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气体质量流量控制器（流量计）S48 300/HMT使用说明书(Ver.2.0)北京堀场汇博隆精密仪器有限公司目录1、概述 (1)2、术语符号 (2)3、工作原理 (5)4、技术指标 (7)5、产品安装 (8)6、使用方法和操作步骤 (16)7、数字通讯功能使用方法和操作 (18)8、通讯协议编码格式 (20)9、警告和注意 (25)10、故障判断和处理 (28)附录一：通信指令集 (31)附录二：标定和不同气体的换算 (34)1、概述本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。
不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。
由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量，所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。
1.1 使用范围质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制。
1.2 质量流量控制器和质量流量计质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC)，具备流量测量和流量控制两种功能。
质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM)，只有流量测量功能，不具备气流控制功能。
1.3 S48 300/HMT质量流量控制器的特点☆ S48 300/HMT型质量流量控制器是在引进HORIBA STEC技术基础上，结合国内需要而研制的一种数字式质量流量控制器产品，采用当今先进的32位ARM系列处理器做数字控制。
具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。
☆RS232/485串口， Modbus（RTU）开放协议。
协议简单可靠，兼容性强，易于组网。
配合上位机，可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。
☆耐压高及适用于真空条件下工作。
气体流量不因温度、压力的变化而变化。
气阻较小，工作压力范围宽。
☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用PTFE、氟橡胶等。
目录1.产品介绍 (2)1.1用途与特点 (2)1.2主要技术指标 (3)1.3 工作原理 (3)2.快速安装指导 (4)2.1外形及安装尺寸 (4)2.2气路接头形式 (5)2.3电缆连接插头 (5)3.功能操作详解 (6)3.1综述 (6)3.2常用操作 (6)界面说明 (6)按键操作说明 (8)功能表树形结构 (9)3.3功能操作详解 (10)3.3.1 流量设定 (10)3.3.2 启动/停止流量累积 (10)3.3.3 流量累积值清零 (11)3.3.4 流量小信号切除 (12)3.3.5 流量系数 (13)3.3.6 流量零点设置 (15)3.3.7 设备轮询地址设置 (16)3.3.8 环路输出测试 (17)3.3.9 控制模式转换 (18)3.3.10 设置输出阻尼值 (19)4.注意事项 (21)4.1 加装过滤器 (21)4.2 使用腐蚀性气体和有机溶剂气体问题 (21)4.3 安装位置问题 (21)4.4阀口密封问题 (21)4.5标定与不同气体的换算................................................................... ..215.一般异常情况判断和处理 (21)6. 保证、保修与服务 (22)6.1 产品保证和保修 (22)6.2 保修对使用的要求 (22)6.3 服务 (23)附录：气体流量转换系数表 (23)附录：通讯协议 (25)注：说明书内部的所有图片仅供参考，请以实物为准。
1.产品介绍1.1用途与特点质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。
其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。
质量流量控制器和质量流量计使用说明书1、特点及应用领域质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM），用于对气体的质量流量进行精密测量。
S49系列质量流量控制器和质量流量计特点：*采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、*适用于各种腐蚀性气体*气体流量不因温度、压力的变化而失准*高精度 *重复性好*响应速度快、软启动、稳定可靠*低压降*工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）。
*操作使用方便，可任意位置安装*便于与计算机连接实现自动控制。
S49系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域：*半导体制造行业的气体流量控制*分析仪器设备的气体计量与控制*各种形式的真空镀膜设备*环境检测与分析设备*化工、石化、食品行业气体流量监测和控制*特种材料表面处理装置与燃烧控制*混气配气系统和泄漏探测系统等2．S49系列质量流量控制器和质量流量计型号本产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件及命名方法。
其中：S49-33/MT型为高精度质量流量控制器S49-33A/MT型高精度质量流量计。
S49-33M/MT型为普通型质量流量控制器S49-33BM/MT型普通型质量流量计。
质量流量计主要精确测量气体流量，质量流量控制器不但具有质量流量计的功能还具备自动控制气体流量的功能。
执行Q/XCHBY001-2003企业标准3．主要技术指标质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N）标定。
2质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);SLM (标准升/分)标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ );气压— 101325 Pa (760mm Hg)F.S (Full Scale): 表示满量程值表1 S49-33/MT型﹑S49-33M/MT型质量流量控制器技术指标表2. S49-33A/MT﹑ S49-33BM/MT型质量流量计技术指标注意： S49系列质量流量控制器，质量流量计分不同的流量范围，供用户选择，也可根据用户提出流量定制。
质量流量计简述1.什么是质量流量计？什么是质量流量控制器？质量流量计，即Mass Flow Meter(MFM), 是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。
质量流量控制器, 即Mass Flow Controller (MFC), 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。
简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置,是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
2. 怎么理解质量流量计/质量流量控制器的流量单位？气体质量流量单位一般以SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升)和SLM(Standard Liter per Minute,每分钟标准升)来表示。
