气体质量流量转换系数简表

气体质量流量控制器（流量计）S48 300/HMT使用说明书(Ver.2.0)北京堀场汇博隆精密仪器有限公司目录1、概述 (1)2、术语符号 (2)3、工作原理 (5)4、技术指标 (7)5、产品安装 (8)6、使用方法和操作步骤 (16)7、数字通讯功能使用方法和操作 (18)8、通讯协议编码格式 (20)9、警告和注意 (25)10、故障判断和处理 (28)附录一：通信指令集 (31)附录二：标定和不同气体的换算 (34)1、概述本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。

不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。

由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量，所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。

1.1 使用范围质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制。

1.2 质量流量控制器和质量流量计质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC)，具备流量测量和流量控制两种功能。

质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM)，只有流量测量功能，不具备气流控制功能。

1.3 S48 300/HMT质量流量控制器的特点☆ S48 300/HMT型质量流量控制器是在引进HORIBA STEC技术基础上，结合国内需要而研制的一种数字式质量流量控制器产品，采用当今先进的32位ARM系列处理器做数字控制。

具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。

☆RS232/485串口， Modbus（RTU）开放协议。

协议简单可靠，兼容性强，易于组网。

配合上位机，可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。

☆耐压高及适用于真空条件下工作。

气体流量不因温度、压力的变化而变化。

气阻较小，工作压力范围宽。

☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用PTFE、氟橡胶等。

目录1.产品介绍 (2)1.1用途与特点 (2)1.2主要技术指标 (3)1.3 工作原理 (3)2.快速安装指导 (4)2.1外形及安装尺寸 (4)2.2气路接头形式 (5)2.3电缆连接插头 (5)3.功能操作详解 (6)3.1综述 (6)3.2常用操作 (6)界面说明 (6)按键操作说明 (8)功能表树形结构 (9)3.3功能操作详解 (10)3.3.1 流量设定 (10)3.3.2 启动/停止流量累积 (10)3.3.3 流量累积值清零 (11)3.3.4 流量小信号切除 (12)3.3.5 流量系数 (13)3.3.6 流量零点设置 (15)3.3.7 设备轮询地址设置 (16)3.3.8 环路输出测试 (17)3.3.9 控制模式转换 (18)3.3.10 设置输出阻尼值 (19)4.注意事项 (21)4.1 加装过滤器 (21)4.2 使用腐蚀性气体和有机溶剂气体问题 (21)4.3 安装位置问题 (21)4.4阀口密封问题 (21)4.5标定与不同气体的换算................................................................... ..215.一般异常情况判断和处理 (21)6. 保证、保修与服务 (22)6.1 产品保证和保修 (22)6.2 保修对使用的要求 (22)6.3 服务 (23)附录：气体流量转换系数表 (23)附录：通讯协议 (25)注：说明书内部的所有图片仅供参考，请以实物为准。

1.产品介绍1.1用途与特点质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。

它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。

其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。

质量流量控制器和质量流量计使用说明书1、特点及应用领域质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。

质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM），用于对气体的质量流量进行精密测量。

S49系列质量流量控制器和质量流量计特点：*采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、*适用于各种腐蚀性气体*气体流量不因温度、压力的变化而失准*高精度 *重复性好*响应速度快、软启动、稳定可靠*低压降*工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）。

*操作使用方便，可任意位置安装*便于与计算机连接实现自动控制。

S49系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域：*半导体制造行业的气体流量控制*分析仪器设备的气体计量与控制*各种形式的真空镀膜设备*环境检测与分析设备*化工、石化、食品行业气体流量监测和控制*特种材料表面处理装置与燃烧控制*混气配气系统和泄漏探测系统等2．S49系列质量流量控制器和质量流量计型号本产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件及命名方法。

