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O P T O R U N离子源的维护保养说明1．离子源的维护和Grid的分解和组装方法长时间运转後，石英杯内会被镀上一层的导电性膜，因此会引起输出功率下降，此时请进行打砂处理或使用洗净液（请使用不影响SiO2的洗净液）等除去膜层。
石英杯的清扫周期通常是50~100小时。
（根据使用状况更改维护的周期）。
注意：请注意石英杯很容易损坏。
在对石英杯进行打砂时，请使用粒度＃100的Al粒子，并保持0.1～0.2MＰａ的低压力，离石英杯30cm以上进行打砂作业。
1．1绝缘子的清洁长时间使用后，GridAssy部分的绝缘子会被镀上一层的导电性膜，此会引起Grid的短路，不能正常发挥作用。
并会出现ACC电流值过大或Beam 电流上不去的现象，此时需清洁或交换绝缘子。
由于绝缘子的清洁难度很大，建议您交换新品。
注意：确认各Grid间，2000Vdc时须20MΩ以上。
①②维护和交换时期各Grid间绝缘子的状态呈恶化趋势时，用打砂纸清洁其外表部。
Grid维护周期为每50~100小时确认其外观?绝缘，如有异常请及时清扫或交换。
如厚度有磨损，其磨损厚度为-0.02mm时，请交换新品。
（例如：t=1.0mm的绝缘子当变为t=0.98mm时，请交换新品。
）注意：请注意绝缘子很容易碎裂。
1．2Grid的清洁长时间使用后，各Grid的被镀上一层的导电性膜，特别是DecelGrid膜层很容易被剥离，请在不对着Grid的情况下用吸尘器除去的剥落的膜。
ACCGrid和SCRGrid请用测试仪点检，表面被绝缘时请及时清洗。
注意：Grid的分解和组装方法请参考添附资料。
1)浓度25%的洗净液（BR-55）里浸泡5~10小时。
（作为代替品25%的NaOH水溶液也可使用，但是洗净效果略差。
）或者使用超声波洗净机，能得到同样的洗净效果。
注意：BR-55和NaOH为危险物品，使用时请小心。
用超声波洗净机时请注意Grid由于振动所引起的破损。
2)边用热水清洗边用清洁布擦洗Grid表面，约洗10分钟以上，NaOH和赃物等将被洗净。
离子源加热器维修安全操作及保养规程离子源加热器是负责在质谱仪中形成离子的重要设备，为保证仪器的正常运行和数据的准确性，加热器的维修和保养非常重要。
本文将介绍离子源加热器的维修安全操作及保养规程。
一、维修安全操作规程1.1 工作前的准备在对离子源加热器进行任何维修操作之前，应做好以下准备工作：•仪器应处于断电和放电状态。
•建立安全范围并做好相应的安全警告标志。
•确定相应的维修工具和设备。
1.2 安全操作规程在进行离子源加热器的维修操作时，应遵循以下原则：•要仔细阅读设备使用说明书。
•使用适当的保护装置和工具，并保持设备清洁和润滑。
•总是保持安全距离和稳定的位置。
•避免让异物进入加热器中。
•每次维修操作后都要恢复设备的原始状态。
1.3 具体操作注意事项在进行离子源加热器的具体维修操作时，应注意以下事项：•在拆卸离子源加热器时，要先拔掉加热器的电源。
•使用恰当的工具来拆卸和安装离子源加热器。
•清理离子源加热器时，使用干净、柔软、不抛绒的纤维布，避免使用锐利的工具。
•如果需要更换零件，应注意确保替代件适用于设备。
•在重新组装设备后，要确认工作端口和信号通道不被损坏并被正确安装。
二、保养规程2.1 日常保养日常保养对于离子源加热器的长期正常运行至关重要。
以下是一些日常保养建议：•每日清除加热器内部碎屑和灰尘。
•定期清除加热器内部的沉积物和杂质。
•定期清理加热器的加热电源和温度控制电路。
•经常检查加热器的加热元件是否正常运作并避免工作在过高温度下。
2.2 定期维护在日常保养的基础上，定期进行其他维护操作可以延长离子源加热器的寿命。
