具有增益补偿功能的微机械陀螺数字化驱动闭环_杨亮

闭环光纤陀螺零偏与标度因数的综合补偿孙亮;余震虹;陈浩;谢枫锋【摘要】温度特性和非线性是影响光纤陀螺精度的重要因素,为研究闭环光纤陀螺的复合模型及补偿方法,在组建的测试系统下,在全温范围内各速率点处分别测试闭环光纤陀螺仪的标度因数和零偏.根据所测结果,分别建立与温度、速率相关的零偏和标度因数非线性模型,采用多项式回归分析的方法确定模型的参数.通过实测验证:建立的模型能够较好地反应光纤陀螺的温度与标度因数非线性特性,采用该模型对IFOG进行综合补偿后,其精度有了较大的提高.相比于传统方法,该方法简单,可靠,经济且易于实现.【期刊名称】《仪表技术与传感器》【年(卷),期】2014(000)006【总页数】4页(P1-3,6)【关键词】闭环光纤陀螺仪;标度因数;零偏;模型;补偿【作者】孙亮;余震虹;陈浩;谢枫锋【作者单位】江南大学物联网工程学院,江苏省传感器工程技术中心,江苏无锡214122;江南大学物联网工程学院,江苏省传感器工程技术中心,江苏无锡214122;江南大学物联网工程学院,江苏省传感器工程技术中心,江苏无锡214122;江南大学物联网工程学院,江苏省传感器工程技术中心,江苏无锡214122【正文语种】中文【中图分类】U666.10 引言目前，FOG广泛应用在各种惯性导航系统中[1]。

标度因数和零偏是FOG的重要性能参数之一，其误差直接影响着陀螺的精度，由于构成FOG的主要器件，如光纤线圈、光源、耦合器等对温度较为敏感，当工作温度发生变化时，FOG输出就会带进非互易相位差，这种相位差就会导致FOG的标度因数和零偏误差。

此外，输入角速率信号的大小变化导致增益发生变化，陀螺的输出也具有速率依赖性，相比于开环光纤陀螺仪，闭环数字化已经使得FOG的标度因数和零偏稳定性有了大幅的提高，但是在对FOG的精度要求较高的应用场合，就应进行温度和速率误差补偿[2]。

针对以上情况，文献[2-3]提到采用四态优化调制、双重反馈以及采用性能更好的光学电子器件等方法，然而此类方法不仅使得陀螺系统更加复杂，而且会增加生产成本。

具有增益补偿功能的微机械陀螺数字化驱动闭环杨亮;苏岩;裘安萍;夏国明【摘要】提出了具有增益补偿功能的数字化驱动闭环方法,以便提高微机械陀螺标度因数的稳定性.介绍了微机械陀螺的工作原理,对其运动方程的分析显示:为了提高标度因数的稳定性,需要提高陀螺驱动模态振动速度的稳定性;而振动速度的稳定性与驱动环路中C/V转换电路增益的稳定性相关.为此,设计了增益补偿算法,配合自动增益控制环节和锁相环环节构建了具有增益补偿功能的数字化驱动闭环.仿真结果表明,在C/V转换电路增益相对变化量为7.4％时,振动速度幅值的相对变化量由无增益补偿时的7.29％降到了有增益补偿时的0.12％.实验结果表明,增加增益补偿环节后,标度因数的温度系数在-40℃到60℃的降幅达到了90％.得到的结果验证了具有增益补偿功能的微机械陀螺数字化驱动闭环可以较大幅度地提高微机械陀螺标度因数的稳定性.【期刊名称】《光学精密工程》【年(卷),期】2014(022)001【总页数】8页(P109-116)【关键词】微机械陀螺仪;驱动闭环;数字化驱动;增益补偿【作者】杨亮;苏岩;裘安萍;夏国明【作者单位】南京理工大学机械工程学院,江苏南京210094;南京理工大学机械工程学院,江苏南京210094;南京理工大学机械工程学院,江苏南京210094;南京理工大学机械工程学院,江苏南京210094【正文语种】中文【中图分类】U666.1;V241.51 引言零偏稳定性和标度因数稳定性是硅微机械陀螺的2个非常重要的性能指标［1］。

这2个指标与温度等环境因素有着密切的关系。

当环境温度改变时，会直接导致陀螺敏感结构参数的变化、材料特性参数的变化、品质因数的变化以及测控电路参数的变化，这些变化最终都体现在零偏稳定性和标度因数稳定性上［1－3］。