其中：S49-33/MT型为高精度质量流量控制器S49-33A/MT型高精度质量流量计。

S49-33M/MT型为普通型质量流量控制器S49-33BM/MT型普通型质量流量计。

质量流量计主要精确测量气体流量，质量流量控制器不但具有质量流量计的功能还具备自动控制气体流量的功能。

执行Q/XCHBY001-2003企业标准3．主要技术指标质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N）标定。

2质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);SLM (标准升/分)标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ );气压— 101325 Pa (760mm Hg)F.S (Full Scale): 表示满量程值表1 S49-33/MT型﹑S49-33M/MT型质量流量控制器技术指标表2. S49-33A/MT﹑ S49-33BM/MT型质量流量计技术指标注意： S49系列质量流量控制器，质量流量计分不同的流量范围，供用户选择，也可根据用户提出流量定制。

质量流量计简述1.什么是质量流量计？什么是质量流量控制器？质量流量计，即Mass Flow Meter(MFM), 是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。

质量流量控制器, 即Mass Flow Controller (MFC), 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。

简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置,是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。

2. 怎么理解质量流量计/质量流量控制器的流量单位？气体质量流量单位一般以SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升)和SLM(Standard Liter per Minute,每分钟标准升)来表示。

这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。

这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是SCCM﹑SLM 不同于mL/min﹑L/min 之处。

对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量(如g/min),这个要求是很容易实现的。

因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干SLM)即可实现。

所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。

3. 什么情况下用质量流量计,什么情况下用质量流量控制器?一般而言，仅对流量进行计量或监测时，用质量流量计；需要对流量进行控制时，用质量流量控制器。

某些测量场合，用二者皆可，但质量流量控制器更好用。

例如，后面讲到的测量小孔直径﹑阀门泄漏量﹑工件(如毛细管)流通量等。

4. 质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么？4.1 流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。

CS系列230A型气体质量流量控制器/质量流量计使 用 手 册2015.12目录第一部分产品说明 3.2 控制方式 (19)1.1 声明................................................... 1 3.3 调零 (19)1.2使用须知............................................ 2 3.4 软启动 .. (19)1.3安全注意事项.................................... 2 3.5 延迟 (20)1.4 概述................................................... 3 3.6 阀控制 .. (20)1.5 技术指标........................................... 3 3.7 阀类型 .. (20)1.6 标定................................................... 5 3.8 多气体多量程 .. (20)1.6.1 标准状况 ........................................ 5 3.9 累积流量 . (20)1.6.2 制造环境 ........................................ 5 3.10 报警 . (20)1.6.3 精度调节 ........................................ 5 3.11 LED指示灯 . (21)第二部分安装第四部分维护2.1 概述................................................... 5 4.1 概述 (21)2.2 打开包装........................................... 6 4.2 注意事项 . (21)2.3 机械安装........................................... 6 4.2.1介质使用要求 (21)2.3.1 概述................................................ 6 4.2.2 阀口密封问题 .. (22)2.3.2 安装................................................ 12 第五部分故障诊断2.3.2.1 1/2″VCR接头安装方法............ 12 5.1 初步检查 . (22)2.3.2.2 双卡套接头安装方法 ................. 12 5.2 故障检查 . (22)2.4 电气安装........................................... 13 第六部分保证和服务2.4.1 概述................................................ 13 6.1 七星电子有限保证 (24)2.4.2 连接................................................ 13 6.2 产品保证 . (24)2.4.3 电缆线选型表以及连接示例 ........ 16 6.3 服务 (25)2.5 工作检查........................................... 19 6.4 免责声明 . (25)第三部分功能介绍附录Ⅰ (26)3.1 概述................................................... 19 附录Ⅱ (31)MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER气体质量流量控制器和质量流量计使 用 手 册　第一部分产品说明1.1声明《气体质量流量控制器和质量流量计使用手册》版权属于北京七星华创电子股份有限公司(以下简称“七星电子”)专有。

