中倍平场显微物镜的设计
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50×近红外长工作距离显微物镜光学设计显微物镜被广泛应用在激光微纳加工设备及激光微束系统上[1-3],在应用过程中,很多时候需要具有工作距离长、数值孔径大、波长覆盖可见光波段和近红外波段的需求。
近年来国内学者进行了很多研究。
其中,在可见光波段,薛金来等人设计了数值孔径为0.75,半视场为6.39°的平场复消色差显微物镜,各项成像指标接近衍射极限;在近红外波段,周恩源等人设计了一套工作波长为785~815nm,数值孔径为0.9,像方视场为22.5mm,放大倍率为40×的近红外平场复消色差显微物镜,在经过公差分析后满足了生产要求。
在众多学者的研究中,我们发现,长工作距离且覆盖可见光及近红外波段的高倍显微物镜鲜少有人进行研究,长工作距离的显微物镜在使用過程中,可有效扩大物镜与待观察物体之间的距离,防止在激光加工过程中高温粒子对物镜的损伤。
由此,本文针对上述需求设计了一款用于在可见光波段同轴观察,近红外(1064nm)激光加工用的长工作距离高倍显微物镜。
1 设计参数根据客户需求及使用场景,我们所确定的近红外长工作距离显微物镜参数如下:工作距离大于14mm,数值孔径为0.45,焦距为4mm (与焦距为200mm的管镜配合,实现50倍放大),波长为1064nm 及可见光波段,观察视野为Φ0.46mm,齐焦距离为95mm。
整个系统采用反向设置。
根据公式式中y为半视野高度,f为焦距,ω为半视场角,我们可以计算出显微物镜的半视场角为3.29°,在这里我们将半视场角度设置为3.45°。
2 光学设计2.1 初始结构选取一般光学系统设计有两种设计思路,第一种是采用PW法,第二种是缩放法。
其中PW法采用的是按照初级像差理论来求取系统的初始结构,这种方法一般适用于初级像差系统,对于存在高级像差的大相对孔径系统,我们按照第二种思路来进行设计,也就是在光学结构数据库ZEBASE中找到一个视场角、数值孔径优于设计要求的结构作为我们光学系统的初始结构。
25×显微镜物镜设计设计要求:1. 显微物镜放大倍率为25×;2. 物方数值孔径NA=0.4;3. 物高为1mm;4. 物方工作距不能太小。
设计过程:第一步:选择初始结构,根据题目要求设置参数显微镜物镜的初始结构选择如下:在用ZEMAX软件进行设计时,将显微镜倒置设计。
设置参数如下:垂直放大率为0.04,物方数值孔径为0.016,物高为25mm,物方半视场高度为12.5mm。
此时该系统的结构、传函以及像差如图1所示。
从MTF图和像差图可以看出该显微物镜的成像质量还不是很好,需要对其进行校正。
第二步:手动校正使用ZEMAX软件进行手动校正,手动校正主要是通过改变曲率半径使成像质量逐渐得到优化。
手动校正后,显微镜物镜结构的数据如下:手动校正后该系统的结构、传函以及像差如图2所示。
第三步:自动优化首先,建立自动优化函数。
具体过程如下:选择Editors>> Merit Function,弹出Merit Function Editor 对话框,在Type栏中输入EFFL,并将Target定为6.930840,Weight值取1.0;其次,选择Merit Function Editor对话框工具栏中的Tools>>Default Merit Function,设置Optimization and Reference为RMS~Wavefront~Centroid;最后,选择“opt”按钮进行自动优化。
自动优化后,显微镜物镜结构的数据如下:图1 显微物镜初始结构系统报告图图2 显微物镜手校后系统报告图图3 显微物镜自动优化后系统报告图经过自动优化后的显微物镜的结构、传函以及像差如图3所示。
此时,像方数值孔径NA=0.3731118,传递函数接近于衍射极限,成像质量较好,设计完成。
图6 显微物镜自动优化后波相差图。
10显微物镜的课程设计一、课程目标知识目标:1. 学生能理解显微镜的基本构造和原理,掌握10倍显微物镜的使用方法。
