(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910124594.X
(22)申请日 2019.02.20
(71)申请人 金华市畔星科技有限公司
地址 321000 浙江省金华市金东区东孝街
道康济北街1378号金华智能制造产业
园17幢4楼
(72)发明人 周科 秦子威 汪宏斌 陈卓
(74)专利代理机构 杭州知见专利代理有限公司
33295
代理人 杨剑 赵越剑
(51)Int.Cl.
C23C 14/16(2006.01)
C23C 14/35(2006.01)
C23C 14/06(2006.01)
H01M 8/0228(2016.01)
H01M 8/0206(2016.01)H01M 8/0213(2016.01)
(54)发明名称
氢燃料电池金属双极板及其制备方法
(57)摘要
本发明公开了一种氢燃料电池金属双极板
及其制备方法，包括表面带镀层的金属双极板，
所述镀层由金属双极板表面向外依次为银镀层、
TiCrN镀层及石墨镀层。
本发明具有优异的导电
性能和耐腐蚀性能，接触电阻低，膜基结合力好，
导热性能好。
权利要求书1页 说明书5页 附图1页CN 109852932 A 2019.06.07
C N 109852932
A
权 利 要 求 书1/1页CN 109852932 A
1.一种氢燃料电池金属双极板，包括表面带镀层的金属双极板，其特征在于：所述镀层由金属双极板表面向外依次为银镀层、TiCrN镀层及石墨镀层。
2.根据权利要求1所述的氢燃料电池金属双极板，其特征在于：所述金属双极板的材料为316L不锈钢或钛合金。
3.如权利要求1所述的氢燃料电池金属双极板的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
（1）对金属双极板表面进行预处理以获得清洁的金属双极板表面；
（2）把经过预处理的金属双极板放入磁控溅射器的真空腔内，抽真空；
（3）离子溅射清洗；
（4）开启银靶，进行银镀层溅射；
（5）关闭银靶，开启钛和铬靶，进行TiCr镀层预溅射；
（6）通入氮气，制备TiCrN镀层；
（7）关闭氮气、钛靶和铬靶；开启碳靶，进行石墨镀层溅射；
（8）关闭碳靶，离子溅射清洗，开放气阀，取出产品。
4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：步骤（1）中，所述预处理为：先用砂纸对金属双极板表面打磨，然后抛光机抛光，蒸馏水冲洗，接着分别浸入乙醇和丙酮溶液中超声清洗，烘干。
5.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：步骤（2）中，抽真空为将真空腔体内压力抽至2×10-5Torr为止。
6.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：步骤（3）和步骤（8）中，所述离子溅射清洗采用氩离子溅射清洗20-30min。
7.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：步骤（4）中，银镀层溅射的参数为：银靶电流大小1-6A，基体偏压-80V，沉积时间10-20min。
8.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：步骤（5）中，TiCr镀层预溅射的参数为：Cr靶电流2-8A，Ti靶电流1-6A，基体偏压-80V，沉积时间5-20min。
9.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：步骤（6）中，制备TiCrN镀层参数为：氮气流量通过OEM 系统来调节，调节OEM值为40-80%，保持Cr靶电流不变，Ti靶电流调节为2-8A，基体偏压-80V，沉积时间60-300min。
10.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：步骤（7）中，石墨镀层溅射的参数为：碳靶电流大小1-6A，基体偏压-80V，沉积时间15-25min。
2。