D07 – 60B/60BM 型质量流量控制器/流量计使 用 手 册2013 .6目录1. 用途和特点..............................1 6. 注意事项 (16)2. 主要技术指标...........................2 6.1 禁用流量介质 (16)3. 结构和工作原理........................3 6.2 使用腐蚀性气体问题 (16)3.1 结构.......................................3 6.3 阀口密封问题 (16)3.2 工作原理.................................3 6.4 阀控操作注意 (17)4. 安装和接线 ...........................4 6.5 安装位置问题 (17)4.1 外形及安装尺寸........................4 6.6 注意工作压差 (17)4.2 气路接头形式...........................9 6.7 标定和不同气体的换算 (17)4.3 连接电缆插头...........................10 6.8 D07-60B、60BM标准订单填写格式 (18)4.4 与计算机信号的连接..................117. 故障判断和处理 (21)4.5 调零和外调零...........................138. 保证、保修与服务 (23)5. 使用方法和操作步骤..................148.1 产品保证和保修.. (23)5.1 质量流量控制器的操作...............148.2 保修对使用的要求.. (23)5.1.1 开机操作..............................148.3 服务.. (23)5.1.2 清洗功能..............................159. 附录.. (25)5.1.3 显示仪与计算机连接的操作......159.1 气体质量流量转换系数 (25)5.1.4 直接与计算机连接的操作.........159.2 转换系数使用说明 (27)5.1.5 阀控功能 (15)5.1.6 关机操作 (15)MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER第 1 页 共27页质量流量控制器和质量流量计使 用 手 册1. 用途和特点质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM) 用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。

常用热力单位换算表一、热量单位换算1、常用热量单位介绍A、焦耳（J）、千焦（KJ）、吉焦（GJ），工程计算广为采用，国际单位制。

热力计算、热计量、热量化验等实际操作中常见，国家标准及图表、线图查询等规范性技术文件中主要表达的单位。

但是，其他导出单位及工程习惯相互交织，使得这种单位在今天热力计算中不是很方便。

B、瓦特（W）、千瓦(KW)、兆瓦（MW），工程导出单位，是供热工程常用单位，如热水锅炉热容量：7MW、14MW、29MW、56MW...等，习惯上常说到的10t、20t、40t、80t...等锅炉,相当于同类容量蒸汽锅炉的设计出力.工程上热水锅炉和换热站热计量仪表、暖通供热设计计算、估算、供热指标等，广泛采用。

C、卡（car)、千卡（Kcal)...,已经淘汰的热量单位,但是工程中还在使用,特别是大量的技术书籍,例如煤的标准发热量7000Kcal。

2、基本计算公式1W=0.86Kcal，1KW=860Kcal，1Kcal=1.163W; 估算：1 KW=0.1m3/h1t饱和蒸汽=0.7MW=700KW=2.5GJ=60万Kcal;1kg标煤=7000Kcal=29300KJ=29.3MJ=0.0293GJ=8141W=8.141KW;1GJ=1000MJ；1MJ=1000KJ；1KJ=1000J1Kcal=4.1868KJ=0.0041868MJ、1MJ=238.846Kcal 、1W=3.6J（热工当量，不是物理关系，但热力计算常用）天然气标况与工况流量换算：工作状态下的流量：Qf=QN×[0.10132×(273.15+T)]÷[(P+0.10132)×273.15] m3/h标准状态下的流量（0℃、latm）:QN=Qf×[(P+0.10132)×273.15]÷[0.10132×(273.15+T) ]Nm3/h汽油、柴油、水的升与吨的换算关系1、1升水=0.001吨水1升=1公斤2、1升柴油约合0.00084吨（1吨柴油大约折合1190升）1升=0.8403公斤3、汽油的密度为0.70kg/l-0.73kg/l，即0.0007吨/升—0.00073吨/升。

