洁净室原理及应用教程
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一、洁净室空调系统的特点1、洁净室空调系统与一般民用建筑的空调系统的不同,它首先对控制区的洁净度有很高要求。
导体器件厂房内,在硅衬底上只要落有电路线宽1/10~1/3大小的尘埃,就可能导致芯片电路短路。
另外,洁净厂房空调系统除对洁净度要求较高外,还对温度、湿度、震动、噪音等都有不同程度要求。
2、洁净室与洁净厂房能源消耗比其他的建筑大得多,其运行费约是一般办公楼的10(1万级)~30(100级)倍。
就空调冷负荷而言,一般办公大楼为120W/m2左右,一般洁净室为300~800w/m2,而大规模半导体器件厂房可以达到1400~1600w/m2。
同时,由于半导体器件生产工艺的特点,要求洁净厂房内全天(24h)保持相应的洁净度,目此,洁净空调系统(包括排风系统)、为其配套的冷、热源及相应的输送系统需每天24 h运行,这也与其他空调系统极其不同。
3、送风量大。
一般办公大楼换气次数为10次/h左右,一般洁净室换气次数可选为:100级按室内平均风速0.2~0.5m/s来计算,1000级按50~60次/h 计算,10000级按15~25次/h计算,100000按10~15次/h;而大规模半导件器件厂房内,为了满足相应的洁净度要求,需要保证很高的换气次数,致使循环风量非常大。
100级洁净室的换气次数可选到400 次/h,10000级洁净室的换气次数可选到40次/h,100000级洁净室的换气次数也要30次/h。
4、新风负荷大。
在电子厂房中,某些车间散发出有害气体,需要通过排风加以消除,这就加大了系统的新风量。
洁净室的各类制冷负荷中,最重要的有新风、风机温升和设备散热3项,而尤以新风最大。
根据有关部门统计,新风负荷可以从20%~70%,风机温升从8%~20%多,工艺设备可以从16%~50%。
5、风机全压高。
由于净化空调中过滤器很多,其中仅高效过滤器的初阻力就在200Pa以上,终阻力在400 Pa以上;而要求高的车间阻力会更大。
洁净室实验技术的基本原理与操作要点洁净室是一种控制环境污染的封闭空间,广泛应用于生物医药、电子制造、食品加工等领域。
洁净室实验技术是指在洁净室内进行实验操作的一系列技术及操作要点。
本文将介绍洁净室实验技术的基本原理和操作要点。
1. 洁净室的基本原理洁净室通过一系列的控制手段来限制尘埃颗粒、微生物和化学物质等污染源的进入和扩散,以维持特定的洁净度水平。
其基本原理包括空气过滤、流向规划、密闭性和负压控制。
首先,空气过滤是洁净室的基础。
洁净室内的空气通过高效过滤器过滤,可以有效去除空气中的颗粒物。
根据需要,洁净室可以设置多级过滤器,确保过滤效果的持续性。
其次,流向规划是指空气在洁净室中的流动方式。
根据具体的工艺需求,采用垂直流、水平流或局部层流等方式,将洁净室的空气流向进行合理规划,使得污染物尽量快速有效地被带出室外或经过过滤器处理。
再次,密闭性要求洁净室具备良好的密闭性,防止外部污染物进入洁净室,同时可以防止洁净室内的有害物质泄漏至外界环境。
洁净室的门窗、通风管道等部件都需要具备良好的密封性能。
最后,负压控制是指在洁净室内保持一定的负压,使得洁净室的空气不被外界非洁净的空气污染。
负压的控制可以通过风机的正向排风和负向进风来实现,确保洁净室内的空气流向符合设计要求。
2. 洁净室实验技术的操作要点在洁净室进行实验时,除了了解洁净室的基本原理外,还需要掌握一些操作要点,以保证实验操作的准确性和安全性。
首先,进入洁净室前,操作人员要进行必要的准备工作,包括穿戴符合洁净室要求的工作服、戴好手套和鞋套等。
同时,还应对自己进行培训,了解洁净室内的操作规范和安全注意事项。
其次,在洁净室内进行实验时,需要注意操作的轻柔性和小心翼翼。
尽量减少摩擦和震动,以避免产生更多的颗粒物污染。
在操作中,要确保操作区域干净整洁,不要堆放零部件和垃圾,及时清理洁净室内的污染源。
同时,注意洁净室的空气流动情况,避免产生交叉污染。
在洁净室内,要尽量避免大面积的开口,减少空气的混合和扩散。
洁净室的工作原理
洁净室是一种能够控制空气污染程度的特殊环境。
其工作原理基于以下几个方面:
1. 空气流动控制:洁净室内的空气流动是按照特定的方向和速度进行控制的。
通常采用单向流动,即空气从洁净区域的高压区域流向非洁净区域的低压区域。
这种一向性的空气流动可以有效防止外部空气中的颗粒物进入洁净区域。
