英国FFC流体系统简介

《HOOK-UP系统简介》HOOK-UP系统简介工作特点1．晶圆厂简介2．晶圆厂所需气体之特性与功能3．晶圆厂所需化学物质及其特性4．工作内容1．晶圆厂简介晶圆厂是生产芯片的现代化厂房，其主要工作场所为无尘室。

无尘室是恒温恒湿的，温度为21°C。

相对湿度为65%。

一般晶圆厂无尘室分为扩散区（炉管区）、黄光区、蚀刻区、薄膜区。

2．晶圆厂所需气体之特性及功能由于制程上的需要，在半导体工厂使用了许多种类的气体。

一般我们皆以气体特性来区分。

可分为特殊气体及一般气体两大类。

前者为使用量较小之气体。

如SiH4、NF3等。

后者为使用量较大之气体。

如N2、CDA等。

因用量较大；一般气体常以“大宗气体”称之。

即Bulk Gas。

特气—Specialty Gas。

2-1 Bulk Gas在半导体制程中，需提供各种高纯度的一般气体使用于气动设备动力、化学品输送压力介质或用作惰性环境，或参与反应或去除杂质度等不同功能。

目前由于半导体制程日益精进，其所要求气体纯度亦日益提并。

以下将简述半导体厂一般气体之品质要求及所需配合之设备及功能。

2-1-1大宗气体种类：半导体厂能使用的大宗气体，一般有CDA、GN2、PN2、PAr、PO2、PH2、PHe等7种。

2-1-2 大宗气体的制造：<1> CDA/ICA(Clean Dry Air)洁净干燥空气。

CDA之来源取之于大气经压缩机压缩后除湿，再经过滤器或活性炭吸附去除粉尘及碳氢化合物以供给无尘室CDA/ZCD。

CDA System:空气压缩机缓衡储存槽冷却干燥机过滤器CDA<2> GN2利用压缩机压缩冷却气体成液态气体。

经触媒转化器，将CO反应成CO2，将H2反应成H2O，再由分筛吸附CO2、H2O，再经分溜分离O2&CnHm。

N2=-195.6°C O2=-183°CPN2将GN2经由纯化器(Purifier)纯化处理，产生高纯度的N2。

本科毕业设计6F级燃气蒸汽热水联合循环系统设计及分析学院材料与能源学院_专业热能与动力工程(热电方向) _ 班级_学号____ ____ __学生姓名_____ _ _ ____指导教师 _ _2011年 6月6F 级燃气蒸汽热水联合循环系统设计及分析材料与能源学院广东工业大学本科生毕业设计（论文）任务书题目名称6F级燃气蒸汽热水联合循环系统设计及分析学院材料与能源学院专业班级姓名学号一、毕业设计（论文）的内容1查阅资料，了解燃气蒸汽联合循环系统，了解当前城市供暖供热水现状接特点。

2联合循环系统优化设计，联合循环系统流程设计及平衡计算。

3系统经济性，能耗，环保等评价指标计算。

4与传统发电、供热、供热水系统对比。

二、毕业设计（论文）应完成的工作1翻译一篇5000字左右的课题相关的英文文献；2对当前各种供电、蒸汽、热水等技术及系统有较深入的理解和认识；3完成联合循环系统的流程设计及参数计算；4掌握能量转换及供应系统的多种评价方法；5从能耗、经济性、环境特性等多个角度出发与传统系统进行对比分析。

三、毕业设计（论文）进程安排四、应收集的资料及主要参考文献1. 燃气轮机与联合循环。

2. 燃气轮机技术。

3. 热力发电厂。

4. 传热学。

5. 工程热力学。

6. 换热器原理与设计。

7. 网上相关文献资料。

8. 高效换热器及其节能技术。

9. 燃气轮机与燃气-蒸汽联合循环装置。

10. 余热锅炉节能环保新技术。

11. 电厂设备及管道保温技术。

12. 中国期刊网上的有关文献，图书馆外文数据库的有关文献。

发出任务书日期：2011年 3 月1 日指导教师签名：预计完成日期：2011 年 6 月 18日专业负责人签章：主管院长签章：摘要6F级燃气轮机机组作为联合循环的中小型机组，具有占地面积小，结构紧凑，效率高投资少等优点。