•每年至少对加热器的加热元件进行一次更换，以确保加热器的正常运行。
•半年或一年对加热器的加热电源和温度控制电路进行一次清洗和维护。
•每年对加热器进行一次整体检查，检查维护记录并进行必要的更换和修理。
三、结论离子源加热器是质谱仪中非常重要的设备，在使用和维护过程中需要注意安全操作规程和保养规程。
真空镀膜机维护方法第一章电子枪1．电子枪枪头罩内容：电子枪头罩，须每日清洁一次；清洁的目的是清除膜料的残留物及其他异物资进入枪头内部而容易导致产生电压上升，扫描偏移和加快电阻丝的氧化反应，以及蒸发膜料时产生气体而产生静电现象。
1．1清洁方法：1）分解枪头罩后进行喷沙方式清洁；2）喷沙必须只操作枪头罩的外部；3）枪头罩的内里面绝对不可以喷沙，如果对内部经常性喷沙处理，会导致固定螺丝的磨损使得组装时不再扣紧，如长时间喷沙处理，严重影响或损坏螺纹结构，导致组装后出现枪头的中心与电阻丝的中心部位不吻合。
此因素会导致以下问题：①电子束扫描偏移或变化；②电子束闪动现象；③镀膜条件变化；④电子器件的故障等。
1．2 枪头分解事项内容：电子枪头在更换电阻丝时进行清洁。
1）电阻丝更换周期如下：例）A品电阻丝更换使用时，Zro2蒸发时所显示的电流值为 240A左右； IC/5中 Zro2的速率设定为（6.5 Rate）时，电阻丝使用较长， Zro2的电流值会上升到 270~280左右。
（电阻丝上有异物资或电阻丝已发生氧化，都会产生电流上升现象）这时可对电阻丝氧化反应现状进行直观确认。
2）枪头清洁方式①对枪头建议不采用喷沙方式进行清洁。
如确切需要采用喷沙方式清洁，可在不分解枪头的状态下进行，之后将枪头分解，对表面的残留物资进行清洁后组装即可。
②进行喷沙清洁时，尽可能对枪头固定部分和螺纹部分避免喷沙，对固定部分用细砂纸轻微擦拭。
（固定电阻丝部分如果喷沙会有损伤，导致紧固电阻丝时不紧密和偏形等结果）以上因素会导致以下问题：(.)光斑形状不规则；(.)光斑定位偏移；(.)会成为数据条件变化的因素。
1．3 电子枪扫描架1）电子枪角铁在清洁中必须慎重管理。
电子枪角铁（合金材料）物性虽然是强性，但通过延续使用过程中，因电子枪的高热而会转变为软性，所以，如遇较强冲击会导致变形，特别注意在喷沙过程中不可仍抛物现象，清洁过程中一定要注意。
真空镀膜机及附属装置操作保养规程随着科技的发展，真空镀膜技术已经被广泛应用在各种领域，包括电子产品、太阳能电池、汽车零件、玻璃制品等。
真空镀膜技术主要是将金属或非金属材料镀覆在基材表面，以增加其机械、光学和电学性能。
本文将介绍真空镀膜机的操作保养规程，以确保设备的正常运行和延长其寿命。
1. 设备操作规程1.1 开机前准备1.确保电源和空气源稳定，无异常。
2.检查真空室、抽气系统、镀膜材料和其他配件是否齐全。
3.清理真空室内部和复合阀的石英玻璃，使用专业的清洁剂，确保表面无杂质。
1.2 开机操作1.按照设备界面上的提示，使用遥控器开启电源。
2.等待设备运行到指定状态，打开复合阀门，开始抽真空。
3.根据设备的预设参数配置反应室温度、真空度等参数。
4.开始加热和镀膜处理，根据所需时间和厚度调整镀膜过程，直到完成。
5.关闭复合阀门，停止运行。
1.3 关机操作1.关闭加热系统和气动系统。
2.关机前，先将真空室抽空。
然后按指令关闭设备电源。
1.4 日常操作注意事项1.避免在设备温度高的情况下开门，防止产生热冲击，损坏设备。
2.镀膜材料每次使用完毕，必须清理干净，防止对后续操作产生影响。
3.定期检查和更换设备配件，确保设备完好无损。
2. 设备保养规程2.1 真空室清洁1.每次使用后，清理室内表面，防止杂质沉积以影响镀膜的质量。
2.镀膜完成后，用专业清洁剂清洗和擦拭内壁，避免污染下一次反应。
3.周期性检查和更换阀门、胶垫等易损配件，确保设备密封性。
