(精品)扫描电镜试题整理---赵玲玉
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7. 电子探针进行微区化学成分定性分析的三种工作方式是、和。
8.扫描电子显微镜常用的信号是和。
9.电磁透镜是小孔径角成像,具有景深和焦长的特点。
10.透射电子显微镜是以为照明源,用聚集成像的一种高分辨率、高放大倍数的电子光学仪器。
11.透射电子显微镜的图像衬度有和。
扫描电子显微镜的图像衬度有和衬度。
12. 光电效应是指13. 扫描电子显微镜的成像原理是1. M层电子回迁到K层后,多余的能量放出的特征X射线称( )A.Kα B. Kβ C. Kγ D. Lα2. 当X射线发生装置是Cu靶,滤波片应选( )A.CuB. FeC. NiD. Mo3. 当电子把所有能量都转换为X射线时,该X射线波长 )A.短波限λ0 B. 激发限λkC. 吸收限D. 特征X射线4.当X射线将某物质原子的K层电子打出去后,L层电子回迁K层,多余能量将另一个L层电子打出核外,这打出的电子称为( )A.光电子B. 二次电子C. 俄歇电子D.背散射电子5.透射电镜的两种主要功能是( )A.表面形貌和晶体结构B.内部组织和晶体结构C.表面形貌和成分价键 C.内部组织和成分价键1、以下哪一个图片是澳洲蛋白石的扫描电子显微镜图像()A B CA B C2、以下哪一个图像是荷叶表面的扫描电子显微镜图像()A B C3、下图(1)中所观察的图像属于()A、晶界分析B、断口形貌分析C、成分分析(1) (2)4、上图(2)所示三个区域,哪一个区域激发的二次电子强度最高()A B C时的衍射强度与无热振动理想情况下的衍射强度的比值。
3.扫描电镜的分辨率受哪些因素影响? 用不同的信号成像时,其分辨率有何不同? 所谓扫描电镜的分辨率是指用何种信号成像时的分辨率?所谓扫描电镜的分辨率是指用二次电子成像时的分辨率。
4.电磁透镜的像差是怎么样产生的?如何消除和减少像差?答:电磁透镜的像差包括球差、像散和色差。
球差即球面像差,是电磁透镜中心区域和边缘区域对电子束的折射能力不符合预定规律而产生的。
透射电镜主要由几大系统构成? 各系统之间关系如何?答:四大系统:电子光学系统,真空系统,供电控制系统,附加仪器系统。
其中电子光学系统是其核心。
其他系统为辅助系统。
透射电镜中有哪些主要光阑? 分别安装在什么位置? 其作用如何? 答:主要有三种光阑:①聚光镜光阑。
在双聚光镜系统中,该光阑装在第二聚光镜下方。
作用:限制照明孔径角。
②物镜光阑。
安装在物镜后焦面。
作用: 提高像衬度;减小孔径角,从而减小像差;进行暗场成像。
③选区光阑:放在物镜的像平面位置。
作用: 对样品进行微区衍射分析。
什么是消光距离? 影响晶体消光距离的主要物性参数和外界条件是什么? 答:消光距离:由于透射波和衍射波强烈的动力学相互作用结果,使I 0和Ig 在晶体深度方向上发生周期性的振荡,此振荡的深度周期叫消光距离。
影响因素:晶胞体积,结构因子,Bragg 角,电子波长。
时,即只有倒易点阵原点在爱?答:(1)由以下的电子衍射图可见θ2tg L R ⋅=∵ 2θ很小,一般为1~20 ∴ θθsin 22=tg (θθθθθθ2cos cos sin 22cos 2sin 2==tg )由 λθ=sin 2d 代入上式dl L R λθ=⋅=sin 2即 λL Rd = , L 为相机裘度 这就是电子衍射的基本公式。
令 k l =λ 一定义为电子衍射相机常数kg dkR ==(2)、在0*附近的低指数倒易阵点附近范围,反射球面十分接近一个平面,且衍射角度非常小 <10,这样反射球与倒易阵点相截是一个二维倒易平面。
这些低指数倒易阵点落在反射球面上,产生相应的衍射束。
因此,电子衍射图是二维倒易截面在平面上的投影。
(3)这是因为实际的样品晶体都有确定的形状和有限的尺寸,因而,它的倒易点不是一个几何意义上的点,而是沿着晶体尺寸较小的方向发生扩展,扩展量为该方向实际尺寸的倒数的2倍。
单晶电子衍射花样的标定有哪几种方法?图1是某低碳钢基体铁素体相的电子衍射花样,请以尝试—校核法为例,说明进行该电子衍射花样标定的过程与步骤。
重庆大学扫描电镜理论考试最新题目汇总第一部分基本知识与安全(一)、安全视频内容人生安全,实验室设备安全1.发生火灾使用灭火器的问题,发现小火,扑灭。
火势较大,迅速离开,警告旁人,向有关部门报告。
人生安全第一。
2.氮气瓶,防砸。
不要离氮气瓶太近。
3.液氮罐。
挥发液氮,密闭空间容易发生窒息。
第一个进来要注意透气。
长时间在实验室别把门关死。
晚上别睡着了。
4.注意电镜后面的电线,避免漏电。
5.电镜结构。
电子枪,镜筒,样品室,电气辅助系统,真空系统。
电子枪:通过加热至2700K,热电子激发,加速电场形成电子束。
镜筒里聚光镜聚焦成很细的电子束,打在样品室中的样品上,探头收集信号,分析。
不要碰高压!6.注意背散射电子探头和EBSD探头,不用的话一定记得退出去,避免碰撞。
用完一定记得退回去。
放样前一定检查是否已经退出,避免碰撞探头。
7.动样品台时注意别碰撞到探头和极靴。
动的时候一定要打开CCD相机,一边观察一边移动样品台。
特别是样品比较大时更要注意。
同时放多个样品时,高度尽可能一致。
磁性样品一定不能放进来,会吸到极靴上,影响电镜性能。
粉末样品注意粘稳,避免被吸入极靴,堵塞光路。
