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微细电火花加工放电状态逐级映射检测

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关 键 词 ： 细 电 火 花加 工 ； 电状 态检 测 ； 糊 逻 辑 ； 级 映射 检 测 微 放 模 逐 文献 标 识 码 ： Ａ
中 图分 类 号 ： Ｇ ６ Ｔ ６１
Ｓ ｃ ｅ ｓ ｖ ａ ｐ ｎ ｅ ｅ ｔｏ ｆ ｕ ｃ ｓ ｉ ｅｍ ｐ ｉ ｇ ｄ ｔｃ ｉｎ ｏ ｍ ｉｒ ｃ ｏ ＥＤＭ ｉｃ ａ ｇ ｔ ｔ ｄ ｓ ｈ ｒ ｅｓａ ｅ
微 细 电火 花 加 工 放 电状 态 逐 级 映 射 检 测
张玲碹， 贾振元， 任小涛， 郑新毅
（ 大连理工大学 精密与特种加工教育部重点实验室， 辽宁 大连 １６２） １０３
摘要： 为解 决 微 细 电火 花 加 工过 程 中 由于 频 繁 出现 的放 电信 号严 重 畸 变 、 电状 态 不 稳 定甚 至 突变 等 造 成 的 放 电 状 态 难 放
第１ ８卷第 ３期 来自光 学 精 密 工 程
Ｏｐｔｃ ｎ ｅ ｉｉｎ Ｅｎ ｎｅ ｒｎｇ ｉｓ ａ ｄ Ｐｒ ｃｓｏ ｇｉ ｅ ｉ
Ｖｏ ． ８ Ｎｏ ３ １１ ．
Ｍａ ．２ ０ ｒ ０１
２１ ０ ０年 ３月
文 章 编 号 １ ０ — ２ Ｘ ２ １ ） ３ ０ ６ — ８ ０ ４ ９ ４ （ ０ ０ ０ —６ ２０
率” 经 过 模 糊 推理 辨 识 出各 分 析周 期 的放 电 状 态 。实 验 表 明 ， 检测 方 法 准 确 性 高 、 算 量 低 且 运 算 速 度 快 ， ， 该 运 与平 均 电
压法 相 比 ， 率 提 高 ２ ． ％ 。检 测 结 果 可 为微 细 电火 花 放 电 加 工 过 程 的 实 时 控 制 提 供 系 统 放 电状 态 的 反 馈 输 入 ， 证 效 ２２ 保 了加 工 控 制 系 统 的稳 定 性 和 准确 性 。
Ｚ ＡＮＧ ｉｇ ｘ ａ Ｊ Ａ ｈ ｎｙ ａ Ｈ Ｌ ｎ — ｕ ｎ， Ｉ Ｚ ｅ — ｕ ｎ，ＲＥＮ ａ —ａ Ｘｉｏ ｔｏ，Ｚ ＥＮＧ ｎ ｙ Ｈ Ｘｉ— ｉ
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于准 确 检 测 的 技术 难 点 ， 分 析 和 研 究 传 统 的微 细 电火 花加 工 放 电状 态 检 测 方法 的基 础 上 ， 合 系 统 辨 识 和模 糊 逻 辑 理 在 结
论 ， 出 了微 细 电 火 花 加工 放 电状 态 逐级 映射 检 测 原 理 和方 法 。对 实 时 采集 到 的极 间 电压 和 电 流信 号 ， 过模 糊 运 算 判 提 通 别采 样 点 的 放 电状 态 ， 再将 采 样 点 放 电 状 态 值 映 射 为 放 电状 态 矢 量 ， 对 该 矢 量 进 行 统 计 得 到 “ 路 率 ” “ 花 ／ 弧 并 短 和 火 电