D07 - 9E 型质量流量控制器D07- 9EM型质量流量计使 用 手 册版本2015. 12目录1. 使用须知................................... 1 6.2.1 开机预热.. (18)2. 用途和特点................................ 2 6.2.2 检查和调整零点. (18)3. 主要技术指标............................. 3 6.2.3 通气工作. (18)4. 结构和工作原理.......................... 5 6.2.4 关机. (18)4.1 结构....................................... 5 7. 注意事项.. (18)4.2 工作原理................................. 6 7.1 禁用流量介质 (18)5. 安装和接线 .............................8 7.2 使用腐蚀性气体问题 (18)5.1 外形及安装尺寸........................8 7.3 阀口密封问题 (19)5.2 气路接头形式...........................9 7.4 阀控操作注意 (19)5.3 连接电缆插头...........................11 7.5 安装位置问题 (19)5.4 与计算机信号的连接..................13 7.6 注意工作压差 (19)5.5 调零和外调零...........................15 7.7 标定和不同气体的换算 (19)6. 使用方法和操作步骤..................16 7.8 D07-9E, 9EM标准订单填写格式 (20)6.1 质量流量控制器的操作...............16 8. 故障判断和处理.. (23)6.1.1 开机操作...............................16 9. 保证、保修与服务.. (25)6.1.2 清洗功能...............................17 9.1 产品保证和保修.. (25)6.1.3 显示仪与计算机连接的操作.......17 9.2 保修对使用的要求.. (25)6.1.4 直接与计算机连接的操作..........17 9.3 服务.. (25)6.1.5 阀控功能...............................17 10. 附录 (26)6.1.6 关机操作...............................17 10.1 气体质量流量转换系数.. (26)6.2 质量流量计的操作....................18 10.2 转换系数使用说明.. (28)MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER质量流量控制器和质量流量计使 用 手 册　1. 使用须知尊敬的用户，感谢您购买本公司生产的D07系列质量流量控制器/质量流量计产品。