粉末样品飞入能谱探头很可能将窗口击破。
8.关闭高压之后,一定要等3分钟后再充氮气泄真空,钨灯丝2700K高温,灯丝热的时候气体容易氧化灯丝和镜筒等。
9.抽真空一定要抽到10-3级别,再开高压。
10.氮气通过减压阀控制进气,缓慢的泄掉真空。
很强的气流会损坏电镜内的部分,尤其是能谱探头的窗口(一个小薄膜)。
减压阀调得比较小,不要去动,已经设置好了的。
11.拉开舱门的时候还是要观察着CCD相机中的图像,避免碰撞。
出来的时候Z 在40左右,在一个较低的位置,或回到初始位置。
12.放样品时一定带手套,防止静电的伤害,保证电镜清洁。
13.不要将腐蚀性药瓶带入电镜室。
(二)、基本知识与安全题目1.如果实验室因电路打火,正确的处理方式是?先切断电源,再用干粉或气体灭火器灭火,不可直接泼水灭火,以防触电或电器爆炸伤人。
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4.注意电镜后面的电线,避免漏电。
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镜筒里聚光镜聚焦成很细的电子束,打在样品室中的样品上,探头收集信号,分析。
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用完一定记得退回去。
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7.动样品台时注意别碰撞到探头和极靴。
动的时候一定要打开CCD相机,一边观察一边移动样品台。
特别是样品比较大时更要注意。
同时放多个样品时,高度尽可能一致。
磁性样品一定不能放进来,会吸到极靴上,影响电镜性能。
粉末样品注意粘稳,避免被吸入极靴,堵塞光路。
粉末样品飞入能谱探头很可能将窗口击破。
8.关闭高压之后,一定要等3分钟后再充氮气泄真空,钨灯丝2700K高温,灯丝热的时候气体容易氧化灯丝和镜筒等。
9.抽真空一定要抽到10-3级别,再开高压。
10.氮气通过减压阀控制进气,缓慢的泄掉真空。
很强的气流会损坏电镜内的部分,尤其是能谱探头的窗口(一个小薄膜)。
减压阀调得比较小,不要去动,已经设置好了的。
11.拉开舱门的时候还是要观察着CCD相机中的图像,避免碰撞。
出来的时候Z 在40左右,在一个较低的位置,或回到初始位置。
12.放样品时一定带手套,防止静电的伤害,保证电镜清洁。
13.不要将腐蚀性药瓶带入电镜室。
(二)、基本知识与安全题目1. 如果实验室因电路打火,正确的处理方式是先切断电源,再用干粉或气体灭火器灭火,不可直接泼水灭火,以防触电或电器爆炸伤人。
西工大电子显微考题一、填空1、影响电磁透镜分辨本领的主要因素是(像差(主要是球差))和(衍射效应(埃利斑))。
2、随加速电压的升高,电子的运动速度(增大),波长(减小)。
3、与波谱仪相比,能谱仪的能量分辨率(低),分析速度(快),分析精度(低)。
4、透射电镜的图像衬度有(质厚衬度),(衍射衬度),(相位衬度)。
二、电子束入射固体样品表面会激发哪些信号?它们有哪些特点和用途?答:电子束入射固体样品表面会激发出俄歇电子、二次电子、背散射电子、吸收电子、特征X射线、电子束感生电效应、阴极荧光。
1、俄歇电子:入射电子与样品原子内层电子作用,释放能量激发外层某个电子脱离原子,成为具有特征能量的电子。
俄歇电子产生于试样表面几个原子层,对轻元素敏感,可观测的最轻元素是Be,适用于表面层的成分分析,尤其是对轻元素;2、二次电子:入射电子与外层电子发生非弹性散射,一部分核外电子获得能量逸出试样表面,成为二次电子。
二次电子能量小,一般小于50eV,适于表面形貌观察;3、背散射电子:入射电子与原子核发生弹性散射,能量损失小,一般大于50eV都称为背散射电子。
平均原子序数越大,产生背散射电子越多,可用于显示试样的元素分布和形貌;4、吸收电子:入射电子发生非弹性散射次数增多,以致电子无法逸出试样表面,在样品与地之间接电流放大器,获得电流信号,吸收电子像衬度与二次电子和背散射电子的总像衬度相反,适用于显示试样元素分布和表面形貌,尤其是试样裂纹内部的微观形貌;5、特征X射线:入射电子与样品原子内层电子作用,释放出具有特征能量的电磁辐射波,用于成分分析;6、电子束感生电效应:高能量的入射电子进入半导体作用,产生电子-空穴对,在偏加电场作用下移动产生电流,获得电子束感应电压信号,用于检测半导体或完整的固体电路的导电性变化;7、阴极荧光:电子束感生电效应产生的电子-空穴对复合释放出能量以可见光或红外线的形式释放,其信号强弱与半导体掺杂情况单值相关,故可用于监控半导体掺杂。
第二章 电子显微分析第四节 扫描电子显微分析1.扫描电镜的基本结构有哪几部分?答:① 电子光学系统:由电子枪、电磁透镜等部件组成。
电子光学系统主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成像。
② 扫描系统:提供入射电子束在试样表面以及显像管电子束在荧光屏上同步扫描的信号。
③ 信号探测放大系统:探测试样在入射电子束作用下产生的物理信号,然后经视频放大,作为显像系统的调制信号。
最主要的是电子探测器和X射线探测器。
④ 图像显示记录系统:包括显像管、照相机等,其作用是把信号探测系统输出的调制信号转换为在荧光屏上显示的、反映样品表面某种特征的扫描图像、供观察、照相和记录。
