高精度压力传感器中温度补偿技术研究
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高 精 度压 力传 感 器 中温 度 补 偿 技 术研 究
卞 金 洪 王 吉林 周 锋 , ,
(. 1盐城工学 院 信息 工程 学院 , 江苏 盐城 24 5 ; . 2 0 1 2 东南大学 信息科学与工程学 院 , 江苏 南京 2 09 ) 10 6
摘
要 : 导体 的温度 特 性会使 压 阻式 压力 传感 器的 零点 和灵敏 度 随温度 而发 生 漂移 , 造成 半 是
第 1 6卷
第 6期
哈 尔 滨 理 工 大 学 学 报
J OUR NAL OF HARB N UNI RST CI I VE I Y OF S ENC E AND T CHNOL E OGY
V l 1 N . o_ 6 o6 De .2 1 c 0 1
21 0 1年 1 2月
Hih Ac u a y Pr s u e S n o s g c r c e s r e s r
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B A Jn h n I N i—o g , WA il , Z NG J— n i HOU e g ' Fn
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压 力传 感 器测 量误 差的主要 因素. 于 高精度 压 力检 测 系统 , 对 温度 漂移 已成 为提 高其 系统性 能的重
要 障碍 , 环境 温度 变化较 大 的应 用领 域更是 如 此. 分 析 多种 温补 方 法优 缺 点 的基 础 上 , 出 了 在 在 提 种 结合 多项 式 曲线拟合 和 三 次样 条插 值 的温度 补偿 方 法 , 可以较 好地提 高测量 压力 的精确 度 , 提
法 和软件 补偿 方法 . 根 据 传感 器 的硬 件特 性 进 但
0 引 言
压 阻式压 力传 感器 是利 用半 导体 的压 阻效 应制 成 的压力 传感 器 件 , 特 点 是 体 积小 、 度 高 、 定 其 精 稳
性好 , 广 泛 应 用 于 电 力 、 化 、 车 电 子 等 领 被 石 汽
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一
升压 力测 量 系统性 能.
关键 词 : 力传 感 器 ;温度补 偿 ;曲线拟 合 ; 条插值 压 样 中 图分类 号 : P 9 T 31 文献标 志码 : A 文章 编号 : 0 7 2 8 ( 0 1 0 — 0 5 0 1 0 — 6 3 2 1 )6 0 5 — 3
R s a c fT m p r t r mp n a in o e e r h o e e a u e Co e s t n o
2 Cl g f nom tnSinea dE gne n , otes U i rt,N nig2 09 . ol eo r ai c c n n er g Suh at nv sy aj 106,C ia e I f o e i i ei n hn )
Ab tac Th e s r t: e tmpea u e c r ce i fpr su e s n o r t r haa tr tc f s mio u t r wil i k e o a d s n ii t o e s r e s r vy drf wi e e a u e.I s t e ma n f co h tc u e a u e n ro f p e s r e o . F r hg e iin it t t mp r t r h ti h i a t rt a a s s me s r me t er r o r s u e s ns r o ih pr cso pr s u e d tc in s se ,e p c al n a p ia in h tt mp r t e c a g s g e t e s r e e t y tms s e ily i p lc to s ta e e aur h n e r a l o y,t mp r t e d f h s b — e e aur r t a e i
o a ey o e e au e c mp n ai n meh d fav r t ftmp r t r o e s t t o s,a d p o s so ha o i e u v ti g a d c bi p i e i— i o n rpo e net tc mb n sc r e f tn n u c s ln n i t r lto epoa in.Th smeh d c n i r v h y tm ro a c . i t o a mp o e t e s se pe r n e f m Ke r y wo ds: r su e s n o s e p e s r e s r ;tmpe au e c mpe s t n;c r e ft n rtr o n ai o u v t g;c i p i e i tr oain i i ub c s ln n e p lto