ｏ ｅＭｉ ｉｔｙ ｏ ｕ ａ ｉｎ，Ｄａ ｉｎ Ｕｎ ｖ ｒ ｉ ｆ Ｔｅｈ ｏｏ ｙ，Ｄａ ｉｎ １ ６ ２ ，Ｃｈ ｎ ） ｆ ｔ ｎ ｓｒ ｆ Ｅｄ ｃ ｔｏ ｈ ｌａ ｉ ｅ ｓｔ ｏ ｃ ｎ ｌｇ ｙ ｌａ １ ０ ４ ｉａ
Ａｂ ｔａ ｔ ｓｒ ｃ ：Ｔｏ ｍｅ ｓ ｒ ｅ ｉｅｙ ｔ ｅ ｄ ｓ ｈ ｒ ｔ ｔ ｎｄ ｏ ｒ ｏ ｈ ｈｏ ｔ ｏ ｉ ｓ ｏ ｈｅ ｄ ｓ ｏ ｔｏ ａ ｕ ｅ ｐｒ ｃ ｓ ｌ ｈ ｉ ｃ ａ ｇｅｓ ａ ｅ ａ ｖｅ ｃ ｍｅ ｔ ｅ ｓ ｒ ｃ ｍ ｎｇ ｆｔ ｉｔ ｒ ｉ ｎ ｏｆ ｄｉｃ ｒ ｉ ｎａ ｓａ ｄ ｔ ｅ ｉ ｓ ａ ｌｔ ｆｄ ｓ ｈ ｒ ｔ ｔ ｔ ｒｎ ｉ ｌ ｎ ｔ ｄ ｏｆｓ ｃ ｅ ｓｖ ｐ ｎｇ ｓ ｈａ ｇｅ ｓｇ ｌ ｎ ｈ ｎ ｔ ｂｉ ｙ ｏ ｉ ｃ ａ ｇｅｓ ａ ｅ，ｈｅ ｐ ｉ ｃ ｐ ｅ ａ ｄ ｍｅ ｈｏ ｕ ｃ ｓ ｉ ｅ ｍａ ｐｉ ｉ ｄ ｔ ｃ ｉ ｎ ｗｅ ｅ ｐｒ ｐ ｓ ｄ ｃ ｍ ｂ ｎｅ ｔ ｈｅ ｓ ｓ ｅ ｉ ｅ ｔｆｃ ｔｏ ｎｄ ｆ ｚ ｙ ｃ ｎｔｏＩａ ｔ ｒ ａ ｌ ｉ ｅ ｅ ｔｏ ｒ ｏ ｏ ｅ ｏ ｉ ｄ ｗｉｈ ｔ ｙ ｔ ｍ ｄ ｎ ｉｉａ ｉ ｎ ａ ｕ ｚ ｏ ｒ ｆｅ ｎａｙｓｓ ｏｎ ｔ ａ ｉｉ ｎａ ｉｃ ａ ｇ ｔ ｔ ｅ ｅ ｔｏ ｔ ｏ ｎ ｍｉ ｒ ｅ ｔ ｉａ ｓ ｈａ ｇｅ Ｍ ａ ｈｉ ｉ ｇ（ ｒ ｄ ｔｏ １ｄ ｓ ｈ ｒ ｅ ｓ ａ ｅ ｄ ｔ ｃ ｉ ｎ ｍｅ ｈ ｄｓｉ ｃ ｏ Ｅｌ ｃ ｒｃ ｌＤｉ ｃ ｒ ｃ ｎ ｎ ＥＤＭ ） ．Ｆｏｒｒ — ｅ ａ— ｉ ｅ ｃ ｌｅ ｔ ｄｇａ ｏ ｔ ｇ ｎｄ ｃ ｒ ｅ ｔｓｇ ｌ ｎ ｔ ｅｐｒ ｃ ｓ ， ｈｅｆ ｚ ｙ ｏ ｅ ａ ｉ ｎ ｗａ ｅ ｏ ｉ ｎ ｉｙ ｌｔｍ ｏ ｌ ｃ ｅ ｐ ｖ ｌａ ｅａ ｕ ｒ ｎ ｉ ｎａ ｓｉ ｈ ｏ ｅ ｓ ｔ ｕ ｚ ｐ ｒ ｔｏ ｓｕｓ ｄ ｔ ｄｅ ｔｆ ｔ ｅ ｄ ｓ ｈ ｒ ｔ ｔ ｆａ ｓ ｍ ｐ ｉ ｇ ｐｏ ｎ ｎｄ ｔ ｎ ｔ ｐ ｔ ａ ｈ ｉ ｃ ａ ｇｅ ｓ ａ ｅ ｏ ａ ｌｎ ｉ ｔａ ｈｅ ｏ ｍａ ｈｅ ｓ ｍｐｌ ｉ ｓ ｈａ ｇ ｔ ｔ ａ ｕ ｎ ｏ ｉ ｐｏｎｔｄｉｃ ｒ ｅ ｓａ ｅ ｖ ｌ ｅ ｉ ｔ ｎｇ ｓ ｍｐｌｎ ｏｉ ｉｃ ａ ｇｅ ｓ ａ ｅ ｖ ｃ ｏ ． Ｆｕｒｈｅ ｍｏ ｅ，ｈｅ ｖｅ ｔ ｒ ｗａ ｏｕ ｅ ｏ ｏ ａ ｎ ｔ ｅ Ｓｈ ｔ ｒ ｔ ’ ａ ｉ ｇ ｐ ｎｔｄ ｓ ｈ ｒ ｔ ｔ ｅ ｔ ｒ ｔ ｒ ｒ ｔ ｃ ｏ ｓ ｃ ｎｔ ｄ ｔ ｂｔ ｉ ｈ “ ｏｒ ａ ｅ’