为了解决温度所导致的陀螺零偏和标度因数的变化，常用的两种方法是温度控制［4－5］和温度补偿［3－6］。

温度控制是指保持陀螺外部环境温度恒定，以达到提高陀螺零偏稳定性和标度因数稳定性的目的［4］。

一种高灵敏度硅微机械陀螺的设计与制造陈雪萌;宋朝晖;李欣昕;王跃林;张鲲;焦继伟;杨恒【期刊名称】《传感器与微系统》【年(卷),期】2004(023)012【摘要】设计与制造了一种高灵敏度的硅微机械陀螺.陀螺用静电来驱动,用连接成惠斯顿电桥的压阻式力敏电阻应变计来检测.主梁、微梁-质量块结构实现了高灵敏度.比较硬的主梁提供了一定的机械强度,并且提供了高共振频率.微梁很细,检测时微梁沿轴向直拉直压.力敏电阻应变计就扩散在微梁上,质量块很小的挠动就能在微梁上产生很大的应力,输出很大的信号.5V条件下,陀螺检测部分的理论灵敏度达到27.45mV/gn.压阻式四端器件用来监测驱动振幅,可以反馈补偿压阻的温度系数. 检测模态的Q值达260使陀螺能在大气下工作.陀螺利用普通的n型硅片制造,为了刻蚀高深宽比的结构,使用了深反应离子刻蚀(DRIE)工艺.【总页数】4页(P82-85)【作者】陈雪萌;宋朝晖;李欣昕;王跃林;张鲲;焦继伟;杨恒【作者单位】中国科学院,上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050;中国科学院,上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050;中国科学院,上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050;中国科学院,上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050;中国科学院,上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050;中国科学院,上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050;中国科学院,上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050【正文语种】中文【中图分类】TP212.1【相关文献】1.一种适用于旋转载体自动驾驶仪的硅微机械陀螺 [J], 严庆文;张宗恺;刘庆晨;吴立锋;张福学2.一种适用于旋转载体自动驾驶仪的硅微机械陀螺 [J], 严庆文;张宗恺;刘庆晨;吴立锋;张福学3.一种高灵敏度石英微机械陀螺敏感器件 [J], 林丙涛;蒋昭兴;江黎;赵建华;李文蕴4.一种适用于旋转弹单通道控制的硅微机械陀螺仪 [J], 严庆文;张福学;吴立锋;刘宇5.一种硅微机械陀螺制造方法研究 [J], 赵轶卓因版权原因，仅展示原文概要，查看原文内容请购买。

总第174期2008年第12期舰船电子工程Ship Electronic Enginee ring Vol.28No.1249　硅微陀螺仪数字化温度补偿系统的实现3顾广清　夏敦柱　李宏生　王寿荣(东南大学仪器科学与工程学院精密仪器及机械专业　南京　210096)摘　要　分析了温度影响陀螺零偏的机理,由温度实验得出硅微陀螺仪零偏与温度呈较复杂的非线性关系;根据实验数据拟合出零偏与温度在三个温度段内的数学表达式;设计了相应的温度补偿系统,该系统以新华龙C8051F363单片机为核心,根据实时测量的温度值经由拟合的多项式计算出各温度下的补偿值,将陀螺原始信号减去补偿值即可得到补偿后的陀螺信号。

经温控实验测定,在-40℃-80℃的范围内,补偿后陀螺零偏随温度变化的趋势项基本被消除,且陀螺零偏减小了一个数量级,补偿效果明显。

关键词　硅微陀螺;零偏;温度补偿;拟合中图分类号　TH824Realization of t he Digital Temperat ure Comp ensation Systemf or Silicon Micro 2machi ned GyroscopeGu Guangqi ng Xia D unz hu L i H ongsheng W ang Shourong(Depa rtment of Precisio n Instrument &Mecha nic s ,Sout hea st Unive rsity ,Nanjing 210096)Abs tra ct The influence of temperature variation on t he bia s of silicon micromachined gyroscope is analyzed ,a nd the n o nlinea r relation between t he bia s and t he temper ature is de rive d thro ugh temper ature e xpe riments.The mat h e xpressio ns of t he relations between bia s and te mper ature in three tempe rature segment s are f igured out adopting lea st square met h od in te rms of the data f rom experime nt s.Then ,a tempe rature compensation system using micro 2controlle r C8051F363is de 2signed.The gyro signal would be compensa te d by subtracting t he co mpensation value s which can be calculated through the exp ressions in terms of t he tempe rature values mea sured.The temperature experiment test s show tha t the influence of tem 2perature va riation on t he bias of silicon micro 2machined gyroscope is greatly eliminated and the bia s is reduced to one tenth of t he o riginal after compe nsation f ro m -40℃to 80℃.Ke y w ords silicon micro 2mac hined gyroscope ,bia s ,tempera ture compe nsation ,fitting Class N umber TH8241　引言硅微陀螺仪是一种用于测量物体运动角速度的新型惯性器件。

