无油涡旋真空泵操作说明书
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安全信息
一般安全信息
提出必须严格遵守的步骤，以防止对人员造成危险。
警告
Hale Waihona Puke 提出必须严格遵守的步骤，以防止损伤或破坏设备。
注意
Oerlikon Leybold 公司的无油涡旋真空泵，在正确使用和按照此说明书操作 的条件下，操作是安全有效的。用户的责任是要仔细阅读并严格遵守本章及整 个说明书中所述全部安全注意事项。本产品必须由经过培训的人员操作和维 护。关于特殊要求和规章条例，请询问当地、州和国家机关。其它安全、操作 和/或维护方面的问题，请问最靠近的 Oerlikon Leybold 公司办事处提出。
确保接地
安全信息
切勿触摸 避免潮气 不要更改设备 带热保护器
把泵安装 在合适的位置
在指定温度下 使用
进行定期维护
切勿将手指或异物放入泵的入口或冷却风扇的空隙中，否则， 可能造成伤害。
不要把泵安装在使之暴露于潮气之下的地方，例如雨水或蒸 汽中。暴露在潮湿环境下，可能造成电击。
决不要更改设备。这种变更可能损坏设备或缩短它的使用寿 命。
说明书 GA01423
产品号：
133 000 133 001 133 002
无油涡旋真空泵
SC 5D SC 15D SC 30D
133 100 133 101 133 102
133 003 133 004
（汉语说明书仅供参考，如有疑义以英文说明书为准） 1
目录
一般安全信息 .................................................................................................................................3 1 说明 .........................................................................................................................................6 1.1 各部分名称.............................................................................................................................6 1.2 订货信息.................................................................................................................................8 1.3 技术数据.................................................................................................................................9 1.3.1 电动机的相关数据...............................................................................................................10 1.3.2 性能数据..............................................................................................................................11 1.3.3 外部尺寸..............................................................................................................................12 2 安装 .....................................................................................................................................15 2.1 检查产品...............................................................................................................................15 2.2 工作环境...............................................................................................................................16 2.3 泵的安装...............................................................................................................................17 2.4 电气连接...............................................................................................................................18 2.4.1 单相电动机..........................................................................................................................18 2.4.2 三相电动机..........................................................................................................................22 2.5 与真空系统连接 ...................................................................................................................25 3 操作 .....................................................................................................................................26 3.1 起动 ......................................................................................................................................27 3.2 抽气 ......................................................................................................................................28 3.3 抽排蒸汽（空气冲洗操作）.................................................................................................28 3.4 停机 ......................................................................................................................................31 4 维护 .......................................................................................................................................32 4.1 维护时间表...........................................................................................................................34 4.2 Oerlikon Leybold 公司服务...................................................................................................35 4.3 清理 ......................................................................................................................................35 5 排除故障 ...............................................................................................................................36 6 备件 .......................................................................................................................................37
一般安全信息
提出必须严格遵守的步骤，以防止对人员造成危险。
警告
Hale Waihona Puke 提出必须严格遵守的步骤，以防止损伤或破坏设备。
注意
Oerlikon Leybold 公司的无油涡旋真空泵，在正确使用和按照此说明书操作 的条件下，操作是安全有效的。用户的责任是要仔细阅读并严格遵守本章及整 个说明书中所述全部安全注意事项。本产品必须由经过培训的人员操作和维 护。关于特殊要求和规章条例，请询问当地、州和国家机关。其它安全、操作 和/或维护方面的问题，请问最靠近的 Oerlikon Leybold 公司办事处提出。
确保接地
安全信息
切勿触摸 避免潮气 不要更改设备 带热保护器
把泵安装 在合适的位置
在指定温度下 使用
进行定期维护
切勿将手指或异物放入泵的入口或冷却风扇的空隙中，否则， 可能造成伤害。
不要把泵安装在使之暴露于潮气之下的地方，例如雨水或蒸 汽中。暴露在潮湿环境下，可能造成电击。
决不要更改设备。这种变更可能损坏设备或缩短它的使用寿 命。
说明书 GA01423
产品号：
133 000 133 001 133 002
无油涡旋真空泵
SC 5D SC 15D SC 30D
133 100 133 101 133 102
133 003 133 004
（汉语说明书仅供参考，如有疑义以英文说明书为准） 1
目录
一般安全信息 .................................................................................................................................3 1 说明 .........................................................................................................................................6 1.1 各部分名称.............................................................................................................................6 1.2 订货信息.................................................................................................................................8 1.3 技术数据.................................................................................................................................9 1.3.1 电动机的相关数据...............................................................................................................10 1.3.2 性能数据..............................................................................................................................11 1.3.3 外部尺寸..............................................................................................................................12 2 安装 .....................................................................................................................................15 2.1 检查产品...............................................................................................................................15 2.2 工作环境...............................................................................................................................16 2.3 泵的安装...............................................................................................................................17 2.4 电气连接...............................................................................................................................18 2.4.1 单相电动机..........................................................................................................................18 2.4.2 三相电动机..........................................................................................................................22 2.5 与真空系统连接 ...................................................................................................................25 3 操作 .....................................................................................................................................26 3.1 起动 ......................................................................................................................................27 3.2 抽气 ......................................................................................................................................28 3.3 抽排蒸汽（空气冲洗操作）.................................................................................................28 3.4 停机 ......................................................................................................................................31 4 维护 .......................................................................................................................................32 4.1 维护时间表...........................................................................................................................34 4.2 Oerlikon Leybold 公司服务...................................................................................................35 4.3 清理 ......................................................................................................................................35 5 排除故障 ...............................................................................................................................36 6 备件 .......................................................................................................................................37