⑤ 真空系统;⑥ 电源系统。
2. 扫描电子显微分析的特点。
答:① 10~30mm的大块试样,制样简单;② 场深大,适于粗糙表面和断口,图像富有立体感和真实感;③ 放大倍率变化范围大: 10-15倍~ 20-30万倍;④ 适当分辨率:3-6nm;⑤ 可用电子学方法有效地控制和改善图像质量;⑥ 多功能组合分析(如微区成分等);⑦ 动态分析(加热、冷却、拉伸等)。
3. 扫描电镜主要性能指标是什么?试阐述。
答:扫描电镜的主要性能指标是放大倍数和分辨本领。
(1)放大倍数:如果入射电子束在试样上扫描幅度为l,显像管电子束在荧光屏上扫描幅度为L,则扫描电镜放大倍数(M)为 M=L/l;由于显像管荧光屏尺寸是固定的,因此只要通过改变入射电子束在试样表面扫描幅度,即可改变扫描电镜放大倍数,目前高性能扫描电镜放大倍数可以从20倍连续调节到200000倍。
(2)分辨本领:扫描电镜图像的分辨本领通常有两种表述方法。
一种是测量试样图像一亮区照中心至相邻另一亮区中心的距离,其最小值就是分辨本领。
另一种方法是测量暗区的宽度,其最小值为分辨本领。
4. 扫描电镜试样制备有哪些要求?请阐述之。
答:对试样的要求:(1)在真空中能保持稳定,含有水分的试样应先烘干除去水分,或使用临界点干燥设备进行处理。
参考答案及评分标准一、单项选择题(本大题共5小题,每空2分,共10分)1.X射线衍射分析的缩写是[ A ]A. XRD;B.TEM;C. SEM;D. DTA。
2.电子探针X射线显微分析的缩写是[ C ]A. TEM;B. SEM;C. EPMA;D. DTA3、吸光度与透射比的关系是[ A ]。
A. A = -lgTB. A=1/TC. A=10TD. A=T -104.透射电镜是应用[ A ]来成像。
A. 透射电子;B. 背散射电子;C. 二次电子;D. 俄歇电子。
5.扫描电镜用不同信号成像时分辨率是不同的,分辨率最高的是[ B ]。
A. 背散射电子像;B. 二次电子像;C. X射线像;D. 吸收电子像。
二、多项选择题(本大题共5小题,每小题3分,共15分)1.由波的干涉加强条件出发,推导出衍射线的方向与点阵参数、入射线相对于点阵方位及X 射线波长之间的关系(X射线衍射的几何条件),这种关系的具体表现为[ AB ]A. 劳厄方程;B. 布拉格定律;C. 莫塞莱定律;D. 谢乐方程。
2.在电子与固体物质相互作用中,从试样表面出射的电子有[ ACD ]A. 背散射电子;B. 透射电子;C. 二次电子;D. 俄歇电子。
3.透射电镜电子图像的衬度按其形成机制有[ ABC ]。
A. 质厚衬度;B. 衍射衬度;C. 相位衬度;D. 形貌衬度。
4.影响红外光谱图中谱带位置的因素有[ ABCD ]A.诱导效应B.键应力C.氢键D.物质状态5.光电子能谱测量中化学位移的解释有以下模型[ ABC ]A.离子型化合物静电模型B.分子电位—电荷热能模型C.等效原子核心-等价电子壳层模型D.振动模型三、填空题(每小题1分,共10分)1. X射线管主要由阳极、阴极、和窗口构成。
2. 颗粒的粒度能显著影响粉体及其产品的性质和用途。
目前常用的粒度分析方法主要包括:筛分法、激光法和沉降法。
3.基体效应是指样品的基本化学组成和物理、化学状态的变化对分析线强度的影响。
一、电镜练习题及答案一、透射电镜标本取材的基本要求并简要说明。
答:取材的基本要求如下:组织从生物活体取下以后,如果不立即进行及时固定处理,就有可能出现缺血缺氧后的细胞超微结构的改变,如细胞出现细胞器变性或溶解等现象,这些都可造成电镜观察中的人为假象,直接影响观察结果分析,甚至导致实验失败。
此外,由于处理不当造成组织微生物污染,导致细胞的超微结构结构遭受破坏。
因此,为了使细胞结构尽可能保持生前状态,取材成败是关键,取材成功的关键在于操作者必须要注意把握“快、小、冷、准”四个取材要点。
(1).快:就是指取材动作要迅速,组织从活体取下后应在最短时间 (争取在1~2分钟之内)投入前固定液。
对于实验动物,最好在断血流、断气之前就进行取材,以免缺血缺氧后使细胞代谢发生改变而破坏细胞的超微结构。
当然,最好是采用灌注固定法。
为了使前固定的效果更佳,组织块要充分和固定液混合,应采用振荡固定10分钟以上,有条件的可采用微波固定法固定。
(2).小:由于常用的固定剂渗透能力较弱,组织块如果太大,块的内部将不能得到良好的固定。
因此所取组织的体积要小,一般不超过1mm3。
为便于定向包埋,可将组织修成大小约1mm×1mm×2m m长条形。
(3).冷:为了防止酶对自身细胞的酶解作用,取材操作最好在低温(5℃~15℃)环境下进行,这样可以降低酶的活性,防止细胞自溶。
所采用的固定剂以及取材器械要预先在冰箱(5℃)中存放一段时间。
(4).准:就是取材部位要准确,这就要求取材者对所取的组织解剖部位要熟悉,必须取到与实验要求相关的部位,不同实验组别间要取相同部位,如需要定向包埋的标本,则要作好定向取材工作。
此外,还要求操作动作轻柔,熟练,尽量避免牵拉、挫伤与挤压对组织造成的人为损伤。
二、什么是瑞利准则电镜与光镜在原理上有何相似和不同之处答:1、光线通过二个比较靠近的小孔时,这二个小孔的衍射图会重叠在一起。
当一个衍射图的中央亮斑正好落在另一个衍射图的第一暗环中心时,这二个点刚可以分辩。
材料现代测试技术模拟试题Ⅳ一、选择题:(10分)1、对样品进行表面形貌分析时应使用()。
