光电探测器性能的参数(精)

光电探测器综述摘要：近年来，围绕着光电系统开展了各种关键技术研究，以实现具有高集成度、高性能、低功耗和低成本的光电探测器（Photodetector）及光电集成电路（OEIC）已成为新的重大挑战。

尤其是具有高响应速度，高量子效率和低暗电流的高性能光电探测器，不仅是光通信技术发展的需要，也是实现硅基光电集成的需要，具有很高的研究价值。

本文综述了近十年来光电探测器在不同特性方向的研究进展及未来几年的发展方向，对其的结构、相关工艺和制造的研究具有很重要的现实意义。

关键词：光电探测器，Si ,CMOSAbstrac t: In recent years, around the photoelectric system to carry out the study of all kinds of key technologies, in order to realize high integration, highperformance, low power consumption and low cost of photoelectricdetector (Photodetector) and optoelectronic integrated circuit (OEIC) hasbecome a major new challenge. Especially high response speed ，highquantum efficiency, and low dark current high-performance photodetector,is not only the needs for development of optical communication technology,but also realize the needs for silicon-based optoelectronic integrated,has thevery high research value.This paper reviews the development of differentcharacteristics and results of photodetector for the past decade, and discusses thephotodetector development direction in the next few years,the study of highperformance photoelectric detector, the structure, and related technology,manufacturing, has very important practical significance.Key Word: photodetector, Si ,CMOS一、光电探测器1.1概念光电探测器在光通信系统中实现将光转变成电的作用，这主要是基于半导体材料的光生伏特效应，所谓的光生伏特效应是指光照使不均匀半导体或半导体与金属结合的不同部位之间产生电位差的现象。

光电探测器的性能测试与分析一、引言光电探测器是一种重要的光电器件，其性能的优劣直接影响到光电仪器的使用效果。

因此，对于光电探测器的性能测试与分析具有重要意义。

本文将从光电探测器的性能测试方法、测试参数的选择、测试结果分析等多个方面进行详细探讨。

二、光电探测器的性能测试方法1. 光谱响应测试光谱响应测试是评估光电探测器对不同波长光的响应能力的重要方法。

常用的测试设备包括光源、光谱辐射计和系统软件等，通过调节光源的波长和强度，测量光电探测器在不同波长下的响应能力。

2. 响应时间测试响应时间是指光电探测器从接收到光信号到达稳定的响应状态所需的时间。

正确测试光电探测器的响应时间可以帮助评估其在高速光信号检测和快速数据采集等应用中的适用性。

常用的测试方法包括脉冲激励法和步阶激励法。

3. 暗电流测试暗电流是指光电探测器在没有光照的情况下产生的电流。

暗电流是评估光电探测器的敏感性能和噪声特性的重要参数。

测试时需要排除光源的影响，并通过调节环境温度等因素来控制暗电流的大小。

4. 噪声测试噪声是光电探测器输出信号中不希望的波动成分，会干扰信号的准确度和稳定性。

常见的噪声包括热噪声、暗噪声和自由噪声等。

噪声测试可以通过测量输出信号的功率谱密度来进行。

三、测试参数的选择在进行光电探测器的性能测试时，需要选择合适的测试参数。

首先，需要根据实际应用需求选择测试范围和测试精度。

其次，需要考虑光电探测器的工作原理、结构特点和材料特性等因素，选择合适的测试方法和测试设备。

最后，需要根据测试结果的应用场景，选择合适的性能指标进行评估。

四、测试结果分析在进行光电探测器的性能测试后，需要对测试结果进行分析。

首先，需要比较测试结果与规格书中的标准值是否一致，以验证光电探测器是否符合规格要求。

其次，需要分析测试结果的稳定性和可重复性，确定光电探测器的长期稳定性能。

最后，需要与其他同类产品进行对比分析，评估光电探测器在市场竞争中的优势和劣势。

光电探测器功能及应用表征光电探测器性能参数主要有：量子效率、响应度、频率响应、噪声和探测度等。

其中量子效率和响应度表征了光电探测器将入射光转换成光电流本领的大小，频率响应表征了光电探测器工作速度的快慢，噪声和探测度表征了光电探测器所能探测到最小的入射光能量。

一、有关响应方面的性能参数1. 响应率（Responsivity）RV或RI表征探测器将入射光信号转换成电信号的能力电流的响应率RI：探测器将入射光信号转换成电流信号Ie的能力。

电压响应率RV：探测器将入射光信号转换成电压信号Ve的能力。

2.单色灵敏度Rλ --- 波长为l的单色辐射源单色灵敏度：输出的光电流iλ与波长为λ的入射到探测器的单色辐射光通量Pλ（或照度）之比3.积分灵敏度--- 复色辐射源表示探测器对连续入射光辐射的反应灵敏程度4. 响应时间描述光电器件对入射辐射响应快慢的参数5. 频率响应度二、有关噪声方面的参数1、信噪比信噪比是判定噪声大小通常使用的参数。

它是在负载电阻RL上产生的信号功率与噪声功率之比，（S――Signal N――Noise）2. 噪声等效功率（NEP）3. 探测率与比探测率三、其它参数1. 量子效率描述光电转换器件光电转换能力的一个重要参数2.线性度线性度是描述光电探测器输出信号与输入信号保持线性关系的程度。

