分是基础物理,包括固体晶格结构、量子力学和固体物理;第二部分是半导体材料物理,主要讨论平衡态和非平衡态半导体以及载流子输运现象;第三部分是半导体器件物理,主要讨论同质pn结、金属半导体接触、异质结以及双极晶体管、mos场效应晶体管、结型场效应晶体管等。
最后论述光子器件和功率半导体器件。
书中既讲述了半导体基础知识,也分析讨论了小尺寸器件物理问题,具有一定的深度和广度力学知识点总结?【重力】1.地面附近的物体,由于地球的吸引而受的力叫重力。
重力的施力物体是:地球。
2.重力大小g=mg其中g=9.8n/kg它表示质量为1kg的物体所受的重力为9.8n。
未说明时g=10n/kg3.重力的方向:竖直向下。
4.重力的作用点──重心。
【弹力】1.物体受力发生形变,失去力又恢复到原来的形状的性质叫弹性。
2.塑性:在受力时发生形变,失去力时不能恢复原来形状的性质叫塑性。
3.弹力:物体由于发生弹性形变而受到的力叫弹力,弹力的大小与弹性形变的大小有关。
4.弹力产生的条件:(1)直接接触;(2)有弹性形变5.弹簧测力计:6.弹力的大小:用二力平衡方法求解【摩擦力】1.产生条件:(1) 物体接触表面是粗糙的(如接触面光滑时摩擦力为零);(2) 物体对接触表面有挤压作用;(3) 物体关于接触面发生相对运动或相对运动趋势.以上三点式摩擦力产生的必要条件,三者缺一不可.2.分类(1) 滑动摩擦力:(2) 静摩擦力:(3) 滚动摩擦:3.特点(1) 滑动摩擦力的大小和方向①大小:与接触面的粗糙程度和压力有关,压力越大,表面越粗糙,摩擦力越大.②方向:与物体相对于接触面的运动方向相反.(2)静摩擦力的大小和方向:①大小:与使物体产生相对运动趋势的外力大小相等.②方向:与物体相对于接触面的运动趋势方向相反.point知识点总结?point可以用作名词point用作名词时的意思比较多,可作“要点,论点,观点,尖端,尖儿,点; 小数点,标点,(某一)时刻,(某一)地点,分数,得分,条款,细目”“特点,特征,长处”等解,均用作可数名词。
半导体器件物理复习资料第1 页共11 页半导体器件物理复习资料半导体器件:导电性介于良导电体与绝缘体之间,利用半导体材料特殊电特性来完成特定功能的电子器件。
(器件的基础结构:金属—半导体接触,p-n 结,异质结,MOS 结构)Physics of Semiconductor半导体材料半导体的电导率则介于绝缘体及导体之间。
元素(Element)半导体:在周期表第Ⅳ族中的元素如硅(Si)及锗(Ge)都是由单一原子所组成的元素(element)半导体。
化合物(Compound)半导体:二元化合物半导体是由周期表中的两种元素组成。
几种常见的晶体结构晶体:组成固体的原子(或离子)在微观上的排列具有长程周期性结构非晶体:组成固体的粒子只有短程序,但无长程周期性准晶:有长程的取向序,沿取向序的对称轴方向有准周期性,但无长程周期性能带的形成原子靠近→电子云发生重叠→电子之间存在相互作用→分立的能级发生分裂。
从另外一方面来说,这也是泡利不相容原理所要求的。
一个能带只能有N 个允许的状态;考虑电子有两种自旋状态,故一个能带能容纳2N 个电子;对于复式格子,每个能带允许的电子数还要乘上原胞内的原子个数;对于简并能带,状态总数要乘以简并度。
金属、半导体、绝缘体金属导体:最高填充带部分填充;绝缘体和半导体:T=0K,最高填充带为填满电子的带。
T>0K,一定数量电子激发到上面的空带。
绝缘体的Eg 大,导带电子极少;半导体的Eg 小,导带电子较多。
根据能带填充情况和Eg 大小来区分金属、半导体和绝缘体。
(全满带中的电子不导电;部分填充带:对称填充,未加外场宏观电流为零。
加外场,电子逆电场方向在k 空间移动。
散射最终造成稳定的不对称分布,产生宏观电流(电场方向)。
