三坐标测量机验收标准

三坐标最大允许误差摘要：1.三坐标测量机的概述2.三坐标允许误差的定义3.三坐标测量机的最大允许误差标准4.三坐标测量机的应用领域正文：1.三坐标测量机的概述三坐标测量机，又称为三坐标测量仪，是一种高精度的测量设备，主要用于测量物体的三维空间尺寸，包括长度、高度和深度等。

它具有高精度、高效率和操作简便等特点，被广泛应用于机械制造、航空航天、汽车制造等领域。

2.三坐标允许误差的定义三坐标允许误差是指三坐标测量机在测量过程中，测量结果与实际值之间的差异。

通常情况下，三坐标测量机的允许误差包括绝对误差和相对误差两种。

3.三坐标测量机的最大允许误差标准我国对三坐标测量机的最大允许误差有严格的标准。

根据GB/T 13850-2019《三坐标测量机》标准规定，三坐标测量机的最大允许误差应满足以下要求：（1）长度测量的最大允许误差：±(5+L/1000)μm，其中L 为测量长度（mm）；（2）高度测量的最大允许误差：±(5+H/1000)μm，其中H 为测量高度（mm）；（3）深度测量的最大允许误差：±(5+D/1000)μm，其中D 为测量深度（mm）。

4.三坐标测量机的应用领域三坐标测量机在多个领域具有广泛的应用，如：（1）机械制造：用于测量各种机械零件的尺寸，以确保其符合设计要求；（2）航空航天：用于测量航空航天器的零部件，以确保其满足高精度、高可靠性的要求；（3）汽车制造：用于测量汽车零部件的尺寸，以确保汽车的性能和安全性；（4）电子行业：用于测量电子元器件的尺寸，以确保其符合电子产品的设计要求。

总之，三坐标测量机是一种高精度的测量设备，具有重要的应用价值。

三坐标测量机是高精度测量仪器，其精度也分为多种。

那应该如何选择呢？一、测量需求方面考虑每一台三坐标测量机都有自己的测量不确定度，精度再高的测量机也不可能测量出被测产品的真值，而作为生产厂家能够做到的就是使得测量示值与产品真值尽可能的接近，越接近，那么测量机的精度也就越高。

那么到底要接近到什么程度才能满足我们实际需求呢？● 最低要求：就目前来说，一般要求测量机的精度不能大于被测产品公差要求的1/3，这是当前最低限的要求，要就是说，假如我们要测量的产品的公差要求为0.03mm，那么三坐标测量机的精度不能低于0.01mm。

● MSA要求：目前很多工厂都需要进行MSA(测量系统分析)，以保证测量系统对整个生产过程的满足，在MSA里面，规范要求测量仪器的精度不能大于被测产品公差要求的1/10。

也就是说，假如我们要测量的产品的公差要求为0.03mm，那么三坐标测量机的精度不能低于0.003mm。

当然，这个要求对于一些企业来说较为苛刻，甚至不能进行实现。

比如慢走丝设备，其加工精度大约为0.003mm，如果根据MSA法规来选择测量设备的话，那么我们需要0.0003mm精度的测量设备，这是非常难实现的。

● 综合考虑：那么我们在确定测量机精度的时候就要在上面两种情况中选择其一种，而更多的情况是选择两者的中间的某一个位置来确定精度。

也就是说我们假如我们要选择的精度为E，产品要求公差为D，则0.1D ≤ E ≤0.33D就可以了。

二、投入成本方面的考虑三坐标测量机的价格是由多方面决定的，在不考虑服务等因素的前提下，一般来说精度越高价格越贵，量程越大，价格越贵。

企业生产，都是以盈利为目的，因此资金投入的时候我们要考虑性价比问题。

当精度在3um与2um之间进行变化时，价格基本变化不大；当精度在2um与1.5um之间进行变化时，价格变化稍微剧烈了一些；当精度在1.5um与1.0um 之间进行变化时价格变化更加迅速，而当精度小于1um时，价格变化已经变得非常的快了。

Easson完善服務質量方針：品質第一，創新技術，一流人才三坐标测量机验收标准三坐依据中华人民共和国国家计量技术规范（JJF1064-2000 标测量机校准规范）一、校准条件长度测量标准器:“经校准的量块”12环境条件 1）．设备应安装于避光、避潮、避震及无尘恒温室内；（ 2）．不受腐蚀性气体、可燃气体、油雾和微粒侵袭。