这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。
这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是SCCM﹑SLM 不同于mL/min﹑L/min 之处。
对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量(如g/min),这个要求是很容易实现的。
因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干SLM)即可实现。
所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
3. 什么情况下用质量流量计,什么情况下用质量流量控制器?一般而言，仅对流量进行计量或监测时，用质量流量计；需要对流量进行控制时，用质量流量控制器。
某些测量场合，用二者皆可，但质量流量控制器更好用。
例如，后面讲到的测量小孔直径﹑阀门泄漏量﹑工件(如毛细管)流通量等。
4. 质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么？4.1 流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
CS系列230A型气体质量流量控制器/质量流量计使 用 手 册2015.12目录第一部分产品说明 3.2 控制方式 (19)1.1 声明................................................... 1 3.3 调零 (19)1.2使用须知............................................ 2 3.4 软启动 .. (19)1.3安全注意事项.................................... 2 3.5 延迟 (20)1.4 概述................................................... 3 3.6 阀控制 .. (20)1.5 技术指标........................................... 3 3.7 阀类型 .. (20)1.6 标定................................................... 5 3.8 多气体多量程 .. (20)1.6.1 标准状况 ........................................ 5 3.9 累积流量 . (20)1.6.2 制造环境 ........................................ 5 3.10 报警 . (20)1.6.3 精度调节 ........................................ 5 3.11 LED指示灯 . (21)第二部分安装第四部分维护2.1 概述................................................... 5 4.1 概述 (21)2.2 打开包装........................................... 6 4.2 注意事项 . (21)2.3 机械安装........................................... 6 4.2.1介质使用要求 (21)2.3.1 概述................................................ 6 4.2.2 阀口密封问题 .. (22)2.3.2 安装................................................ 12 第五部分故障诊断2.3.2.1 1/2″VCR接头安装方法............ 12 5.1 初步检查 . (22)2.3.2.2 双卡套接头安装方法 ................. 12 5.2 故障检查 . (22)2.4 电气安装........................................... 13 第六部分保证和服务2.4.1 概述................................................ 13 6.1 七星电子有限保证 (24)2.4.2 连接................................................ 13 6.2 产品保证 . (24)2.4.3 电缆线选型表以及连接示例 ........ 16 6.3 服务 (25)2.5 工作检查........................................... 19 6.4 免责声明 . (25)第三部分功能介绍附录Ⅰ (26)3.1 概述................................................... 19 附录Ⅱ (31)MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER气体质量流量控制器和质量流量计使 用 手 册 第一部分产品说明1.1声明《气体质量流量控制器和质量流量计使用手册》版权属于北京七星华创电子股份有限公司(以下简称“七星电子”)专有。
D07 – 60B/60BM 型质量流量控制器/流量计使 用 手 册2013 .6目录1. 用途和特点..............................1 6. 注意事项 (16)2. 主要技术指标...........................2 6.1 禁用流量介质 (16)3. 结构和工作原理........................3 6.2 使用腐蚀性气体问题 (16)3.1 结构.......................................3 6.3 阀口密封问题 (16)3.2 工作原理.................................3 6.4 阀控操作注意 (17)4. 安装和接线 ...........................4 6.5 安装位置问题 (17)4.1 外形及安装尺寸........................4 6.6 注意工作压差 (17)4.2 气路接头形式...........................9 6.7 标定和不同气体的换算 (17)4.3 连接电缆插头...........................10 6.8 D07-60B、60BM标准订单填写格式 (18)4.4 与计算机信号的连接..................117. 故障判断和处理 (21)4.5 调零和外调零...........................138. 保证、保修与服务 (23)5. 使用方法和操作步骤..................148.1 产品保证和保修.. (23)5.1 质量流量控制器的操作...............148.2 保修对使用的要求.. (23)5.1.1 开机操作..............................148.3 服务.. (23)5.1.2 清洗功能..............................159. 附录.. (25)5.1.3 显示仪与计算机连接的操作......159.1 气体质量流量转换系数 (25)5.1.4 直接与计算机连接的操作.........159.2 转换系数使用说明 (27)5.1.5 阀控功能 (15)5.1.6 关机操作 (15)MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER第 1 页 共27页质量流量控制器和质量流量计使 用 手 册1. 用途和特点质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM) 用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
