扫描电镜的使用演示 (2)
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Tescan3型扫描电子显微镜操作规程1、开机:打开N2阀门(1)开启并确认稳压电流:220v。
(2)打开电镜主开关,由OFF位转向ON位,等待计算机完成启动。
(3)如果进行元素分析,则先打开QUANTAX程序,后打开VEGA程序,确认用户、语言、密码,等待软件进入系统。
(4)系统自动进行硬件、软件自检。
(5)单击VEGA中的[PUMP],抽真空开始。
(6)待真空状态显示条由红变绿,真空度小于10^-5torr后,即真空达到要求,单击[HV]接通电镜高压,开始观察样品和照像。
2、更换样品(1)单击[HV],切断高压。
(2)手动调节样品台,使其回到初始位置。
(3)单击窗口中的[泄真空],样品室放空,调节合适的N2流量进入,不能使N2流量太大,通常控制出口压力表在0.1刻度左右。
(4)真空指示红条消失后,样品室恢复为大气压,打开样品室门,更换样品。
(5)待更换好样品后,轻按样品室舱门,点击[Pump]抽真空,真空指示进度条变绿,真空度小于10^-5torr后,方可点击[HV]开启高压。
(6)确认BSE探头已摇出。
3、样品观察和物相、成分分析(1)根据样品特性,选择放大倍数、合适的电镜参数,如BI(束流)、工作距离WD和高压HV,确认高压值和发射电流,若无电流或高压,做adjustment》auto gun heating(30kv (75±5)μA; 20kv (100±5) μA ),进行观察。
(2)按照操作界面上软件的各种功能菜单,进行调节、使图像清晰度至最佳。
(3)根据放大倍数,选择合适的扫描速度采集图像并存储。
(4)如果对样品进行成分分析,应该将WD调至15mm左右,手动调节样品台高度,直至清晰为止(空载时,物镜极靴与样品台的安全高度为3mm;当BSE探头摇进时,安全高度为8mm)。
(5)在扫描窗口中,双击选择所要测量的小区域,调整BI,检测计数率。
(6)能谱分析时,要根据样品性质,选择合适的电镜加速电压,设置采谱时间,EDS的时间常数,调整束流使能谱计数率CPS为适当值(一般,总数率=采样时间*计数率,总数率的值大于25万)。
sigma300扫描电镜操作及运用扫描电镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种基于电子束扫描表面的显微镜,广泛应用于材料科学、生物学、地质学等领域的表征和分析。
sigma300扫描电镜是一款高性能的SEM设备,本文将详细介绍如何操作和运用这一设备。
一、sigma300扫描电镜的基本组成二、sigma300扫描电镜操作流程A. 准备工作B. 扫描电镜样本制备C. sigma300扫描电镜的开机操作D. sigma300扫描电镜的参数设置E. SEM样品的加载与调整F. sigma300扫描电镜的成像操作三、sigma300扫描电镜的应用举例一、sigma300扫描电镜的基本组成:sigma300扫描电镜主要由以下几个部件组成:1. 电子枪和聚焦系统:产生并聚焦电子束,决定分辨率和放大倍率。
2. 对焦和台移部件:用于调整和控制样品与电子束之间的距离,以获取清晰的图像。
3. 检测系统:接收被电子束激发后的信号,包括二次电子和反射电子信号。
4. 显示和记录系统:将探测到的信号转换成图像,并进行显示和记录。
5. 控制系统:用于控制扫描电镜的操作和参数设置。
二、sigma300扫描电镜操作流程:A. 准备工作:在操作前,确保室内温湿度适宜,并检查sigma300扫描电镜的电源是否正常。
保持操作环境整洁,并穿戴相应的防护设备。
B. 扫描电镜样本制备:将待观察的样品进行样本制备,例如通过切片、表面抛光、金属镀膜等处理,以提高样品的导电性和观察效果。
C. sigma300扫描电镜的开机操作:1. 打开sigma300扫描电镜的电源开关,确保其连接正常。
2. 启动控制系统,并等待系统自检完成,并确保SEM设备处于稳定状态。
D. sigma300扫描电镜的参数设置:1. 在控制系统界面上,选择适当的操作模式和参数设置,例如选择加速电压、电流、放大倍率等。
2. 对于样品的性质和需求,调整扫描电镜的工作参数,以获取最佳的成像效果。