本设计采用最新能源梯级使用方法，对天然气的高低阶能源综合利用，从而大大提高了能源利用效率，起到很好的节能效果。

流体机械调节与控制技术5引言流体机械是指能够利用液体或气体流动来传递能量的机械装置。

流体机械的调节与控制技术是在流体机械工作过程中，通过改变机械构造或调整工作参数，实现对流体机械性能的调节和控制的技术手段。

在流体机械系统中，为了实现流量、压力和温度等参数的稳定控制，需要对流体机械进行有效的调节和控制。

本文将介绍流体机械调节与控制技术的基本原理和方法。

1. 流体机械调节技术1.1 调节原理流体机械的调节原理是通过改变机械构造或调整工作参数，改变流体机械的工作状态，以实现对流体机械性能的调节。

流体机械调节技术通常包括以下几个方面：•调节装置的设计：优化调节装置的结构，提高调节装置的响应速度和精度。

•调节器件的选型：选择合适的调节器件，如阀门、泵组、压力传感器等，以实现流量、压力、温度等参数的调节。

•控制系统的设计：设计合理的流体机械控制系统，包括传感器、执行器和控制算法等，以实现对流体机械的自动控制。

1.2 调节方法流体机械的调节方法主要包括开环调节和闭环调节两种方法。

1.2.1 开环调节开环调节是指根据流体机械的工作特性及工况参数，选择合适的调节器件和调节控制策略，直接对流体机械进行调节。

开环调节的优点是结构简单、成本低，但缺点是对于复杂的工况变化和扰动容易产生调节误差。

1.2.2 闭环调节闭环调节是在开环调节的基础上加入反馈控制，在测量到流体机械的输出信号后，通过与设定值进行比较，调节控制器输出信号，实现对流体机械的闭环调节。

闭环调节的优点是能够减小调节误差，提高系统的稳定性和鲁棒性。

2. 流体机械控制技术2.1 控制原理流体机械的控制原理是根据流体机械的工作特性和工况要求，设计合理的流体机械控制系统，通过传感器采集流体机械的工作参数，通过控制器计算和输出控制信号，控制流体机械的运行。

