掩模版缺陷检测标准

掩模板的制作过程在IC加⼯过程中，需要使⽤中间掩模版和光掩模版。

我们定义中间掩模版是为整个基⽚曝光⽽必须分步和重复的包含图像的⼯具。

通常图像的尺⼨被放⼤到基⽚上图像的2倍到20倍，但在⼀些情况下也⽤相等的图像。

光掩模版被定义为在⼀次曝光中能把图形转移到整个硅⽚中（或另⼀张光掩模版上）的⼯具。

中间掩模版有两种应⽤：1）把图形复印到⼯作掩模版上。

2）在分步重复对准仪中把图像直接转移到硅⽚上。

在1X硅⽚步进光刻机中，掩模版上的图形与投影到硅⽚上图形⼀样⼤；在缩⼩步进光刻机中，掩模版上的图形是放⼤的真实器件图像。

在VLSI中，电⼦束曝光10X或5X的掩模版，或直接⽤电⼦束产⽣1X 的⼯作掩模版玻璃的质量和准备:⽤以制作掩模版的玻璃必须内部和两表⾯都物缺陷。

必须于光刻胶的曝光波长下有⾼的光学透射率。

被⽤来制作掩模版的玻璃有好⼏种，包括：a）钠钙玻璃b）硼硅玻璃c）⽯英玻璃。

绿⾊的钠钙玻璃和低钠⽩钠钙玻璃（贵50％）容易被拉制成⼤⾯积的薄张，⽽且表现出很好的质量，它们热膨胀系数⾼（93×10－ 7cm/cm°c），使得它门⼤⼤不适合在投影中应⽤。

在应⽤中要求低的热膨胀系数的材料，就选择硼硅玻璃和⽯英玻璃（热膨胀系数分别是37和5×10－ 7cm/cm°c）。

在⼀些情况下，周围温度的变化导致硅⽚上图形的定位错误，此时就要求选择硼硅玻璃和⽯英玻璃。

⽯英圆⽚是超低膨胀系数的玻璃，它的热膨胀系数⾮常⼩。

⽯英玻璃同样在深UV和近深UV区域内有很⾼的穿透系数。

⽯英相当贵，现在倾向于发展⾼质量的合成⽯英材料。

天然⽯英通过⽕焰熔融法加⼯，⽤氧氢⽓溶化岩⽯晶体。

合成⽯英是⽤超纯SiCl4，它提供宽的光投射铝区域，低的杂质含量和少的物理缺陷。

它的应⽤随着低膨胀率和深UV的要求变得逐渐⼴泛。

圆⽚被抛光、清洗，在形成掩模图像之前被检查。

抛光是个多重步骤，在图⽚两个表⾯连续不断地分级研磨。

图⽚在检测和掩模之前被清洗、冲洗、⼲燥。

焊
盘
对
准
各管脚已超出焊盘以外，
度
不合格状态
超出管脚宽度的50%
（>1/2W）。
PPT文档演模板
目视检查规范
电子元器件焊接目视标准图解
器件管脚与焊盘的对准度：
位置
状态
说明
图例
QFP器件管脚浮起允许 允许的最大浮起高度是管
表
状态
脚厚度（T）的两倍。
贴
器
件
焊
J型器件管脚浮起允许 允许的最大浮起高度是管
接 浮
器件纵向偏移，但焊盘保 有器件宽度的20%以上;金 属封头纵向滑出焊盘，但 仍盖住焊盘5mil(0.13mm)以 上。
器件纵向偏移，焊盘为保 有其宽度的20%；金属封头 纵向滑出焊盘，盖住焊盘 不足5mil(0.13mm)。
目视检查规范
电子元器件焊接目视标准图解
器件管脚与焊盘的对准度：
位置
状态
说明
短路（锡桥）：绝对不允许有锡桥，桥接与两导体间造成短路。
锡渣：三倍以内放大镜与目视可见的锡渣，视为不合格。 组装固定孔吃锡：
组装螺丝孔的内孔壁不得沾锡。
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目视检查规范
目视检验标准 PCB线路板标准
PCB板的清洁度：
1. 不可带有外来杂质，如器件引脚、明显的指纹与污垢（灰尘）等。
2. 无明显的焊接或器件辅料的残留，如焊锡膏（助焊剂）、导热硅脂等 。
图例
圆 筒 形 贴 器 件 管 脚 焊 盘 的 对 准 度
PPT文档演模板
理想状态 允许状态 不合格状态
组件的“接触点”在焊盘 的中心。（此图省略掉了 焊锡）
器件管脚端超出的焊盘部分是 器件直径的25%以下（≦1/4D） 的；器件长出焊盘内侧的部分 小于或等于器件管脚金属电镀 宽度的50%（≦1/2T）。

