(s)第六章+化学气相淀积
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化学气相淀积的基本概念薄膜制备-化学气相淀积薄膜淀积种类:导体、半导体、绝缘体物理气相淀积PVD)薄膜淀积:化学气相淀积CVD)化学气相淀积的含义化学气相淀积,简称CVD,它是通过气体混合的化学反应的方式在硅片表面淀积一层固体薄膜的工艺。
化学气相淀积的基本原理1)参加反应的气体混合物被输运到沉积区2)反应物由主气流扩散到衬底表面3)反应物分子吸附在衬底表面上4)吸附物分子间或吸附分子与气体分子间发生化学反应,生成原子和化学反应副产物,原子沿衬底表面迁移并形成薄膜5)反应副产物分子从衬底表面解吸,扩散到主气流中,排出沉积区(a)形成晶核:(b)晶粒聚集:(c)形成连续的膜气体分子成核聚集连续的膜化学气相淀积的过程按工艺条件分APCVD 常压CVDLPCVD 低压CVDPECVD 等离子体增强型CVDHDPCVD 高密度等离子体CVDLCVD 光化学气相淀积按生成膜的性质分金属CVD半导体CVD介质CVD化学气相淀积的分类1)APCVD 常压化学气相淀积连续加工的APCVD反应炉•反应速度和淀积速度较快淀积速度可达1000nm/min)•APCVD淀积膜的均匀性较差•气体消耗量大•台阶覆盖能力差2)LPCVD 低压化学气相淀积LPCVD反应腔•在同样的膜厚均匀性要求下,LPCVD硅片的间距可以更小,使LPCVD的生产效率更高3)PECVD 等离子体增强型化学气相淀积•反应温度低200-400℃)和良好的台阶覆盖能力,可以应用在AL等低熔点金属薄膜上淀积,•缺点是淀积过程引入的粘污本课重点•化学气相淀积的概念•不同化学气相积淀方法的特点和应用THANKS 谢谢。