（UPS欧姆，并标配500W V，50Hz，可靠接地，接地电阻小于4（3）．外接电源220稳压电源。

/h 1℃1℃/m ，温度变化（4）．温度要求：温度(20±2)℃，温度梯度，5）．湿度要求：湿度30%-65% （0.4 MPa - 0.5 Mpa供气压力：（6）.120 L/min–(7)．供气流量：100 L/min环境条件的测量3实验室环境温度应有记录。

校准时需检查至当日的一周温度记录。

测量点应不测量过程中应测量和记录三坐标测量机的温度变化和温度梯度的情况。

点，分布在不同方向和不同高度。

少于4 二、计量性能要求：＝）长度测量最大允许示值误差（MPEE3+L/300±（ 1.(A+L/K) ±即MPEE =，由坐标测量机制造商提供或由用户根据需要确定；常数项，?m式中：A——mm; L——被测长度，——无量纲常数，由坐标测量机制造商提供或由用户根据需要确定；K，由坐标测量机制造商提供或由用户根据需要?m B——MPEE 的最大值，确定。

三、长度测量重复精度依据中华人民共和国国家计量技术规范长度测量的重复度必须尊循：人、机、料、法、环；（即同一工件、同点、同位、同方法及同力度）否则影像测量精度；Easson完善服務質量方針：品質第一，創新技術，一流人才轴方向1.X2.Y轴方向Easson完善服務質量方針：品質第一，創新技術，一流人才轴方向3.Z四、探测误差探针位置——按制造商限定范围任意配置，一般用20mm的测杆。

校准过程——在标准球上选取9个探测点进行探测，探测点须均布。

三坐标测量机的检定（一）【要求】①仪器的工作面、导轨、标准球、块规应无锈迹、碰伤和显然划痕等缺陷；涂漆或镀层表面应平滑、匀称、色调全都；无斑点、皱纹、脱漆或镀层脱落等现象。

②X,Y,Z方向移动应平稳，无阻滞、急进及噪声，移动范围应大于工作行程；限位、锁紧、应急开关必需平安灵便牢靠。

③仪器上应标有创造厂名(或厂标)、出厂编号。

④用法中的仪器应无影响精确度的缺陷。

【检定办法】目力观看和试验。

2．计算机、打印机及软件功能【要求】计算机功能必需齐全正确，显示和打印无误；软件应具备所需功能。

【检定办法】仪器所配备的计算机、打印机都必需具有故障诊断程序，按该程序检查，并按测量机的操作办法调用各有关软件，观看屏幕是否显示所具备的功能，再任测一典型零件，通过测量和计算来考核测量和软件的功能。

3．各项精度指标的检定 (1)平面度的检定平面度可用激光仪检测，可将测得数据绘出图形．指出误差的位置和数值大小，便于修复。

测平面度常用附件有平面度镜和基板。

基板普通有3种尺寸：50mm,100mm,150mm 各1块，基板的大小由测量点打算。

平面度误差也可用电子水平仪测量。

(2)工作台面与X,Y运动平面平行度的检定用电感式比较仪或三坐标测量机测头检定，受检点应匀称分布，8.3.1所示。

其点数按照工作台的长度尺寸按表8.3.1确定。

检定时，使测量头挺直与工作台面接触，或在测量头与工作台面间垫一块尺寸为20 mm的4等量块。

在固定Z坐标轴的状况下，移动X,Y滑架或工作台，按受检点的分布举行检定。

工作台面与X,Y运动平面的平行度，以各受检点所得读数中的最大值与最小值的差值确定。

表8.3.1 受检点数与工作台长度的关系 (3) X,Y,Z方向移动直线度的检定 X,Y方向移动的直线度，用零级矩形平尺分离在水平面和垂直面内检定Z方向移动的直线度，用零级直角尺分离在ZX,ZY两个平面内检定。

检定X方向在垂直平面内的移动直线度时，将矩形平尺安置于工作台面中间部位，其工作面与X方向平行，支承点距平尺端面的距离为ι=0.2232L,L为平尺的长第1页共2页。

三坐标检定校准三坐标测量机的测量精度和工作效率与测针的校准和选择紧密关联，在进行测量工作之前必须要合理的选择测针和对测针准确的校准，因为测针的测球有自己的尺寸，而测量零件的不同位置可能是用测球的不同位置去接触零件的，因此，测量的数据中含有测球自己的数值，而测针校准就是测量测球自己尺寸大小的过程。

