氮气材料规格 V01

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1 目的
本文件对氮气材料规格进行规定。

2 适用范围
适用于车间所有工序段所使用的氮气。

3 规范性引用文件

4 定义
4.1氮气是一种无色无味的气体,占大气总量的78.08%,这里指纯度〉99.999%的高纯N2。

5 职责权限
5.1该规格由技术部制定,质量部、计划部、采购部参照使用。

6 工作程序
6.1氮气的质量指标
原料气中杂质单位杂质含量
H2 ppm 〈1
O2 ppm 〈3
CO ppm 〈1
CO2 ppm 〈1
CH4 ppm 〈1
H20 ppm 〈3
6.2储存要求:储存于阴凉、通风的地方,远离火源、热源,温度不超过30°C。

7 相关文件

8 相关记录

9 参考文献

编制/日期审核/日期批准/日期
文件修订履历
版本修订理由与内容简述修订页次修订人修订日期生效日期V01 初次制定全部。