)有效质量电子共有化运动的加速度与力的关系和经典力学相同,即:m*具有质量量纲,称为晶体中电子的有效质量。
(能带越宽,有效质量越小;能带越窄,有效质量越大。
)m* 的意义:晶体中的电子除受到外力,还受到周期场力。
《半导体器件物理基础》复习要点授课教师:李洪涛编辑:徐驰第一章PN结载流子:N型半导体中电子是多数载流子,空穴是少数载流子;P型半导体中空穴是多数载流子,电子是少数载流子。
pn结:指半导体中p区和n区的交界面及两侧很薄的过渡区,由p区和n区共格相连而构成。
多子的扩散运动使空间电荷区变宽,少子的漂移运动使空间电荷区变窄,最终达到动态平衡,I扩=I漂,空间电荷区的宽度达到稳定,即形成PN结。
突变结:由合金法、分子束外延法制得的pn结,在p区和n区内杂质分布均匀,而在交界面处杂质类型突变。
缓变结:由扩散法制得的p-n结,扩散杂质浓度由表面向内部沿扩散方向逐渐减小,交界面处杂质浓度是渐变的。
施主杂质浓度空间电荷区:PN结的内部由于正负电荷的相互吸引,使过剩电荷分布在交界面两侧一定的区域内。
电离施主与电离受主都固定在晶格结点上,因此称为“空间电荷区”。
空间电荷区电子浓度公式:n=n i exp((E f-E i)/KT)载流子在pn结区附近的分布:空间电荷区载流子浓度分布则如下图所示:用线性轴则如下图:结区电场、电位分布:耗尽区单位体积带电量相同。
势垒区内电场强度正比于Q1Q2/r2, 中心处电场最强。
所以就有了如下的电场强度分布和电位分布。
耗尽近似:空间电荷区只存在未被中和的带点离子,而不存在自由载流子,或者说自由载流子浓度已减小到耗尽程度,因此PN结又称为“耗尽层”。
耗尽区因无载流子,可忽略扩散和漂移的运动。
pn结能带图:接触电位差V D:pn结的内建电势差,大小等于空间电荷区靠近p区侧边界处电位与靠近n 区处电位之差。
n、p区掺杂浓度越大(或结区杂质浓度梯度越大)、材料禁带宽度越宽,温度越低,接触电势差越大。
PIN结构:在P区与N区中间加入一层本征半导体构造的晶体二极管。
高低结:n+-n或者p+-p结构的结。
同样有扩散和漂移的平衡,结区也有电场,但结区的载流子浓度介于两侧的浓度之间。
没有单向导电性。
半导体器件物理复习题1.简述Schrodinger波动方程的物理意义及求解边界条件。
2.简述隧道效应的基本原理。
3.什么是半导体的直接带隙和间接带隙。
4.什么是Fermi-Dirac 概率函数和Fermi 能级,写出n(E)、p(E)与态密度和Fermi 概率函数的关系。
5.什么是本征Ferm能级?在什么条件下,本征Ferm能级处于中间能带上。
6.简述硅半导体中电子漂移速度与外加电场的关系。
7.简述Hall效应基本原理。
解释为什么Hall电压极性跟半导体类型(N型或P型)有关。
8.定性解释低注入下的剩余载流子寿命。
9.一个剩余电子和空穴脉冲在外加电场下会如何运动,为什么?10.当半导体中一种类型的剩余载流子浓度突然产生时,半导体内的净电荷密度如何变化?为什么?11.什么是内建电势?它是如何保持热平衡的?12.解释p-n结内空间电荷区的形成机理及空间电荷区宽度与外施电压的关系。
13.什么是突变结和线性剃度结。
14.分别写出p-n结内剩余少子在正偏和反偏下的边界条件。
15.简述扩散电容的物理机理。
16.叙述产生电流和复合电流产生的物理机制。
17.什么理想肖特基势垒?用能带图说明肖特基势垒降低效应。
18.画出隧道结的能带图。
说明为什么是欧姆接触。
19.描述npn三极管在前向有源模式偏置下的载流子输运过程。
20.描述双极晶体管在饱和与截止之间开关时的响应情况。
21.画出一个n-型衬底的MOS电容在积聚、耗尽和反型模式下的能带图。
22.什么是平带电压和阈值电压23.简要说明p-沟道器件的增强和耗尽型模式。
24.概述MESFET的工作原理。
25.结合隧道二极管的I-V特性,简述其负微分电阻区的产生机理。