扫描电镜(Quanta200FEG)操作规程环境扫描电镜(Quanta200FEG)操作规程一.在Standby状态时:2.开启显示器;3.开启电镜控制器(主机),进入Window2000操作系统,在提示下输入用户名及密码并确认;4.按下镜筒前面板上的绿色按钮,亮为开启状态;5.在Window2000操作界面下,鼠标左键双击“某TMicrocopeServer”图标,进入Server界面;6.等待Gun&Vacuum、Optic、Motion及Imaging等四个信号灯全都变绿以后,鼠标左键单击“Start”,使系统开始进行初始化。
待操作界面(UI)出现后,鼠标左键单击某TMicrocopeServer界面右上角的“某”将该界面最小化至Window2000操作界面的右下角(双击绿色近圆形图标可将其再次打开);7.根据提示,输入用户名及相应的密码并确认,然后做“HomeStage”;8.确认GunPreure正常(≤3e-7Pa)后,鼠标左键单击操作界面右上角的“Alignment”按钮,打开下拉菜单,选“5-EmitterControl”,鼠标左键依次单击“Start”、“Ne某t”、“EmitterON”等,以点燃灯丝。
这过程约需40分钟,然后鼠标左键单击Finih以结束该过程。
待EmiionCurrent的数值稳定后(大约需要2-10小时)可以进行下一步的工作。
二.在Overnight状态时:1.确认水温水压及气压正常;2.拉开样品室门,放入测试样品,用专用规尺测量样品的高度,一般应在10mm刻度线以下;3.轻轻关紧样品室门,同时须注意样品上表面与极靴要有一定距离,鼠标左键单击“Pump”,使样品室抽真空(这时真空信号指示灯由红变黄);4.当真空信号指示灯由黄变绿后,可以加高压开始测试(为保护TMP,一般应到5e-3Pa以后再加高压)。
选择合适的高压(HighVoltage)及束斑(SpotSize);5.按住鼠标右键调聚焦,然后鼠标左键单击“CoupleZtoFWD”,建立Z轴高度与焦距的关联(需在由低至高的不同放大倍率下反复多次);6.选择合适的对比度和亮度和观察区域,反复聚焦及消像散(一般在3000倍以下不须要消像散)。
扫描电镜的使用演示一、试验目的1)了解扫描电镜基本结构和工作原理。
2)通过对表面形貌村度和原子序数衬度的观看,了解扫描电镜图像衬底原理及其应用。
二、扫描电镜的基本结构和工作原理扫描电子显微镜采用细聚焦电子束在样品表面逐点扫描,与样品相互作用产行各种物理信号,这些信号经检测器接收、放大并转换成调制信号,最终在荧光屏上显示反映样品表面各种特征的图像。
扫描电镜具有景深大、图像立体感强、放大倍数范围大、连续可调、辨别率高、样品室空间大且样品制备简洁等特点,是进行样品表面讨论的有效分析工具。
扫描电镜所需的加速电压一般在1〜30kV,常用的加速电压~20kV左右。
图像放大倍数在肯定范围内(几十倍到几十万倍)可以实现连续调整,放大倍数等于荧光屏上显示的图像横向长度与电子束在样品上横向扫描的实际长度之比。
扫描电镜最常使用的是二次电子信号和背散射电子信号,前者用于显示表面形貌衬度,后者用于显示原子序数衬度。
扫描电镜的基本结构可分为电子光学系统、扫描系统、信号检测放大系统、图像显示和纪录系统、真空系统和电源及掌握系统六大部分。
三、扫描电镜图像衬度观看1 .样品制备扫描电镜的优点之一是样品制备简洁,对于新奇的金属断口样品不需要做任何处理,可以直接进行观看。
但在有些状况下需对样品进行必要的处理。
1)样品表面附着有灰尘和油污,可用有机溶剂(乙醇或丙酮)在超声波清洗器中清洗。
2)样品表面锈蚀或严峻氧化,采纳化学清洗或电解的方法处理。
清洗时可能会失去一些表面形貌特征的细节,操作过程中应当留意。
3)对于不导电的样品,观看前需在表面喷镀一层导电金属或碳,镀膜厚度掌握在5-IOnm为宜。
2 .表面形貌衬度观看二次电子信号来自于样品表面层5〜IOnm,信号的强度对样品微区表面相对于入射束的取向特别敏感,随着样品表面相对于入射束的倾角增大,二次电子的产额增多。
因此,二次电子像适合于显示表面形貌衬度。
二次电子像的辨别率较高,一般约在3〜6nm0其辨别率的凹凸主要取决于束斑直径,而实际上真正达到的辨别率与样品本身的性质、制备方法,以及电镜的操作条件如高匝、扫描速度、光强度、工作距离、样品的倾斜角等因素有关,在最抱负的状态下,目前可达的最佳分辩率为Inrn o扫描电镜图像表面形貌衬度几乎可以用于显示任何样品表面的超微信息,其应用已渗透到很多科学讨论领域,在失效分析、刑事案件侦破、病理诊断等技术部门也得到广泛应用。