2. 学生能描述10倍显微物镜下观察到的细胞结构特点。
3. 学生能了解显微镜在生物科学中的应用。
技能目标:1. 学生能够正确操作显微镜,调整焦距,使观察物体清晰。
2. 学生能够熟练使用10倍显微物镜观察细胞结构,并绘制观察图。
3. 学生能够通过观察和分析,提出问题,并与同学进行讨论。
情感态度价值观目标:1. 学生培养对生物科学的兴趣和好奇心,增强对微观世界的探索欲望。
2. 学生养成合作、交流的学习习惯,提高团队协作能力。
3. 学生认识到科学技术在生活中的应用,增强创新意识和实践能力。
课程性质:本课程为初中生物实验课,旨在通过实践操作,使学生掌握显微镜的使用方法,并观察细胞结构。
学生特点:初中学生具有较强的求知欲和动手能力,但对显微镜操作尚不熟练,需要教师在教学中进行引导和指导。
教学要求:教师应注重理论与实践相结合,关注学生的个别差异,提高学生的观察、分析和动手能力。
教学过程中,注重培养学生的科学素养和合作精神。
通过本课程的学习,使学生能够达到上述课程目标,并为后续生物课程打下坚实基础。
二、教学内容本节课教学内容围绕显微镜的使用和细胞观察展开,具体包括以下部分:1. 显微镜的基本构造与原理:介绍显微镜的各部分名称和功能,阐述放大原理。
- 教材章节:第一章,第三节2. 显微镜的使用方法:讲解如何正确安装、调整焦距、换镜头等操作步骤。
- 教材章节:第一章,第四节3. 10倍显微物镜的观察:指导学生使用10倍显微物镜观察细胞切片,了解细胞结构。
- 教材章节:第二章,第一节4. 细胞结构的观察与绘制:让学生观察并描述细胞结构,绘制观察图。
- 教材章节:第二章,第二节5. 显微镜在生物科学中的应用:介绍显微镜在生物科学领域的重要作用。
- 教材章节:第二章,第三节教学进度安排:第一课时:显微镜的基本构造与原理,显微镜的使用方法。
0.5×~2.5×长工作距离变焦距显微物镜设计冯浩男;梅启升;梁秀玲【摘要】根据变焦距理论和显微物镜的特点,利用Zemax设计了一款可连续变倍的显微物镜.该物镜由4组双胶合透镜组构成,结构简单,成像质量良好,变倍范围在0.5×~2.5×之间,最大数值孔径达到0.1,共轭距346 mm,物距76 mm,空间频率65 lp/mm处,全视场内的调制传递函数均大于0.3,适用于可见光光谱,可以与1/2 inch CCD相匹配.通过对所设计的变倍显微物镜进行公差分析,得到一套比较宽松的公差,适合批量生产.设计结果表明,该变倍显微物镜可以满足工业视频检测的要求.【期刊名称】《光学仪器》【年(卷),期】2018(040)004【总页数】7页(P40-46)【关键词】光学设计;变焦距显微物镜;机械补偿;公差分析【作者】冯浩男;梅启升;梁秀玲【作者单位】福建师范大学光电与信息工程学院医学光电科学与技术教育部重点实验室暨福建省光子技术重点实验室,福建福州350007;福建师范大学光电与信息工程学院医学光电科学与技术教育部重点实验室暨福建省光子技术重点实验室,福建福州350007;福建师范大学光电与信息工程学院医学光电科学与技术教育部重点实验室暨福建省光子技术重点实验室,福建福州350007【正文语种】中文【中图分类】TN202引言随着现代工业、化工业的发展,新型变倍显微系统在各方面展现出巨大的需求。
变倍显微系统是指焦距在一定范围内连续或者间隔改变而像面保持不动的光学系统,在固定像面上可以获得放大倍率不同的像,从而起到代替多个固定倍率镜头的作用。
变倍显微系统通过变倍物镜把观测物成像在CMOS或CCD靶面上,并将图像显示在显示器中,因不易产生疲劳,适合不间断观察。
由于其放大倍数可变,无需更换镜头就可以满足不同视场的观测要求。
该系统具有直观、真实、方便记录以及观察不同视场不需更换镜头的特点,故其广泛应用于印刷线路板、集成电路、液晶屏的检验,以及其他一些行业,如食品、药物的检验,植物、生物的观察等。
中倍消色差物镜设计摘要本次课程设计着重于用ZEMAX软件实现消色差显微物镜的设计。
ZEMAX是一个用来模拟、分析和辅助设计光学系统的软件,其界面简单易用,稍加练习就能实现互动设计。