2.2 抽气系统保养1.每次使用结束后，释放抽气系统中的胶垫和管道内的积水和气体杂质。
2.定期检查和更换抽气系统中的过滤器和机油。
2.3 加热系统保养1.镀膜完成后，关掉加热系统，避免超时运行造成设备损坏.2.定期检查和更换加热反应器和镀膜材料，确保其表面光洁，无擦伤和氧化膜。
3. 安全注意事项3.1 避免接触真空室内部设备运行时，真空室处于高真空状态，室内的气压非常低，容易生产危险，因此，操作人员不应在未维护安全措施的情况下接触真空室内部。
镀膜仪安全操作及保养规程镀膜仪是一种高科技的用于材料分析的仪器，如果不进行正确的操作和保养，可能会对人员和设备造成损害。
因此，对于使用镀膜仪的人员，了解其安全操作及保养规程是十分必要的。
一、镀膜仪的安全操作规程1.1 务必佩戴防护眼镜在使用镀膜仪时，必须佩戴防护眼镜以避免可能出现的光辐射导致伤害。
1.2 禁止在设备上玩耍严禁在设备上玩耍、喝饮料、食物等，以免污染设备，影响设备性能。
1.3 禁止在不了解设备使用规程的情况下操作设备在进行操作之前，务必仔细阅读设备使用规程，如有不理解的内容，应停止操作，询问相关技术人员。
1.4 定期检查仪器状态每次使用设备之前，都应该对设备状态进行检查，如发现问题，应及时与技术人员联系，并进行维修。
1.5 请勿随意更改设备配置设备配置是根据不同的实验需要定制的，如果需要进行更改，请先征得技术人员的同意。
二、镀膜仪的保养规程2.1 保持设备清洁设备内部需要经常清理，以确保其正常工作。
如需要清洗，应避免使用有害化学品，选择对设备无害的纯净清洁剂进行清洁。
2.2 检查真空泵油位镀膜仪使用真空泵时，需要定期检查油位，以确保设备正常运转。
同时，应该按照设备使用说明更换真空泵油。
2.3 不使用时离线并封存设备不使用时，应该进行离线处理，并封存干燥防尘，在确保设备安全的前提下，尽量减少设备的使用频率以增加设备的使用寿命。
2.4 定期对设备进行维护对于设备的维护，需要定期进行，如进行润滑、清洗、检修、更换设备配件等。
同时，完成维护后，应该对设备进行检测，并进行测试，以确保设备的一切操作正常。
三、结语在使用镀膜仪的过程中，正确的安全操作及保养措施是必要的，尤其是对于最先使用设备的新手来说。
通过本文，我们不仅了解到了正确的操作与维护规程，也可以避免自身的安全问题，同时保障设备的长时间使用和维护。
因此，我们应该认真遵守设备使用规程，加强设备的维护和保养工作。
镀金机镀膜仪安全操作及保养规程对于使用镀金机镀膜仪的人员来说，安全操作和保养规程至关重要。
按照正确的操作和维护流程，可以延长设备寿命，提高镀膜效果。
本文将为您介绍镀金机镀膜仪的安全操作和保养规程。
安全操作规程1. 了解设备在使用镀金机镀膜仪之前，需要对设备进行初步了解，包括设备构造、控制方式、操作方法等等。
必须熟悉所有的按钮和开关的作用以及对设备性能的影响。
2. 进行安全检查在操作镀金机镀膜仪之前，需要进行全面的安全检查，以确保设备运行时没有任何危险。
首先要检查电源开关是否关闭，并确认所有地面线和光缆连接是否牢固。
同时，需要确保设备内部的所有压力和温度传感器调谐良好，并且水箱、水泵、气缸等设备外观是否有损坏。
如果发现有任何问题，需要及时采取措施予以解决。
3. 佩戴个人保护设备在使用镀金机镀膜仪的过程中，必须佩戴个人保护设备，以确保工作场所的安全。
例如，需要戴上手套、护目镜、口罩等，以防止金属物质、腐蚀性或毒性气体等对人体造成伤害。
4. 确认涂层物质的性质在选择涂层物质之前，必须进行系统的分析和测试，其中包括涂层物的基础材料、颜色、耐腐蚀性等等。
此外，还需要选择一种相应的涂层方法，以确保涂层质量。
5. 清洁设备在设备开始工作之前需要清洁，制备前需进行设备的全面洗涤，包括清洗涂层室、光源、天线等。