26.什么是短沟道效应?阐述短沟道效应产生的原因及减少短沟道效应的方法。
短沟道效应(shortchanneleffect):当金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET)的沟道长度L缩短到可与源和漏耗尽层宽度之和(WS WD)相比拟时,器件将发生偏离长沟道(也即L远大于WS WD)的行为,这种因沟道长度缩短而发生的对器件特性的影响,通常称为短沟道效应。
1.PN 结:采用不同的掺杂工艺,通过扩散作用,将P 型半导体和N 型半导体制作在同一块半导体基片上,在它们的交界面就形成空间电荷区称为PN 结。
2.雪崩击穿:随着PN 结反向电压的增加,势垒中电场强度也在增加。
当电场强度达到一定程度后,势垒区中载流子就会碰撞电离出新的电子—空穴对。
新的电子—空穴对在电场作用下继续碰撞产生新的载流子,如此反复即碰撞电离率增加,流过PN 结的电流急剧增大,击穿PN 结。
3.空间电荷区:在PN 结中,由于自由电子的扩散运动和漂移运动,使PN 结中间产生一个很薄的电荷区,就是空间电荷区。
4.耗尽层电容:由于耗尽层内空间电荷随偏压变化所引起的电容称为PN 结耗尽层电容。
5.MOS 阈值电压:阈值电压si -ψ+=O B TH C Q V 是形成强反型层时所需要的最小栅极电压。
它的第一项表示在形成强反型层时,要用一部分电压去支撑空间电荷QB ;第二项表示要用一部分电压为半导体表面提供达到强反型时需要的表面势si ψ。
6.强反型:当表面电子浓度等于体内平衡多子浓度时,半导体表面形成强反型层。
7.载流子扩散漂移观点分析空间电荷区形成当N 型P 型材料放在一起时,P 型材料中多的空穴向N 型扩散,N 型多的电子向P 型扩散,由于扩散,在互相靠近N 侧和P 侧分别出现施主离子和受主离子,这些空间电荷建立一个电场,即空间电荷区。
8.载流子扩散漂移分析PN 结单向导电性若在PN 结加正向电压,PN 结势垒高度下降,减小的势垒高度有助于扩散通过PN 结,形成大的电流,若加反向电压,势垒高度增加,漂移作用增强,阻挡载流子通过PN 结扩散,所以PN 结单向导电1.5种半导体器件:PN 结,光电二极管,JFET,MOSFET ,太阳能电池。
2.PN 结隧道电流产生条件:费米能级进入能带;空间电荷层的宽度很窄,因而有高的隧道3.穿透概率;在相同的能力水平上,在一侧的能带中有电子而在另一侧的能带中有空的状态。
4.PN 结正向注入:PN 结加上正向偏压时,在结边缘np>np0,pn>pn0 反向抽取:PN 结加反向偏压时,将偏压V 换成—VR ,此时,np<np0,pn<pn05.电荷存储效应:当加一恒定的正向偏压时,载流子被注入并保持在PN 结二极管中。
6.耗尽层电容:由于耗尽层内空间电荷随偏压变化所引起的电容称为PN 结耗尽层电容。
7.BJT 四种工作模式及工作条件:正向有源模式(VE>0,VC<0)反向有源(<>)饱和模式(>>)截止模式(<<)8.处于放大区的晶体管内各电流分量及它们之间满足的关系:IE=InE+IpE+IRE, IB=IpE+IRE+(InE-InC)-IC0, IC=InC+IC0 , IE=IB+IC9.双极型晶体管放大作用的基本原理:BJT 的输入电流的变化将引起输出电流的变化,如果在集电极回路中接入适当的负载RL 就可以实现电压信号放大,这就是——8.列举三种双极型晶体管的非理想效应:基区宽度调变效应;基区扩展电阻,电流集聚效应;缓变基区晶体管。
9.金属和N型半导体接触当φ M>φ S,整流结;当M<S,欧姆结。