特别是校准不同长度和位置的测针时测球校准结果球度误差的大小对测量结果的影响至关重要。

本文主要论述了三坐标测量机测针校准原理、校准注意事项以及合理选择三坐标测量机测针的原则。

三坐标测量机三坐标测量机测针校准的原理在测量采样过程中，当测针与被测件表面触碰时，测头系统就会有信号显示，作为测量的瞄准信号，进而通知计算机进行数据的采集，以得到得被测点的坐标值。

此外，由于测量机通过测头系统进行探测，得到的点位坐标值是测球中心的坐标值，为了获得被测工件的实际尺寸，还需加上或减去测球的动态直径值。

进入测头校准程序后，对标准球进行测量，测量方法与几何元素测量程序中的球的测量方法一样，当采点数量达到要求时，测量程序会自动对测量点进行计算处理，将处理后的测头校准结果，自动返回到测头校准对话框界面中。

在按下回车按键后，校准后的测头数据将作为修正值用于后续的应用数据处理中。

基准后的测头数据包括测头半径及球度误差还有测球中心相对于零号测头中心的坐标值。

三坐标测量机校准测针时需注意的问题①测前准备根据工件的测量范围以及需要测量的方向和位置，首先确定所需用的三坐标测量机测针组合，包括测针的直径、数量、方向和是否加装接长杆，尽量不在测量过程中更换测针。

②检测校准三坐标测量机测针校准时，应使所选测针在标准球的轴向最大直径处分别接触测量，以提高测针校准的准确度。

注意观察校准后测针的直径和校准时的形状误差，如果有较大变化，就需要查找原因。

需要进行6次以上的校准，观察其校准结果的重复性数据，以统计原理求出标准偏差进行分析。

③重复校准单个测针位置校准，需要观察测针直径和球度误差，三坐标测针直径应与平时校准相近且重复性好，球度误差也小，多个测头位置校准时，除要观察以上结果外，还要用校准后的各个位置的测针测量标准球，观察球心坐标值的变化，数值应与示值误差或探测误差相近。

三坐标检定校准三坐标测量机的测量精度和工作效率与测针的校准和选择紧密关联，在进行测量工作之前必须要合理的选择测针和对测针准确的校准，因为测针的测球有自己的尺寸，而测量零件的不同位置可能是用测球的不同位置去接触零件的，因此，测量的数据中含有测球自己的数值，而测针校准就是测量测球自己尺寸大小的过程。

特别是校准不同长度和位置的测针时测球校准结果球度误差的大小对测量结果的影响至关重要。

本文主要论述了三坐标测量机测针校准原理、校准注意事项以及合理选择三坐标测量机测针的原则。

三坐标测量机三坐标测量机测针校准的原理在测量采样过程中，当测针与被测件表面触碰时，测头系统就会有信号显示，作为测量的瞄准信号，进而通知计算机进行数据的采集，以得到得被测点的坐标值。

此外，由于测量机通过测头系统进行探测，得到的点位坐标值是测球中心的坐标值，为了获得被测工件的实际尺寸，还需加上或减去测球的动态直径值。

进入测头校准程序后，对标准球进行测量，测量方法与几何元素测量程序中的球的测量方法一样，当采点数量达到要求时，测量程序会自动对测量点进行计算处理，将处理后的测头校准结果，自动返回到测头校准对话框界面中。

在按下回车按键后，校准后的测头数据将作为修正值用于后续的应用数据处理中。

基准后的测头数据包括测头半径及球度误差还有测球中心相对于零号测头中心的坐标值。

三坐标测量机校准测针时需注意的问题①测前准备根据工件的测量范围以及需要测量的方向和位置，首先确定所需用的三坐标测量机测针组合, 包括测针的直径、数量、方向和是否加装接长杆，尽量不在测量过程中更换测针。

②检测校准三坐标测量机测针校准时，应使所选测针在标准球的轴向最大直径处分别接触测量，以提高测针校准的准确度。

注意观察校准后测针的直径和校准时的形状误差，如果有较大变化，就需要查找原因。

需要进行6 次以上的校准，观察其校准结果的重复性数据，以统计原理求出标准偏差进行分析。

③重复校准单个测针位置校准，需要观察测针直径和球度误差，三坐标测针直径应与平时校准相近且重复性好，球度误差也小，多个测头位置校准时，除要观察以上结果外，还要用校准后的各个位置的测针测量标准球，观察球心坐标值的变化，数值应与示值误差或探测误差相近。