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【国家自然科学基金】_短路放电_基金支持热词逐年推荐_【万方软件创新助手】_20140731

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推荐指数 3 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1
2010年 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30
2011年 科研热词 推荐指数 序号 微细电火花加工 2 1 逐级映射检测 1 2 逆压电效应 1 3 超声雾化 1 4 自适应调节 1 5 脉冲陡化 1 6 等效半径 1 7 磁开关 1 8 电路分析法 1 9 电荷动态特性 1 10 电火花加工 1 11 电极相对损耗率 1 12 模糊逻辑 1 13 杆塔接地装置 1 14 有序结构 1 15 时域模型 1 16 放电状态检测 1 17 孔隙率 1 18 土壤火花放电 1 19 喷雾 1 20 去极化 1 21 压电驻极体 1 22 压电性 1 23 加工稳定性 1 24 冲击波 1 25 冲击接地特性 1 26 全固态 1 27 pb0.99(zr0.95ti0.05)0.98nb0.02o3铁电陶瓷 35 36 37 38 39
2008年 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9
科研热词 陷阱分布 线性低密度聚乙烯 空间电荷 磨削力 短路率 热刺激放电 模糊控制 复合加工 仿真
推荐指数 1 1 1 1 1 1 1 1 1
2009年 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26
推荐指数 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1
2014年 序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16
微细电火花加工中微细电极的制作与检测技术研究

微细电火花加工中微细电极的制作与检测技术研究

微细电火花加工中微细电极的制作与检测技术研究工艺与检测砌ｎ０１０９ｙａｎｄ瑚微细电火花加工中微细电极的制作与检测技术研究张勇王振龙胡富强贾宝贤李志勇赵万生（哈尔滨工业大学机械工程系，黑龙江哈尔滨１５０００１）摘要：分析了微细电火花］ｊＮ－ｒ技术中各种微细电极制作方法的特点，提出了一种ＪｊⅡ－ｒ效率与尺寸精度相兼顾的微细电极在线制作方法。

充分利用微细电火花Ｊｊ口－ｒ机床的数控和接触感知功能。

探索并提出了一种微细电极的在线检测方法，并对检测误差进行了分析。

实验表明，该方法具有广泛的实用性。

关键词：微细电火花加工微细电极制作在线检测ＲｅｓｅａｒｃｈｏｎＴｅｃｈｎｉｑｕｅｏｆＭｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｄｅＯｎ——ｌｉｎｅＦａｂｒｉｃａｔｉｏｎａｎｄＩｔｓＭｅａｓｕｒｉｎｇｉｎＭｉｃｒｏＥＤＭＺＨＡＮＧＹｏｎｇ，ＷＡＮＧＺｈｅｎｌｏｎｇ。

ＨＵＦｕｑｉａｎｇ，ＪＩＡＢａｏｘｉａｎ，ＬＩＺｈｉｙｏｎｇ。

ＺＨＡＯＷａｎｓｈｅｎｇ（ＨａｒｂｉｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｈａｒｂｉｎ１５０００１，ＣＨＮ）Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｏｎｔｈｅｂａｓｉｓｏｆａｎａｌｙｚｉｎｇｔｈｅｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｏｆｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｄｅｆａｂｒｉｃａｔｉｎｇｍｅｔｈｏｄｓ，ａｎｅｗｍｅｔｈｏｄｔｏｆａｂｒｉ—ｃａｔｅｔｈｅｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｄｅｏｎ—－ｌｉｎｅｗｉｔｈｍａｃｈｉｎｅｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙａｎｄｈｉｇｈｐｒｅｃｉｓｉｏｎｃｏｎｓｉｄｅｒｅｄｉｓｐｒｏｐｏｓｅｄｉｎｔｈｉｓｐａｐｅｒ．ＭａｋｅｆｕｌｌｕｓｅｏｆｔｈｅＮＣｆｕｎｃｔｉｏｎａｎｄａｐｐｅｒｃｅｐｔｉｖｅｆｕｎｃｔｉｏｎｏｆｍｉｃｒｏＥＤＭｍａｃｈｉｎｅ，ａｎｅｗｍｅｔｈｏｄｔｏｍｅａｓｕｒｅｔｈｅｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｄｅｏｎ—ｌｉｎｅｉｓｐｒｅｓｅｎｔｅｄ，ａｎｄｔｈｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｅｒｒｏｒｉｓａｎａｌｙｚｅｄ．Ｗｉｄｅａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｏｆｔｈｉｓｍｅｔｈｏｄｉｓｐｒｏｖｅｄｂｙｔｈｅｍａｃｈｉｎｅｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｓ．Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ＭｉｃｒｏＥＤＭ；ＭｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｄｅＦａｂｒｉｃａｔｉｏｎ；Ｏｎ—ｌｉｎｅＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ近年来，ＭＥＭＳ技术的快速发展以及广阔的应用前景促进了微细加工技术的迅速发展，作为微细加工技术一个重要分支的微细电火花加工技术以其非接触加工、容易实现高深宽比、微三维结构加工的特点而受到国内外学者的广泛重视。

