单晶炉热场清洁与安装作业指导书

晶盛单晶炉作业指导书一、概述晶盛单晶炉是一种用于单晶材料生长的设备，能够实现高温环境下的晶体生长。

本作业指导书旨在向操作人员提供使用和维护晶盛单晶炉所需的详细指导，以确保设备正常工作并生产出高质量的单晶材料。

二、设备操作1. 准备工作a. 检查设备的电源和供气情况，确保正常运作。

b. 确保操作人员穿戴好相应的防护装备，包括防护眼镜、耳塞等。

c. 检查设备各部件的连接和状态，确保无漏气、无破损等问题。

2. 加载样品a. 打开炉膛门，将要生长的单晶样品小心地放置在样品载台上。

注意避免样品与载台接触过程中的碰撞或损坏。

b. 关闭炉膛门，确保密封良好。

3. 设置工艺参数a. 根据所需单晶材料的要求，在操作界面上设置合适的温度、压力等工艺参数。

b. 按照设备使用手册的要求，设置晶盛单晶炉的升温速率、保温时间等参数。

4. 启动和监控a. 打开设备的电源，按照正常启动程序操作，确保炉膛加热系统和其他系统正常运行。

b. 在启动后的整个过程中，操作人员应密切监控温度、压力等参数的变化，并及时调整，以确保单晶材料的质量。

5. 结束和清理a. 单晶材料生长完成后，关闭电源，停止供气，并等待炉膛冷却到安全温度。

b. 打开炉膛门，小心地将生长好的单晶样品取出，放置在合适的容器中。

c. 清理炉膛内部的残留物，确保设备整洁。

三、设备维护1. 清洁a. 每次使用后，应及时清洁炉膛内部和其他部件，避免杂质对下一次生长工艺的影响。

b. 使用合适的清洁剂和工具进行清洁，注意安全和操作规范。

2. 检修和维护a. 晶盛单晶炉设备定期需要进行检修和维护，以确保各部件的正常工作。

b. 遵循设备使用手册中的维护计划，对设备的各个部件进行检查、清洁、更换等操作。

c. 发现设备问题时，应及时汇报并由专业人员进行维修。

3. 安全注意事项a. 操作人员应在经过必要的培训和指导后，才能使用晶盛单晶炉设备。

b. 在操作过程中，应严格按照设备的安全操作规程进行操作，以避免意外事故的发生。

晶盛单晶炉作业指导书晶盛单晶炉是一种高温熔炼设备，主要用于实验室、研究机构以及一些小规模生产场所进行单晶材料的制备。

本作业指导书旨在为操作人员提供详细的操作步骤和注意事项，以确保安全可靠地操作晶盛单晶炉。

一、设备准备1. 确保晶盛单晶炉设备完好无损，并检查电源是否正常。

2. 将晶盛炉设备放置在通风良好、防火安全的场所，并确保离其他设备和易燃物距离足够。

3. 准备好所需的单晶生长设备、单晶种子、熔化样品以及其他实验所需材料和工具。

二、操作步骤1. 插入晶盛并连接电源。

首先将晶盛轻轻插入炉内，并确保与电源连接牢固。

注意避免触碰炉体，以免烫伤。

2. 打开电源开关，并调整炉体温度。

根据实验需求设定炉温，并通过控制面板进行温度调节。

3. 温度上升阶段。

将炉温缓慢升高，避免温差过大引起晶体结构异常。

4. 投入单晶种子并开始熔化。

待炉温达到要求后，将单晶种子放置在炉内，观察熔化过程，确保样品均匀熔融。

5. 单晶生长阶段。

根据所需单晶材料的要求，保持恒定的温度和熔融状态，稳定地进行单晶生长。

6. 单晶生长完成。

待单晶生长完毕，将电源关闭，并等待炉温降至安全温度后，方可取出单晶。

三、注意事项1. 操作前检查设备及电源连接是否正常，确保操作安全。

2. 晶盛单晶炉高温，操作人员应穿戴防热手套和保护眼镜，避免烫伤和灼伤。

3. 遵循操作规程，严格按照制定的温度曲线进行操作，避免过大的温差影响晶体质量。

4. 炉体外部温度高，禁止操作人员触碰，以免烫伤。

5. 单晶材料、单晶种子等操作材料应储存妥善，避免受潮或污染。

6. 操作过程中要保持炉外环境干燥洁净，避免灰尘和异物进入炉内影响单晶生长。

7. 操作结束后，及时关闭电源，并等待炉温降至安全温度后取出单晶。

四、常见故障处理1. 温度控制失常。

检查温度控制仪表及传感器是否正常，排除故障后重新操作。

2. 单晶材料熔融异常。

检查材料质量和配比是否准确，避免杂质或空气进入熔融材料，影响单晶质量。