P型相反10指出金属和重掺杂半导体接触形成是欧姆结还是整流结并简述原因非整流的欧姆结原因:空间电荷区薄,易于隧穿,没有方向性11.使用的Si肖特基势垒二极管主要有哪三种结构简单接触结构金属搭接结构采用保护环二极管结构12.解释肖特基效应对于肖特基势垒,这个势能将叠加到理想肖特基势垒能带图上,使原来的理想肖特基势垒的电子能量曲线在x=0处下降,也就是说使肖特基势垒高度下降,这种现象称为肖特基势垒的镜像力降低,又称为肖特基效应。
13.-画出肖特基势垒钳位晶体管电路和集成结构图并解释其工作原理肖特基势垒钳位晶体管是按其集成结构以集成电路的形式实现的,铝在轻掺杂的N型集电区上形成极好的肖特基势垒,同时在重掺杂的P型基区上形成优良的欧姆接触,这两种接触可以只通过一步金属化实现,不需要额外工艺。
14.解释JFET沟道长度调制效应夹断条件规定为两个空间电荷区在沟道中心相遇,如图,夹断首先发生在漏端,当漏极电压进一步增加时,沟道中更多的自由载流子被耗尽,结果使耗尽区的长度增加,夹断点向源端移动,电中性的沟道长度减小,这种现象称为沟道长度调制效应。
14-写出理想JFET的基本假设并导出I-V特性方程1、单边突变结2、沟道内杂质分布均匀3、沟道内载流子迁移率为常数4、忽略有源区以外源区、漏区以及接触上的电压降,于是沟道长度为L5、缓变沟道近似,即空间电荷区内电场沿y方向(∂ε/∂y》∂ε/∂x),而导电沟道内的电场只有x方向上的分量(∂ε/∂x》∂ε/∂y)。
6、长沟道近似,L>2(2a),于是W沿着L改变很小,可看做矩形沟道。
I-V特性方程15-画出JFET 的基本结构并解释其工作原理在正常工作条件下,反向偏压加于栅极PN 结的两侧,使得空间电荷区向沟道内部扩展,耗尽层中的载流子耗尽,结果沟道的截面积减小,从而沟道电导减小。
这样,源极和漏极之间流过的电流就受到栅极电压的调制。
这种通过表面电场调制半导体电导的效应就称为场效应,这就是JFET 的基本工作原理。
16.-阈值电压是MOS 结构的重要参量,阈值电压定义为:形成强反型所需要的最小栅极电压。
17-为什么MOS 结构在出现反型层以后,特别是接近强反型层是反型层中电子电荷q1的积累与外加电压信号的频率密切相关 根据公式sd dQs s ψ-=C 可得表面电容由表面电荷随表面势的变化率决定,在MOS 器件进入反型区以后,由B I S Q Q Q +=,其中I Q 为反型层中电子电荷,B Q 为耗尽层中电离受主电荷。
而反型层中的电荷主要是由耗尽层中的电子-空穴对的产生与复合影响的,高频时,耗尽层中电子空穴对的产生与复合跟不上信号的变化,故0d ≈ψS I d Q ,这时,11,C 000x x c c x d dQ s d d s S B S εεε+==ψ≈G V 增大导致d X 增大0c c 减小。
低频时耗尽层中电子空穴对的产生能跟上信号的变化,则SI d Q ψd 对电容贡献是主要的,(而耗尽层的宽度和电荷不变,0≈ψS B d dQ ),SI S d dQ ψ-≈C ,由于S I Q ψ随变化很快,故S C 很大,1c 0≈c18.-解释理想MOS结构半导体半导体表面空间电荷区的载流子反型现象由于少数载流子电子浓度高于本征载流子浓度,而多数载流子空穴的浓度低于本征载流子浓度,这一层半导体有P型变成了N型,称为反型层,这种现象称为载流子反型。
19-试推导理想MOS结构半导体表面空间电荷区的载流子反型和强反型条件,写出必要的推导过程当ns =ni时,半导体表面呈现本征状态,此后半导体表面开始发生反型,所以载流子反型条件为φs =φf即当半导体表面势等于体内费米势时,半导体表面开始反型规定当表面电子浓度等于体内平衡多子浓度时,半导体表面形成强反型层Ψsi =2φf20.载流子的积累,耗尽,反型积累:半导体表面多数载流子浓度高于体内多数载流子浓度的现象耗尽:表面空穴浓度低于体内热平衡值,造成多数载流子空穴的耗尽反型:由于少数载流子电子浓度高于本征载流子浓度,而多数载流子空穴的浓度低于本征载流子的浓度这一层半导体由P型变成N型这种现象叫载流子的反型20.欧姆接触:是这样的一种接触,它在所使用的结构上不会添加较大的寄生电阻,且不足以改变半导体内的平衡载流子浓度使器件特性受到影响.Pn结与m-s对比1.高的工作频率和开关速度2.大的饱和电流3.低的正向压降,更高的反向电流缺点:额外的漏电流(软击穿)4.多子数目起伏小,噪声小5.肖特基具有更稳定的温度特性。