A.X射线衍射(XRD)B.透射电镜(TEM)C.扫描电镜(SEM)2、X射线连续谱中存在一个短波极限,其波长入=()。
A.1.24/V(千伏) nmB. 12.4/V(千伏) nmC.12.4/V伏nm3、电子枪中给电子加速的称为()。
A.阳极B.阴极C.栅极4、倒易点阵中的某二维平面代表的是正点阵中的()。
A.一个晶带B.一个晶面C.一组晶面。
5、在入射电子束作用下被轰击出来并离开样品表面的样品的核外电子叫做()。
A.二次电子B.背散射电子C.俄歇电子二、填空题:(20分)1、特征X射线是由元素原子中()引起的,因此各元素都有特定的()和()电压,特征谱与原子序数之间服从()定律。
2、布拉格公式λ=2dsinθ中λ表示(),d表示(),θ表示()。
3、利用衍射卡片鉴定物相的主要依据是(),参考()。
4、TEM中物镜的作用是(),中间镜在成像时的作用是(),在衍射时的作用是()。
5、等厚条纹是衍射强度随试样( )的变化而发生周期性变化引起的,图像特征为()的条纹。
6、真正能够保持其特征能量而逸出表面的俄歇电子仅限于表层以下()nm的深度范围。
7、电子探针显微分析的基本分析方法有()、()和()。
8、当X射线照射在一个晶体时,产生衍射的必要条件是(),而产生衍射的充要条件是()。
三、判断题:(A.是 B.否)(10分)1、当X射线管电压低于临界电压时仅可以产生连续X射线;当X射线管电压超过临界电压就可以产生特征X射线和连续X射线。
()2、布拉格方程的物理意义是指原子面对X射线的反射并不是任意的,只有当λ、θ和d三者之间满足此方程时才能发生反射。
()3、面心点阵的系统消光规律是H+k+L 为偶数时出现反射,而H+K+L 为奇数不出现反射。
()4、电子衍射和X射线衍射一样必须严格符合布拉格方程。
()5、扫描电镜的表面形貌衬度是采用背散射电子形成的电子像。
材料结构分析一、名词解释:1、球差:球差是由于电子透镜的中心区域和边沿区域对电子的会聚能力不同而造成的。
电子通过透镜时的折射近轴电子要厉害的多,以致两者不交在一点上,结果在象平面成了一个满散圆斑。
色差:是电子能量不同,从而波长不一造成的2、景深:保持象清晰的条件下,试样在物平面上下沿镜轴可移动的距离或试样超越物平面元件的距离。
焦深:在保持像清晰的前提下,象平面沿镜轴可移动的距离或者说观察屏或照相底板沿镜轴所允许的移动距离3、分辨率:所能分辨开来的物平面上两点间的最小距离,称为分辨距离4、明场像:采用物镜光阑将衍射束挡掉,只让透射束通过获得图像衬度得到的图像。
5、暗场像:用物镜光阑挡住透射束及其余衍射束,而只让一束强衍射束通过光阑所的图像。
中心暗场像:入射电子束相对衍射晶面倾斜角,此时衍射斑将移到透镜的中心位置,该衍射束通过物镜光栏形成的衍衬像称为中心暗场成像。
衬度:试样不同部位由于对入射电子作用不同,经成像放大系统后,在显示装置上显示的强度差异。
6、消光距离:衍射束的强度从0逐渐增加到最大,接着又变为0时在晶体中经过的距离。
7、菊池花样:由入射电子经非弹性不相干散射,失去很少能量,随即入射到一定晶面时,满足布拉格定律,产生布拉格衍射,衍射圆锥与厄瓦尔德球相交,其交线放大后在底片投影出的由亮暗平行线对组成的花样。
8、衍射衬度:由于晶体试样满足布拉格反射条件程度差异以及结构振幅不同而形成的电子图像反差,它仅属于晶体结构物质。
9、双光束条件:假设电子束穿过样品后,除了透射束以外,只存在一束较强的衍射束精确地符合布拉格条件,其它的衍射束都大大偏离布拉格条件。
作为结果,衍射花样中除了透射斑以外,只有一个衍射斑的强度较大,其它的衍射斑强度基本上可以忽略,这种情况就是所谓的双光束条件。
10、电子背散射衍射:当入射电子束在晶体样品中产生散射时,在晶体内向空间所有方向发射散射电子波。
如果这些散射电子波河晶体中某一晶面之间恰好符合布拉格衍射条件将发生衍射,这就是电子背散射衍射。
材料分析测试试题一、填空1、第一个发现X射线的科学家是,第一个进行X射线衍射实验的科学家是。
2、X射线的本质是,其波长为。
3、X射线本质上是一种______________,它既具有_____________性,又具有____________性,X射线衍射分析是利用了它的__ ____________。
4、特征X射线的波长与和无关。
而与有关。
5、X射线一方面具有波动性,表现为具有一定的,另一方面又具有粒子性,体现为具有一定的,二者之间的关系为。
6、莫塞来定律反映了材料产生的与其的关系。
7、从X射线管射出的X射线谱通常包括和。
8、当高速的电子束轰击金属靶会产生两类X射线,它们是_____________和_____________,其中在X射线粉末衍射中采用的是____ _______ 。
9、特征X射线是由元素原子中___________引起的,因此各元素都有特定的___________和___________电压,特征谱与原子序数之间服从_____ ______定律。
10、同一元素的入Kα1、入Kα2、入Kβ的相对大小依次为___________;能量从小到大的顺序是_______________。
(注:用不等式标出)11、X射线通过物质时,部分X射线将改变它们前进的方向,即发生散射现象。
X射线的散射包括两种:和。
