JSM-7800F扫描电镜操作规程
1、确认Maintenance界面内的GUN/AC内GUN参数（电流值稳定）和SIP1和SIP2的真空度正常方可运行！！
2、选择正确的样品座放置样品并固定，样品高度不要超过样品座上方10mm。
注意：接触样品座，取放样品时务必戴手套操作！！！
3、装样品前必须确认高压处于关闭状态。
4、点击SEM应用程序软件中Specimen窗口的Exchange Position按钮，使样品交换室控制面板EXCH POSN灯点亮，并确认样品台处于样品交换的位置（X：0.000mm，Y：0.000mm，Z=40.0mm，R：0.00，T：0.00）。
5、按下VENT按钮对Exchange chamber放气，直至VENT常亮，表示样品交换室处于大气状态。
6、松开交换室锁扣，打开样品交换室，将已固定好样品的样品座，按箭头方向置于样品座夹具内。
7、完全关闭样品交换室门，扣好锁扣。
8、按下EVAC按钮，开始抽真空，EVAC闪烁，待真空达到要求时，EVAC常亮。
9、手持样品交换杆，将样品杆放下至水平并向前轻推，将样品Holder 完全送进交换室中，注意当HLDR灯亮起后，再完全拉出样品杆，垂直立起放置，此时样品已正常放置于样品室内。
注意：在拉动样品杆时，若有警报声，应立即停止操作，将样品杆归位，检查操作步骤是否正确。
10、在SEM应用程序软件界面正确选择所使用Holder的类型，输入样品高度值，点击OK确认。
11、输入Z值10mm。
11、查看样品室真空度，确认真空度小于5.0×10-4 Pa时才可开始进行图像操作。
12、观察样品，获取图像。
（1）点击ON，打开高压，根据样品选择所需的电压。
（2）如果有多个样品，按下LDF按钮切换到低倍模式，选择要观察的样品位置，选好后按LDF按钮切换回高倍模式。
（3）确认Scanning Mode在Quick View状态，寻找样品表面的明显特征。先切换到较高倍率，转动FOCUS的旋钮进行聚焦，X、Y散光像差校正旋钮进行像散调整，调整亮度与对比度（可按ACB自动调整或手动调整），直至样品表面特征的图像清晰为止（低倍率时，利用AUTO键进行自动对焦）。然后切回所需之倍率进行图像观察。
a）如果聚焦时出现图像是模糊的，需要进行电子束对中调整。
b）按键盘上RDC IMAGE键，打开调整窗口，按键盘上WOBB 键，此时图像会来回摆动，旋转键盘上X、Y调整旋钮使图像停止摆动（X方向摆动调整X旋钮，Y方向摆动调整Y旋钮）。
c STIG
调整旋钮将图像调整清晰。
d
重复c步直到将图像调整清晰。
13、背散射（BEI detector）观察
1）点击，样品台回到样品交换的初始位置。
2）点击确认高压处于关闭状态！
3）在仪器状态区域将BEI勾选，BEI detector自动伸入样品室。
4）点击
5）找好要分析的样品位置，调整好倍率，聚焦及像散。
6）在图像显示区域选择图像信号为BEC
“Save”模式进行保存。。
8）使用完成后，先关闭高压，再将BEI打勾取消（即表示BEI detector
退回）。
14、结束观察：
1）将放大倍率调至最低倍。
2）点击确认高压处于关闭状态！
2）点击软件中Specimen窗口的
，样品台复位，处于样品交换的初始位置。
3）利用样品交换杆将样品Holder拉出样品交换室。
4）按下放气，直至。
5）打开样品交换室，按箭头方向取出样品Holder及样品，并检查样品交换室是否正常。
6）关闭样品交换室并按待观察结束。
注意事项
1、接触样品座，取放样品时务必戴手套操作，并确保样品在样品台上固定牢固；样品柱高度最好不要超过样品座上方10mm。样品高出样品台时，不要将Z值输入过小，造成镜头碰撞样品台。
2、注意：在拉动样品杆时，若有警报声，应立即停止操作，将样品杆归位，检查操作步骤是否正确。
3、拉出拉杆时，切记一定要将拉杆完全拉出后才可以立起，否则样品杆会弯折变形。
4、实验完成后只需关闭计算机显示器，其他任何页面及装置不予关闭。
样品操作按钮介绍
Specimen exchange chamber（样品交换室）控制面板
VENT：Exchange chamber放气按钮
EV AC: Exchange chamber抽真空按钮
EXCH POSN ：显示样品台是否处于样品交换位置（灯亮表示处于该处）HLDR : 显示样品holder是否固定在样品载台上（灯亮表示已固定于该处