数字闭环光纤陀螺振动噪声处理方法宋锐;陈熙源【摘要】为了解决数字闭环光纤陀螺在实际工程应用中易受冲击、振动等环境因素影响的问题，通过分析振动影响下陀螺输出信号特点，研究振动对光纤环的应力及信号中附加相移的影响，建立了光纤陀螺信号的振动噪声模型。

首先，引入一种具有自适应能力的改进局部均值分解方法，将原信号按频率大小分解为一系列谐波信号；其次，利用核主成分分析方法，将反映振动影响的有效信号和噪声进行有效分离；然后，通过重构得到抑制了振动噪声的信号。

利用线振动实验研究了光纤陀螺在车载和机载环境下的振动特性，并对采集得到的10组振动实验数据进行了分析。

结果表明，处理后信号的 Allan 方差分析结果中量化噪声和零偏不稳定性等误差系数均减小约50％，从而有效提高了光纤陀螺在振动环境下的输出精度。

%To solve the problem that the digital closed-loop fiber optic gyroscope (FOG)is easily affected by environmental factors such as shock,vibration and so on in practical engineering applica-tions,the vibration noise model for the FOG signal is established based on the analysis of the output signal characteristics under the influence of vibration and the study of the effects of vibration on the stresses in the fiber coil and the additional phase in the signal.First,a modified local mean decom-position (LMD)method with self-adaptive ability is introduced to decompose the signal to a series of harmonic waves according to the frequencies.Secondly,the kernel principal component analysis (KPCA)method is used to separate the valid signal which reflects the vibration effects from noise. Then,the signal with the eliminated vibration errors is obtained after reconstruction.The vibrationcharacteristics of the FOG in the vehicle-mounted and airborne environments are studied by the line vibration experiments,and ten groups of vibration experimental data are collected and analyzed.The results show that the error coefficients including the quantization noise and the bias instability in Al-lan variance analysis results of the signal after processing decrease by about 50%,thus improving ef-fectively the output accuracy of the FOG in vibration environment.【期刊名称】《东南大学学报（自然科学版）》【年(卷),期】2016(018)003【总页数】5页(P489-493)【关键词】光纤陀螺;振动误差;核主成分分析【作者】宋锐;陈熙源【作者单位】东南大学仪器科学与工程学院，南京 210096; 东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室，南京210096;东南大学仪器科学与工程学院，南京 210096; 东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室，南京210096【正文语种】中文【中图分类】V241.5光纤陀螺是惯性系统中广泛采用的一种全固态角速度测量器件,其性能水平对惯性系统的精度存在较大影响.理论上,光纤陀螺的全固态、无运动部件等特点,使其与传统机械陀螺相比具有抗冲击、抗振动等优势;然而,鉴于光纤的弹光效应,在实际工程应用中,冲击、振动等环境因素会引起光纤环的应力产生变化,器件尾纤振动以及结构的共振都将引起陀螺误差,从而导致振动状态下器件的动态误差增加.为了提高控制系统的精度,需要对振动等复杂环境下的光纤陀螺输出信号特点开展研究.根据典型干涉式数字闭环光纤陀螺的基本原理[1],结合已有的研究成果发现,光纤缺陷以及因光纤、器件尾纤长度、折射率和折损等变化而产生的寄生应力[2],会引起系统回路中传输光偏振性能和光功率变化,进而产生测量误差.目前,抑制光纤陀螺振动误差的方法主要包括改善封装结构、控制黏结剂涂覆用量、加入橡胶减振装置、光纤环采用四极对称绕法、对信号进行调制等[3],但受安装工艺等方面的限制,这些改进措施的效果会受到影响,关于振动情形下光纤陀螺的信号表现形式以及环路改进后系统中的振动误差建模补偿，还需进行进一步深入的研究.对于具有非平稳性、非线性特征的陀螺振动信号,研究者们常采用小波变换[4]进行处理,但小波阈值消噪时需设定小波基、分界层数、阈值等参数,缺乏根据输入数据自适应优化的能力.