单晶炉具体操作步骤1、目的为正确、规范地操作单晶炉，确保生产作业正常，特制订本规范。

2、适用范围适用于TDR-70A/B和JRDL-800型单晶炉的操作。

3、单晶炉操作工艺流程作业准备→热态检漏→取单晶和籽晶→石墨件取出冷却→真空过滤器清洗→真空泵油检查更换→石墨件清洗→单晶炉室清洗→石墨件安装→石英坩埚安装→硅料安装→籽晶安装→抽空、检漏→充氩气、升功率、熔料→引晶、缩颈、放肩、转肩→等径生长→收尾→降功率、停炉冷却4、主要内容A. 作业准备a. 进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。

b. 开炉前，按工艺要求检查水、电、气，确认无误后方能开炉。

c. 准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾、纸巾、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩。

d. 准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。

e. 取单晶的架子、装石墨件的不锈钢小车、装埚底料的不锈钢筒和装硅料的不锈钢小车，并处理干净。

f. 用毛巾将炉体从上到下一遍，擦洗时注意不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏，并把炉子周围清扫干净。

B. 热态检漏a. 检查上一炉功率关闭时间，在单晶冷却4.0小时（TDR-70A/B型单晶炉）、5.0小时（JRDL-800型单晶炉）后，关闭氩气（只关闭氩气阀门，主、付室流量计调节阀打开并分别调节到30L/Min），开始抽高真空，并作时间记录。

b. 待炉内压力到达极限（要求达到3Pa以下）后，先关闭主室球阀而后关闭真空泵电源进行检漏，并作相应时间记录，若0.5小时内抽不到3Pa以下时，交有关维修人员处理，在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉，并作相关记录。

c. 检漏要求3分钟以上，漏气率<0.34Pa/min为正常，同时作好漏气率记录，若漏气率＞0.34Pa/min时，交有关维修人员处理，在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉，并作相关记录。

C. 取单晶和籽晶a. 热态检漏后，旋松付室小门4个螺丝，打开氩气阀门充氩气至常压，关闭氩气，旋开付室小门4个螺丝，打开付室小门。

晶盛单晶炉热场安装晶盛的单晶炉是市场上做太阳能级别单晶炉做的比较好的，具有自动级别高，拉晶稳定，安全可靠的特点，所以很多厂家都在使用。

这里介绍的是晶盛单晶炉采用的直拉法拉晶。

晶盛单晶炉热场安装教程晶盛单晶炉其热场的装配经过如下步骤，准备阶段首先，准备好安装热场配件，如石英环，石英护套，石墨护套电极螺丝等。

2清洁这个阶段，炉底清理浮灰及杂质用吸尘器清理干净，用酒精擦拭两遍炉底及铜电极。

3安装石英环及碳铂垫片碳铂垫片根据石墨电极尺寸现在制作，这个步骤的作用是绝缘和防止打火。

4安装碳铂片根据炉盘大小制作合适的碳铂片，其到保温隔热的作用。

5石墨电极安装电极时应把电极上紧，煅烧过后电极会有点松。

6装石英护套7铺炉底碳毡，炉底碳毡的高度根据加热器高度来定，有点厂家也用固化毡来取代了。

8安装炉底护盘，石墨电极护套，对中校正9安装下保温筒下保温筒提前裹好，开孔，安装对中。

10炉底护盘碳毡，4-5层，保温隔热11安装拖杆护套，及护盘压片、12安装电极保护盖13安装发射板并对中（有点改良版这里安装底部加热电极）加碳铂片14安装主加热器对中安装时候，电极螺丝上也要加上碳铂片15对中校正，16安装拖杆及托盘17安装石墨坩埚（现在碳碳坩埚用的多）18石墨坩埚平口校正（此步骤为了确定液位，为拉晶参数的基准）19安装中保温筒20安装支撑环/支撑板支撑上保温筒21安装上保温桶22装下保温盖及保温内环23安装保温盖碳铂24安装保温盖碳毡25安装上保温盖及顶环26安装导流筒27安装连接底部通气管道，弯管，直管。