什么是三坐标测量机的精度判定标准我们都知道，三坐标技术近年发展迅速，然后在这样的科技高速发展的条件下，必然出现一些不如意的测量产品。

对于三坐标这种高精度的测量仪器，精准度就是判断其好坏的最基本因素。

如何评定三坐标的标准是否合格呢？南京三坐标专家找出关于三坐标测量机的精度评定标准提供参考。

三坐标测量机的精度评定标准：ISO103601994年，ISO10360国际标准《坐标测量机的验收、检测和复检检测》开始实施。

这个标准说明了坐标测量机性能检测的基本步骤。

中国目前实行的测量机国家标准GB/T16857.2-1997《坐标计量学-第二部分：坐标测量机的性能测定》便等同于ISO相应标准。

ISO10360在主标题“产品几何量技术规范(GPS)–坐标测量机(CMM)的验收检测和复检检测”下，共分以下六个部分—第1部分：词汇;—第2部分：测量线性尺寸的坐标测量机;—第3部分：配置转台轴线为第四轴的坐标测量机;—第4部分：扫描测量型坐标测量机;—第5部分：多探针探测系统的坐标测量机;—第6部分：计算高斯辅助要素的误差评定。

ISO标准主要包含三个主要参数：长度测量最大允许示值误差(MPEE)、最大允许探测误差(MPEP);对于扫描测量，采用最大允许扫描探测误差(MPETHP)。

在进行测量机的采购之前，用户需要熟悉有关测量机的验收标准。

以下是关于ISO10360的简要介绍：ISO10360-1(2000)“词汇”该标准的第一部分定义了所有与坐标测量机相关的词汇定义。

例如："探测系统"或"标准球"，在这儿，我们就不再细述。

ISO10360-2(2001)“测量线性尺寸的坐标测量机”(MPEE)和最大允许探测误差(MPEP)。

长度测量最大允许示值误差MPEE：在测量空间的任意7种不同的方位，测量一组5种尺寸的量块，每种量块长度分别测量3次所有测量结果必须在规定的MPEE值范围内。

三坐标测量机示值校准结果不确定度的评定1. 测量方法（依据JJF1064-2004《坐标测量机校准规范》）尺寸测量校准方法的原理，是通过比较5个不同长度的尺寸实物标准器的校准值和指示值，评价测量尺寸的坐标测量机是否符合规定的最大允许示值误差MPE E 。

5个尺寸实物标准器放在测量空间的7个不同的方向或位置，各测量3次，共进行105次测量。

大值与最小值的。

2. 数学模型对标准器进行测量，得到的测量长度值为E L L L t L L L S S S +∆-∆-∆-∆+=321α其中S L 标准器的校准长度，1L ∆为标准器形状误差等因素引起的误差，2L ∆为长度稳定性引起的误差，3L ∆为测量重复性引起的误差，S α为标准器的热膨胀系数，t ∆为标准器温度对20℃的偏差，E 为坐标测量机的示值L 的误差。

3. 灵敏度系数11/1≈∆+=∂∂=t L L c S S α t L L L c S S ∆=∂∂=/2S S L t L c α=∆∂∂=)(/3 1)(/14-=∆∂∂=L L c1)(/25-=∆∂∂=L L c 1)(/36-=∆∂∂=L L c1/7=∂∂=E L c4. 标准不确定度1u 为标准器校准值S L 的标准不确定度，2u 为标准器热膨胀系数s α的标准不确定度，根据标准器的校准证书确定标准不确定度值。