扫描电镜基本操作 1、进样后,等待电镜抽真空,当真空读数小于5E-04,开启电子枪,打开观察Observation (点击按钮ON 变绿色),点击操作台上ACB (自动白平衡),WD 调到10.0mm (CL 要调到14.1mm ),移动操作球(X,Y , 或使用鼠标右键选取点击位置到屏幕中心),找到观察样品表面,将放大倍数调大,旋转操作球的旋钮调整Z 轴到合适的观察距离使得画面清楚(注意Z 轴动态,不要超过2mm ,操作球旋钮调整Z 轴的速率跟放大倍数成反比)。
2放大倍率旋钮顺时针可将样品放大至需要的倍数,反复调整焦距,使样品表面尽量清楚(可找到样品表面的裂缝或突起作为参照物)。
若画面还不清楚,可先放大到较高倍率(1万倍以上)反复调整像散x 、y 及焦距至影像清楚,直至影像清晰后再切回所需倍率。
3、进行上述操作后,若图像仍不清楚,可点击操作面板上的WORB 模式进行对中操作,此时面板上的WORB 和ALIGN 灯会持续闪烁,此时画面应像心脏一样跳动,若左右或上下晃动需调整像散的X ,Y ,调好后点STIG 会取消对中模式,反复切换对中模式和像散模式,结合焦距进行图像调整。
4、扫描模式:快速扫描模式QUICK VIEW (QUICK 1移动快, 再点一下显示屏上可看到变成QUICK 2),在LED (二次电子图像)模式下,移动或者调焦距需在QUICK 1模式下。
慢速扫描模式FINE VIEW (FINE 1移动慢但成像较好,FINE 2照相的速度),在BED-C (背散射模式)或CL(阴极发光模式)下可切换到FINE 1模式下观察或移动。
5、LED (二次电子图像)模式是观察样品的表面形貌;BED-C (背散射)模式代表了样品的成分,颜色不同成分不同。
鼠标左键点LED 可在下拉列表中切换。
切换前,需在右下角SRBE 前点对号把背散射探头送进去。
在BED-C (背散射模式)下可慢慢旋转BRIGHTNESS 和CONTRAST 来调节亮度和对比度,若图像模糊可把对比度和亮度调大,若图像中亮的太亮看不清内部结构可把对比度和亮度同时稍调低。
SEM操作手册一、开机在电镜基座的前面板上有绿(ON)、黄(STANDBY)、红(OFF)三个按钮,见图一图一a 接通电源后,按红色按钮,电镜通电。
b 按黄钮,真空系统开始工作,整机处于待机状态。
c 约1分钟后按绿钮,所有系统开始工作,同时电脑自动启动(或人工手动启动),进入系统。
d 双击SmartSEM并登陆。
二、放置样品(1)从样品室放入样品a 键盘点击Ctrl+G,打开扫描电镜控制窗口(SEM Control)。
该窗口包括六个控制版面(如图二):电子枪(Gun)、探测器(Detector)、光阑(Aperture)、真空(Vacuum)、样品台(Stage)。
b选中Vacuum版面,点击Vent对样品室通入氮气(Vent前确保EHT已经关掉)。
图二c等待几分钟后,样品室可以打开,放入样品(如图三),样品台卡在燕尾槽中,确认样品台卡紧了即可。
图三(2)用Airlock放置样品图四a 确认Stage已经处于Exchange位置:在Smart SEM的菜单栏依次选择Stage→Store/Recal →$exchange。
b 点击Airlock面板上的Vent按钮,卸掉交换室中的真空,将样品台卡在交换室的燕尾槽中,用样品传输杆拧紧样品台。
c 点击Transfer按钮(抽真空时手推紧一下舱门),抽真空后隔离舱门打开,样品传输杆伸入样品仓内,将样品台卡在样品基座上的燕尾槽中,旋松螺丝后将样品传输杆拉出来。
d 点击Airlock面板上的Store按钮,关闭舱门。
(注意:舱门关闭后Store灯才停止跳动,这段时间内舱门在向内平移,仍处于未闭合状态,不能泄真空)三、观察样品(1)移动样品台,调节样品和物镜之间的工作距离a如果已经勾选了Joystick disable,在stage中取消Joystick disable选项。
PS: 在SmartSEM 5.06中,增加了Stage Disabe选项,此选项也需要取消勾选。
