BLT薄膜折射率和消光系数
固体材料光谱学优秀课件
椭圆偏振光谱的优点
1.测试过程对于被测试样品损伤和破坏极小。 2.测量精度高. 椭偏光谱的工作原理虽然建立在经典
电磁波理论上,但实际上它有原子层级的灵敏度. 对 薄膜的测量准确度可以达到1nm,相当于单原子层 的厚度. 3.能同时分别测量出几个物理量. 椭偏光谱可直接得 到光学常数的实部和虚部,不需要K - K关系. 4.测量的速度很快. 5.对被测样品以及被测样品所处的环境条件无特殊要 求。
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洛伦兹振子模型
光与物质的相互作用,也就是固体对 光的响应可以看成阻尼振子体系在入射光 作用下的受迫振荡。
一个谐振子的运动方程可以表示为:
M * x M *x M *02xq0e E i t
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M N*q20
2i/ 122
复介电常数 rii能够用上面的公式表达,
折射率和消光系数用下面的公式表示:
n 1 2
2 r
i2
r
k 1 2
2 r
i2
r
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实验数据处理
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Bi3.25La0.75Ti3O12薄膜 ψ和Δ的光谱
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BLT薄膜拟合的参数值
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BLT薄膜介电常数
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[3] Z. G. Hu, Structure and Optical Properties of Ferroelectric PbZr0.40Ti0.60O3 Films Grown on LaNiO3-Coated Platinized Silicon Determined by Infrared Spectroscopic Ellipsometry, J. Phys. Chem. C 2008, 112, 9737–9743