3u 为标准器温度测量的标准不确定度，由于标准器的温度测量是坐标测量机上的功能，测量误差是坐标测量机示值误差的一部分，与校准方法无关，不予单独考虑。

4u 为标准器的长度变动量引入的标准不确定度。

5u 为标准器的长度稳定度引入的标准不确定度。

6u 为测量重复性引入的标准不确定度。

7u 为坐标测量机示值误差的标准不确定度，也是坐标测量机的测量示值误差的组成部分，与校准方法无关，不予单独考虑。

5. 合成标准不确定度[]2/12625242221)(u u u tu L u u S c +++∆+=。

机床平面度验收机床平面度验收机床平面度是指机床工作台面与基准平面之间的平行度误差。

在机床加工过程中，工作平面的平行度对零件加工精度和质量有着重要影响。

因此，机床平面度的验收是确保机床工作准确性和稳定性的重要环节。

机床平面度的验收通常包括两个方面的内容：检测方法和验收标准。

一、检测方法机床平面度的检测可以采用光学投影仪、三坐标测量机等精密测量仪器进行。

在检测过程中，需要按照以下步骤进行操作：1. 清洁：首先，应确保机床工作台面和检测仪器的表面干净，以避免灰尘和杂质对测量结果的影响。

2. 固定：将机床工作台面固定在检测仪器上，确保工作台面与检测仪器的表面紧密接触。

3. 校准：对检测仪器进行校准，以确保测量结果的准确性。

4. 测量：使用检测仪器进行测量，记录机床工作台面与基准平面之间的平行度误差。

5. 分析：根据测量结果，进行数据分析，判断机床平面度是否符合要求。

二、验收标准机床平面度的验收标准通常由国家标准或企业内部标准规定。

常见的验收标准有以下几种：1. 绝对值法：根据机床平面度的绝对值，确定其是否符合标准要求。

例如，国家标准规定机床平面度应在0.01mm以内，如果测量结果小于等于0.01mm，则机床平面度合格。

2. 相对值法：根据机床平面度与基准平面的相对误差，确定其是否符合标准要求。

例如，国家标准规定机床平面度与基准平面的相对误差应在5%以内，如果测量结果小于等于5%，则机床平面度合格。

3. 差值法：根据机床平面度与基准平面的差值，确定其是否符合标准要求。

例如，国家标准规定机床平面度与基准平面的差值应在0.02mm以内，如果测量结果小于等于0.02mm，则机床平面度合格。

机床平面度的验收标准可以根据具体情况进行调整，以满足不同机床和加工要求的需要。

机床平面度的验收对提高机床加工精度和质量具有重要意义。

只有通过合格的机床平面度验收，才能确保机床在加工过程中具有良好的工作准确性和稳定性。

因此，企业在购买和使用机床时，应重视机床平面度的验收工作，并严格按照标准要求进行操作和评定。

三鼎三坐标——三坐标测量机常见的校准问题
三坐标测量机有着精确的测量功能，被广泛的应用于精密零部件测量领域，但是在使用过程中，为了保证测量结果的精准，需要定期的校准，青岛三鼎测量设备公司从专业角度为大家解答一些三坐标测量机校准的常见问题。

1、三坐标测量机的工作流程是怎样的？
三坐标测量机在工作时是通过探头系统与工件的相对移动来测量的，探头主要探测工件表面点的三维坐标，并通过一系列计算得出最后结果。

2、校准三坐标测量机时需要哪些设备？
一般来说，校准三坐标测量机不复杂，只要有以下标准器就可以了：激光干涉仪、电子水平仪、方角尺和标准球、相应等级的尺寸至1000mm量块等。

3、什么是三坐标测量机的21项误差？
我们知道三坐标测量机有三个可以运动的轴，其中每个轴都有1项定位误差和5项几何误差（几何误差包括：两个方向的直线误差、两个方向的角度误差），因此，三个轴共有18项误差，坐标机的三个轴之间还有相互垂直度的误差，因此，一个三坐标测量机共有21项误差，这也是坐标机测量结果不准确的一个主要因素。

4、什么时候需要校准21项误差？
在以下情况下必须对21项误差进行校准：验收新机时、坐标机搬动后、坐标机修理后、长度测量误差校准结果超差时。

因为21项误差是坐标机准确度的基础，所以校准起来也是比较复杂的。

青岛三鼎测量设备有限公司是一家专业的三坐标测量机制造企业，以客户的需求为导向，面向制造业提供的各种产品，包括汽车、航空航天、模具、机床、军工、加工制造以及日用消费品。

Q/JA 祥达机械制造有限责任公司企业标准Q/JA Y0.XD－2017三坐标测量机检测规范责 任 签 字 日 期编 制审 核批 准会 签单 位 签 字 日 期2017年8月5日发布 2017年8月5日实施祥达机械制造有限责任公司 发布祥达机械制造有限责任公司企业标准文 件编 号Q/JA Y0.XD-2017三坐标测量机检测规范 共 3 张1 范围本规范规定了公司使用的三坐标标测量机操作方法及注意事项。