此次所设计的物镜由两个双胶合组构成,每个双胶合组分别消色差,除了必须校正的球差和彗差以外还校正了象散,提高轴外物点的成像质量。
本文采用PW法进行显微物镜的初始结构计算,ZEMAX软件仿真并优化,所得结果满足要求。
关键词 ZEMAX PW法消色差显微物镜目录一、设计要求...................................................................... 错误!未定义书签。
二、PW法求解初始结构................................................... 错误!未定义书签。
2.1 物镜系统外部参数确定..................................... 错误!未定义书签。
2.2 初级像差求解................................................... 错误!未定义书签。
三、ZEMAX仿真及优化 .................................................. 错误!未定义书签。
四、设计体会...................................................................... 错误!未定义书签。
五、参考文献...................................................................... 错误!未定义书签。
一、设计要求要求β=-10⨯ NA=0.21,共轭距离L=210。
要求物镜本身校正球差、慧差、色差;入瞳位置在物镜上。
显微镜的设计过程一个完整的显微镜系统设计是十分复杂的,涉及到光学设计、机械设计、电路设计等多方面知识;现代显微镜大多数与计算机技术和自动控制技术相结合,是光机电算相结合的高科技产品。
我在这里只想以我自己这几年的显微镜设计实践为基础,做一些简单的知识总结,希望各位高手多多指教。
首先,要根据显微镜的使用要求来进行显微镜选型设计。
显微镜已经有几百年的发展历史,它的形式也多种多样,根据不同的使用要求显微镜的各种参数有非常大的差异。
例如生物显微镜、金相显微镜、体式显微镜、测量显微镜、工具显微镜等等。
以最简单的普通生物显微镜为例,它也分很多种分类,按结构形式分有正置、倒置之分,按照明形式分亮视场照明和暗视场照明,按光源分荧光显微镜、激光显微镜,按共轭距分195mm和无穷远等等。
第二步,选好形式之后,初步选择它的外形尺寸和放大倍率、分辨率等主要参数。
这一步在一般大学里的工程光学或者应用光学课程中都可以学到。
按照国标,物镜放大率首选1.6x、2.5x、4x、6.3x、10x、16x、40x、63x、100x等倍率。
根据消色差程度的不同分为消色差物镜、平场消色差物镜、平场半复消色差物镜和平场复消色差物镜等4种。
当然消色差效果越好,结构越复杂,成本越高。
所以要根据使用情况尽量选择可以满足使用要求的成本又较低的。
显微目镜想对物镜的结构要简单很多,主要分为惠更斯目镜、平场目镜、广视场目镜、超广视场目镜等多种形式。
外形尺寸主要涉及物镜及目镜的轴向尺寸和横向尺寸,轴向尺寸包括焦距、共轭距、机械筒长、光学筒长、工作距离、目镜出瞳距、孔径光阑和视场光阑的位置等等,横向尺寸包括通光孔径、光阑直径、孔径角、数值孔径等等。
除了目镜和物镜以外还有其它的一些附属光学元件也要考虑到,比如场镜、分划板、滤光片、转向棱镜、偏振片等等。
这些初始结构的选择看似简单,但对后续详细设计来讲非常重要,如果初始结构计算不正确,那么将有可能使后续设计无法开展,或者设计到后来才发现前面初始结构计算不正确,导致前功尽弃。
目录第一章摘要 (2)第二章 ZEMAX介绍 (3)第三章中倍平视场显微物镜设计(PW法) (4)第四章优化过程 (17)第五章心得体会 (24)参考文献 (25)第一章摘要本课程的任务是在学习工程光学、光学设计的基础课程基础上,进行光学仪器的设计,目的是让学生了解光学设计中主要的环节,掌握光学仪器设计,开发的基本方法,一遍今后能从事光学仪器的设计,研发工作。
