315说明书

ZRT－315－15W3

高 真 空 退 火 炉

使 用 说 明 书

兰州真空设备有限责任公司

2009年12月

兰州真空设备有限责任公司 ZRT－476－14W3使用说明书

- 1 - ZRT-315-15W3高真空退火炉

使用维护说明书

该设备为我厂最新研制的高真空退火炉，配有进口原装智能化控温仪表，造型美观、结构简练，主要用于稀有金属退火、脱气等处理工艺，同时也是一种通用型真空电阻炉，具有较高的控温精度和温度均匀性，有较高的极限真空度和工作真空度，抽空时间短，其适应性很强，可用于多种材料的真空脱气、真空干燥、真空回火、退火等工艺，经其处理的零件表面光亮、清洁、无氧化，许多大气条件下无法完成的异种金属焊接和热处理等工艺能在该设备中顺利的完成，用途非常广泛。

一、主要技术参数

1. 型号： ZRT-315-15W3高真空退火炉

ZRT：高真空退火炉 315：加热功率（KW）

15：最高工作温度1450℃ W：卧式

2. 加热器额定功率： 315（KVA）

3. 最高允许加热温度： 1550℃

4. 控制温区数： 3区

5. 额定工作温度： 1450℃

6. 均温区尺寸： φ700×2200L

7. 均温特性： ±3℃（18点测温，1000℃恒温时，1450℃恒温时9点测温砖检测）

8. 总功率： ～360（KVA）

9. 恢复真空时间： ＜10min（从大气到5Pa）

＜30min（5 Pa到5×10-3 Pa）

10. 空炉升温时间： ≤100min（室温到1350℃）

11. 极限真空度： ≤4×10-4（Pa）（空载、干燥、洁净）

12. 工作真空度： ≤1×10-3（Pa）（恒温段）

13. 压升率： ≤ 0.067（Pa/h）

14. 冷却水耗量： 3" （约18m3/h）

15. 最大处理量： 600Kg/炉（含托盘、料架）

16. Ar耗量： ～3.5标m3/炉

17. 占地空间： 约7000L×6500W×4000H（mm） 兰州真空设备有限责任公司 ZRT－476－14W3使用说明书

- 2 - 18. 加热元件： Mo加热带

19. 温度控制： 进口原装智能控温仪，具有手动、自动、自谐调、自适应、曲线设定及储存、升降温双向控制

20. 压缩空气： 0.4～0.6Mpa，Dg10接口

21. 工作环境：

21.1. 室内使用： 清洁、安静

21.2. 环境温度： 5～40℃

21.3. 相对湿度不超过85%

21.4. 周围无导电尘埃，爆炸性气体及能严重破坏金属和绝缘的腐蚀性气体。

21.5 没有明显的震动和颠簸。

二、设备功能

除主要技术参数所指出的设备性能外，本设备还具有：

1. 冷却水欠压保护，当冷却水压低于规定的范围时或水流量低于规定的流量范围时，电控柜上将有报警显示和蜂鸣器报警，此时不能进行抽高真空或加热造作，直至故障清除后。其中总进水1路水压设定。

2. 当真空系统扩散泵水压不足时，除电控柜的报警和显示外，将自动切断扩散泵的电源，防止扩散泵损坏。

3. 当加热系统的电极水流量小于设定、炉膛超温或可控硅电源故障时，电控柜上将有报警显示和蜂鸣器报警，自动切断加热总电源，停止加热。

4. 系统气压不足时，电控柜上有声光报警外，相应的阀门无法打开。

5. 配有记录仪，可随操作程序准确的记录炉内真空度、监测偶和主控热偶温度。

6. 当机械泵预抽炉室至规定真空度时，方能启动罗茨泵，防止罗茨泵过载而损坏。

7. 高真空阀门为气动阀，停电时阀门自动关闭，保护真空系统不受损坏。

8. 当加热工艺结束时，到回填温度点时可将回填气体迅速充入炉室，并可随时补充。

9. 智能控温仪，功能强大，具有数显设定值、执行值、参数值及多段升温曲线

10. 可缩程，可重复等众多功能（详见说明书），可根据用户的需要，执行事先设定的温度工况曲线，重复性良好，更改参数亦很容易，还具备自整定、自适应功能。

11. 加热电源采用三台变压器，分别给三个区供电，具有功率损耗小、控制灵活的特点。

12. 控制偶采用插入式金属WRe5-WRe26热电偶灵敏度极高，响应时间短。 兰州真空设备有限责任公司 ZRT－476－14W3使用说明书

- 3 - 13. 为了方便用户，进水管路、回水管路以及控制阀门均成套供应，用户只需要按要求接好进、排水管，即可使用。

三、操作

注：其中前一项工作内容未完成不允许执行下一项。

1. 开炉准备：此时设备处于静态，各阀处于关位，各仪表无显示或显示原始参数，电源未接通，炉门关闭。

工作内容：

1.1. 打开总进水阀，并检查回水管道是否有充足的回水，打开空气压缩机，气压控制器调整在0.5MPa。

1.2. 水压控制器调整在0.15～0.25MPa之间。

1.3. 真空系统电接点真空压力表调整在10 托 (1.3×103 Pa)。

1.4. 检查GDQ-J600高真空阀、前级阀、预抽阀、回填阀、充大气阀是否处于关闭状态，此时均应处于关闭状态。

1.5. 检查热偶是否良好，电极绝缘是否良好。

1.6. 接通控制总电源，设备处于准工作状态，此时各阀均处于关闭位置，各泵均未启动。此时如出现报警信号应立即检查回水系统，冷却水量是否正常，报警排除后方可进行下面的工作。