本文针对现有技术的不足,基于陀螺振动信号的特点,引入了一种改进的局域均值分解(LMD)方法[5].在改进检测电路结构等的基础上,按照所提出的改进方法对陀螺振动信号的特征进行分析,将复杂的振动信号分解为若干个乘积函数(PF)的线性组合,每一个PF分量表示原信号中某一频率段的谐波信号.然后,运用核主成分分析(KPCA)方法[6-9]将所得分量中反映振动影响的有效信号和噪声进行分离,进一步重构得到抑制了振动噪声的输出信号,从而提高光纤陀螺的测量精度.干涉式数字闭环光纤陀螺由光路和数字逻辑电路2个部分组成.光路部分主要的光电元器件包括保偏光纤、宽带光源、光电探测组件、耦合器、多功能集成光学器件(MIOC)等[10].冲击、振动等环境因素下光纤陀螺的光路部分受到应力作用,一方面会产生附加非互易相移,另一方面又会引起光纤中传输光的光功率波动.具体来看,陀螺误差振动影响下光纤陀螺的输出信号I可表示为I=-4KP0(1+ΔP(fv)cos(ωvt+θ2))·sin(Δφ+φ(fv)cos(ωvt+θ1))sinφ式中,K为系统增益;P0为光源的平均功率幅值;fv为振动频率;ΔP(fv)为受振动影响的光功率幅值;ωv=2πfv为振动角频率;θ2为受振动影响的光功率初始相角; Δφ为含有Sagnac相位差与反馈相位差的相移;φ(fv),θ1分别为受振动影响的非互易相移误差的幅值和初始相角;φ为偏置调制相移.基于振动环境下光纤陀螺输出信号的表现形式,可进一步提出光纤陀螺振动误差的建模方法.假设原始信号为x(t),改进的LMD算法步骤如下:① 分别对原始信号x(t)中极大值和极小值进行3次样条插值,形成上包络函数Eu(t)和下包络函数El(t),从而得到局部均值函数值m11(t)和局部包络函数值a11(t),即② 从原始信号中分离出局部均值函数值m11(t)后得到对h11(t)做进一步解调得到③ 根据解调后得到的s11(t),重复步骤①和步骤②,得到对应的局部包络函数值a12(t).将相邻2次迭代得到的差值e小于0作为运算终止条件.若不满足该条件,则重复步骤① 和步骤②,直至第r次运行结果满足条件为止.第j次循环后得到的差值ej可表示为式中,mij(t)为求解第i个PF分量时计算得到的第j次局部均值函数值.④ 将迭代过程中得到的所有局部包络函数相乘,便可得到纯调频信号的包络信号,即包络信号a1(t)与对应调频信号s1r(t)的乘积即为第1个PF分量S1(t),即⑤ 若残差信号u1(t)=x(t)-S1(t)不满足单调性,则将u1(t)作为初始信号循环执行步骤①～步骤④,直到第L个残差信号uL(t)是单调函数为止.故原始信号可表示为针对分解得到的高频信号,运用核主成分分析方法进行处理,基本原理如下.将第q个分量信号表示为Sq={pk}，其中,k=1,2，…,M,pk∈RN,M,N分别为分量参数的个数和维数.利用非线性函数φ将分量信号所在的输入空间映射到对应的特征空间中.不失一般性,假定在特征空间中φ(pk)=0,则特征空间F中的协方差矩阵为对协方差矩阵进行特征值分解可得式中,λF为特征值.所有对应于特征值λF≠0的特征向量WF都处于φ(p1),φ(p2),…,φ(pM)所组成的空间中,则有式中,φ(pk),即特征向量WF由φ(p1),φ(p2),…,φ(pM)线性表示.综上可得定义一个M×M矩阵K(pm,pn),且则式(13)可表示为式中,α为α1,α2,…,αM构成的列向量.式(11)转化为求解式(14)的特征值和特征向量的问题,即用λ1≥λ2≥…≥λM表示矩阵K的特征值,则α为其对应的特征向量.对于输入空间中的点b,其在特征空间F中的像为φ(b),则所求得的主成分为φφ(bt)·φ(b))式(16)计算得到的主成分为分量信号中能量所占比例较大的部分,即消除了高频振动噪声影响的有效信号.通过重构方法便可得到所需的光纤陀螺输出信号.在实验室条件下,通过线振动实验研究数字闭环光纤陀螺在车载和机载环境下的振动特性.光纤陀螺输出信号如图1所示.运用改进的LMD方法将信号按照频率大小分解,得到主要分量S1(t)～S4(t)和残差量R(t)(见图2).对于分解得到的高频分量,运用核主成分分析方法将反映振动影响的有效信号和噪声进行有效分离,其中核函数为多项式核函数K(x′,y′)=(x′·y′+1)d,其中x′,y′为函数输入,d为函数阶数.然后,通过重构得到满足要求的输出信号.图3为最终得到的滤除高频噪声的信号和光纤陀螺原始振动信号比较图.由图可知,所提方法对于振动前、振动中和取消振动后的光纤陀螺输出信号均有较好的改善.为了进一步验证所提算法的有效性,分别采集10组振动试验下陀螺的输出信号并加以分析.利用Allan方差分析方法对光纤陀螺原始输出信号和经过改进的LMD方法处理后的信号进行量化比较,结果见表1和表2.由表可知,利用改进的LMD方法进行处理后,信号中量化噪声和零偏不稳定性等误差系数均减小约50%,从而提高了光纤陀螺的测量精度.本文从干涉型数字闭环光纤陀螺的基本原理出发,分析了线振动对光纤陀螺输出的影响,提出了一种基于改进局部均值分解的陀螺振动误差建模方法.与小波变换等常见信号处理方法相比,该方法能够运用核主成分分析方法将振动影响下的有效信号和噪声进行分离,有效地抑制了振动影响下光纤陀螺输出中的噪声和漂移.Allan方差分析结果表明,利用所提方法有效地提高了光纤陀螺在振动环境下的输出精度.【相关文献】[1]Ohno A, Motohara S, Usui R, et al. Development of fiber-optic gyroscope with environmental ruggedness [C]//Fiber Optic Gyros: 15th Anniversary Conference International Society for Optics and Photonics. Boston,USA,1991, 1585: 82-88.DOI:10.1117/12.135037.