此外，镀金机镀膜仪需要进行定期检查和维护，以确保工作效果的稳定性。
6. 调试涂层程序在使用镀金机镀膜仪进行涂层处理时，必须对涂层程序进行严格的监控和调试，以确保装置的稳定性、均匀性和涂层厚度的Consistency。
任何明显的失控现象都需要立即停止操作，然后调查问题的根本原因。
偶发的失误可能会导致严重的机器损坏或人员伤亡。
7. 合理规划生产时间在涂层处理结束后，需要合理规划生产时间，以确保设备的正常运行。
此外，还需要妥善保管机器的所有部件和备件，以备不时之需。
设备保养规程1.定期检查设备，并更换损坏的部件。
OPTORUN离子源的维护保养说明1．离子源的维护和Grid的分解和组装方法长时间运转後，石英杯内会被镀上一层的导电性膜，因此会引起输出功率下降，此时请进行打砂处理或使用洗净液（请使用不影响SiO2的洗净液）等除去膜层。
石英杯的清扫周期通常是50~100小时。
（根据使用状况更改维护的周期）。
注意：请注意石英杯很容易损坏。
在对石英杯进行打砂时，请使用粒度＃100的Al粒子，并保持0.1～0.2M Ｐａ的低压力，离石英杯30cm以上进行打砂作业。
1．1 绝缘子的清洁长时间使用后，Grid Assy部分的绝缘子会被镀上一层的导电性膜，此会引起Grid的短路，不能正常发挥作用。
并会出现ACC电流值过大或Beam电流上不去的现象，此时需清洁或交换绝缘子。
由于绝缘子的清洁难度很大，建议您交换新品。
注意：确认各Grid间，2000Vdc时须20MΩ以上。
①②维护和交换时期各Grid间绝缘子的状态呈恶化趋势时，用打砂纸清洁其外表部。
Grid维护周期为每50~100小时确认其外观・绝缘，如有异常请及时清扫或交换。
如厚度有磨损，其磨损厚度为-0.02mm时，请交换新品。
（例如：t=1.0mm的绝缘子当变为t=0.98mm时，请交换新品。
）注意：请注意绝缘子很容易碎裂。
1．2 Grid的清洁长时间使用后，各Grid的被镀上一层的导电性膜，特别是Decel Grid膜层很容易被剥离，请在不对着Grid的情况下用吸尘器除去的剥落的膜。
ACC Grid和SCR Grid请用测试仪点检，表面被绝缘时请及时清洗。
注意：Grid的分解和组装方法请参考添附资料。
1) 浓度25%的洗净液（BR-55）里浸泡5~10小时。
（作为代替品25%的NaOH水溶液也可使用，但是洗净效果略差。
）或者使用超声波洗净机，能得到同样的洗净效果。
注意：BR-55和NaOH为危险物品，使用时请小心。
用超声波洗净机时请注意Grid由于振动所引起的破损。
2) 边用热水清洗边用清洁布擦洗Grid表面，约洗10分钟以上，NaOH和赃物等将被洗净。
光学镀膜机安全操作及保养规程为了保障人员安全和设备的正常使用寿命，使用光学镀膜机必须要遵守以下的操作和保养规程。
请操作人员和维修人员认真阅读并严格执行。
安全操作规程1. 设备安装在正式使用光学镀膜机前，需要先进行设备的安装和调试。
安装前需要确认设备的基础构造和安装位置是否符合要求。
在设备放置位置，需要保证有充足的周围空间，方便操作人员进行维修和操作。
2. 通电前检查在通电前，需要进行设备的检查。
检查的内容包括：1.电源及接线是否正常2.各管路接口是否正常连接，管路是否处于正确的状态3.光源是否正常4.反应釜是否安装到位，密封是否正常3. 操作规程1.操作人员需要熟悉整个设备的工作原理和方法，正确的进行每个步骤和参数的设置。
2.操作时需要戴好防护手套、护目镜等个人防护装备。
3.操作人员需要在设备工作时，时刻关注设备运行状态，及时发现并处理异常情况。
4.操作人员在启动加热系统时，需要逐级升温，过快升温可能会导致设备损坏。
5.操作过程中如果出现意外情况，需要立即停止设备，并向维修人员报告事故情况。