2. 过滤系统:洁净室配备有高效过滤器,能够有效地过滤空气中的微小颗粒物和微生物。
这些过滤器一般采用 HEPA(高效
颗粒空气过滤器)或 ULPA(超高效颗粒空气过滤器)技术,
能够去除空气中直径大于0.3微米的颗粒物。
3. 正压维持:洁净室通常采用正压维持,即室内空气的压力要高于室外环境。
这样可以避免外界空气通过裂缝、门缝等进入洁净室,同时也可以通过室内压力差促使空气从洁净区流向非洁净区。
4. 清洁卫生管理:洁净室内要进行定期的清洁和维护,以确保室内空气的洁净程度。
通常会采用抗静电地板、壁面覆盖材料、定期消毒等方式来控制空气中的微生物和粉尘。
通过综合运用以上原理,洁净室能够创造出一个几乎无尘、无微生物的工作环境。
它广泛应用于电子、制药、食品、航空航天等领域,以确保产品质量和工作安全。
洁净室分类及工作原理一、洁净室原理(一) 洁净室的定义洁净室是指空气洁净度达到规定级别的可供人活动的空间。
其功能是控制微粒(尘埃粒子)的污染。
来达到满足精密产品的生产与科学实验活动。
洁净室绝不是仅限于"洁净",不同的行业与部门对温度、温度、照明、噪声、静电、微振都有相当要求的多功能的综合整体,是集建筑装饰(与大气相对隔断的密闭装修)、净化空调、纯水、纯气、动力电、照明电、工艺管道等多种专业技术于一体的产物,洁净室(或洁净厂房)(二) 洁净室的分类实现层流的最低风速值2.1按用途分类(可分为两大类)①工业洁净室-以无生命微粒的控制为对象。
主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正压状态。
它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。
②生物洁净室:以控制有生命微粒(细菌)与无生命微粒(尘埃)对工作对象的污染。
又可分为:A.一般生物洁净室,主要控制微生物(细菌)对象的污染。
同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀,内部一般保持正压。
实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业洁净室。
B.生物学安全洁净室:主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。
内部要保持与大气的负压。
2.2按气流分类(按气流可分为四类)①.单向流洁净室(层流、活塞流)②.乱流净室③.辐射流(斜流)洁净室④.混合流洁净室(乱流、层流同在)(三) 单向流(层流)洁净室(又称垂直流,平行流)(1) 既气流以均匀的截面速度,沿着平行流线以单一方向在整个室天花截面下通过的洁净室。
单向流洁净室靠送风气流“活塞”般的挤压作用。
迅速把室内污染排回风道。
(2) 要想实现"活塞流"的作用,最重要的是高效过滤器必须满布。
但是由于高效过滤器有边框,放置高铲过滤器也要有支架,不可能百分之百的满布。
洁净室的工作原理
洁净室的工作原理是通过控制室内的颗粒物、微生物水平和温湿度等环境因素,确保室内的空气和物体达到一定的洁净度标准,从而适用于对环境要求较高的工业生产和科学实验等领域。
以下是洁净室的主要工作原理:
1. 空气过滤:洁净室内部通常装有多层过滤器,可以有效地过滤空气中的颗粒物和微生物。
常见的过滤器包括初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器,它们按照不同的颗粒物截留能力来过滤空气中的污染物。
2. 正压控制:洁净室通常采用正压模式,即通过送风系统向室内提供一定的新鲜空气,使室内空气相对于外部环境保持正压状态。
这可以防止室外空气进入室内,减少外界污染物的侵入。
3. 空气循环:洁净室通常采用垂直层流空气流动方式,即从上部送风,底部排风。
这种方式能够保证室内空气有序流动,使污染物迅速离开洁净区域。
4. 控制温湿度:洁净室内部通常安装有温湿度调节设备,可以根据需要调节室内的温度和湿度,保持恒定的工作环境。
5. 严格控制人员进出:洁净室还会采取一系列严格的人员进出措施,如穿戴洁净服、戴口罩、戴手套等,以防止人员带入外界污染物进入洁净室,并确保室内洁净度的维持。
通过以上工作原理的综合作用,洁净室能够控制室内空气中的颗粒物和微生物含量在一定的标准范围内,保证了对特定工业生产和科学实验的净化要求,从而提高产品质量和实验结果的可靠性。