RG-PED-WI-001制绒作业指导书
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分发部门份数分发部门份数修改日期版本修改内容号文控中心(DCC)正本人力资源部 1 2012/11/07 A/0 首版发行总经理 1 总务部0常务副总 1 商务副总0管理者代表 1 商务部0技术副总 1 昆山办事处0技术研发部 1 财务副总0生产工艺部 1 财务部0品质控制部 1 董事长0生产副总 1生产部铸切0生产部电池片 1设备部0厂务部0安环部0行政副总0资材部0分发总数10编制 / 日期： /审核 / 日期： /受控印章受控印章为红色有效，请依据受控副本；批准 / 日期： / 未经授权，本文件不得拷贝及外传。
1.0目的在硅片表面用一定比例硝酸,氢氟酸及水的混合液处理以形成有一定规则的绒面。
2.0范围适用于多晶硅片(硅片型号：RG156*156)。
3.0职责3.1所有操作人员都必须严格按照本文件进行操作。
3.2在操作过程中遇到问题应及时向相关技术员或设备工程师反应，相关技术、设备工程师及时提供帮助。
4.0作业流程4.1注意4.1.1用腐蚀性的化学品工作时需要足够的防护，需使用能抵抗腐蚀性的遮板、衣服、鞋、手套和护目镜。
4.1.2确保自己如果发生事故,能找到适当的紧急冲洗设施。
决不单独进入机器内工作，正在作业的机器不允许打开、除去盖板，因为内部气体有特别危险的碱或酸化学品。
4.2生产准备4.2.1穿上工作服，戴上PVC乳胶手套；清洗操作人员需要戴上安全眼镜、防护面具、防酸碱围裙、长袖防酸手套。
4.2.2确保手套没有粘有油脂性物质，严禁直接接触硅片的正反面，只允许接触硅片的两侧，戴好手套后，在插片过程中禁止手套正面接触皮肤等污染物体，如接触过皮肤、头发或者是带有油脂的物品，请更换手套。
4.2.3确认配套各动力项目是否正常4.2.3.1压缩空气：压缩空气压力要求4～6bar 的气压。
当 Air Knifes 不使用时，压力必须大于4bar。
4.2.3.2化学品供应：查看供应化学品的手阀是否处于开启状态。
4.2.4装片前，结合实际生产情况记录产品相关信息。
例如：记录硅片材料的箱体号、多晶号及流程单等信息。
4.2.5 动力要求见下表编制审核批准工艺名称管理内容管理规格制绒工艺纯水压力 3.5-4bar 自来水压力>1.2bar 压缩空气4～6bar 冷却水压差≥2bar 冷却系统温度≥ 6℃4.3生产操作过程4.3.1开机的操作过程4.3.1.1确认设备总电源已开启并且电脑已进入到软件操作界面.4.3.1.2若没有则需先打开总电源开关,如下图一所示；打开ups电源开关,如下图二所示；打开电脑显示器，按下屏幕下方绿色按钮（on），如图三所示。
图一(总电源和照明灯开关) 图二(设备ups电源开关)图三（电脑显示器开关）编制审核批准4.3.1.3点击桌面上的控制机台运行的系统软件。
4.3.1.4软件打开后，点击 Login 进入登陆界面，输入用户名及密码（由各班工序长及负责该工序工艺的工艺人员操作），点击 ok 进入,点击“ Manual”进入手动模式，当机台完全进入该模式功能后，点击“Start production”按钮,机台运行，设备进入自动模式，在界面上所有操作单元下方从黄色“Manual”转变成绿色“Auto”。
4.3.1.5界面显示各模块均为绿色“Ready”和绿色＂in process＂．即设备进入正常生产状态。
4.3.1.6确认监测屏幕上显示各模块都准备运行和设备门窗均关闭。
界面各模块无＂NotReady"显示。
4.3.1.7确认各模块有无报警信息，若有任何异常，通知当班工艺工程师和设备工程师。
4.3.2关机的操作过程：4.3.2.1点击界面下方的“ Scheduled Stop”按钮。
4.3.2.2等待机台10-15分钟，机台自动会将Bath 中的反应液排到 Tank内。
4.3.2.3等待 Bath 排液完成，在 Bath 模块上只显示为淡灰色“Filled with chem”。
表明液体排完。
4.3.2.4检查各门的位置，正确地调整好它们。
4.3.2.5点击“off”，。
点击右上角关闭按键，弹出一个对话框门，并点击“Yes”，将退出操作系统。
4.3.2.6点击关机软件，弹出一个对话框门，并点击“Yes”，电脑将在20s后关机；随后点击机台上的白色OFF按钮。
4.3.2.7关掉设备的ups电源开关，关闭电源柜电源 (长时间停机,即超过一天停机时需关闭设备总电源)。
4.4槽的清洗及药液更换4.4.1旧药液槽的处理4.4.1.1制绒槽（Process bath）a.选择菜单双击Intex HS> Process bath；b.“Manual Functions”，点击此按钮选择手动模式，如下图所示；编制审核批准c.点击“Drain”, Bath 和Tank内的化学品将会全部被排掉；d.等化学品排放过程完成，图中蚀刻槽和储液罐将显示Empty(黄色)，此时可以准备下一道程序；e. Bath 和Tank内冲洗，按下“Clean”冲洗(屏幕的右边)，制绒槽以及储液罐将充满水和开始循环清洗（程序可设定冲洗次数），在如图所示栏目中；清洗完成之后，系统自动将水排掉，此时蚀刻槽以及储液罐的状态为 Empty（黄色）。