∨
跳线变形
不造成短路隐患的情况下:OK判定。每块板多于3处，OK判定，现象记录反馈。
∨
少螺丝
HS IC螺丝少时NG判定，做不良标示，记录。
∨
LEAD脱插
不可有，NG品返修。
∨
电解电容反向
不可有，NG品返修。
∨
5.检查基准
检查项目
不良内容
不良现象
判定基准
不良等级
CR
MA
MI
TOP 面
电阻反向
不可有NG品返修
检查项目
不良内容
不良现象
判定基准
不良等级
CR
MA
MI
TOP面
散热器变形
散热器变形的不可以做不良标示，记录。
∨
板面过锡
不可有NG品返修
∨
电感破损
没有裂纹且破损面积小于5％为OK
30F功率电阻为位置
元器件之间禁止电器类或发热类接触
∨
线破损判定
因为焊接和原料引起的线破损要求：在焊接线裸露高度2MM基础上，总破损裸露不超过5MM
∨
热敏电阻破损
-热敏电阻 本体破损不超出1.5mm管理 OK, 本体裂纹,NG处理 返修。
∨
瓷片电容破损
-瓷片电容 部品Lead包围部分破损, 未伤及部品本体红色部分判定良品.NG产品返修。
∨
电感、磁珠破损
磁珠破损不超过磁体的5%为良否则NG. 返修。
∨
连接器破损
-连接器 无论横向或纵向，只要破损，即NG，返修。
∨
PCB起泡
有起泡即为缺陷产品NG做标示记录。
∨
PCB变色
PCB变色不能有，据不良状态单独确认标示记录。

车辆掩木标准全文共四篇示例，供读者参考第一篇示例：车辆掩木是指在车辆行驶过程中，为了保护车身和车辆周围的设施而设置的一种障碍物。

车辆掩木在道路交通管理中起到了至关重要的作用，不仅可以保护车辆和周围环境的安全，还可以提高交通流畅度，减少事故的发生率。

制定一套完善的车辆掩木标准对于保障道路交通安全具有重要意义。

一、车辆掩木的种类车辆掩木根据其材质和形状的不同，可以分为多种类型。

常见的车辆掩木包括金属掩木、混凝土掩木、塑料掩木等。

金属掩木具有较好的韧性和抗冲击性，适用于高速道路和交通密集区域；混凝土掩木具有较强的稳定性和耐久性，适用于道路边坡和路缘石处；塑料掩木具有较轻便的特点，适用于临时施工和交通管理。

二、车辆掩木的设置位置和高度车辆掩木的设置位置应根据道路的具体情况进行确定，一般设置在道路两侧、转弯处、隧道口、桥梁边等易发生事故的地点。

车辆掩木的高度应根据车辆类型和道路等级进行确定，一般设置在车身中央位置的掩木高度应为1000mm，设置在道路边缘位置的掩木高度应为500mm。

三、车辆掩木的颜色和反光性能车辆掩木的颜色应符合国家标准，一般采用红、黄、蓝等醒目的颜色，可以提高车辆驾驶员的警觉性。

车辆掩木的反光性能也非常重要，可以通过在掩木表面涂覆反光材料或设置反光条来提高夜间的可见性，减少夜间交通事故的发生。

四、车辆掩木的固定方式和易拆性车辆掩木的固定方式应牢固可靠，能够经受车辆的撞击和风吹雨淋。

一般采用螺栓固定或混凝土浇筑等方式固定。

车辆掩木的易拆性也非常重要，可以根据道路施工和维护的需要进行拆卸和安装。

车辆掩木的材质应符合环保要求，能够在使用过程中不产生有害物质和二次污染。

一般采用可再生材料或经过环保处理的材料制造。

车辆掩木的生产和使用过程应符合国家相关标准和规定，确保不对环境造成不良影响。

六、车辆掩木的标志和警示车辆掩木上应设置明显的标志和警示语，提醒车辆驾驶员注意安全，减速慢行。

还可以设置反光灯、报警器等设备，提高夜间和恶劣天气下的警示效果，确保车辆和行人的安全。