21.解释PN结空间电荷正偏复合电流产生的原因:正偏时,由于空间电荷区有非平衡载流子的注入,边缘的载流子浓度增加,以至于大与平衡载流子浓度。
这些过量的载流子穿越空间电荷区,似的载流子浓度超过平衡值。
空间电荷区会有复合,即:空间电荷区内存在复合电流。
23.MOS 场效应晶体管的类型M0SFET 共有四种类型:N 沟道增强型、N 沟道耗尽型、P 沟道增强型和P 沟道耗尽型。
N 沟道增强型MOSFET 在零栅极电压时不存在导电沟道,欲使器件导通则需要加正的栅极偏压TH G V V >使半导体表面反型。
N 沟道耗尽型MOSFFT 在零栅极偏压时就存在导电沟道,欲使器件截止则需要加负的栅极偏压0<G V 以耗尽沟道内的载流子。
P 沟道增强型M0SFET 在零栅极电压时不存在导电沟道,欲使器件导通则需要加负的栅极偏压TH G V V <使半导体表面反型。
P 沟道耗尽型MOSFET 在零栅极偏压时就存在导电沟道,欲使器件截止则需要加正的栅极偏压0>G V 以耗尽沟道内的载流子(见图6-21中的转移特性图)24.双极晶体管的四种工作模式和少子分布四种工作模式如下。
(1)正向有源工作模式(0,0<>C E V V ):基区少子满足的边界条件为0)(n ,)0(n /0==B p V V p p x e n T E 。
E-M 方程为00001,1R /V V F F C R R /V V F E I )(e I αI I α)(e I I T E T E +-=---=(2)反向有源工作模式(0,0><C E V V ):相应的边界条件为T V V p B p p e n x /0C )(n ,0)0(n ==E-M 方程为)1()1(/00/00---=-+=T C T C V V R F F C V V R R F E e I I I e I I I αα,(3)饱和工作模式(0,0>>C E V V )相应的边界条件为T T V V p B p V V p p e n x e n /0/0C E )(n ,)0(n ==E-M 方程为)1()1()1e ()1e (/0/0/0/V 0E ---=-+--=T C T E T T V V R V V F F C V Vc R R V F E e I e I I I I I αα,(4)截止工作模式(0,0<<C E V V )相应的边界条件为0)(n )0(n ==B p p xE-M 方程为0000,R F F C R R F E I I I I I I +-=-=αα加上边界条件0/0/0)(,)(p )(,)(p C c V V C C E V V ED E E E E E p p e p x e p W p p x T C TE =∞==-=-习题3.2一个NPN 硅晶体管具有下列参数:2B m X μ=,再均匀掺杂基区163510a N cm -=⨯,1n s τμ=,20.01A cm =.若集电结被反向偏置,1E In mA =,计算在发射极基区一边的过量电子浓度,发射结电压以及基区输运因子.22226n 331666190.0261350/(.) 