微细电火花加工的关键技术分析

微细电火花加工的关键技术分析

微细电火花加工的关键技术分析2002年第26卷石油大学学报(自然科学版)Vol.26 No.3 第3期JournaloftheUniversityofPetroleum,China Jun.2002文章编号:1000-5870(2002)03-0065-04微细电火花加工的关键技术分析李文卓1,赵万生1,于云霞2(1.哈尔滨工业大学特种加工研究所,黑龙江哈尔滨150001;2.胜利石油学校机械教研室,山东东营257000) 摘要:微细电火花加工方面的几项关键技术包括微小进给装置、微细电极的制备、微小能量加工电源、与其他技术组合的新型加工技术和微细电火花加工过程控制技术。

比较了微小进给装置与传统的进给伺服系统的结构特点,并对各项微细电火花技术的技术特点进行了详细分析。

微小进给装置的传动精度及系统的频响较高;微细电极的制备技术解决了圆柱、圆锥、螺纹等不同形状的电极或微小零件的制备及对硬质合金、聚晶金刚石等超硬材料的加工问题;可控RC脉冲电源技术易于调整脉冲能量,避免发生电弧性脉冲放电现象;微细电火花加工可与超声加工、电铸加工等技术组合形成各种复合加工技术;模糊控制技术可用于控制电火花加工过程。

关键词:微细电火花加工;微型进给装置;微能脉冲电源;模糊控制;特种加工中图分类号:TG22 文献标识码:A引言微细加工技术是现代制造技术的一个重要发展方向,而微细电火花加工技术是实现微细加工的有效手段之一。

目前,微细电火花加工技术在航空航天、医学、模具、微电子器件、生物技术、微型传感器和微型电器制造等方面得到广泛应用[1～6]。

微细电火花技术主要包括5方面的关键技术:①高精度微小进给装置;②微细电极制作技术;③微小能量的加工电源;④与其他技术组合的新型加工技术;⑤加工过程的监控技术。

1.1 蠕动式图1为蠕动式微型电火花加工进给装置的工作原理示意图。

该装置包括夹紧块A和B、进给机构C和电极丝。

夹紧块A、B及进给机构C按着一定的顺序动作即可实现电极的快速进给或回退,并实现电极对工件的电火花加工[4]。

微细电火花加工间隙放电状态智能检测方法的研究

微细电火花加工间隙放电状态智能检测方法的研究

通过对电压和电流波形的分析 ,得知每一个电 火花加工的间隙放电状态在一定区域内是确定的 , 在其他部分区域内则是模棱两可的 ,因此应用梯形 隶属度函数较其他形状的隶属度函数能够更准确地
— 18 —
反映实际状况 ,为此采用梯形隶属度函数分别对电
压和电流进行描述 。梯形隶属度函数的图形如图 4
所示 , 一般数学表达式为 :
(μ2
)
(2)
式中 : μi (μ1 ,μ2) 为第 i 条规则的前提隶属度 ;μAj 1/
(μ1) 为 μ1
输入的第
j
项模糊集AFra bibliotekj 1
所对应的隶属
度
;μA
k 2
(μ2
)
为
μ2
输入的第
k
项模糊集
A
k 2
所对应
的隶属度 。
模糊推理规则的模糊蕴涵关系也采用代数积的
运算关系 。
根据表 1 的模糊规则 ,使用以下的重心法模糊
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设计·研究 《电加工与模具》2005 年第 6 期
实际加工过程中 ,由于放电参数的设置不同以 及放电过程随机性等因素的存在 ,使得每次放电状 态的波形形状不一 ,放电状态交替出现的时间比例
— 17 —
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0 x < x 3 或 x > x 4
μA ( x ) =