12、hu+kv+lw=0关系式称为______________ ,若晶面(hkl)和晶向[uvw]满足该关系式,表明__________________________________ 。
15、倒易点阵是由晶体点阵按照式中,为倒易点阵基矢,为正点阵基矢的对应关系建立的空间点阵。
在这个倒易点阵中,倒易矢量的坐标表达式为,其基本性质为。
14、X射线在晶体中产生衍射时,其衍射方向与晶体结构、入射线波长和入射线方位间的关系可用_ _____ ______、____ ___________、________________和____________________四种方法来表达。
一、电子束与样品作用1 为什么电子显微分析方法在材料研究中非常有用电子显微分析是利用聚焦电子束与试样物质相互作用产生各种物理信号,分析试样物质的微区形貌、晶体结构和化学组成。
与其他的形貌、结构和化学组成分析方法相比,具有以下特点:1)具有在极高放大倍率下直接观察试样的形貌、结构和化学成分。
2)为一种微区分析方法,具有很高的分辨率达到—(TEM),可直接分辨原子,能进行纳米尺度的晶体结构及化学组成分析。
3)各种仪器日益向多功能、综合性方向发展。
电子显微镜用于电子作光源,波长很短,且用电磁透镜聚焦,显着提高了分辨率,比光学显微镜提高了1000倍,可以对很小范围内的区域进行电子像、晶体结构、化学成分分析研究;样品不必复制,直接进行观察,可以观察试样表面形貌,试样内部的组织与成分。
综上所诉,所以电子显微分析方法在材料研究中非常有用。
(庄严)另一个较好的答案:答:因为电子显微分析能够1)观察材料的表面形貌;2)可以用来研究样品的晶体结构和晶体取向分布;3)可以进行能固体能谱分析。
以上三个方面对于研究材料的性能与微观组织和成分的关系有很大的帮助。
(李颖,简明扼要,有自己的理解)另一个较好的答案:电子显微分析技术采用电子束代替传统的可见作为光源,其波长很小,因此相对于可见光,它的分辨率更高,可以观察更微小的物质,便于分析;同时SEM对于容易制样,同时也可以在不损坏样品的情况下观测和分析样品的形貌,配合能谱仪等探针还可以对其化学成分进行分析,因此在材料研究中非常有用。
2. 电子与样品作用产生的信号是如何被利用的扫描电镜利用了那几个信号高能电子束与试样物质相互作用,产生各种信号,这些信号被相应的接收器接收,经过放大器和处理后,可以获得样品成分和内部结构的丰富信息。
背散射电子和二次电子主要应用于扫描电镜;透射电子用于透射电镜;特征X射线可应用于能谱仪,电子探针等;俄歇电子可应用于俄歇电子能谱仪。
吸收电子也可应用于扫描电镜,形成吸收电子像。
第一部分1.如果实验室因电路打火,正确的处理方式是?先切断电源,再用干粉或气体灭火器灭火,不可直接泼水灭火,以防触电或电器爆炸伤人。
如果火势太大,应迅速离开现场,并向有关部门报告以采取有效措施控制和扑救火灾。
2.在装载样品以及实验中移动样品台时,有些什么注意事项?①装载大样品时,应使用倾斜样品台倾斜样品;②用Z样品台提升样品时要十分的小心;③看断面的样品必须事先降低样品台;④关闭样品室门时,缓慢轻关,待抽真空时再松手;⑤移动样品时,将载物台向X轴和Y轴方向移动,并保证位移量小于最大允许值,以防止样品撞坏探头或撞伤物镜极靴。
3.普通扫描电镜测试对样品的基本要求是?①能提供导电和导热通道,不会被电子束分解;②在电子束扫描下具有良好的热稳定性,不能挥发或含有水分;③样品大小与厚度要适于样品台的尺寸;④样品表面应该清洁,无污染物;⑤磁性样品要预先去磁,以免观察时电子束受到磁场的影响。
4.按电子枪源分,扫描电镜分为哪几类,各有什么优缺点?钨灯丝枪,六硼化镧枪和场发射电子枪。
①钨灯丝枪其优点是钨灯丝造价和维护成本相对较低,缺点是分辨率较差;②六硼化镧枪寿命介于中间,但比钨枪容易产生过度饱和和热激发问题;③场发射电子枪价格最贵,需要高真空,但其寿命最长,不需要电磁透镜系统。
5.为什么不能在FEINova400场发射电镜对导磁性样品进行能谱分析或高分辨图像分析?导磁性样品会磁化电镜的极靴,一旦吸到物镜极靴上,降低电镜的分辨率,影响电镜的性能。
6.在实验过程中,如果需要短暂离开,需要进行哪些必要的处理?答案一1 看周边是否有有操作资格的人(老师或者是操作员)在场,如果有的话,让他们帮忙看着电镜;2如果没有有操作资格的人在场,那么此时要把高压卸掉,打开CCD,把样品台降低最低位置,退探头,使电镜处于静止状态才可短暂离开。
离开时需要放置“暂停实验”警示牌,告知他人,实验暂停。
第二部分1. X射线能谱仪由哪些部分组成?电子陷阱的功能是什么?由半导体探测器,前置放大器和主放大器,多道脉冲高度分析器组成。