1.0105.921059.22//qADn (1)qADn (110)(51010)(210)0.026ln[(1.610)(0n n n n n B i i T T NE a B a BNE a B i KT ev cm v s s L D qcm mL x mn n v v v v I e qADn e N x N x I N x n v μττμμ-->>---⨯⨯⨯====⨯===-=⨯⨯⨯⨯⨯⨯=⨯⨯⨯E T 发射结电压:V =V ln(22244106201020.44/0.026001610362].0110)(135010)(1.451010)0.44/(0)(1.4510)//(0)(0)(1)5109.4110(210)1122(59.210E Tp p i E T E T p p p p a B T n vv v n n e n v v v v n n n n e e e N cm X L β-----⨯⨯⨯⨯⨯⨯==⨯∆=-=-=⨯=⨯⨯=-=-⨯⨯流过基区过量载流子浓度为:基区输运因子:620.99941)=≈习题4.5已知肖特基二极管的下列参数: 5.0m v φ=, 4.05s ev χ=,19310c N cm -=,15310d N cm -=,11.8r ε=.假设界面态密度可以忽略,在300k 计算(1))零偏压时势垒高度,内建电势差,耗尽层宽度;(2)在0.3v 的正偏压时的热离子发射电流密度.191501401/21/25191522(1) 5.0 4.050.9510ln 0.026ln 0.24100.950.240.712211.98.854100.71()9.67101.61010//(2)(1)0.95120300b m s C n T b n d b T T q q evN V V v Nd V vcm N V v v J RT e e e λψφεψεφ---Φ=Φ-=-=====-=-=⨯⨯⨯⨯==⨯⨯⨯--=--=⨯⨯所以所以W=()0.3/0.02642/0.026(1)1.5010/e A cm --=⨯习题5.1硅N 沟道JFET 参数:18310a N cm -=,15310d N cm -=,2m a μ=,20m L μ=,0.2Z cm =.计算(1))内建电势0ψ (2)夹断电压0P V 和P V (3)电导0G (4)在栅极和漏极为零偏压时实际的沟道电导.21815020*******0140019415041010(1)ln 0.026ln 0.762.1025101.61010(210)(2) 3.042211.98.854103.040.76 2.2822 1.6102100.2135010(3)8.642010d T i d P P P n d NaN V v N qN a V v V V VqaZ N G L ψεψμ---=---⨯===⨯⨯⨯⨯⨯===⨯⨯⨯=--=⨯⨯⨯⨯⨯⨯⨯===⨯⨯311401/21/2419153110(4)2()2211.98.854100.76()() 1.0101.61010n dd G q a w z N w cm qN μεψ-------Ω=-⨯⨯⨯⨯===⨯⨯⨯⨯Ω所以G=4.3210例5.1在N 沟道JFET 中,12r ε=,153510d N cm -=⨯,19310a N cm -=,1m a μ=,15m L μ=,0.1Z cm =,21350/.n cm v s μ=.计算(1)) 夹断电压0P V 和P V (2)当栅极和源极两者接地时,D P V V =的漏极电流.22198150141915020003103/20001.61010510(1) 3.7722128.8541010510ln 0.026ln 0.862.25103.770.86 2.912(2)14.41002{[()3d P d T i P P n d G D P P P qN a V v NaN V v N V V vqaZ N G V LI G V V V εψψμψψ---=--⨯⨯⨯⨯===⨯⨯⨯⨯⨯===⨯=--===⨯Ω==-+-夹断电压栅源接地,则3/20]}9.6mA =。