[2]宋凝芳, 张春熹, 李立京, 等. 数字闭环光纤陀螺振动误差分析[J]. 北京航空航天大学学报, 2004, 30(8):702-704. DOI:10.3969/j.issn.1001-5965.2004.08.003.Song Ningfang, Zhang Chunxi, Li Lijing, et al. Analysis of vibration error in digital closed-loop fiber optic gyroscope[J]. Journal of Beijing University of Aeronautics and Astronautics, 2004, 30(8):702-704. DOI:10.3969/j.issn.1001-5965.2004.08.003.(in Chinese)[3]舒建涛, 李绪友, 吴磊, 等. 高精度光纤陀螺振动误差抑制技术[J]. 红外与激光工程, 2011,40(11):2201-2206. DOI:10.3969/j.issn.1007-2276.2011.11.026.Shu Jiantao, Li Xuyou, Wu Lei, et al. Vibration error restrain technology for high-precision fiber optic gyroscope[J]. Infrared and Laser Engineering, 2011, 40(11):2201-2206.DOI:10.3969/j.issn.1007-2276.2011.11.026.(in Chinese)[4]申冲, 陈熙源. 基于提升小波与灰色神经网络的光纤陀螺振动误差建模[J]. 中国惯性技术学报, 2011, 19(5):611-614,620.Shen Chong, Chen Xiyuan. Vibration error modeling of fog based on lifting wavelet and grey neural network[J]. Journal of Chinese Inertial Technology, 2011, 19(5):611-614,620.(in Chinese)[5]Tian Y, Ma J, Lu C, et al. Rolling bearing fault diagnosis under variable conditions using LMD-SVD and extreme learning machine[J]. Mechanism and Machine Theory, 2015,90:175-186. DOI:10.1016/j.mechmachtheory.2015.03.014.[6]Yang Y, Cheng J, Zhang K. An ensemble local means decomposition method and its application to local rub-impact fault diagnosis of the rotor systems[J]. Measurement, 2012, 45(3):561-570. DOI:10.1016/j.measurement.2011.10.010.[7]Dong S, Sun D, Tang B, et al. A fault diagnosis method for rotating machinery based on PCA and Morlet kernel SVM[J]. Mathematical Problems in Engineering, 2014, 2014:1-8. DOI:10.1155/2014/293878.[8]陈斌,陆从德,刘光鼎. 基于核主成分分析的时间域航空电磁去噪方法[J]. 地球物理学报,2014,57(1):295-302.Chen Bin,Lu Congde,Liu Guangding. A denoising method based on kernel principal component analysis for airborne time domain electromagnetic data[J].China Journal of Geophysics,2014,57(1):295-302. (in Chinese)[9]Žvokelj M, Zupan S, Prebil I. Non-linear multivariate and multiscale monitoring and signal denoising strategy using kernel principal component analysis combined with ensemble empirical mode decomposition method[J]. Mechanical Systems and Signal Processing, 2011, 25(7):2631-2653. DOI:10.1016/j.ymssp.2011.03.002.[10]Zhang Yonggang, Gao Zhongxing, Wang Guochen, et al. Modeling and simulation of the second feedback loop for fiber optic gyroscope[C]//5th International Symposium on Photoelectronic Detection and Imaging 2013: Fiber Optic Sensors and Optical Coherence. Beijing, China, 2013: 89140E1-89140E7.。