2. 工作过程如下：

2.1. 扩散泵预热：

2.1.1 启动2X-15维持泵，此时维持泵入口处的DDC-JQ40电磁放气阀立即自动打开，否则应视为故障，延时自动开启维持泵前GIQ-J40气动蝶阀，此时维持泵对扩散泵进行抽空，10分钟后进行下一项。

2.1.2. K-600T油扩散泵上电。

注：从扩散泵上电开始计时，大约1.5小时后，方能正常抽气。

2.2. 开炉门：

打开充气阀，炉室内外压力平衡2分钟后，打开炉门。

2.3. 装料：

把需要处理的材料（工件）放置在工件车上，并将工件车推入炉内，放置好工件后，拉出工件小车，小心不允许碰伤加热带。

2.4. 关炉门：

将炉门关闭并锁紧。 兰州真空设备有限责任公司 ZRT－476－14W3使用说明书

- 4 - 2.5. 炉室抽空：

2.5.1 自动方式

2.5.1.1 确认系统正常且无报警。

2.5.1.2 将手/自动旋扭拨至自动。

2.5.1.3 键“程序启动”按钮，系统自动分别启动2X-70A机械泵A，B，C，泵口DDC-JQ80电磁阀延时后自动开启，延时后 GIQ-J150预抽阀A，B自动开启，当炉内真空度达到1300Pa后，罗茨泵A，B自动启动，当炉内真空度达到5Pa后，延时后 GIQ-J150预抽阀A，B自动关闭，延时后前级阀自动开启，延时后 GIQ-J200高真空阀A，B自动开启，当炉内真空度达到1×10-3 Pa后，有加热提示，证实后，进入加热预备状态。

2.5.2 手动方式：

2.5.2.1 确认系统正常且无报警。

2.5.2.2 将手/自动旋扭拨至自手动

2.5.2.3 分别键“机械泵A，B，C开”按钮，延时后键“预抽阀A，B开”按钮，当炉内真空度达到1300Pa后，键“罗茨泵A，B开”按钮，罗茨泵A，B启动，当炉内真空度达到5 Pa后，键“ GIQ-J150预抽阀A，B开”按钮，延时后键“前级阀开”按钮,延时后键“GIQ-J200高真空阀A，B开”按钮，当炉内真空度达到1×10-3 Pa后，有加热提示，证实后，进入加热预备状态。

2.6 停抽空： 在加热过程中,不允许停抽空.

2.6.1 手动方式： 与抽空顺序相反，依次关闭真空计电源 ,高阀A，B，前级阀，预抽阀A，B，罗茨泵A，B，机械泵A，B，C。

2.6.2 自动方式： 键“程序停止”按钮，自动依次高阀A，B，前级阀，预抽阀A，B，罗茨泵A，B，延时10秒后，关闭机械泵A，B，C。

2.7 炉体加热

当真空度达到1×10-3 Pa工作真空度时，可以进行加热工艺（当真空度达到1×10-3 Pa工作真空度时，有声光提示，此时需键入“报警证实”按钮）。将加热旋钮至开位，加热主回路上电，延时几秒后，控制回路上电，检查有关仪表、线路正常后，确认温控表内的工艺曲线与工艺名称，选择仪表的自动方式，再键温控仪 “PROGRAM”按钮启动程序。温控表开始按设定曲线操作，此项属于关键环节，应密切注意全过程和各显示数据，如发现异常应立即采取相应措施。 兰州真空设备有限责任公司 ZRT－476－14W3使用说明书

- 5 - 2.8 停加热：

2.8.1 手动、自动方式： 升温、保温工艺曲线执行完毕。同时按住温控表的 PROGRAM键3S，然后将加热旋钮至关位，加热控制回路断电，延时几秒后，主回路断电，加热功率全部撤掉，加热电压表、电流表显示为0，炉室开始自然降温。

2.10 工件出炉

2.10.1 炉体放气

2.10.1.1 在抽空,加热,强冷过程结束, 打开手动放气阀进行破空

2.10.2 打开放气阀门，松开炉门锁紧装置，当内外压力平衡延时2分后，键入“ 炉门 开/关”按钮开关炉门,将炉内工件取出。此时本炉次工艺结束。如果需要进行下一炉的热处理工作，从2.2.项开始下一循环。如果不进行下一炉的工作，旋扩散泵旋钮到关位置，扩散泵断电，冷却时间到停维持泵。然后按2.5.项，把炉室抽到1.3Pa低真空存放。最后关闭控制总电源，关闭总进水

2.11 工件车

工件车仅受其限位限制.

2.12 扩散泵的预热过程：

扩散泵的预热过程在使用时不分手/自动方式。首先启动维持泵，然后启动扩散泵。

特别注意的是：启动维持泵后请勿关闭，否则将影响前级阀等很多程序。

2.13 报警系统的使用：

使用“报警测试”按扭测试指示灯的好坏，使用“报警证实”按扭确定报警状态，