电子显微技术一、名词解释1.数值孔径2.景深与焦长3.齐焦4.像差5.色差6.电子探针二、选择题1.适于观察细胞复杂网络如内质网膜系统、细胞骨架系统的三维结构的显微镜是( )A.普通光学显微镜B.荧光显微镜C.相衬显微镜D.激光扫描共聚焦显微镜2. 下面对透射电镜描述不正确的是( )A.利用泛光式电子束和透射电子成像B.观察细胞内部超微结构C.发展最早,性能最完善D.景深长、图像立体感强3. 电子散射少、对样品损伤小、可用于观察活细胞的电子显微镜是( )A.普通透射电镜B.普通扫描电镜C.超高压电镜D.扫描隧道显微镜4. 物象在低倍镜(10X)下清晰可见,换高倍镜(40X)后看不见了,这是因为( )A.玻片放反了B.高倍物镜故障C.物象不在视野正中央D.焦距没调好5. 用于透射电镜的超薄切片厚度通常为( )A.50 nm ~100nmB.0.2μmC.10μmD.2nm6. 关于扫描隧道显微镜(STM),下列叙述错误的是( )A.STM是IBM苏黎世实验室的Binnig等人在1981年发明的B.可直接观察到DNA、RNA和蛋白等生物大分子C.仅可在真空条件下工作D.依靠一极细的金属针尖在标本表面扫描来探测标本的形貌7. 下面哪一种措施与提高显微镜分辨能力无关( )A.使用放大倍率较高的目镜B.使用折射率高的介质C.扩大物镜直径D.使用波长较短的光源8. 透射电镜的反差取决于样品对( )的散射能力A.二次电子B.入射电子C.样品质量厚度D.样品性质9. 仅仅反映固体样品表面形貌信息的物理信号是( ) A.背散射电子B.二次电子C.吸收电子D.透射电子10. 透射电镜所具有的特征有( )A.分辨率高B.放大倍数高C.成像立体感强D.标本须超薄11. 电子枪产生的电子是( )A.入射电子B.俄歇电子C.弹性散射电子D.二次电子12. 电镜标本制备时常用的固定剂有( )A.锇酸B.戊二醛C.丙酮D.过碘酸13. 下面属于超高压电子显微镜的优点的是( ) A.可用于观察厚切片B.可以提高分辨率C.可提高图像质量D.减少辐射损伤范围14. 二次电子检测系统不包括( )A.收集体B.显像管C.闪烁体D.光电倍增管15. 扫描电镜的反差是由( )决定的A.吸收电子产率B.反射电子产率C.二次电子产率D.特征X射线产率三、判断题1.1938年,俄国工程师Max Knoll和Ernst Ruska制造出了世界上第一台透射电子显微镜(TEM)。
中国科学院宁波材料技术与工程研究所公共技术服务中心扫描电镜培训考核笔试试卷姓名: 部门:一.选择题(10分,每题1分):1.大SEM(S4800)开机后,我们第一步要做的是flashing ,它的主要目的是为了去除针尖尖端吸附的气体。
作 flashing 时用的电流强度是( )。
A. 1B. 2C. 3D. 42. 在操作大SEM(S4800)的过程中,高低模式的切换通过( )键完成;低倍模式下最大放大倍数是( )倍。
A. B. C. D.E. 1000F. 2000G. 3000H. 40003.在电镜的操作过程中,我们一般在扫描速度Fast 或TV 下,移动或调节图片;在CSS1-6下,观察图片质量。
要拍质量较高的照片就需要在扫描速度在CSS 的模式下,点( )拍摄照片。
A. B. C. D.4.在刚作完flashing 的一段时间里做样品,电子束发射电流会非常不稳定有时会下降得非常快,这时点( )重置电流,使电流回到设置的值。
A. B. C. D.5. 在下面的几个选项中,哪个选项的图像不存在像散( )。
A B C6. 在把样品放入样品腔的过程中,要不要破坏SEM的真空。
()A. 需要B. 不需要C. 局部需要如果需要,小电镜需要破坏哪部分的真空(),大电镜需要破坏的是哪部分的真空()。
A. 样品交换腔B. 样品腔C. 电子枪7. 操作面板主要包括:放大倍数,聚焦,像散调解,亮度和对比度调节这4组旋钮。
它们的位置分别是:放大倍数(),聚焦(),像散调节(),亮度和对比度调节()。
8.样品放入样品腔的正确顺序是()a.按下EVAC按钮。
b.把样品台装入样品座并调节样品表面与标尺在同一高度,旋紧。
c.将交换杆向外拉至尽头卡紧,关闭交换室按紧。
d.按下CLOSE按钮。
e.MV-1打开后,插进交换杆将样品装入到底卡紧,在顺时针旋转样品杆至UNLOCK 位置后,拉出交换杆。
f.EVAC按钮常亮后按下OPEN按钮。
电镜复习题一、电子束与样品的作用1为什么电子显微分析方法在材料研究中非常有用。
答:电子显微镜用于电子作光源,波长很短,且用电磁透镜聚焦,显著提高了分辨率,比光学显微镜提高了1000倍,可以对很小范围内的区域进行电子像、晶体结构、化学成分分析研究;样品不必复制,直接进行观察,可以观察试样表面形貌,试样内部的组织与成分。
2电子与样品作用产生的信号是如何被利用的?扫描电镜利用哪几个信号?答:(1)高能电子束与试样物质相互作用,产生各种信号,这些信号被相应的接收器接收,经过放大器放大后送到显像管的栅极上,调制显像管的亮度,可以获得样品成分的内部结构的丰富信息。
(2)二次电子,背散射电子,吸收电子,特征X射线,俄歇电子,阴极荧光谱。
3、属于弹性散射的信号有哪几个?答:背散射电子,大部分透射电子。
4、荧光X射线、二次电子和背散射电子哪一个在样品上扩展的体积最大?答:荧光X射线,深度0.5~5um,作用体积大约0.1~1um5在铝合金中距离样品表面0.5um的亚表层有一块富铜相。
是否可以用二次电子或者背散射电子看到它?请详细解释原因答:可以用背散射电子看到,二次电子不行二次电子从表面5~10nm层发射出来,逃逸深度浅,二次电子的产额随原子序数的变化不如背散射电子那么明显,对原子序数的变化不敏感;背散射电子一般从试样0.1~1um 深处发射出来,能反映试样离表面较深处的情况;对试样的原子序数变化敏感,产额随原子序数的增加而增加,始于观察成分的空间分布。
二、扫描电镜及应用1.高分辨扫描电镜要采用场发射电子枪作为电子源的原因是什么?答:扫描电镜的分辨率与电子的波长关系不大,与电子在试样上的最小扫描范围有关,电子束斑越小,分辨率越高,但还必须越高。
但还必须保证电子束斑小时,电子束具有足够的强度。