多自由度微陀螺结构参数对其动态性能影响分析
郝燕玲;刘博;胡钰
【期刊名称】《哈尔滨工程大学学报》
【年(卷),期】2014(000)011
【摘要】为了解决多自由度微机械陀螺结构设计中存在的参数耦合问题，提出了一种基于增益和带宽最优化的参数设定方法。

为了从结构设计和参数限定的角度提高单轴微机械振动陀螺的性能指标，分析了多自由度单轴微机械振动陀螺的参数对于陀螺性能的影响。

为了抑制低频环境噪声对于输出信号的影响，陀螺的驱动需要在高频率范围内进行操作。

通过理论推演得到在高操作频率下陀螺结构设计中广泛存在于峰值间隔频率、操作频率、阻尼与陀螺性能之间相互制约的内在关系。

结合其设计原则，设计出的微机械陀螺带宽为200 Hz、增益提高了5 dB，能满足绝大多数工程应用的要求。

【总页数】6页(P1378-1383)
【作者】郝燕玲;刘博;胡钰
【作者单位】哈尔滨工程大学自动化学院，黑龙江哈尔滨150001;哈尔滨工程大学自动化学院，黑龙江哈尔滨150001;哈尔滨工程大学自动化学院，黑龙江哈尔滨150001
【正文语种】中文
【中图分类】U666.12
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基于锁相技术的微机械陀螺闭环驱动电路刘晓为;莫冰;谭晓昀;陈伟平【期刊名称】《纳米技术与精密工程》【年(卷),期】2008(006)006【摘要】传统的闭环驱动电路其输出信号的频率与微机械陀螺驱动方向的固有频率存在一定偏差,且频率抖动较大,系统的建立时间较长.基于上述不足,在分析微机械陀螺闭环驱动方式工作原理的基础上,提出一种基于锁相技术的闭环驱动电路方案,电路进入稳定工作状态时,交流驱动电压与驱动方向敏感电流的相位及频率一致,微机械陀螺在驱动方向谐振,显著改善了输出信号的频率特性.仿真结果表明,这种闭环驱动电路输出信号频率与微机械陀螺驱动模态固有频率完全一致,频率抖动及系统建立时间分别是传统闭环驱动电路的38%和50%.通过实验验证了该方法的可行性.【总页数】6页(P458-463)【作者】刘晓为;莫冰;谭晓昀;陈伟平【作者单位】哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001;微系统与微结构制造教育部重点实验室,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001;微系统与微结构制造教育部重点实验室,哈尔滨,150001【正文语种】中文【中图分类】TN492【相关文献】1.新型低噪声微机械陀螺闭环驱动电路 [J], 孙明;谭晓昀;李子芃;刘晓为2.微机械陀螺的闭环驱动电路的设计与实现 [J], 徐利国;崔洪亮;洪成华;李永峰;刘宁3.一种基于PWM技术的微机械陀螺闭环驱动电路设计 [J], 孙冬娇;孟瑞丽;刘恒4.一种高幅值稳定性的微机械陀螺闭环驱动电路 [J], 李晓莹;南素娟;常洪龙;袁广民;白滨5.电容式微机械陀螺双环路闭环驱动电路研究 [J], 谭晓昀;雷龙刚;王冠石因版权原因，仅展示原文概要，查看原文内容请购买。