本课程主要用PW法设计各种镜头的初始结构,并学会用ZEMAX软件优化象差。
要考虑物象位置关系、系统放大倍数、系统分辨率、象差等。
光学设计过程分为四个阶段:外型尺寸计算、出事结构计算、象差校正和平衡以及像质评价。
了解光学系统的光学特性、光学系统的设计过程。
初级象差理论与象差的校正和平衡方法,像质评价与象差公差,光学系统结构参数的求解方法。
关键词:光学系统、成像质量、象差、优化第二章 ZEMAX介绍ZEMAX提供了十分强大的优化功能,它有能力去改善那些给出一个合理的起始点和一系列的镜头设计。
参变量可以是曲率,厚度,玻璃,圆锥系数,参数数据,特殊数据,和一些多种结构的数值数据。
ZEMAX使用了活动的阻尼最小二乘法,这个运算则能够优化有加了权重的目标组成的评价函数,这些目标被称为“操作数”。
ZEMAX有一些不同的默认评价函数,在评价函数编辑界面中可以很容易的改变这些评价函数。
优化需要三个步骤:1)一个可以进行光线追迹的合理光学系统;2)变量的设定;3)评价函数的设定。
合理的光学系统是个比较模糊的概念,它仅仅意味着通过优化运算则将一个缺乏考虑的设计方案转化成一个特殊的方案是不可能的。
变量和那些为了优化运算则能去的一些进展而至少有一个的因素。
第三章 中倍平视场显微物镜设计(⨯-=25β,4.0=NA ,mm L 195=,mm l F1>') (一)设计原则为有效控制物像共轭距离,显微镜物镜需倒追光线。
(二)参数设定数值孔径输入:016.0254.0sin =='='=≈=βγu u u u n NA 波段输入:D 、F 、C 光,即普通白光入射视场输入:物在有限距离,输入线视场(单位:mm ),物像颠倒,故mm y y 5.12='=β(三)PW 法设计过程 (1)结构选型由上述技术要求知,当=25=0.4NA β-,,即111sin 0.4u n U ==-,相应的象方孔径角'0.016u =,物镜的总偏角'1=u 0.416u δ-=。
中倍平场显微物镜的设计Revised on November 25, 2020电气工程学院《课程设计》任务书课程名称:光学仪器基础课程设计基层教学单位:指导教师:说明:1、此表一式三份,系、学生各一份,报送院教务科一份。
2、学生那份任务书要求装订到课程设计报告前面。
电气工程学院教务科目录第一章摘要 (4)第二章系统结构参数的设计 (5)第三章像质分析 (17)第四章系统的优化 (21)第五章总结 (25)参考文献 (26)第一章摘要显微镜系统是用来帮助人眼观察近距离物体微小细节的一种光学系统。
尤其构成的目视光学仪器称为显微镜,它是由物镜和目镜组合而成的。
显微镜和放大镜的作用相同,都是把近处的微小物体通过光学系统后成一放大的像,以供人眼观察。
由于显微镜物镜决定了物点能够进入系统成像的光束大小,因此显微镜的光学特性主要是由它的物镜决定的。
显微镜物镜根据它们的性能及用途不同,可分为消色差物镜、复消色差物镜、平像场物镜、反射式物镜和折射式物镜。
对于某些特殊用途的显微系统,如显微投影等,除了要求校正轴上点像差(球差、轴向色差、正弦差)以及二级光谱外,还必须严格较正场曲,以获得较大的清晰视场,因此,为了满足实际使用的要求,出现了校正场曲的平像场物镜,本设计即为设计中倍平场显微物镜的设计。
表征显微物镜性能主要有三个参数:数值孔径、放大率和线视场。
放大率越高,数值孔径(NA)越大,分辨率也越高,其结构也就越复杂。
本次设计采用Zemax软件进行仿真,ZEMAX 能够在光学系统设计中实现建模、分析和其他的辅助功能。
ZEMAX 的界面简单易用,只需稍加练习,就能够实现互动设计。
但由于本人新学现用,肯定有不足之处,望老师指正。
关键词:显微镜物镜;场曲;Zemax第二章用PW法进行显微物镜结构参数的设计显微镜物镜参数技术要求:放大率β=-25⨯,数值孔径NA=,共轭距离L=195mm,物方线视场y=1mm,工作距离大于1该系统的设计步骤如下:(尺寸单位均为mm)(一)按设计的技术要求选取合适的结构形式由于上述要求知,当β=-25⨯,NA=,即物方孔径角近似为,u=,相应的象方孔径角u'=,物镜的总偏角δ=u'-u=。