本规范适用于PC-DMIS三坐标测量机。

2 测量的技术保障条件2.1 熟悉产品零件图、工艺要求和相关的技术文件以及产品的精度验收标准，分析产品结构，了解零件装配关系和技术要求，为测量做好必要的技术准备。

2.2 测量环境的要求：测量室内环境的温度、湿度、防尘等必须符合相应的规定，保证测量温度在20°±2°、湿度在40%～70%之间。

2.3 测量零件的要求：零件在测量前必须用汽油清洗干净，无毛刺、外观无明显缺陷、无锈蚀情况。

2.4 测量前按照图纸工艺要求，明确测量的项目，做相应的一些技术准备。

3 测量原理将被测零件放入它允许的测量空间，精确地测出被测零件表面的点在空间三个坐标位置的数据，将这些点的坐标数值经过计算机数据处理，拟合形成测量元素，如圆、球、圆拄、圆锥、曲面等，经过数学计算的方法得出其形状、位置公差及其他几何量数据，在拟合形成测量元素时为了能更真实的反映被测产品实际数据，应遵守最大包容原则。

4 测量误差分析从测量原理上说，三坐标测量机直接测得的是被测工件上一些特征点的坐标位置 ，为了获得被测参数值，需要通过测量软件的数据处理和运算。

因此，被测参数的测量精度主要与三坐标测量机的系统误差 、测头系统误差 、工件形状误差 、算法误差 、环境误差 、采样策略和敏感系数等因素有关。

采样策略是指如何在被测物体表面合理安排采样点。

所谓“合理”，是指在相同环境下，用同一台三坐标测量机测量同一零件时，怎样安排采样点数和采样位置可以获得最高的测量精度(测量误差最小 )。

一，三坐标测量机验收办法验收的CMM手册“在用户现场调试后的测量机验收方法，依据国家标准GB / T由客户现场验收应遵循本手册，这是符合中国国家标准GB / T 16857.2-2006，第二部分的几何尺寸测量使用的产品规格，三坐标测量机。

（这个标准相当于国际标准的ISO 10360-2:2002）。

•检定项目检查项目：o外观及各部分的相互作用为每个区段的外观和功能o计算机，打印机及软件功能的电脑，打印机和软件的功能o探测误差（MPE P）最大允许探测误差o示值误差（MPE E）指示的最大允许误差为尺寸测量•检定方法检查方法：检定前测量机应通电24小时以上。

的CMM应保持“权力”的状态超过24小时。

•目测和操作试验检定外观及各部分的相互作用。

用肉眼检查确认的外观是OK和操作CMM确认每节可以很好地工作。

•用相应的诊断程序检定计算机，打印机及软体功能。

检查有关分析程序的电脑，打印机和软件的功能。

•探测误差（MPE P）的检测检查最大允许探测误差（MPEP）：在直径不小于10mm不大于50mm的检测球上，用长度符合厂商规定的探针，随意选择探针的方位，触测25个点，各点在半球上的分布尽量均匀，用全部25个测量值计算出最小二乘球的中心，并计算出各点的径向距离，最大径向距离与最小径向距离之差即为探测误差。

应满足给定的MPEP值。

制造商表示，其长度是一个提示，放置的测试领域，其中有一个直径不小于10mmand不大于50毫米，测得25点平均分配。

这25个随机点应定位在任意方向。

使用所有25个测量计算最小二乘相关的领域。

计算每25测量，在径向方向球心之间的距离。

25距离范围的MPEP 。

在现场的实际测量，必须在规定的MPE P。

•长度测量的示值误差（MPE E）的检测检查指示的最大允许误差尺寸测量（MPE E ）：•CMM测量体积内的7个不同的位置和测量5种尺寸的量块的每个位置。

每个大小是衡量3倍，所以可以得到一个共在35个组的105测量。

三坐标测量机校准装置建标技术要求及测量结果的不确定度评定文章摘要：随着经济建设的发展及外资企业的进入，三坐标测量机在许多三资企业、国有大中型企业及汽车零部件制造企业相继得到引进应用。