流体机械控制技术主要包括以下几个方面：•传感器选择：选择合适的传感器对流体机械的工作参数进行测量，如流量传感器、压力传感器、温度传感器等。

FFC（Flow Factor Correction）流动系数是一种用于修正流体流动系数的参数。

在流体动力学和传热学中，流动系数是用来描述流体流动特性的一个重要参数，它影响着流体在管道中的流动状态、流量、压力和传热性能等方面的表现。

然而，在实际的流体流动过程中，由于流体本身的复杂性、管道的几何形状和边界条件等因素的影响，流动系数往往不是恒定的，而是随着流动条件的变化而变化。

因此，为了更准确地描述流体的流动特性，通常需要进行FFC流动系数的修正。

FFC流动系数的修正通常是根据实验数据或者经验公式进行的。

通过修正流动系数，可以更准确地预测流体在管道中的流动状态、流量、压力和传热性能等方面的表现，从而为流体系统设计和优化提供更加可靠的依据。

总之，FFC流动系数是一种用于修正流体流动系数的参数，其修正可以更加准确地描述流体的流动特性，提高流体系统设计和优化的可靠性和精度。

Flowmaster V7简介及汽车热管理系统及空气侧系统解决方案北京海基科技发展有限责任公司2009年8月目录1 Flowmaster V7介绍 (3)1.1精确预测系统参数 (3)1.2完备的分析模块 (5)1.3完备的元件库、数据库及用户自定义模型功能 (6)1.4流程化的平台界面 (9)1.5强大的报表生成工具（Crystal Report） (11)2 Flowmaster仿真平台解决方案 (12)2.1热流体系统中心数据库的建立 (13)2.1.1分布式安装与中心数据库的建立 (13)2.1.2专业数据库的定制 (13)2.1.3强大的数据管理功能 (14)2.2智能建模与专家系统 (15)2.3项目成员与角色分工 (16)2.4软件集成与半实物仿真 (17)2.4.1 Flowmaster支持基于COM的开发 (17)2.4.2 Flowmaster与PLM/PDM/CAD系统的集成 (17)2.4.3与三维CFD软件和MATLAB软件的耦合仿真 (18)2.4.4与A VL Cruise\BOOST的接口 (19)2.4.5与A VL EXCITE的接口 (20)2.4.6通过MpCCI实现多物理场耦合 (22)2.4.7与OFFICE软件的接口 (22)2.4.8半实物仿真 (23)2.5产品全生命周期的应用与流程自动化 (24)2.6决策支持 (25)3 Flowmaster在汽车热管理系统的应用 (26)3.1 汽车热管理简介 (26)3.2 典型部件模型 (29)3.2.1 管道 (29)3.2.2 换热器 (31)3.2.3节温器模型 (33)3.2.4膨胀水箱 (33)3.2.5冷却风扇 (34)4 Flowmaster在汽车空气侧系统的应用 (35)4.1 AVS模块 (35)4.2 空气侧系统应用案例介绍 (37)5 Flowmaster在国内外汽车领域典型客户的应用介绍 (41)1 Flowmaster V7介绍Flowmaster是当今全球最为著名的热流体系统仿真分析平台，以其高效的计算效率，精确的求解能力、便捷快速的建模方式及面向能源核电行业的专业性而被许多全球著名的能源领域用户所采用。

MAu+FFU+DCC系统1 MAU+FFU+DC详细介绍目前电子行业洁净室常用的MAU+FFU+DC系统，MAU主要控制室内的湿度和保证室内的正压，FFU 通过空气循环过滤保证洁净度，而DC是来除去室内的显热从而保证室内的温度。

(1)MAU(Make—uDAirUnit)组合式外气空调箱是由风机、冷盘管、热盘管(或电加热)、空气过滤器(初级、中级、高级三级过滤)、加湿器组成，通过初中效过滤、预热、降焓、减湿、再热、高效过滤后送入回风层。

(2)FFU(FanFiherUnit)是模数化的小型风机过滤单元，安装在顶棚框架上，空气由FFU的风机加压后经HEPA或ULPA过滤送入室内，如此循环，其换气次数直接决定室内洁净度的不同。

FFU的技术性能取决于风机和HEPA或ULPA的质量，制造厂一般是通过额定工况下的性能参数，或FFU整机的空气动力特性曲线。

FFU的风机均采用外转子电机以减小高度，一般配有电子式过载保护开关、故障指示灯，故障输出节点，有传统的低、中、高三档交流控制，目前直流变频控制亦越来越应用在洁净等级比较高的系统。

早在上个世纪6O年代，美国新墨西哥州Sandia国家实验室的科学家们利用HEPA过滤的方法研制成功了层流技术，其后商用FFU陆续在美国一些手术室及工业厂房得到广泛的应用。

但直到1984年，在亚洲才出现大规模应用FFU的事例(大约有5000台)。

是什么原因导致FFU在这么长的时间没有得到广泛的发展呢?有三个问题占主导地位：噪声较大问题；压力平衡问题，在很大的静压箱里，各不同角落的风机是否能得到均衡的压力，这在当时也是不能够得到保证的；维护问题，FFU本身造价就比较高，如果它的电机寿命不能保证的话，更换又会带来附加投资。

这些都是造成当时的企业不选择使用FFU的主要原因。

但是这一切，在1984年都发生了改变。

首先是噪声问题得到了控制，大规模的FFU洁净厂房都可以把噪声控制在65dBA以下，这符合工业厂房的标准。