[1]把key从off转到start,之后会自动转换到on[2]EVAV抽真空,该键前的绿灯闪则 wait,不闪则start [3]放样品:点air(如上图),wait[4]量尺寸:在如图刻度处测量尺寸。
Attention:应该输入稍高的尺寸,如测量为10,输入12[5]放样品按如图左侧白色按钮,然后插入样品,一定要插到底,否则尺寸会有误差。
样品放好后会自动旋转90度。
(样品越矮,照的越清楚)[6]输尺寸放入样品后按白色按钮,会自动在页面上出现一个对话框,点取消cancel,之后出现stage界面。
点set,输入高度,点OK。
注:圆盘尺寸为51,32,26[7]image设置把PROTTATIOW设置为0[8]抽真空点右上角EVAV键,等响一声后点左上角on[9]设置stage界面Z值一般用10-15照相,越近分辨率越好,断口要远点一般先调20,没有问题后调15或者直接调10. 注:最小为6[10]聚焦先聚焦再调倍数,先看1000倍左下角(大):放大倍数旁边(两个):相散。
(聚焦不成功时,调使图像清楚)右侧上边(两个):颜色对比度右侧下边(左):粗调(放大倍数)右侧下边(右):微调(放大倍数)右侧下边(两个):聚焦[11]小图调用Redf键调,先调高倍,再看低倍[12]调亮度如上图,用ABCC自动调亮度[13]照相先在D盘建一个文件夹。
点1280键照相。
Attention:1.导电性差的用fast,后面选8或者16 frames2.slow分辨率高,一般选择20或者40 s[14]保存电压右边扭TV1为打开图像键,all为全存,或者选择图像之后点save,设名字[15]再照相再照相按1280重新选择别的地方照,按run,转换成freeze(如图)换样品步骤:[1]点左上角off[2]点右上角homez65(前为紫色)[3]点右上角air(前为桔黄色)出样品响三声后OK[4]放样品Attention:[1]高电压,低电流图像分辨率高,电流一般60左右,看能谱,电流高点[2]当看到视场中的相上下左右动时,considered相散questions,按盘上相散按钮[3]如果还动,按screen的alight键,准确调。
扫描电镜操作方法1、接通电源,打开电镜主机上的开关(开关有三个档,第一档为关闭,第二档开启,第三档为启动)启动的时候把钥匙放在第三档大约两秒钟松手,电镜启动,钥匙自动回到第二档(回到第二档的原因是防止突然断电,又突然来电)。
2、打开电脑。
3、打开电脑桌面上的电镜操作软件(打开软件电镜真空泵会自动工作,开始抽电子枪与样品室内的空气。
此时软件上的“HT”为灰色,真空抽完之后,“HT”会变成蓝色)4、点操作界面的Sample,选择“Vent”(此时电镜主机上的“放气”指示灯开始闪烁,停止闪烁为工作完成),调正“Staqe”中的“Z”轴为40mm以上(“Z”轴最大位置为80mm),打开样品室,取出样品台(注意:在取样品台时手不得接触二次电子探头和背散射探头),固定样品(样品要确保良好的导电性),完成后再抽真空,点击Sample中的“Evac”,真空泵开始工作,当“HT”变为蓝色,抽真空完成。
5、确定工作电压与工作距离(工作电压“Acc.volt”一般为30KV,工作距离“WD”一般为10mm,束斑Spotsize一般为30,工作模式Signal:二次电子SEI和背散射BEW,真空模式Vac.mode:HV和LV)在确定工作电压和工作距离时,不用看原来的数值是多少都要重新指定。
6、点击“HT”打开高压,“HT”变为绿色。
7、打开“Staqe”通过调正“X、Y、T、R”四个轴向找到样品的位置,再调正“Z”轴确定样品台的位置(注意:在确定工作位置的时候要确定样品的高度。
如:样品为2mm,那么Z轴的数值应调正为15mm),放大样品到模糊看不清的倍数,通过对“Z”轴的上、下位置调正样品为最清淅的位置,再放大样品到模糊看不清的倍数,再用同样的方法调正到最清淅的位置。
8、点击“Vlew”使放大倍数回到30X,9、先放大到一个合适选择最佳拍照位置的倍数,选择一个最佳的拍照位置(样品表面尽量平整)10、旋转操作台上的放大旋钮到样品合适的放大倍数(此数值的确定跟据样品的不同而不同),氧化锌的适合放大倍数为15000X,软件上操作窗口的Soan2为被选择状态。
Zeiss Supra55(VP)扫描电子显微镜简明操作指南一、开机说明冷启动步骤1、启动UPS打开墙上空气开关,确认UPS后面电池开关打开,按前面面板上On键至两个绿灯亮。
