镀铬层厚度标准

第３０卷，第６期　２　０　１　０年６月　光谱学与光谱分析　Ｖｏ１．３０，Ｎｏ．６，ｐｐ１６７０—１６７３　Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ　ａｎｄ　Ｓｐｅｃｔｒａｌ　Ａｎａｌｙｓｉｓ　Ｊｕｎｅ，２０１０　

硅片上超薄氧化硅层厚度测量的ＸＰＳ标准曲线法　

赵志娟　，刘　芬　，王　海　，赵良仲　，闫寿科Ｌ。，宋小平　

１．中国科学院化学研究所，北京１００１９０　２．中国计量科学研究院，北京１０００１３　３．北京化工大学化工资源有效利用国家重点实验室，北京　１０００２９　

摘要提出一种新的处理方法一ＸＰＳ标准曲线法来测量硅片上超薄氧化硅层（Ｓｉ０２／ｓｉ）的厚度。该方法利用　

一系列氧化硅厚度（　）准确已知的ｓｉＯｚ／ｓｉ标准样品，分别记录其氧化硅和元素硅的Ｓｉ（２ｐ）谱线，并得到峰　

高比（Ｒ），然后将厚度（　）对峰高比（Ｒ）作图得到标准曲线。在相同的实验条件下，测得未知样品氧化硅和元　

素硅的Ｓｉ（２ｐ）谱线并计算其峰高比，通过插入法在标准曲线上得到相应的氧化硅层厚度。ＳｉＯ２／Ｓｉ标准样品　

由设备一流和经验丰富的权威实验室提供，其氧化硅厚度采用多种方法进行测量比对。实验表明：基于氧化　硅厚度准确知道的标准样品制作的ＸＰＳ标准曲线，用于硅片上超薄氧化硅层厚度测量时具有快速、简便和　

比较准确等优点，有较好的实用价值。　

关键词ｘ射线光电子能谱（ＸＰＳ）；氧化硅；厚度测量；标准曲线　

中图分类号：０６５７．６　文献标识码：Ａ　ＤＯＩ：１０．３９６４／ｊ．ｉｓｓｎ．１０００—０５９３（２０１０）０６—１６７０—０４　

引　言　

二氧化硅薄膜是晶体管关键组件（即栅氧化层）的首选材　

料，它对晶体管、器件和集成电路的可靠性至关重要。随着　器件尺寸的日益缩小，栅氧化层变得越来越薄，从而导致其　

厚度的测量与控制日益重要。国际半导体技术发展路线图　

（ＩＴＲＳ）指出：二氧化硅栅氧化层的厚度目前已降至２　ｎｍ以　

下，且其厚度控制与测量要求在１．３　的标准不确定度范围　

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储层有效厚度物性标准确定方法分析

作者：闫华

来源：《科学与财富》2018年第03期

摘要：有效厚度物性标准是储层评价和储量计算的基础。本文系统阐述了目前确定有效厚度物性标准的常用方法，并详细分析了各方法的适用条件，为合理制定有效厚度物性标准提供参考。

关键词：有效厚度 物性下限 影响因素 确定方法

孔隙度、渗透率和含油饱和度是反映油层储油能力和产油能力的重要参数。油层有效厚度物性标准是指孔隙度、渗透率和含油饱和度的下限截止值，其中，含油饱和度是基础。然而，含油饱和度确实最难与石油产量建立量化统计相关关系的参数，这一方面是由于一般岩心资料和测井资料难以求准油层原始含油饱和度，另一方面，试油作业不可能只以含油饱和度为准确量化的依据来选择试油层，同时，油气层试油产能的高低并不唯一或主要取决于含油饱和度，鉴于此，通常用孔隙度和渗透率来反映物性下限。有效厚度物性标准是指储集层能够成为有效储层应具有的下限截止值，通常用孔隙度、渗透率的某个确定值来表征[1，2]。确定有效储层物性下限的方法繁多，各有利弊，适用范围也各有差异，必须优选适用的方法。对物性标准研究的方法大致可分为三类[1，2]：测试法、统计学方法以及借助分析化验资料分析方法。