2.解释扫描电镜放大倍率的控制方法答:M=l/L显像管中电子束在荧光屏上最大扫描距离和电子束在试样上最大扫描距离的比,l不变,改变L,通过调节扫描线圈上的电流进行,减少扫描线圈的电流,电子束偏转角度小,在试样上移动距离变小,放大倍数增加。
第一部分1.如果实验室因电路打火,正确的处理方式是?先切断电源,再用干粉或气体灭火器灭火,不可直接泼水灭火,以防触电或电器爆炸伤人。
如果火势太大,应迅速离开现场,并向有关部门报告以采取有效措施控制和扑救火灾。
2.在装载样品以及实验中移动样品台时,有些什么注意事项?①装载大样品时,应使用倾斜样品台倾斜样品;②用Z样品台提升样品时要十分的小心;③看断面的样品必须事先降低样品台;④关闭样品室门时,缓慢轻关,待抽真空时再松手;⑤移动样品时,将载物台向X轴和Y轴方向移动,并保证位移量小于最大允许值,以防止样品撞坏探头或撞伤物镜极靴。
3.普通扫描电镜测试对样品的基本要求是?①能提供导电和导热通道,不会被电子束分解;②在电子束扫描下具有良好的热稳定性,不能挥发或含有水分;③样品大小与厚度要适于样品台的尺寸;④样品表面应该清洁,无污染物;⑤磁性样品要预先去磁,以免观察时电子束受到磁场的影响。
4.按电子枪源分,扫描电镜分为哪几类,各有什么优缺点?钨灯丝枪,六硼化镧枪和场发射电子枪。
①钨灯丝枪其优点是钨灯丝造价和维护成本相对较低,缺点是分辨率较差;②六硼化镧枪寿命介于中间,但比钨枪容易产生过度饱和和热激发问题;③场发射电子枪价格最贵,需要高真空,但其寿命最长,不需要电磁透镜系统。
5.为什么不能在FEINova400场发射电镜对导磁性样品进行能谱分析或高分辨图像分析?导磁性样品会磁化电镜的极靴,一旦吸到物镜极靴上,降低电镜的分辨率,影响电镜的性能。
6.在实验过程中,如果需要短暂离开,需要进行哪些必要的处理?答案一1 看周边是否有有操作资格的人(老师或者是操作员)在场,如果有的话,让他们帮忙看着电镜;2如果没有有操作资格的人在场,那么此时要把高压卸掉,打开CCD,把样品台降低最低位置,退探头,使电镜处于静止状态才可短暂离开。
离开时需要放置“暂停实验”警示牌,告知他人,实验暂停。
第二部分1. X射线能谱仪由哪些部分组成?电子陷阱的功能是什么?由半导体探测器,前置放大器和主放大器,多道脉冲高度分析器组成。
电子陷阱的功能是储存载流子,只让X射线进入,防止电子进入探测器。
2. X射线能谱仪(EDS)、X射线波谱仪(WDS)和俄歇电子能谱仪各有什么优缺点?X射线能谱仪:优点:分析速度快,灵敏度高,谱线重复性好;缺点:能量分辨率低,峰背比低,工作条件要求严格。
X射线波谱仪:优点:波长分辨率很高;缺点:X射线信号的利用率极低,难以在低束流和低激发强度下使用。
俄歇电子能谱仪:优点:能做固体表面分析,对于轻元素(不包含H和He)具有较高的分析灵敏度;缺点:不能进行有机、生物以及陶瓷样品分析。
3.对比光学显微镜和透射电镜,扫描电镜有什么优势和劣势?4’从结构看,光学显微镜、透视电镜、扫描电镜有什么异同?优势:①分辨率较高;②试样制备简单;③放大倍数高且连续可调;④景深大,成像富有立体感;⑤多功能化,是一种综合分析工具。
劣势:分辨率及放大倍数较透镜差一些,造价及维护费用较光学显微镜高。
三者都有相应的放大系统和样品台及试样架,不同之处在与TEM和SEM是通过电路放大,并且都需要在真空环境中,光学显微镜是通过光路放大。
扫描电镜具有信号收集和显示系统,有扫描线圈做规律的扫描。
4.扫描电镜的工作电压、工作距离、束斑尺寸的含义是什么,各自对扫描电镜的成像质量和分辨率有什么影响?工作电压:给电子枪提供高压从而产生电子源,电压越高,分辨率越高;工作距离:样品和物镜之间的距离,缩短工作距离可以提高图像分辨率;(样本表层到末级聚光镜(通常我们叫他物镜,但不准确)的极靴的距离)。
束斑尺寸:电子束最后照射到样品表面的斑点尺寸,束斑小分辨率高,但是成像质量较差,因为一般来说,束斑小的分辨率高。
但束斑小相应的束流也小,转化为成像信号的电子也少,而统计噪音是固定的。
当信号值低于噪音的3倍时,将无法识别信号代表的信息。
信噪比是限制成像分辨率的一个重要基本因素。
相同的扫描区域,小束斑漏扫地方太多,所以边缘不平滑。
5. (高分子聚合物材料)陶瓷粉末样品如需要进行扫描电镜测试,制样时有些什么注意事项?①确保陶瓷粉末不具有磁性;②去除水分及挥发性物质;③陶瓷粉末样品必须粘结在样品座上;④对于导电性能不好的粉末样品需要镀一层导电膜(喷碳、喷金等)。
9.电子束与样品作用会产生哪些信号,这些信号包含哪些信息,可以分别被什么探头接收?二次电子-表面微观形貌-二次电子探测器背散射电子-主要反应原子衬度,还能反应表面微观形貌和晶体学信息-背散射电子探测器和EBSD探头接收特征X射线-反应微区成分-EDS或WDS探测器接收俄歇电子-表面微观形貌和微区成分-俄歇能谱仪透射电子-11. 聚光镜象散和球差形成的原因是什么,光阑的作用是什么?(通过哪些方法可以消除或降低他们的影响?)①像散是由于透镜磁场的非旋转对称而引起的;②球差是由于电磁透镜的中心区域和边缘区域对电子的折射能力不符合预定的规律而造成的;③光阑的作用:有效的限制镜头的大小,使从透镜外围通过的对焦光线对图像没有影响。
怎么消除影响?像散可以矫正(引入一个强度和方位可调的矫正场,现代称消像散器);用小孔径光阑挡住外围射线,可以使得球差迅速下降,也可以安装球差电镜。