2、启动循环水冷机。
按On键,确认水泵1和制冷指示灯亮。
检查出水口压力在2~3bar.出水口压力可由压力表下方阀门调节。
若有报警,检查水位,按Res键。
3、启动空气压缩机。
确认空气压缩机上启动阀门上开关为“I"状态。
检查输出气压为5~6bar。
4、确认主机后两个电源开关状态为On.此时,主机前面板上红灯亮.5、按下黄键。
说明:前级真空泵进入工作状态,分子泵、潘宁计和离子泵自动顺序启动。
6、按下绿键。
按下绿键后,电脑会自动启动,输入计算机密码:7、启动SmartSEM软件。
用户名: system 密码:8、检查真空值,等待真空就绪.注意:当System Vacuum<2×10-5mBar时,会自动打开CIV阀门(column isolation valve),并启动离子泵。
当Gun Vacuum=〈5×10-9mBar时,可启动灯丝。
若长期停机,需做烘烤。
9、开启灯丝.10、开TV,检查样品台。
11、装样品(见第二部分)。
12、加高压(EHT).13、观察样品。
待机状态1、关闭高压(EHT).2、关闭SmartSEM软件。
注意:分两步,先关用户界面User Interface,后关后台程序EM Server。
3、关Windows。
4、必要时,关能谱、EBSD。
5、按下黄键此时,电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。
电镜真空系统和灯丝继续工作.待机状态启动1、按下绿键。
按下绿键后,电脑会自动启动,输入计算机密码:2、启动SmartSEM软件.用户名:system 密码:3、检查真空值.4、换样或加高压观察样品。
关机步骤1、关高压(EHT)和灯丝。
2、关SmartSEM软件。
注意:分两步,先关用户界面User Interface,后关后台程序EM Server。
操作手册扫描电镜使用方法说明书为了帮助用户准确并便捷地使用操作手册扫描电镜(以下简称SEM),本说明书详细介绍了SEM的使用方法。
请用户在使用前仔细阅读并按照说明书的步骤进行操作,以充分发挥SEM的功能和性能。
一、SEM简介操作手册扫描电镜(Scanning Electron Microscope)是一种常见的科学仪器,广泛应用于材料科学、生物科学、纳米技术等领域。
SEM通过扫描样品表面,并利用透射电子显微镜产生的信号进行成像,可以获得高分辨率的显微图像。
二、SEM的基本组成SEM主要由以下部件组成:电子枪、感应线圈、轴向磁透镜、扫描线圈、二次电子检测器、成像系统、显示器和控制系统等。
下面将逐一介绍各部件的作用和使用方法。
1. 电子枪电子枪是SEM的核心部件,负责产生高能的电子束。
在使用SEM 前,请确保电子枪处于正常工作状态。
操作时应避免碰触电子枪,以免造成损坏或伤害。
2. 感应线圈感应线圈用于控制电子束的尺寸和聚焦,用户可通过控制系统调整线圈来获得所需的电子束性能。
在操作过程中,需要根据实际要求进行相应的调节,以获得清晰的图像。
3. 轴向磁透镜轴向磁透镜用于进一步聚焦电子束,它可以通过控制磁场强度来改变电子束的聚焦效果。
用户可以通过控制系统进行调节,以提高图像的分辨率和对比度。
4. 扫描线圈扫描线圈负责控制电子束在样品表面上的扫描范围,用户可以通过控制系统设置扫描参数,如扫描速度和扫描线数等。
请确保设置合理的扫描范围,以充分观察样品的细节。
5. 二次电子检测器二次电子检测器用于检测被电子束激发后的次级电子,它能提供样品表面形貌信息。
在使用二次电子检测器时,保持探测器清洁,并根据需要进行灵敏度调节,以获取清晰的形貌图像。
6. 成像系统成像系统负责将电子束激发的信号转化为图像,用户可以通过控制系统来实时观察样品表面的形态。
在观察过程中,可以调整对比度、亮度和放大倍数等参数,以获得所需的图像效果。
扫描电镜操作手册一、前言扫描电镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种采用电子束来形成高分辨率图像的仪器。
它可以通过扫描样品表面并检测反射电子的方式,将样品的微观形貌和表面结构进行观察和分析。
本操作手册将向您介绍扫描电镜的基本原理和操作步骤,以及一些常见的技巧和注意事项。
二、扫描电镜的基本原理扫描电镜的基本原理是利用高能电子束与样品相互作用产生的各种信号来获取样品表面形貌的信息。