4. 关机操作关机时需要按照以下顺序执行：1.先关闭电源开关，切断电源。
2.关闭反应釜及设备各部分的温度控制开关。
3.停止气体进口并关闭阀门。
保养规程1. 日常保养日常保养主要是设备的基础维护，包括设备外观、电气环境、检修要求等。
1.设备外观需要经常进行清洗和除尘，头盔及反应釜及各部件面板等需要保持清洁。
2.电气环境需要保证干燥、清洁，避免电气线路出现渗水现象。
3.需要对设备进行定期的检查，主要检查设备各部分的联接情况、管路情况、电气连接情况等。
2. 定期保养设备在长时间使用后，需要进行定期保养，以便确保设备的正常使用寿命和良好的状态。
1.超高真空泵需要对过滤器进行清洗、更换。
2.部分电器元件需要按照使用寿命进行更换或维护，如加热丝、电子管等。
3.反应釜和各部位密封件需要进行更换或擦拭润滑。
以上是我们针对光学镀膜机的安全操作和保养规程的详细说明。
OPTORUN离子源的维护保养说明1．离子源的维护和Grid的分解和组装方法长时间运转後，石英杯会被镀上一层的导电性膜，因此会引起输出功率下降，此时请进行打砂处理或使用洗净液（请使用不影响SiO2的洗净液）等除去膜层。
石英杯的清扫周期通常是50~100小时。
（根据使用状况更改维护的周期）。
注意：请注意石英杯很容易损坏。
在对石英杯进行打砂时，请使用粒度＃100的Al粒子，并保持0.1～0.2M Ｐａ的低压力，英杯30cm以上进行打砂作业。
1．1 绝缘子的清洁长时间使用后，Grid Assy部分的绝缘子会被镀上一层的导电性膜，此会引起Grid的短路，不能正常发挥作用。
并会出现ACC电流值过大或Beam电流上不去的现象，此时需清洁或交换绝缘子。
由于绝缘子的清洁难度很大，建议您交换新品。
注意：确认各Grid间，2000Vdc时须20MΩ以上。
①②维护和交换时期各Grid间绝缘子的状态呈恶化趋势时，用打砂纸清洁其外表部。
Grid维护周期为每50~100小时确认其外观・绝缘，如有异常请及时清扫或交换。
如厚度有磨损，其磨损厚度为-0.02mm时，请交换新品。
（例如：t=1.0mm的绝缘子当变为t=0.98mm时，请交换新品。
）注意：请注意绝缘子很容易碎裂。
1．2 Grid的清洁长时间使用后，各Grid的被镀上一层的导电性膜，特别是Decel Grid膜层很容易被剥离，请在不对着Grid的情况下用吸尘器除去的剥落的膜。
ACC Grid和SCR Grid请用测试仪点检，表面被绝缘时请及时清洗。
注意：Grid的分解和组装方法请参考添附资料。
1) 浓度25%的洗净液（BR-55）里浸泡5~10小时。
（作为代替品25%的NaOH水溶液也可使用，但是洗净效果略差。
）或者使用超声波洗净机，能得到同样的洗净效果。
注意：BR-55和NaOH为危险物品，使用时请小心。
用超声波洗净机时请注意Grid由于振动所引起的破损。
2) 边用热水清洗边用清洁布擦洗Grid表面，约洗10分钟以上，NaOH和赃物等将被洗净。
3) 用干燥机干燥。
4) 利用Grid固定夹具（参考照片1，2），并使用#300的砂纸摩擦Grid表面直到表面的赃物和变色消失为止。
注意：不要使Grid变形。
照片１Grid固定夹具(凸側)照片2 Grid固定夹具(凹側)5) 再用热水清洗并用清洁布擦洗Grid表面，约洗20分钟以上，洗净附着的NaOH和赃物等。
6) 用Air Gun吹散Grid上的水分。
注意：使用Air Gun时注意使用不含油的清洁空气。
压力在0.05～0.1Mpa之间以防Grid变形。
7) 用干燥机干燥后，维护清洗结束。
注意：作业中须谨慎，以防止Grid的变形和破损。
本清洗仅对酸化膜(SiO2、Ta2O5)有效，因使用状态不同，也会出现洗不净的场合。
