无尘室基础知识
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洁净室无尘室基础知识与管理洁净室(亦称无尘室):空气悬浮粒子浓度受控的房间。
它的建造和使用应减少室内诱入、产生滞留粒子。
室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。
现行标准:GB50073-2013 洁净厂房设计规范。
各种条件下微尘状况尘埃粒子直径的示意图:灰尘又是如何产生的呢?一般事务室里拍摄的例子荧光灯全部消失的场合:走路时候发尘样子对比左边是穿一般的工作服走路时候发尘的样子。
右边是穿洁净服走路时候发尘的样子。
拍击工作服时产生的尘埃粒子对比左边是拍击一般的工作服时发尘的样子。
右边是拍击洁净服时发尘的样子。
洁净室内的事例作业人员通过后,尘埃附着在玻璃上的样子。
浮游粒子使用 ParticleEyeDCF 统计浮游粒子数量。
纸张的发尘对比左边是普通纸,右边是无尘纸。
胶带和手套的发尘例子左边是纸芯胶带的发尘的样子,右边是PVC手套的发尘。
电动工具的发尘例子左边是电钻发尘的样子。
右边是真空泵发尘的样子。
吸尘器排气的例子吸尘器各地方排气泄漏的样子。
打喷嚏时从嘴里泄漏飞沫的样子:打喷嚏时瞬间发生的飞沫。
发汗现象:从胳膊发汗条件创造。
吸烟的例子:香烟烟雾的粒子。
运动时产生的尘埃粒子数量灰尘是如何去除的呢?洁净室的空气净化:手持简易型激光粒子计数器测量空气中微粒的数量:限于体量和重量,手持式激光粒子计数器采样流量一般为每分钟0.1立方英尺(0.1cfm),即每分钟2.83升(2.83L/m),其最小粒径通道一般为0.3μm。
通常均可采用电池或交流电工作。
这类产品粒径通道又可分为双通道型,如美国Met One公司生产的HHPC-2型,有0.3和0.5μm及0.5和5μm两种标准配置。
由于这类产品采样空气量小,测量精度相对较低,但随检测人员移动灵便,适用于各种洁净室的监测,判定过滤设备的效率和密封性。
这类产品可存储一定量的采样数据,备有下载软件,均不带打印装置。
高效过滤器高效过滤器检漏:卸下HEPA的散流板,对整个滤器面、滤器与边框之间、边框与边框之间以及边框与静压箱之间的密封进行扫描。
无尘室工程基本知识1 无尘室工程定义:指在特定的温度、湿度和压力下,控制微粒产生源,使其空气中粒子数保持在一定水平的一个密闭空间。
2 净化级别标准:无尘室工程净化级别是根据每立方英尺空气中粒径大于划分标准的粒子数量来规定的。
目前国际上较为大家广泛接受和认可的净化级别标准:ISO14644-1标准,取代了原来的FED STD 209E,并在原基础上有所增加。
3 无尘室工程净化装置工作原理通过空气处理装置(加热或冷却),将空气流送入管道,并通过空气预过滤和末级过滤装置,将洁净的空气送入工作室中。
同时通过工艺排风,将室内空气送回到空气处理装置,经过循环往复,达到室内空气净化的目的。
4 无尘室工程按照室内气流形式分为:非层流式,层流式,混合式。
非层流式(Conventional Airflow Type),又称乱流式。
如同一般空调一样,逆风从顶棚,墙壁等一部分吹出,回风从墙壁,地板的一部分吸入。
层流方式(Laminar Airflow Type),在层流洁净室中,气流被调整得非常好,从室内一侧平稳地流向其对应的另一侧。
因此,层流方式具有两个特点:一是可以将污染源散发出来的尘埃在未向室内扩散以前被压出室外;二是洁净的空气对污染源有隔离作用,隔断尘埃向空间散发。
混合方式(Mixed Airflow Type),乱流式和层流式在同一间房间内组合使用的方式,就洁净使用上看,往往只是部分房间要求高洁净度,而不是整个房间。
因此,层流部分尽量减小,其他部分用乱流方式替代,可以使净化设备更有效的发挥作用。
5 无尘室工程污染的种类A,微粒与纤维 B,化学物品 C,细菌6 Source Of ContaminationA Facilities,Walls,floors and and coatings Air conditioning debris ,Room air and Vapors ,spills and leaks.B People,skin flakes and oil,Cosmetics and le,clothing debris(lint,fibers etc)hair.C Tools,Friction and wear cants and emission,s,mops and dusters.D Fluid Particulates flowing in air,Becteria,organics and moisture,Floor finish or coatings,cleaning chemicals,ized water.E Product Generated,silicon ehips,Quartz flakes,Aluminum Particles.7 Typical particles in semiconductor class 100 room airsource percentHuman 46Dust-Free-Garments 8Clean Materials 