28安装完成，合炉筒抽空。

以上是晶盛单晶炉热场安装全过程，随着工艺的改进，有的步骤有些变化，但大体的程序不会变，仅供参考。

JS-TDR-95/100型炉台拆清作业指导书050-ZD-DY-00021目的和范围本文件的目的是指导员工正确规范的清洁及装配热系统。

本文件适用于JS-TDR-95、JS-TDR-100单晶炉拆清炉过程。

2流程33.1拆清炉时热场因温度较高，需佩戴隔热手套，防止烫伤。

3.2清扫热系统时，会产生灰尘，需佩戴口罩，防止粉尘。

3.3打磨石墨部件时需在打磨前检查打磨机是否符合安全使用标准，打磨过程中需佩戴防护眼罩防止打磨时角磨片飞出，并填写《打磨机安全检查确认表》3.4下炉台基座时需佩戴安全带4作业内容注：上表为每组（2—3名作业人员）每炉拆清所用工具及劳保标准数量。

4.2过滤罐清扫：4.2.1自动停炉3.5小时后，按住位于控制柜中部的红色按钮（如图）关闭主泵。

注：红色按钮为关闭，绿色按钮为开启。

4.2.2打开放气阀，（如图所示：逆时针旋转为打开，顺时针旋转为关闭）使主真空管道放气到大气压状态，清扫过滤罐:放气阀关闭放气阀开启4.2.3用活口扳手把固定卡箍卸开。

如图所示：、4.2.4打开盖板，取出滤网，用吸尘器把过滤罐内部及滤网吸附干净（目测无明显黄色氧化物），将滤网装入过滤罐。

4.2.5用纤维纸浸上酒精把盖板及密封圈擦拭干净，目测无颗粒及污物（见过滤罐清扫流程图）注：检查密封圈表面是否有破损或者缺口，同时保证密封圈全部压入密封槽。

4.2.6盖上盖板后用活口扳手把固定卡箍拧紧（注意：密封圈是否在密封槽内）。

（见过滤罐清扫流程图）过滤罐清扫流程如下图所示：提出滤网。

用吸尘管清扫滤罐内，直至没有氧化物。

有氧化物聚集。

检查密封圈是否完好，并在密用纤维纸沾酒精把盖子，擦至用吸尘管清扫滤罐盖子。

封圈上均匀的涂一层硅脂,安装目视没有氧化物为标准。

注：作业完毕后立即填写《单晶制造一部拆清炉点检记录》中过滤罐清扫确认内容。

4.3提取单晶(停炉5小时后)：4.3.1炉体充气：点击“氩气/真空”模块进入“氩气、真空”界面，打开“氩气快充阀”按钮，将真空炉体状态充到常压状态，打开炉门紧固螺丝，关闭 “氩气快充阀”按钮。