工作参数为了提高传输效率并且无畸变地变换光电信号，就要使相互连接的各器件都处于最佳的工作状态，所以光电探测器要与被测信号、光学系统以及后续的电子线路在特性和工作参数上相匹配。

1、灵敏度（或称响应度）灵敏度RV （或RI ）的定义为：探测器输出电压VS（或输出电流IS）与输入光功率P之比。

由于灵敏度与入射光波长关系密切。

入射波长不同，探测器的灵敏度也不同，所以一般还须给出灵敏度的光谱响应特性。

在光谱响应特性曲线中，探测器的光谱响应范围是峰值灵敏度下降一半时的波长范围。

但对具体器件的光谱响应范围的定义可能不同，例如对光电倍增管的定义为下降到峰值灵敏度的1% 或0.1%的波长范围。

光电探测器开关比参数一、什么是光电探测器的开关比参数？光电探测器的开关比参数是指在光照条件下，光电探测器输出信号的比值。

它通常用来衡量光电探测器在光照条件变化时的灵敏度和稳定性。

开关比参数越大，代表光电探测器的性能越好。

二、开关比参数的影响因素1. 光电探测器的材料：不同材料具有不同的光电特性，因此会对开关比参数产生影响。

例如，硅材料的光电探测器在可见光范围内具有较高的开关比参数。

2. 光电探测器的结构：光电探测器的结构也会对开关比参数产生影响。

例如，PN结构的光电探测器具有较高的开关比参数，而PIN 结构的光电探测器则具有较低的开关比参数。

3. 光电探测器的工作温度：光电探测器的工作温度也会对开关比参数产生影响。

一般来说，光电探测器在较低的工作温度下具有较高的开关比参数。

三、开关比参数的应用领域光电探测器的开关比参数在许多领域都有着广泛的应用。

以下是一些典型的应用领域：1. 光通信：光电探测器的开关比参数决定了其在光通信系统中的灵敏度和传输速率。

高开关比参数的光电探测器可以实现高速率的光通信传输。

2. 光电子学：光电探测器的开关比参数对光电子学设备的性能有着重要影响。

例如，在激光器中，光电探测器的开关比参数决定了激光器的输出功率和稳定性。

3. 光谱分析：光电探测器的开关比参数可以用于光谱分析。

通过测量光电探测器在不同波长下的开关比参数，可以获得光谱信息，用于材料分析和光学测量等领域。

四、如何提高光电探测器的开关比参数？1. 优化材料选择：选择具有较高光电特性的材料，如硅材料，可以提高光电探测器的开关比参数。

2. 优化结构设计：合理设计光电探测器的结构，如选择PN结构或APD结构，可以提高开关比参数。

3. 控制工作温度：通过控制光电探测器的工作温度，可以影响其开关比参数。

一般来说，较低的工作温度有助于提高开关比参数。

光电探测器的开关比参数并不能完全代表其性能。

开关比参数只是衡量光电探测器在光照条件下的灵敏度和稳定性的一个指标，还需要考虑其他因素，如响应时间、线性度和噪声等。

光电探测器特性测量实验实验讲义大恒新纪元科技股份有限公司版权所有不得翻印光电探测器特性测量实验一、 引言光电探测器可将一定的光辐射转换为电信号，然后经过信号处理，去实现某种目的，它是光电系统的核心组成部分，其性能直接影响着光电系统的性能。

因此，无论是设计还是使用光电系统，深入了解光电探测器的性能参数都是很重要的。

通常，光电探测器的光电转换特性用响应度表示。

响应特性用来表征光电探测器在确定入射光照下输出信号和入射光辐射之间的关系。

主要的响应特征包括：响应度、光谱响应、时间响应特性等性能参数。

本实验内容主要是光电探测器性能参数测量和光电探测器的一般使用方法，并专门列举了几种常用的光电探测器的使用方法。

第一部分 光电探测器光谱响应度的测量光谱响应度是光电探测器的基本性能参数之一，它表征了光电探测器对不同波长入射辐射的响应。

通常热探测器的光谱响应较平坦，而光子探测器的光谱响应却具有明显的选择性。

一般情况下，以波长为横坐标，以探测器接收到的等能量单色辐射所产生的电信号的相对大小为纵坐标，绘出光电探测器的相对光谱响应曲线。

典型的光子探测器和热探测器的光谱响应曲线如图1-1所示。

一.基本原理光谱响应度是光电探测器对单色入射辐射的响应能力。

电压光谱响应度()λRv 定义为在波长为λ的单位入射辐射功率的照射下，光电探测器输出的信号电压，用公式表示，则为()()()λλλP V Rv = （1-1） 而光电探测器在波长为λ的单位入射辐射功率的作用下，其所输出的光电流叫做探测器的电流光谱响应度，用下式表示()()()λλλP I R i = （1-2） 式中，()λP 为波长λ时的入射光功率；()λV 为光电探测器在入射光功率()λP 作用下的输出信号电压；()λI 则为输出用电流表示的输出信号电流。

这里用响应度和波长无关的热释电探测器作参考探测器，测得入射光功率为()λP 时的输出电压为()λf V 。

若用f R 表示热释电探测器的响应度，则显然有()()f f f K R V P λλ=（1-3）这里f K 为热释电探测器前放和主放放大倍数的乘积，即总的放大倍数。