通常消色差的双胶合物镜能负担的偏角小于,单透镜所能负担的偏角小于,否则,将引入大量高级像差。
同时为了矫正系统的匹兹伐和的弯月形厚透镜,同时要求它能数,系统中引入能产生负值SIV负担一定的正偏角;为了获得较大的工作距离,因此透镜系统结构设计如图(一):图(一)(二)系统的高斯光学计算为了便于控制共轭距离的改变,进行设计时把象方作为物方,如图(二),它是图(一)的简化表示。
图(二)1、偏角分配如下表2、高斯光学计算有几何光学知识,透镜组偏角和光线在透镜上高度可由如下二式求得:11'i i i i ii i i ih h d u u u h ϕ++=--= (1) (1)求个薄透镜的光焦度及第一近轴光线在各薄透镜组上的高度111h l u ==-167mm ⨯()=2.672mm 同理可得(2)求主光线在各薄透镜组上的高度。
由图(二)可求得物方半视场高度 同理可得:厚透镜参数的确定在后面专门叙述。
(三) 列出系统的初级像差方程组为了计算方便,将上述计算结果列成表,如下表拉式不变量1(0.016)(12.5)0.2J nuy ==⨯-⨯-=厚透镜的像差系数如下:IIC z II S W h J P h h S +∑+∑=∑23)()(φφ (2)将上表诸值代入上式得:IIICIIIS W W P P S+++++=∑00305055.00037637.00014915.00015173.00002512.03232 (3)(四) 对各透镜组PW 规化 1.第一块负透镜为减小高级象差,材料取高折射率的7ZF ,其折射率n =,阿贝常数γ=11111(2)0.408597W W u W n ∞∞=-+=- (4)21min 11221111[1][(12)](1)2(2)0.872990.410633 1.09658P P W u n n W W ∞∞=+-++++=-+ (5)2.第二块正透镜 正透镜取重冕玻璃3ZK ,其n =,61.2υ=,则0min 2222221.708451.600991.694430.850723 2.8145 3.93485P P W W P W W ∞∞∞===+=++ (6)(7)3.双胶合透镜549934.096931.1)22()14(33233333+-=+++-=∞∞∞∞W P u W u P P μ (8)30467.1)2(3333-=+-=∞∞W u W W μ (9) 其中,(五)厚透镜参数的确定图(三)1()n u nur h n n ρ''-=='- (10) 544455(1)(1)u u u h n h n ρρ''∆=-=-+- (11) 由像差理论可知,厚透镜2451()n S J nρρ-=-Ⅳ (12) [][]444555444555()()()()11111()()n n C hni n nnu u n nn h h u u h u u n n n n nh u u h u u δδδδδυ'=-'''-''=-=-+-'--'''=-+-∑∑Ⅰ(13) 54444555451()()z z i i C h u u h u u i i υ⎡⎤''=-+-⎢⎥⎣⎦Ⅱ (14) 由位置色差系数I C 、倍率色差系数II C 可知,厚透镜折射率n 越大,所担负偏角越大;阿贝常数γ越大,位置色差、倍率色差越小。
所以材料选取重火石玻璃ZBaF3,即 1.6568,51.1n υ==为求出厚透镜的薄透镜的S Ⅳ,首先要求出薄透镜的S Ⅳ,它可由下式求得式中,双胶合透镜的10.65nμ== n 为双胶合透镜的等效折射率。
为了使得加入厚透镜后,系统仍保持一定量正的S Ⅳ。
所以取厚透镜的S Ⅳ=.由式(11)(12)可知,两个方程式中有三个变数4ρ,5ρ,5h ,为此需要给定一个条件。
我们可以让4ρ满足不晕条件,不晕面的曲率半径可由下式求得将上面求得的值及确定的已知数代入得但为了校正系统的正象散,使次面稍偏离不晕条件,取4 3.6r mm =,即140.2778mm ρ-=,而4449.484530.194h l u mm ==⨯。