当电子束扫描到样品表面时,会产生次级电子、反射电子、散射电子等不同的信号。
这些信号被探测器接收并转换成电压信号,再通过信号处理系统转换成图像。
三、扫描电镜的操作步骤1. 准备工作在操作扫描电镜之前,需要进行一些准备工作。
首先,打开电镜主机,并确保它与电源连接。
其次,检查样品架是否干净,并将待观察的样品放置在样品架上。
注意,样品表面应干净且不含有尘埃和油污等杂质。
2. 开机和预热按下电源按钮,等待电镜主机启动。
在启动过程中,电子枪和样品室会开始预热。
预热时间一般为15-20分钟,以确保电子枪和样品室达到稳定的工作温度。
3. 样品安装当电镜主机预热完成后,打开样品室的门,并将准备好的样品放置在样品架上。
然后,仔细关闭样品室门,并确保它完全密封。
4. 参数调整根据样品的性质和需求,进行相应的参数调整。
主要包括加速电压、放大倍数、扫描速度等参数的选择和调整。
调整参数时,应根据所需的观察效果进行实时调整和反馈。
5. 图像观察和采集在参数调整完成后,可以开始观察和采集图像。
选择观察区域并调整对焦,然后点击图像采集按钮进行图像保存。
在观察和采集图像时,注意保持样品和电子束之间的距离适当,以避免样品受到过度辐照。
6. 关机和清理在使用完毕后,进行关机和清理工作。
首先,将加速电压调至最低,然后按下关机按钮。
等待电镜主机完全关闭后,进行样品架的清理和样品的取出。
清理时,使用压缩空气吹扫样品架和电子束光路,以去除附着在上面的灰尘和杂质。
矿床实验室扫描电镜拍照的方法
一、实验器材
长为4.6cm 、宽为2.6cm 的玻璃片、导电胶、剪刀、吹气球、牙签、样品收纳盒。
图一 图二 图三
二、样品的备制 1、 根据待测样品的数量,准备若干块长为4.6cm 、宽为2.6cm 的玻璃片,并将玻璃片用去
离子水和酒精洗干净。
(实验前需对所有样品进行编号,并使拍照顺序与样品号一一对应)。
(注意在拍照过程中,如果用控制器选择区域时,画面更新得很慢,则选择“quick ”)
2、 将导电胶剪成两半,按图二的方式粘贴上,并编号
3、 将样品用牙签倒在对应的导电胶位置上,并扒平,注意粉末一点点即可。
三、扫描电镜拍照
1、 一般每个样品选择3~5个区域进行拍照,1000X 的每个区域拍一张、2000倍拍一张、5000X
拍一张、
10000X
2、 仪器的控制台说明。
JSM-6360LV高低真空扫描电子显微镜操作步骤1.打开主机稳压电源、循环水电源到ON位置。
2.打开扫描电子显微镜主机钥匙到ON位置。
3.打开计算机电源开关及显示器开关。
4.点击桌面上图标SEM Main menu(扫描电子显微镜主要菜单)进入菜单栏。
5.20分钟以后,菜单栏高真空HT Wait 由白色等待变为兰色HT Rrady高真空准备状态。
6.点击高真空HT Rrady兰色变为绿色HT ON(高压打开)。
7.点击Stage选择样品台。
8.点击View观察低倍整体图像,选择所需要的部分再点击Meg+进行倍数放大(Meg-倍数缩小)。
9.点击SCAN1(扫描小窗口)进行Focus(聚焦),鼠标小手按住Focus上下移动光标,图像最清晰为止。
鼠标左手健为细聚焦右手健为粗聚焦(自己看到最清晰图像为准)。
10.点击SCAN2(扫描2快扫)调节亮度、对比度。
鼠标小手按住Brightness 或Contrast上下移动光标(自己看到图像反差最好为准)。
注意:Brightness往上移动光标,Contrast往下移动光标,减少图像反差;反之Brightness往下移动光标,Contrast往上移动光标,增加图像反差。
11.点击SCAN3(扫描3慢扫),观察图像聚焦、亮度、对比度调到最佳状态(如图像聚焦、亮度、对比度没有达到最佳效果可重复操做10)。
12.点击SCAN4(扫描照相1分30秒)。
照相完图像停留在Freeze(固定图像)上。
照片底部会出现高压、放大倍数、标尺、日期。
13.点击Save进行保存图像。
根据自己需要可保存各种文件格式。
14.关机点击Exit(退出电镜程序窗口)15.关闭计算机16.将扫描电子显微镜主机钥匙关OFF位置。
17.20分钟后,将主机稳压电源、循环水电源关OFF位置。
注意:不可擅自使用U盘复制照片。
需要照片联系仪器管理人员刻录光盘。
扫描电镜的使用演示
一、实验目的