1 L/min=2.12 SCFH1 SCFH=0.472 L/min1 BTU/h=0.252 kcal=252 cal=1058.4 J (焦)=0.00023L/min1SCFH (Air)=2000BTU/h1SCFH (Propane)=2500BTU/h1SCFH (Butane)=3200BTU/h1 pa=1 N/m=1kg(s².m)=0.000142PSIG=101.98mmW.C.1L=1dm³=10-7m³1ft³=m³/hr*35.31inchW.C.=249.08pa=25.4mmW.C.1inchHg=3376.85pa=344.36mmW.C.1mmHg=133.330pa=13.55729mmW.C.=13.6mmW.C.1PSIG=1磅/英吋²=0.068大气压力=700mmW.C=6.9kPa=0.070307kg/cm²1MPa=145.037744PSI1mmW.C=9.8Pa1mbar=100Pa1 bar=100 Kpa(绝对温度)°K=°C+273°F=9/5*°C+321m³/H=1000L/H=16.67L/min1Bar=14.286PSI=1.02kg/cm²1MJ=1000KJ=945BTU=238kcal1KW=3600KJ=3.6MJ=3412BTU1kcal=4.2KJBTU計算方法Propane： BTU/h=(Q1-Q2)*t(时间)/60*2.204*21.62kw/H=1L/min*1.54*1/T(min)1m³/H(LPG)=1kg/H / 0.629 (air)1m³/H(Butane)=1kg/H*1.96 (air)1 OZ(盎司)=28.35g1g克=10dg分克=100cg毫克=15.43谷=15.345格令=0.564打蘭=0.0022046磅1 inch 英寸=25.4 millimetres毫米1 foot 英尺=12 inches 英吋=0.3048 metre 米1 yard 碼=3 feet 英尺=0.9144 metre 米1 (statute) mile 英里=1760 yards 碼==1.609 kilometres千米1 nautical mile 海里=1852 m. 米1 square inch 平方英吋=6.45 sq.centimetres 平方厘米=645.16平方毫米1 square foot 平方英尺=144 sq.in.平方英吋=9.29 sq.decimetres 平方分米1 square yard平方碼=9 sq.ft.平方英尺=0.836 sq.metre平方米1 acre英畝=4840 sq.yd.平方碼=0.405 hectare 公頃1 square mile平方英里=640 acres 英畝=259 hectares 公頃1 cubic inch 立方英吋=16.4 cu.centimetres 立方厘米1 cubic foot 立方英尺=1728 cu.in. 立方英吋=0.0283 cu.metre 立方米1 cubic yard 立方碼=27 cu.ft. 立方英尺=0.765 cu.metre立方米英制1 pint品脫=20 fluid oz. 液量盎司=34.68 cu.in. 立方英吋=0.568 litre 升1 quart 夸脫=2 pints品脫=1.136 litres 升1 gallon 加侖=4 quarts夸脫=4.546 litres 升1 peck配克=2 gallons加侖=9.092 litres 升1 bushel浦式耳=4 pecks 配克=36.4 litres 升1 quarter 八浦式耳=8 bushels浦式耳=2.91 hectolitres 百升1 pint品脫=33.60 cu.in. 立方英吋=0.550 litre 升1 quart 夸脫=2 pints品脫=1.101 litres升1 peck配克=8 quarts夸脫=8.81 litres 升1 bushel 浦式耳=4 pecks 配克=35.3 litres 升American liquid 美式液量1 pint品脫=16 fluid oz. 液量盎司=28.88 cu.in.立方英吋=0.473 litre升1 quart 夸脫=2 pints 品脫=0.946 litre 升1 gallon 加侖=4 quarts 夸脫=3.785 litres 升Avoirdupois Weight 常衡1 grain 格令=0.065 gram 克1 dram 打闌=1.772 grams 克1 ounce 盎司=16 drams 打蘭=28.35 grams 克1 pound 磅=16 ounces 盎司=7000 grains 谷=0.4536 kilogram千克1 stone 英石=14 pounds磅=6.35 kilograms千克1 quarter 四分之一英旦=2 stones 英石=12.70 kilograms千克1 hundredweight英旦=4 quarters 四分之一英旦=50.80 kilograms千克1 short ton 短噸(美制)=2000 pounds 磅=0.907 tonne 公噸1 (long) ton 長噸(英制)=20 hundredweight 英旦=1.016 tonnes 公噸Linear Measure 長度1 millimetre 毫米=0.03937 inch 英吋1 centimetre 厘米=10 mm. 毫米=0.3937 inch 英吋1 decimetre 分米=10 cm. 厘米=3.937 inches 英吋1 metre 米(公尺)=10 dm. 分米=1.0936 yards 碼=3.2808 feet 英尺1 decametre 十米=10 m. 米=10.936 yards 碼1 hectometre 百米=100 m.米=109.4 yards 碼1 kilometre 公里=1000 m. 米=0.6214 mile 英里1 mile marin 海里=1852 m. 米=1.1500 mile 英里Square Measure 面積1 square centimetre平方厘米=0.155 sq.inch平方英吋1 square metre 平方米=1.196 sq.yards平方碼1 are 公畝=100 square metres 平方米=119.6 sq.yards平方碼1 hectare公頃=100 ares公畝=2.471 acres 英畝1 square kilometre 平方公里=0.386 e平方英里Cubic Measure 體積1 cubic centimetre 立方厘米=0.061 cu.inch 立方英吋1 cubic metre 立方米=1.308 cu.yards 立方碼Capacity Measure容積1 millilitre毫升=0.002 pint (British) 品脫(英制)1 centilitre 厘升=10 ml. 毫升=0.018 pint 品脫1 decilitre 分升=10 cl. 厘升=0.176 pint 品脫1 litre 升=10 dl. 分升=1.76 pints品脫1 decalitre 十升=10升 =2.20 gallons 加侖1 hectolitre 百升=100升=2.75 bushels浦式耳1 kilolitre 千升=1000 升=3.44 quarters 八浦式耳Weight 重量1 milligram 毫克=0.015 grain 谷1 centigram 厘克=10 mg. 毫克=0.154 grain 谷1 decigram 分克=10 cg. 厘克=1.543 grains谷1 gram 克=10 dg. 分克=15.43 grains谷1 decagram 十克=10 g. 克=5.64 drams 打蘭1 hectogram 啃親=100 g. 克=3.527 ounces 盎司1 kilogram 千克=1000 g. 克=2.205 pounds磅1 ton (metric ton) 公噸=1000 kg.千克=0.984 (long) ton 長噸(英制)=1.1023 短噸(美制)。