2．中和器的维护方法（1）放电室（陶瓷放电室、陶瓷盘）的清扫长时间运转后，放电室会被镀上导电性膜，因此会引起放射电流下降需较高RF输出,此时用打砂的方式去除膜层。
但要注意不要损伤陶瓷放电室和陶瓷盘的接触面，以免漏气。
打砂时请注意用胶带等进行保护。
注意：有关分解，组装请参考添附资料。
请注意不要破坏放电室上绕着的线圈的形状，转动放电室然后再取下。
（2） RFN收集器(Collector)的清扫长时间运转后，collector表面被氧化或形成其它绝缘膜，因此会引起发射电流下降,并且启动困难，此时用打砂的方式去除膜层。
注意：不要使收集器(Collector)变形。
组装时要尽量减少陶瓷放电室和collector之间的缝隙。
（3） Keeper和中和器主体的清扫长时间运转后，keeper表面形成绝缘膜，因此会使动作不安定。
请使用测试仪确认附资料1 离子源Grid的分解和组装方法※请参照添附图纸进行作业。
分解１拆下Grid Mount Assy.Grid Mount Assy.作業容注意点从离子源主体上拆下Grid Mount Assy.分解２拆下Quartz ChamberQuartz ChamberMount Ring作業容注意点先拆下六角螺钉，然后拆下石英杯Quartz Chamber和Mount请注意石英杯很容易碎裂。
Ring。
分解３拆下Grid Assy. 1六角螺母（M4）六角螺钉Grid Mount Plate （M5×L8―４个）六角螺钉（M4×L6）作業容注意点拆下六角螺钉和六角螺母后再将Grid Mount Plate拆下。
分解４拆下Grid Assy. 2Grid RetainerPlate六角螺钉（M4×L6）作業容注意点拆下六角螺钉後，再拆下Grid Assy. 和Grid Retainer Plate.分解５Grid的分解六角螺母（M4）六角螺母（M3）和六角螺钉（M3×L5）作業容注意点请注意Grid很容易变形。
拧松Grid Assy.的六角螺母后，分解Grid。
拆下ACC Grid 的ACC Connector。
分解６Grid的说明GRID №校正孔校正孔Grid No.S○○○: Screen GridA○○○: Acc GridD○○○: Decel Grid（○○○为制造番号）只有1个地方方向不同１箇所のみ向きが違います。
作業容注意点Grid如上所示注有标记。
组装时请注意。
組装１Grid的组装1六角螺钉（M4×L20）Insul ator2作業容注意点将Grid组装夹具水平放置，装上六角螺钉和Insulator2。
组装2 Grid的组装2Decel Connector作業容注意点Decel Connector如图放置。
对准Grid组装夹具和Decel Connector 的孔。
组装3 Grid的组装3对准孔的方向不同Decel Grid作業容注意点Decel Grid的凸面向下，对准孔的位置。
（発散GRID的场合）収束Grid的凸面向上放置。
组装4 Grid的组装4Shield Insulator Grid Insulator1(t=1.0)作業容注意点Shield Insulator和Grid Insulator1如图放置。
请注意Grid Insulator的厚度有两种（t＝1.0、1.2）。
组装5 Grid的组装5六角螺钉（M3×L5）和六角螺母（M3）Acc Connector Acc Grid（根据组装夹具的孔决定方向）作業容注意点将Acc Grid如图安装，注意对准孔的位置。
（根据组装夹具的孔决定Acc Connector的方向，然后再安装。
组装夹具的孔和Acc Connector 孔要对准。
组装6 Grid的组装6Shield Insulator Grid Insulator2 (t=1.2)作業容注意点将Shield Insulator和Grid Insulator2如图放置。