1)了解扫描电镜基本结构和工作原理。
2)通过对表面形貌衬度和原子序数衬度的观察,了解扫描电镜图像衬底原理及其应用。
二、扫描电镜的基本结构和工作原理
扫描电子显微镜利用细聚焦电子束在样品表面逐点扫描,与样品相互作用产行各种物理信号,这些信号经检测器接收、放大并转换成调制信号,最后在荧光屏上显示反映样品表面各种特征的图像。
扫描电镜具有景深大、图像立体感强、放大倍数范围大、连续可调、分辨率高、样品室空间大且样品制备简单等特点,是进行样品表面研究的有效分析工具。
扫描电镜所需的加速电压一般在1~30kV,常用的加速电压~20kV左右。
图像放大倍数在一定范围内(几十倍到几十万倍)可以实现连续调整,放大倍数等于荧光屏上显示的图像横向长度与电子束在样品上横向扫描的实际长度之比。
扫描电镜最常使用的是二次电子信号和背散射电子信号,前者用于显示表面形貌衬度,后者用于显示原子序数衬度。
扫描电镜的基本结构可分为电子光学系统、扫描系统、信号检测放大系统、图像显示和记录系统、真空系统和电源及控制系统六大部分。
三、扫描电镜图像衬度观察
1.样品制备
扫描电镜的优点之一是样品制备简单,对于新鲜的金属断口样品不需要做任何处理,可以直接进行观察。
但在有些情况下需对样品进行必要的处理。
1) 样品表面附着有灰尘和油污,可用有机溶剂(乙醇或丙酮)在超声波清洗器中清洗。
2) 样品表面锈蚀或严重氧化,采用化学清洗或电解的方法处理。
清洗时可能会失去一些表面形貌特征的细节,操作过程中应该注意。
3) 对于不导电的样品,观察前需在表面喷镀一层导电金属或碳,镀膜厚度控制在5-10nm为宜。
2.表面形貌衬度观察
二次电子信号来自于样品表面层5~l0nm,信号的强度对样品微区表面相对于入射束的取向非常敏感,随着样品表面相对于入射束的倾角增大,二次电子的产额增多。
因此,二次电子像适合于显示表面形貌衬度。
二次电子像的分辨率较高,一般约在3~6nm。
其分辨率的高低主要取决于束斑直径,而实际上真正达到的分辨率与样品本身的性质、制备方法,以及电镜的操作条件如高匝、扫描速度、光强度、工作距离、样品的倾斜角等因素有关,在最理想的状态下,目前可达的最佳分辩率为lnm。
扫描电镜图像表面形貌衬度几乎可以用于显示任何样品表面的超微信息,其应用已渗透到许多科学研究领域,在失效分析、刑事案件侦破、病理诊断等技术部门也得到广泛应用。
在材料科学研究领域,表面形貌衬度在断口分析等方面显示有突出的优越性。
3.原子序数衬度观察
原子序数衬度是利用对样品表层微区原子序数或化学成分变化敏感的物理信号,如背散射电子、吸收电子等作为调制信号而形成的一种能反映微区化学成分差别的像衬度。
实验证明,在实验条件相同的情况下,背散射电子信号的强度随原子序数增大而增大。
在样品表层平均原子序数较大的区域,产生的背散射信号强度较高,背散射电子像中相应的区域显示较亮的衬度;而样品表层平均原子序数较小的区域则显示较暗的衬度。
由此可见,背散射电
子像中不同区域衬度的差别,实际上反映了样品相应不同区域平均原子序数的差异,据此可定性分析样品微区的化学成分分布。
吸收电子像显示的原子序数衬度与背散射电子像相反,平均原子序数较大的区域图像衬度较暗,平均原子序数较小的区域显示较亮的图像衬度。
原子序数衬度适合于研究钢与合金的共晶组织,以及各种界面附近的元素扩散。
由于背散射电子是被样品原子反射回来的入射电子,其能量较高,离开样品表面后沿直线轨迹运动,因此信号探测器只能检测到直接射向探头的背散射电子,有效收集立体角小,信号强度较低。
尤其是样品中背向探测器的那些区域产生的背散射电子,因无法到达探测器而不能被接收。
所以利用闪烁体计数器接收背散射电子信号时,只适合于表面平整的样品,实验前样品表面必须抛光而不需腐蚀。
四、实验报告要求
1) 简述扫描电镜的基本结构及特点。
2) 举例说明扫描电镜表面形貌衬度和原子序数衬度的应用。
实验七 DTA/TG 使用演示与分析
一、目的与要求
1.了解差热-热重分析仪的构造。
2.掌握差热和热重分析原理,了解定性分析处理的基本方法
二、原理:
1.差热分析:
许多物质在加热或冷却过程中,会产生热效应,表现为该物质与外界环境之间产生温度差。
差热分析(简称DTA )就是通过测定温度差来鉴别物质,确定其结构、组成或测定其转化温度、热效应等物理化学性质,广泛地应用于许多科研领域及生产部门。