1 物性标准确定方法

1.1 测试法

测试资料是确定物性下限的最直接和最可靠的资料。常用的方法包括：比采油指数与物性关系法和试油法。

（1）比采油指数与物性关系法

若原油性质变化不大，建立每米采油指数与空气渗透率的统计关系，平均关系曲线与渗透率坐标轴的交点值为渗透率下限；若原油性质变化较大，可建立每米采油指数与流度的统计关系，平均关系曲线与流度坐标轴的交点值为原油流动与不流动的界限，该交点值乘以原油地下粘度为渗透率下限。

（2）试油法

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浅议提高大型杆类件镀铬层厚度均匀性的方法

作者：郭长林 张嵩 李红兵 刘二强

来源：《科技资讯》2018年第32期

摘 要：活塞杆对镀铬层厚度均匀性有严格要求。而在大型杆类镀件电镀硬铬中电镀时间长，镀铬电流大，加上镀铬液分散能力极差和电镀的尖端效应，易产生电流密度分布不均匀，造成镀件镀层厚度均匀性差。本文主要谈论的是影响大型杆类件镀铬层厚度均匀性的因素及提高大型杆类件镀铬层厚度均匀性的方法。

关键词：大型杆镀铬 均匀性 影响因素 辅助盖板

中图分类号：TQ153 文献标识码：A 文章编号：1672-3791（2018）11（b）-0098-02

镀硬铬因具有使镀件的外观更优美、硬度更大、更耐腐蚀、不易变色等特点而得到广泛的应用。而镀铬层均匀性是镀铬质量的主要指标。由于镀铬液的分散能力极差，在镀铬的过程中很难得到厚度均匀的镀层[1]。镀件设计、机械加工工艺、几何因素、电镀挂具、镀铬液成分、环境温度对镀铬层均匀性都有影响，从而也影响了镀铬在很多方面的运用[2]。传统的活塞杆加工多采用的工艺流程为：精磨（至镀前尺寸）→镀硬铬（至完工尺寸加0.03～0.05mm）→镀后精磨（至完工尺寸）→抛光→装配。这种工艺流程对镀层厚度的均匀性要求不是很高，只要最薄处达到厚度要求，镀后再将厚的地方经过打磨、抛光才能符合要求，但是这种方法所需的成本较高。为了降低成本同时保证产品质量，要求缩减镀后打磨、抛光工序，直接镀出合格的均匀性镀层，迫使我们进一步探讨镀铬层均匀性的影响因素和提高方法。

1 影响大型杆类件镀铬层厚度均匀性的因素

1.1 阳极与镀件布局的影响

镀件的厚度均匀性很大程度上取决于阳极与镀件之间的布局。一般情况下，阳极与镀件的距离越近，得到的镀层就与镀件的几何图形越相似。如果镀件与阳极的距离越近，电流密度在阳极表面的分布就越不均匀；如果阳极与镀件的距离太远，还会造成溶液电阻增大，使电能损耗增加。因此在电镀不同镀件时，掌握好距离是十分有必要的。镀件的不同部位也要确保与阳极的距离相同，保证溶液电阻相同，电流分布均匀[3]。因此要想能得到镀铬层的厚度均匀，在电镀的操作过程中必须合理地控制阳极和镀件的间距。

电镀层厚度标准要求对应表

类别 电镀种类 电镀厚度 功能

滚镀 镍 8um/min 光亮 防腐蚀较好

光滑防腐 一般功用

光滑 防腐好

蓝锌 6um/min 防腐好 柔和蓝色

彩锌 8um/min 防腐一般 五彩色

绿锌 6um/min 防腐好 军绿色

白锌 4um/min 防腐差 锌白色

黑锌 6um/min 防腐好 纯黑色

挂镀 钢铁镀鉻 Ni 8um/min Cass实验，连续喷雾16小时，达7级 Cr 0.2~0.3um/min

锌合金镀鉻 Cu 10~25um/min

中性盐雾测试96小时以上 Ni 5~10um/min

Cr 0.2~0.3um/min

铜镀鉻 Cu 10~25um/min

中性盐雾测试96小时以上 Ni 5~10um/min

Cr 0.2~0.3um/min