½线碱制绒良率改善 线碱制绒良率改善
1
保密
当前状况
项目 Q1 Q2 Q3 Q4 来料不良 制程破片 Trash Goal 98.40% 0.15% 0.10% 0.20% 0.20% 0.70% 0.25% Act-Aug 97.40% 0.54% 0.05% 0.42% 0.12% 0.85% 0.62% 差异 -1.00% 0.39% -0.05% 0.22% -0.08% 0.15% 0.37%
建议更换花篮 工艺优化 设备优化 更换花篮/优化工艺 PM清理/更换台面 碎片,换网板纸彻底清理 20片/批,新分选手法 提高员工熟练程度(假片操作)
沟通中 沟通中 执行中 沟通中 已执行/进行 中 已执行 已执行 已执行 已执行
王倩 王倩 陆炜勇 王倩 陈宝东 潘恒春 潘恒春 潘恒春 潘恒春
/ / 9月1日 / / 9月1日 9月1日 9月1日 9月1日
从8月份的数据来看,1/2线碱制绒的良率与目标有1%的差 异,主要贡献在Q2,Q4,低功率和制程破片上。
2
原因分析: 原因分析:
人为导致绒面不良 绒面不良
延时
Q2
操作中接触绒面 手套脏污
操作员经验不足 刻不动
PECVD没有有效隔离
对外观标准不明确 没检查外观
低功率中Q4
水痕
未按要求做工艺卫生 工艺不稳定
工艺优化
进行中
蔡中兴
/
工艺优化(测试处RSH打磨)
进行中
仲春华
/
提高工艺卫生水平 丝网导致低功 率 插网板后低功率 扩散面难辨别/收片放 反
按工艺要求严格执行
完成
潘恒春
9月1日
用纸印刷
完成
潘恒春
9月1日