4.4.1.2碱洗槽（Alkaline bath）a.选择菜单至“Intex HS> alkaline bath”；b.“Manual Functions”，点击此按钮选择手动模式，如下图所示编制审核批准c.按下“Drain”碱槽的化学品将被排掉；d.等待直到图表显示为“Empty”(黄色)；e.碱槽的冲洗，按下“Clean”冲洗(屏幕的右边)。
碱槽将充满水和开始循环。
可通过程序设定冲洗次数。
清洗完成之后，系统自动将水排掉，碱槽内状态保持空的；f.用水枪手动冲洗盖子4.4.1.3酸洗槽（Acidic bath）a.选择菜单至“Intex HS > Acidic bath”；b.“Manual Functions”，点击此按钮选择手动模式；c.按“Drain”排水；d.等待，直到图表显示“empty”(黄色)；编制审核批准e.开始清洁酸洗槽。
按下“Clean”冲洗(屏幕的右边)。
酸洗槽将充满水并开始循环。
程序可设定冲洗次数。
完成之后，自动将水排掉，直到图表显示“empty”(黄色)。
整个过程中用水枪手动冲洗盖子。
4.4.2更换及重新配液4.4.2.1更换HF/HNO蚀刻槽的化学品3a.对于制绒槽中有旧的药液的情况：①选择菜单双击Intex HS> Process bath；②“Manual Functions”，点击此按钮选择手动模式；③按“change bath”更换HF/HNO。
3Bath 和Tank 将会排干化学品。
之后，Bath 和Tank 将会充满水并开始清洗。
清洗完成后水将自动被排干,接着化学品充填开始，填充的数量和比例由相应的程序（Recipe）决定。
设备首先添加的是DI water，然后才是化学品。
当新药液全部加入储液罐之后，点击“Init”蚀刻槽（Process bath ）将被自动充满，循环泵开始工作将Tank内药液送入蚀刻槽，当制绒槽体充满药液后，切换到自动模式。
b.对于制绒槽已经被清洗完并且空着的情况下：编制审核批准的充填方法指示。
机器的状态应该是:①在这个部分里，你将找到新HF/HNO3蚀刻槽以及储液罐水被排干并且清洁；②选择想要的从Intex HS> Process bath〉Recipe；③检查化学品的比例和第一次充填的体积；④确认首次配液时各化学品的浓度配比；⑤通知集中供液，特别是药房各化学品的余量，并及时更换；⑥选择“Intex HS”单击”Show” >”Manual”,将槽更改为手动模式；。
⑦点击按钮“ fill chemistry”. DI water 首先被充满到储液罐，然后是HF/HNO3已经加入的化学制品的数量，可以在屏幕下边的图表“Consumption chemistryfirst fill”中显示。
在添加过程中，工艺槽会自动开始内部循环；编制审核批准⑧整个配液时间大约是在120分钟（包括换液和降温），如果化学制品没有在设定时间内添加完成，将有错误“filling timeout”, 配液会自动中断。
化学制品的剩下数量会在屏幕下边显示“Remaining Volume”. 界面里显示。
当外围的供液系统更换了新的化学制品以后，可以继续添加药液，按.“fill chemistry”剩下数量的药液将被继续添加；⑨在准备过程中的蚀刻液的温度由于酸和DI水混合时放热，可能会升高至40度以上；⑩等待直到药液添加完毕；点击按钮Init ，药液将从储液罐被送入蚀刻槽，直到蚀刻槽显示为“full chem.”；等待到达指定的化学溶液温度范围。
蚀刻槽的状态在图表里将转向“Ready ”(绿色)；返回自动模式在按按钮“Startproduction”。
4.4.2.2碱槽a.选择菜单“Intex HS> alkaline bath”；b.点击“Manual.”，转换至手动模式；c.确认碱槽的状态显示为Empty, 开始添加药液，点击“fill chemistry”, DI-water将被首先添加，随后KOH 将被添加；d.点击按钮Init ，药液将从储液罐被送入蚀刻槽，直到蚀刻槽显示为“full chem.”(绿色)；e.等待碱槽的液位到达相应液位感应器，切换至自动模式“Start production”。
4.4.2.3漂洗槽 1、漂洗槽2和漂洗槽3a.选择菜单“Intex HS > rinse1”“Intex HS > rinse2”或者“Intex HS > rinse3”；b.点击“Manual.”，转换至手动模式；c.添加纯水，按键“fill DI”；d.等待bath 的水位到达相应感应器和图表读值为“full DI.” (绿色)；e.切换至自动模式“Start production”。
4.4.2.4 酸洗槽Acidic batha.选择菜单“Intex HS > Acidic bath”；编制审核批准b.点“Manual.”，转换至手动模式；c.确认酸洗槽的状态显示为Empty，然后开始添加药液。
点击“fillchemistry”,DI-water 将被首先添加，然后是HF/HCL；d.等待酸洗槽的液位到达相应液位感应器和状态栏显示为“full chem.” (绿色)；e.切换至自动模式“Start production”。
4.5酸制绒一般工艺设置参数4.5.1制绒槽参数设置RENA:总体积：450L，HNO3：278L，HF：36.7L。