单晶炉操作流程一．清炉：（1）把拆出的石墨件在清扫间用砂纸打磨干净（2）把炉内用吸尘器吸干净并用毛刷把加热器清理干净（3）把炉后的排气管道拆开清理干净后用六角扳手拧好（4）把现场打扫干净开始装炉二．装炉：（1）装炉时应注意：《1》托杆是否拧紧《2》加热器与保温筒的距离是否相等《3》取光孔是否对准《4》三瓣埚是否有裂纹《5》石英坩埚是否有气泡和黑点（2）把托盘/三瓣埚和石英坩埚装入后开始装料（3）装料时应注意大小的搭配以免挂边和咂埚（4）装好料后把保温盖装好后把导流筒装入看料是否与导流筒接触（5）装好一切后把炉子盖好开始抽空三．抽空：（1）把主泵打开后等一会在缓慢开主室阀开始抽空（2）当炉内压力小于6pa时开始加热化料四．化料：（1）化料时把功率隔半小时加一次但电流不要超过2400A以免产生过流五．塌料：当料快融化完时会塌料塌料是应随着往下塌而升埚升以免硅溅出六．化完挥发：（1）所有的料到化完时把埚转开到2转温度降至上一炉引晶温度后切换到自控（2）把埚向上升30MM开始稳定七．稳定：（1）稳定时把籽晶下降到液面晶转打至8转烧灼5分钟（2）当温度稳定一小时后把埚上升到液面与导流筒2至3公分便可以开始吃光圈八．吃光圈：（1）当液面与籽晶接触时便慢慢开始吃光圈（2）如果液面与籽晶接触时出现光圈一下亮了随之会断掉说明温度高便降几个点待稳定后在试（3）如果液面与籽晶接触时出现光圈周围越长大了说明温度低了便在此的基础上加几个点待稳定后试（4）如果温度合适便会看到4个亮点便可以开始引晶九．引晶：（1）引晶时把埚转打至7转（2）拉速调至0。

3至6。

5拉速不要归零也不要太大而缓慢拉起（3）保持直径在3——5MM（4）当晶引至150MM时开始放肩十．放肩：（1）放肩时把拉速调至0。

4——0。

7开始放（2）在放肩的同时便缓慢降温以达到转肩的标准十一。

转肩：（1）当肩放至145MM时开始转肩（2）转肩时将拉速调至1。

5/2。

一、取单晶准备1、准备好线手套、耐高温手套、无尘纸；2、准备好钢丝钳、取单晶的小车；3、用沾酒精的无尘纸将炉体从上到下擦拭干净，并保持整洁；二、拆炉取单晶1、待单晶冷却4小时后，关闭Ar气，然后提升单晶至副室，从副室观察窗确认单晶升至所需高度；2、待炉内压力到达极限真空后，先关闭主泵球阀后关闭真空泵电源，然后进行检漏；3、若无异常，拧开小副室门四个螺栓，打开副室氩气阀门，查看副室压力表指针到0位和副室小门可以被打开时，才可以升晶棒到副室腔内并高于副室门，盖上隔离阀，打开液压泵电源，升起副室；4、把取单晶的小车放在副室炉筒正下方，准备接单晶；5、稳定单晶，移开安全接盘，按下晶快降，将单晶降入取晶小车内；6、确认单晶完全放入小车内后，戴上手套，抓紧重锤，用钢丝钳将籽晶从细径处剪断，然后稳定重锤，将籽晶从重锤上取下，再将重锤升至副室内；三、导流筒.保温盖.锅底料的取出1、准备好不锈钢小车和取导流筒挂钩（埚杆扳手）；2、戴好手套及耐高温手套；3、按顺序取出导流筒和保温盖；4、取出的石墨件要放在不锈钢台车上；1、戴好耐高温手套和准备好钳子；2、用钳子夹住石英埚的上端部分提起，使其松动；3、戴好耐高温手套将石英坩埚取出，若石英坩埚和埚底料能全部带出直接放入不锈钢小车上；若不能则将石英坩埚硅料放到车间指定的区域，剩下的埚底料随三瓣埚一并取出，若出现整炉报废等意外情况则，用耐高温手套直接将石英埚体和硅料一并取出；四、清理大罐1、准备好毛刷、吸管、专用工具；2、带好手套、防尘口罩；1、用专用工具大罐盖螺栓，取出罐盖和过滤网；2、用毛刷和吸尘器仔细清扫过滤网及大罐内的氧化物；3、将清扫后的过滤网缓慢放进大罐；4、用刷子和吸尘器清扫罐盖；5、用沾酒精的纸擦拭罐盖和密封部件；6、盖好大罐盖并用专用工具拧紧螺栓；五、管道炉盖的清理1、带口罩、手套；2、准备好防尘口罩、无尘纸、酒精、清扫用的氩气、研磨布、毛刷、吸尘器管等清扫所需物品；1、用毛刷和吸尘器清扫抽气管道内的挥发物，吸尘器管必须伸入管道底部以便将管道内的挥发物彻底吸尽；2、安装管道盖时，一定要检查密封圈是否完好、洁净，拧紧螺丝时一定要对角拧紧，以防抽空时漏气。