D07 – 26E 型质量流量控制器使 用 手 册版本2 0 16 . 01目录1. 用途和特点..............................1 6. 注意事项 (11)2. 主要技术指标...........................2 6.1 禁用流量介质 (11)3. 结构和工作原理........................3 6.2 使用腐蚀性气体问题 (11)3.1 结构.......................................3 6.3 阀口密封问题 (11)3.2 工作原理.................................3 6.4 阀控操作注意 (12)4. 安装和接线 ...........................5 6.5 安装位置问题 (12)4.1 外形及安装尺寸........................5 6.6 注意工作压差 (12)4.2 连接电缆插头...........................6 6.7 标定和不同气体的换算 (12)4.3 与计算机信号的连接..................7 6.8标准订单的填写格式 (13)4.4 调零和外调零...........................87. 故障判断和处理 (15)5. 使用方法和操作步骤..................98. 保证、保修与服务 (17)5.1 开机操作.................................98.1 产品保证和保修.. (17)5.2 清洗功能.................................108.2 保修对使用的要求.. (17)5.3 显示仪与计算机连接的操作.........108.3 服务.. (17)5.4 直接与计算机连接的操作............119. 附录 (18)5.5 阀控功能.................................119.1 气体质量流量转换系数 (18)5.6 关机操作.................................119.2 转换系数使用说明 (20)MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER第 1 页 共 20 页质量流量控制器使 用 手 册1. 用途和特点质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。

热 式 气 体 质 量 流 量 计用户使用手册北京首科实华自动化设备有限公司Beijing Sincerity Automatic Equipment CO.，LTD目录安全使用仪表………………………………………………………… 1 概述…………………………………………………………………… 3 技术参数……………………………………………………………… 4 结构图………………………………………………………………… 5 电缆的安装方法……………………………………………………… 6 现场仪表安装………………………………………………………… 9 运行调试………………………………………………………………11 附录 1.结构尺寸图……………………………………………………20 附录 2. 故障排除 ……………………………………………………22 附录 3. 一般气体的密度和相对空气的转换系数……………………23 附录 4 常用气体量程上限……………………………………………25※安全使用仪表※感谢选购由我公司自主研发生产热式气体质量流量计， 热式气体质量流量计用户手册记录了如何正确、安全的使用本产品。

本品是气体流量测量的精密电子式仪表。

为了防 止仪表的损坏和发挥最佳性能和稳定运行，请在安装调试前，认真阅读本手册。

  阅读完毕本手册后请妥善并与本仪表一起流动保管。

请将本手册交与终端用户技术部门保存。

本手册中安全主要事项的重要等级以 危险 注意 进行分类。

注意如果忽视该提示警告而进行错误的操作， 可能造成人身伤害， 或者导致此仪表的和其他财产的损坏。

如果忽视该提示警告而进行错误的操作，可能造成人身伤亡，或 者重大安全事故。

危险以下标识可能出现在使用的用户手册中： 左图表示可能会造成危险的事项；左图表示必须引起注意的事项；左图表示禁止的事项。

第 1 页 共 25 页爆炸环境应用时选用防爆型仪表 确认仪表铭牌上是否有防爆认证标识及温度组别标识， 没有此标识的仪表不能用于爆炸的环境。