注意Grid Insulator的厚度有2种（t= 1.0, 1.2）组装7 Grid的组装7对准孔Screen Connector对准孔Screen Grid作業容注意点如图所示，根据4个对准孔放置Screen Grid。
组装8 Grid的组装8六角螺母（M4）平型垫圈（4）和波形垫圈（4）Insulator1作業容注意点Insulator1，平型垫圈（4）和波形垫圈（4）如图放置、暂时用六角螺母固定。
组装9 Grid的组装9对准钉作業容注意点将对准钉插入Grid的对准孔。
若对准钉不能向下插入，说明Grid安装错误，请再度确认。
对准钉穿过后，旋转对准钉，确认各对准钉并不是强行才能旋转。
组装10 Grid的组装10作業容注意点如图所示拧上六角螺母，完成之后拔去对准钉拆下组装夹具。
确认各Grid之间的Shield Insulator 和Grid Insulator没有重叠。
8 15 42 7 36组装11 Grid Retainer Plate的安装GRID ASSY六角螺钉（M4×L6）Screen Connector平型垫圈（4）Grid Retainer Plate作業容注意点如图所示将Screen Connector和Grid Assy.,Grid Retainer Plate组合。
组装12 Grid Mount Plate的安装Acc Touch FlakeAcc ConnectorDecel Connector Grid Mount Plate波型垫圈（12）作業容注意点如图所示将Acc Connector和Decel Connector组合後，将Grid确认波型垫圈（12）是否装上。
Assy.装在Grid Mount Plate上，然后装上Acc Touch Flake和绝缘子。
组装13 Quartz Chamber的组装Quartz ChamberMount Ring作業容注意点组装Quartz Chamber和Mount Ring。
组装14 导通・绝缘测试Decel Grid – Acc Grid: 绝缘Acc Grid – Screen Grid: 绝缘Screen Grid – Decel Grid: 绝缘Decel Grid – Grid Mount Plate: 绝缘Screen Grid – Grid Retainer Plate: 绝缘Acc Touch Flake – Acc Grid: 导通作業容注意点组装完成后，使用测试仪进行导通・绝缘测试。
上记测试，如有异常时，请再次确认。
添附资料2 中和器分解・组装方法※请参照添附图纸进行分解・组装作业。
分解1 Keeper的分解Keeper Nut(2pcs) Keeper作業容注意点拆下Keeper Nut和Keeper。
分解2 拆下Shroud六角螺钉（M3×L5）、平型垫圈各４个作業容注意点先拆下六角螺钉（M3×L5），然后再分解Mount Flange和Insulator Plate。
分解３Insulator Plate的分解和清洗六角螺钉（M3×L8 4个）作業容注意点先拆下六角螺钉，然后再分解Mount Flange和Insulator Plate。
Insulator Plate很容易碎裂。
如Insulator Plate附有赃物，请用打砂纸去除。
分解4 Collector的分解和清洁螺母（M4）Collector作業容注意点拆下六角螺母後，分解Collector。
如Collector附有赃物，请Collector很容易变形。
用打砂纸去除。
分解5 Discharge Chamber分解和清洗Discharge Chamber作業容注意点如Discharge Chamber附有赃物，请用打砂纸去除。