13.影响扫描电镜分辨率的因素?1,电子束的实际直径;电子束的直径减小,分辨率提高,但是实际直径小到一定程度时,很难激发出足够的信号。
所以理想的电子束需要尺寸小而且束流大。
2,电子束在试样中的散射;电子束进入试样后,受到试样对电子的散射,从而电子束直径变宽,降低了分辨率,这种散射效应取决于加速电压的大小和试样本身的性质。
3,信号噪声比。
噪声来源于两个方面:点噪声、统计涨落噪声。
提高信噪比可以:①提高信号电流,②采用长的帧扫描时间,③减少像元数目,但是会降低图像的清晰度。
故提高信噪比的有效途径是提高电子束的亮度或适当延长帧扫描的时间。
14. EDS探测器的组成?准直器:防止杂散射线进入探测器电子陷阱:防止背散射电子进入探测器窗口:保持探测器内部的真空探测器晶体:X射线使硅原子电离,产生电子空穴对,通过场效应晶体管转换为电压脉冲。
场效应晶体管:收集来自于晶体的电荷脉冲并将其转换为电压脉冲前置放大器(Pre-amplifier):来自于FET的电压脉冲送至前置放大器,被进一步放大,再由信号线送至脉冲处理器。
冷指(Cold finger) :FET和锂漂移硅晶体安装于冷指末端。
低温液氮罐(Cryostat):液氮罐通过真空来隔热,薄窗可以维持真空,内部有分子筛以保持真空。
1 XRD能谱仪,如何操作才能避免“窗口”的破裂?答:不能让SEM的放气压力超过一个大气压,放气时间应不小于30s(窗口是为了维持探头在高真空中,它不能太厚,也不能太薄,太厚的话,低能量的X射线穿不过去,太薄,容易破坏);千万不能接触窗口。
2、在操作过程中,如何避免样品碰到极靴和探头?答:(1)在满足检测目的的基础上,尽量减小样品尺寸,特别是高度;(2)在送样时,打开样品室的CCD视频,观察样品的运动,防止样品与极靴和探头接触;(3)在调整工作距离、Z向移动样品时,打开CCD视频;(4)样品台X、Y向移动和平面旋转的时候,打开CCD视频,将工作距离调至最低后再移动和旋转样品台。
总之,样品台在移动时,始终将CCD视频打开,观察样品室内样品的运动,防止样品与电镜极靴和探头接触。
3、如何制取样品?简述其过程答:首先看样品是否导电,如果导电的话,要正确的取材,然后清洁样品表面,将样品固定好,进行腐蚀、电解抛光等处理,然后在高真空下观察;如果样品不导电,要看它是否可以喷金,可以喷金的样品,当正确取材、清洁表面后,再对其进行喷完金处理,然后按照上面所述的步骤进行,如果不可以喷金,正确选材、清洁表面、固定样品后,要在低真空下观察。
4、粉末样品会对电镜产生哪些影响?应采取哪些措施?答:(1)抽真空时粉末进入到真空系统,破坏真空系统;(2)进入光路,堵塞电子通道;(3)附着于极靴上,污染极靴;(4)进入EDS探头,损害探测器窗口;(5)污染电镜样品室措施:确认粉末是否为磁性材料或导磁材料,将粉末均匀的用导电胶粘附,不能堆积在导电胶上,一定确保粘附牢靠。
5、泄真空时,为什么要关闭高压(HV)后,务必等3分钟之后再充氮气泄真空?答:钨灯丝一般处于2700K的高压,当关闭高压时,灯丝依旧还很热,如果此时泄真空抽氮气的话,会氧化灯丝,严重的话,会使灯丝坏掉;时间长了,也会影响整个镜筒的状态,整个镜筒会产生氧化膜,影响分辨率。
6、为什么抽真空抽到10-3,才开高压?答:提高灯丝的寿命,这样会提高电镜的分辨率。
7、泄真空充氮气时,泄了几次都不行,应该怎么办?答:应该找实验室老师,看减压阀是没气了还是减压阀的设置不对,自己不要操作。
不能让SEM的放气压力超过一个大气压,放气时间应不小于30s。
8、背散射探头和背散射衍射探头是可以伸缩的,作实验时要注意哪些问题?答:背散射探头和背散射衍射探头是从样品室下面插到了电子枪下面,如果作实验的话,一定要看它是否在里面,如果在里面的话,要把它缩回去,否则影响实验,不小心的话,会碰到;如果实验中用到了这两个探头,用完后一定要缩回去。
9.为什么场发射扫描电镜的分辨率较钨灯丝扫描电镜高,而场发射扫描电镜中冷场发射电镜的分辨率更高?钨灯丝借助热电离原理发射电子束,钨灯丝加热至2700K,灯丝各处向四处发射电子,具有很高的发散性,而无法经透镜系统汇聚至很小的束斑,因此分辨率低(3nm),而场发射采用场电离的原理,电子束大部分从枪尖端发出,电子束更细,经透镜汇聚能得到更细的束斑,因此分辨率更高。
热场分辨率低于冷场的原因:热场需要将灯丝加热至2000K,因此除了尖端放电外,灯丝其他部位也有热放电发生,而冷场灯丝温度为室温,直接加强电场从灯丝尖端激发出电子束,束流更小,因此分辨率更高(0.4nm),但冷场灯丝易脏。
10. 扫描电镜的电子光学系统由哪些部件组成,各有什么作用?灯丝:在高温或高电场的作用下,发射电子,与样品作用激发出各种信号阳极:在阳极加速电压的作用下,电子穿过阳极小孔射向荧光屏出现亮点。
栅极:栅极加电压用来控制电子束大小,改变荧光屏亮度11. 你所研究的课题为什么要用到扫描电镜,需要用到哪些功能,说明相关性和可行性。
一. 电子光学系统(镜筒)1. 电子枪功能:发射电子并加速,加速电压低于TEM。
2. 电磁透镜功能:只作为聚光镜,而不能放大成像。
将电子枪的束斑逐级聚焦缩小,使原来直径为 50μm的束斑缩小成只有数个纳米的细小斑点。
构成:由三级聚光镜构成,缩小电子束光斑。
照射到样品上的电子束直径决定了其分辨率。
3. 扫描线圈⑴作用:使电子束偏转,并在样品表面作有规则的扫动。