国内一些企业也生产各种不同精度、不同规格的三坐标测量机。

由于该种类型仪器的精度需要进行有效的实施监测，确保量值传递的准确性，才能使其在生产中发挥应有的作用，为此建立三坐标测量机校准装置是十分必要的。

关键词：三坐标测量机校准测量结果不确定度评定文章正文：三坐标测量机是现代精密加工中必不可少的精密测量设备，它不但可以完成常规二维坐标的测量，重要的是由于它的产生使得三维曲面的精确测量成为可能，特别是对复杂空间位置、空间曲面的测量不但可以成为可能，而且还可以通过CAD、CAM、CNC系统直接对加工机床进行加工过程的指导性控制。

由于它具有高精密度及由计算机系统控制的智能功能，因此被广泛应用于汽车、摩托车、航空航天、飞机制造及模具制造等加工业。

一、三坐标测量机校准装置计量标准的工作原理及其组成，根据JJF1064-2010《坐标测量机校准规范》，三坐标测量机示值误差校准方法和综合示值误差校准方法与原理如下：1、示值误差校准方法：按照JJF1064-2010的要求，采用激光干涉仪对三坐标测量机每一个坐标进行单独校准，并且要求在正、反行程方向进行校准。

原理如图1所示。

一、2、综合示值误差校准方法及原理：（1）单轴坐标综合示值误差的校准，将量块借助支撑架固定在平行于坐标轴线的任意位置，同时是处于工作行程的中间部位，原理如图2所示。

（2）空间综合示值误差的校准，将量块借助支撑架固定在三坐标测量机空间对角线方位的中间部位，这一检定分别在四个对角线进行，原理如如图3所示。

3、计量标准的组成：（1）激光干涉仪；（2）量块；（3）标准球。

二、三坐标测量机校准装置计量标准的主要技术指标1、激光干涉仪规格：XL-80测量范围：（0~80000）mmMPE：±（0.03+0.5L）μm2、量块（1）规格：30 mm、125mm、250mm、500mm、600mm、700mm、1000mm测量范围：（30~1000）mm等级：二等（2）规格：大八块测量范围：（125~500）mm等级：三等（3）规格：大五块测量范围：（600~1000）mm等级：三等3、标准球规格：Φ25mm、Φ19mm三、测量结果的不确定度评定1 概述1.1 测量方法：依据JJF1064-2010《坐标测量机校准规范》。

質量方針：品質第一，創新技術，一流人才完善服務三坐标测量机验收标准依据中华人民共和国国家计量技术规范（JJF1064-2000三坐标测量机校准规范）一、校准条件1 长度测量标准器:“经校准的量块”2环境条件（1）．设备应安装于避光、避潮、避震及无尘恒温室内；（2）．不受腐蚀性气体、可燃气体、油雾和微粒侵袭。

（3）．外接电源220 V，50Hz，可靠接地，接地电阻小于4欧姆，并标配500W UPS 稳压电源。

（4）．温度要求：温度(20±2)℃，温度梯度1℃/m ，温度变化 1℃/h（5）．湿度要求：湿度30%-65% ，（6）. 供气压力：0.4 MPa - 0.5 Mpa(7)．供气流量：100 L/min – 120 L/min3 环境条件的测量实验室环境温度应有记录。

校准时需检查至当日的一周温度记录。

测量过程中应测量和记录三坐标测量机的温度变化和温度梯度的情况。

测量点应不少于4点，分布在不同方向和不同高度。

二、计量性能要求1. 长度测量最大允许示值误差（MPEE＝±（3+L/300）：即MPEE = ±(A+L/K)式中：A——常数项，μm，由坐标测量机制造商提供或由用户根据需要确定；L——被测长度，mm;K——无量纲常数，由坐标测量机制造商提供或由用户根据需要确定；B——MPEE 的最大值，μm，由坐标测量机制造商提供或由用户根据需要确定。

三、长度测量重复精度依据中华人民共和国国家计量技术规范长度测量的重复度必须尊循：人、机、料、法、环；（即同一工件、同点、同位、同方法及同力度）否则影像测量精度；質量方針：品質第一，創新技術，一流人才完善服務2.Y轴方向質量方針：品質第一，創新技術，一流人才完善服務3.Z轴方向四、探测误差探针位置——按制造商限定范围任意配置，一般用20mm的测杆。

校准过程——在标准球上选取9个探测点进行探测，探测点须均布。

探测点建议：极点上一点；极点下45 º点均布；极点下90 º点均布。