4Photoresist Pieces 12Silicon Quartz 22Other 88 Restricted Materials in cleanroom.A wood wood-made product outgas,shed particlesB silicon Hard to removeC PVC Rubber Outgas Transter molecular contaminationD Polymer with surrfactant shed carton particlesCertain carbon loaded material surfactant and topical Topical surface treated materials treatment is volatile9 Good cleanroom practiceA Vaccum Shoe BrushB Openning cleanroom DoorC Air TurbulenceD Air PressureE Produce HandlingF Harware Packaging10 无尘控制行业A chemicalB NuclearC Disc MemoryD Silk ScreeningE Printed circuit boards。
无尘室基本知识无尘室- 条件1、了解设计案件的需求a) 温度b) 相对湿度c) 洁净度d) 室内照度2、客户应提供的资料a) 无尘室面积b) 无尘室吊顶高度c) 建筑物楼板及梁下高度d) 无尘室内的发热量e) 无尘室内的产湿量f) 无尘室内排气量g) 人员数量h) 机房位置、大小i) 一次侧电源位置j) 正负压特殊要求区域k) 隔间材质l) 地板材质m) 施工范围及界面无尘室- 设计1、无尘室风量计算a)面积(m2):长×宽(1坪=0.3025平方米)b) 无尘室系统送风量(CFM;1CFM=1.7CMH)满足洁净度所需送风量(CFM)乱流无尘室:面积×吊顶高度×换气次数×35.3×60换气次数:1,000级>=50次/小时10,000级>=25次/小时100,000级>=15次/小时层流无尘室:面积×平均风速×3600×35.3×60平均风速:垂直层流为0.12~0.5m/s;一般情况取0.3m/s水平层流为0.3~0.5m/s;一般情况取0.35m/s0.1微米10级无尘室建议取0.5m/s2、带走余热余湿所需送风量(CFM)室内显热×1.08×送风温差3、无尘室送风量(CFM)Q总=Max(×,×)×(1-漏风率)C) 无尘室系统新风量(CFM)漏风率:低于1,000级取4%;高于(含)1,000级取2%满足卫生要求所需新风量(CFM)人数×40(m3/h)×35.3×60保持正压所需的新风量(CFM)房间体积×(1-2次/小时)×35.3×60满足一定新风比所需新风量(CFM)乱流无尘室:新风量不小于总风量的10~30%(低于10万级可取30%)层流无尘室:新风量不小于总风量的2~4%(水平层流取4%)无尘室系统新风量(CFM)Q新=Max(排风量和保持室内正压值之和,洁净室人员新风量,非单向流送风量的10%·30%)+漏风率×Q总d) 无尘室系统回风量(CFM)Q回= Q总-Q新4、照明灯具数量计算灯管数量(40w)=面积×照度(Lux) ×0.55×2800(黄光为1850)(吊顶高度4m以下,照度在离地1m处测试)3、空调负荷估算a) 室内显热RSH(Btu/h):下列各项之和传导热=围护结构面积×10.8×传导系数×室内外温差马达产热=马力数(HP) ×2545×0.8人员显热=人数×460灯具产热=灯具总瓦数×3.4×1.2其他热源产热=热源总瓦数×3.414b) 室内潜热RLH(Btu/h) :下列各项之和人员潜热=人数×540蒸汽潜热=蒸汽量(Ls/h) ×1050其他散湿源c) 室内显热比RSHF=RSH×(RSH+RLH)d) 新风显热=新风量×室内外温差×1.08e) 新风潜热=新风量×室内外含湿量差×0.68f) 总显热比TSHF=总显热TSH×(总显热TSH +总潜热TLH)g) 根据以上数据绘制焓湿图,确定各状态点及空气处理过程h) 制冷量=减湿风量×4.5×表冷器进出风焓差i) 再热量=减湿风量×1.08×室内温度与送风温度之差j) 冬季加热量=总风量×1.08×冬季送风温度与混合点温度之差k) 冬季送风温度=室内温度+冬季室内显热×1.08×总风量l) 加湿量=新风量×室内外含湿量差×0.00029×1.2编辑本段5、无尘室- 机械设备选择1、冷水主机根据总制冷量选择合适的机型2、冷却水塔水流量=冷水主机的冷却水量×1.25根据流量及湿球温度选取合适的冷却水塔3、膨胀水箱容积(L)=系统总冷量(Kw) ×0.006×31.2(L/Kw,系统单位水容量之和)4、冷却水泵流量(LPM)= 总冷负荷(RT)×13扬程(m)=冷却水供回水管总长×(0.02~0.06) ×1.3+冷却水塔扬程+主机水头损失+5~10m预留5、冷冻水泵流量(LPM)= 总冷负荷(RT)×10扬程(m)=冷冻水最不利环路供回水管总长×(0.02~0.06) ×1.3+负载端水头损失+主机水头损失+5~10m预留6、空调箱风机风量:依计算结果风机静压:过滤网的终阻力+表冷器阻力+加热器阻力+加湿器阻力+最不利环路送回风管总长×3~5Pa/m+风口阻力制冷量: 