谱图说明:图1中有两条曲线,曲线T 为温度曲线,它表明参比物温度随时间的变化
情况;曲线D 为差热曲线,它反映样品与参比物间的温度差△T 同时间的关系。
与时间轴t 平行的线段ab 、de 表明△T=0或常数,称为基线;bc 、cd 段组成差热峰,一般规定放热峰为正峰,此时样品的焓变小于零,温度高于参比物;吸热峰出现在基线的另一侧,称为负峰或吸热峰。
在实际测定中,由于样品与参比物间往往存在着比热、导热系数、粒度、装填疏密度等方面的差异,再加上样品在测定过程中可能发生收缩或膨胀,差热曲线会产生漂移,其基线不再平行于时间轴,峰的前后基线也不在一条直线上,差热峰可能比较平坦,使b 、c 、d 三个转折点不明显,这时可以通过作切线的方法来确定转折点,进而确定峰的面积。
定性分析:不同物质产生热效应的温度范围不同,差热曲线的形状不同。
把试样的DTA 曲线与相同实验条件下的已知物质的DTA 曲线作比较,可定性地确定试样的矿物组成。
定量分析:DTA 曲线的峰(谷)面积的大小与热效应的大小相对应,根据热效应的大小,可对试样作定量估算。
图2 差热分析仪简单装置图
差热分析仪简单装置原理:样品和参比物分别填在电炉内,将两只热电偶的热端分别插入样品和参比物中。
热电偶上两相同极接在一起,组成差热电偶,将另两个相同的极接于检流仪器上。
由于这两对热电偶所产生的热电势大小一样而互相抵销,
没有电流通过检流仪t
△图1 理想的差热曲线
器,反映在曲线上为一直线;一旦样品发生变化,产生热效应,使两热电偶所处的温度不同,产生温差电流,使检流仪器指针偏离基线。
测定时,通过调压变压器,调整加热功率,使体系按所规定的速度匀速升温,以后每隔一定时间记录mV数的热电流一次(实验中系统自动记录),这样就可以绘制如图1那样的差热曲线图。
2. 热重分析
热重法(简称TG)是在程序控温下,测量物质的质量随温度(或时间)的变化关系。
检测质量的变化最常用的办法就是用热天平,测量的原理可分为变位法和零位法。
在矿物方面的应用:自然界大多数矿物如粘土类矿物、石灰石、白云石等,在加热过程中会放出气体(CO2↑、H2O↑…),造成重量损失,用热天平测出物质的失重量与相对应的温度作图,即可获得失重曲线。
根据曲线斜率的变化可确定该矿物的失重温度区间及失重温度。
对常见的矿物材料来说失重曲线又称为脱水曲线,因为矿物在加热过程中造成失重的原因主要是脱水,脱去吸附水(又称自由水)和结构水(又称结晶水)。
不同的矿物有不同的失重曲线。
将一未知矿物的失重曲线与一套已知矿物的标准曲线相比较,可初步鉴定矿物的类型及组成。
在陶瓷方面的应用,陶瓷矿物原料的组分定性、定量;无机和有机化合物的热分解;蒸发、升华速度的测量;活化能和反应级数测定;催化剂和添加剂评定;吸水和脱水测定。
利用失重分析法还可以对在加热过程中有重量变化的动力学过程进行研究探讨。
热重分析仪工作原理:
图中左边部分的试样在程序控温下工作,它是把程序发生器发生的控温信号与加热炉中控温热电偶产生的信号相比较,所得偏差信号经放大器放大,再经过PID(比例、积分、微分)调节后,作用于可控硅触发线路,从而改变加热电流,使偏差信号趋于零,以达到闭环自动控制的目的,使实验的温度严格地按给定速率线性升温或降温。
图中右边为天平检测部分,试样质量变化,通过零位平衡原理的称重变换器,把与质量变化成正比的输出电流信号,经称重放大器放大,再由记录仪或微处理机加以记录。
图中其它部分为热重天平辅助调节不可缺少的部分,温度补偿器用来校温;称量校正器是用来校正天平称量准确度;电调零为自动清零装置;电减码为如需要可人为扣除试样重量时用;微分器可对试样质量变化作微分处理,得到质量变化速率曲线。
目前,国内外都生产出同时可以进行差热分析和失重分析的仪器,称为“差示热天平”,这类仪器可以精确地测出材料差热和失重,升温降温可以程序控制,并可作长时间保温。
可以对材料进行综合热分析,为确定材料的热效应研究带来极大的方便。
三、实验仪器设备
DTA-TG分析仪,型号:(自己记录),实验样品若干
四、实验数据
五、实验报告
编写实验包括,内容应包括:简单叙述差热分析和热失重分析的原理,数据分析。
六、思考题:
1. 仪器装置有哪几个模块?操作步骤有哪几步?DTA-TG联用的原理与DTA和TG单独使用时的原理是否一致?
2.各操作参数,如升温速度和样品粒度等,对实验曲线形状有何影响?。