将4r ,4h 代入式(11)和(12)得 联立解得: 工作距离为结果满足技术要求。
利用图(三)和式(10)可得其厚度d 的公式45555()(1)n h h d u h n ρ-='-- (15)式中,n 为厚透镜折射率。
将已知值代入上式,可求得其厚度到此为止,厚透镜结构参数计算完毕,整理如下:45 3.6 4.12 1.656851.12.65r mmd mmn r mmυ===== (六)厚透镜初级像差系数的计算通过近轴光线追迹,求得: (七)求解初级像差方程组将(4)——(9)式代入(3)式,并取∞3W =0,得: 上表中初级像差系数都比较小,故解是比较合理的。
(八) 求各薄透镜组结构参数 1.第一块负透镜解得 1.64722Q =相应的曲率半径为 2.第二块正透镜算法同上得: 3.第三组双胶合透镜(1)求双胶合薄透镜的色差系数C Ⅰ (2)求规化色差系数I C(3)求薄透镜的0P 值。
由于冕牌玻璃在前还是火石玻璃在前未定,故0W 值取其中间值,即(4)根据上面求得的0P 值和C Ⅰ挑选7ZK 和7ZF 玻璃组合,并采用冕牌玻璃在前,即: 在规化条件下色差系数 当双胶合透镜光焦度1φ=时,得 (5)求得结构参数 进而得到:去规化后并求得双胶合透镜组的三面半径 根据上述计算,系统结构参数如下表(九)由薄透镜变厚透镜 过程从略,由公式计算的下表物高y=㎜,物距1L =,物方孔径角016.01-=u ,入瞳直径D=2,视场角 92=w ,6='f ㎜。
第三章 像质分析往Zemax 中输入的系统初始结构参数如下表所示 设入瞳直径为2mm下图为由Zemax 根据以上数据仿真出来的2D 系统示意图 由图知此系统是物理可实现的。
以下各图为优化前由Zemax 仿真出的各像差曲线图 优化前像差 优化前场曲/畸变曲线优化前点列图优化前MTF曲线由以上各像差曲线得到,不管视场角多大,总有较大的像差存在,这一点从点列图分散比较大也可看出,且可看出成像的分辨率不高;场曲较大,且在视场为零时还存在较大场曲,畸变较小,不过对此系统影响不大;最后通过MTF曲线知,通过此系统的光线截止频率较大,通过此系统后,光线衰减严重,总之此系统有校正的必要,需进行优化。
第四章系统的优化经过对各个初始结构参数进行的一系列校正,最后得到成像质量较好的一组初始结构参数,如下表优化后的系统2D图如下:由图可知,此系统仍为物理可实现的优化后的其余各像差曲线如下优化后像差曲线优化后场曲/畸变曲线优化后点列图优化后的MTF曲线通过优化前后的像差曲线及点列图相比较可以看出像差差明显减小,尤其是在较小的视场下,通过点列图较好的集中程度也可看出像差已经很小,且集中程度很好,系统分辨率较高;场曲得到较好的校正,带光及较小视场处场曲甚至为零,最大场曲也得到了较好的校正,畸变变化不大:通过此物镜系统的光线的截止频率得到了很大的提高,光线通过此系统后能保持较大的对比度能得到层次丰富、真实感强的对比图像。
第五章总结显微镜物镜系统是一项精密的系统,它不仅结构复杂,而且严格要求本身的光学特性和成像质量,以尽量减少各种像差和失真,从而也令设计的过程务必严格谨慎。
通过将近两周的课程设计,我大致谅解了光学物镜系统设计的流程(PW法),即通过系统要求的性能技术指标,如何计算出正确合格的透镜的初始结构参数,并学会了使用Zemax软件对所设计的光学系统进行仿真,以及对各种像差进行评估,并通过此软件对系统进行优化,以得到符合设计要求的初始结构参数。
这一周多的课程设计虽然短暂,但通过一周的忙碌我们不仅有加深了对以往所学光学知识的理解,而且体验到了学有所用的快乐,更进一步培养了我们独立思考、解决问题的能力。
当然,设计一如此精密的光学物镜系统,并通过我们之前并不了解的Zemax进行仿真优化,这都需要大量的计算和前人的经验,在短短一周时间之内,难免系统中出现缺陷或者不足。
不过在老师的指导和自己的努力下,能够完成这一设计任务,感觉是很有收获的。
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