依计算结果加热量: 依计算结果加湿量: 依计算结果进出风温度:根据焓湿图数据初效滤网:24”×24”×2”,每片风量2000CFM,终阻力100Pa中效滤网:24”×24”×22”,每片风量2000CFM, 终阻力160Pa高效滤网:24”×24”×11-1/2”,每片风量2000CFM, 终阻力500Pa7、加湿器根据加湿量及相对湿度控制精度选择电热式加湿器控制精度±1%干蒸汽加湿器控制精度±2%电极式加湿器控制精度±3%湿膜加湿器控制精度±10%8、风淋室根据室内人数选择合适的尺寸喷嘴风速:25m/s,风量:67CFM9、传递箱根据室欲传递物品大小选择合适的尺寸编辑本段回目录无尘室-风管工程1、空调风管材质一般为镀锌钢板,厚度根据风管长边尺寸确定2、风管截面尺寸根据风量、风速、摩擦系数选择(查风管尺)3、需保温的风管,保温材质及保温层厚度需根据规范选取4、无尘室风管保温应避免使用内保温以防止污染无尘室- 配管工程1、配管管材质一般为镀锌钢管、无缝钢管2、管径根据流量、流速、摩擦系数选择(查表)3、需保温的水管,保温材质及保温层厚度需根据规范选取4、冷水主机进出水标准配件a) 冷冻水进:防震软管、Y型过滤器、闸阀或蝶阀、b) 冷冻水出:防震软管、闸阀或蝶阀、温度计、压力表、流量开关c) 冷却水进:防震软管、闸阀或蝶阀、d) 冷却水出:防震软管、闸阀或蝶阀1、温度计、压力表、流量开关5、水泵进出水标准配件a) 进水:防震软管、Y型过滤器、闸阀或蝶阀、温度计、压力表b) 出水:防震软管、止回阀、闸阀或蝶阀、温度计、压力表6、冷却水塔进出水标准配件a) 进水:防震软管、Y型过滤器、闸阀或蝶阀、温度计、压力表b) 出水:防震软管、闸阀或蝶阀、温度计、压力表7、空调箱进出水标准配件a) 进水:防震软管、Y型过滤器、三通阀组、闸阀或蝶阀、温度计、压力表b) 出水:防震软管、三通阀组、旁通阀、闸阀或蝶阀、温度计、压力表无尘室- 配电工程1、配电箱a) 一般材质为铁板烤漆b) 形式有落地式及挂壁式c) 动力箱一般为落地式,照明箱一般为挂壁式2、NFB(空气开关)a) 以负载电流×1.25选择A T值b) 参考A T值选择AF值c) 参考AF值选择IC值(NFB的等级)3、MS(电磁开关)a) 用于控制马达启停,选择与马达相同的马力数b) 25HP以上采用Y-Δ启动器4、照光式开关a) 配合MS使用,每个MS使用两个照光式开关b) 按钮开关直径可选择25mm或30mmc) ON、OFF应选择不同颜色5、配电箱基本元件a) 交流电压表VM功能为显示供给的电压值b) 电压相序切换开关VS配合VM使用,可选择欲显示的相序电压值c) 交流电流表AM功能为显示供给的电流值d) 电流相序切换开关AS配合AM使用,可选择欲显示的相序电×流值6、电线选择以负载额定电流值×1.25选择合适的线径及电线电缆种类(查载流量表)7、电线管选择根据电线数量及线径选择合适的电线管径及材质自动控制工程根据输入输出信号的点数及形式选择控制方案及设备。
第一章:无尘室的基础知识第一节:无尘室的由来空气洁净技术的发展和它的重要性1、产生时间空气洁净技术最早发展产生在第二次世界大战期间的美国,当时主要是应用于军事领域,为了适应战争的需要(1939年发现了轴核的裂变,1945年投向日本广岛);空气净化的核心——高效过滤器在当时研制成功。
我国在60年代初期对高效过滤器(HEPA)及层流洁净室研制成功,在1975年以后得到迅猛的发展,产品生产厂家及品种、数量逐步系列配套,一般洁净室所用的材料、配件、设备均实现国产化。
2、应用领域军事:飞机、军舰、导弹、核武器工业部门:光学、机械、化工、宇航、半导体、电子其他:医疗、制药、生物工程、动物饲养总之随着经济与科学技术的发展,空气洁净技术在各行各业的应用在加大,占据重要的地位。
空气洁净技术的水平与应用已成为衡量一个国家和一个地区现代化经济和科技的重要标志。
第二节:洁净无尘室之定义(一)、洁净室的定义洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。
「洁净室Clean Room」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室绝不是仅限于“洁净”,不同的行业与部门对温度、湿度、噪声、静电、微振都有相当要求的多功能综合整体,是集建筑装饰(与大气相对隔断的密闭装修)、净化空调、纯水、纯气、动力电、照明电、工艺管道多种专业与一体的产物,叫洁净室(或洁净厂房)。
网易洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。
(二)、洁净室的构成洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室:(1)天花板系统:包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam 或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid 或Ceilingframe)。