半导体FAB生产厂房各个系统材料材质表

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SS304
干燥器前 SS304, 干燥器后 SS 304
Sch 80 UPVC
Sch 80 UPVC
NA
用焊接钢管及螺旋 埋弧焊钢管
用焊接钢管及螺旋 埋弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋 埋弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋 埋弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋 埋弧焊钢管 无缝钢管
NA
用焊接钢管及螺旋 埋弧焊钢管
用焊接钢管及螺旋 埋弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋 埋弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋 埋弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋 埋弧焊钢管 无缝钢管
PP PP PP PP SS304
2 室内消防栓
3 消防喷淋
4 灭火器
14 1
Fire Detection System消防报警系 统 烟感应
2 排烟
3 Vesda System 消防空气检测系统
15
Cleanroom Control System 洁
用焊接钢管及螺旋 埋弧焊钢管
用焊接钢管及螺旋 埋弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋 埋弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋 埋弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋 埋弧焊钢管 无缝钢管 用无缝钢管
排水用铸铁管,承插接口
PVC-U PVC-U
镀锌铁皮 PVC-U
镀锌铁皮 镀锌铁皮 镀锌铁皮 PVC-U PVC-U
镀锌圆管 PP风管 SS304圆管
6 Special Gas特别气体 Inert(惰性氣體) Corrosive(腐蝕性氣體) Flammable(揮發性氣體) Toxic(毒性氣體)
7 Chemical化学物品 Acid(酸) Base(碱) 有机类 显影液
8 Waste Water废水 Neutralization Fluoride Others Total
内装
二次钢结构

天花 1.2 x 1.2m
m2
盲板
m2
高架地板600 x 600mm
m2
墙版
m2
门及配件1800 x 2100

门及配件1800 x 2100


密封胶
m2
环氧树脂
m2
风淋室

暖通
FFU 1.2 x 1.2m

FFU 1.2 x 0.6m

超高效过滤器1.2 x 1.2m

超高效过滤器1.2 x 0.6m
Recirculation(循环) 空调冷凝水排水 重力流空调冷凝水回收
3 Exhaust(排风) General(一般排氣) Acid(酸排氣) Solvent(溶劑排氣)
4 Ultra Pure Water(超高纯净水) UPW超高纯净水 R.O
NA
排水用铸铁管,承插接 口 无缝钢管
PVC-U
设计院推荐
小于100mm螺纹连接,大 于100mm卡环连接
小于100mm螺纹连接,大 于100mm卡环连接
镀锌铁皮 ABS
系统要包括起管道及线
铝合金 12MM夹心彩钢板 压铸铝合金 岩棉夹心防静电铁 板
大于20%的开孔率
中性
B1级橡塑+PVC 带铝箔的玻璃棉, 外包铝皮
镀锌框 镀锌框
交流直流待定 交流直流待定
铜管,铝翅片 B1级橡塑+PVC 带铝箔的玻璃棉
烤漆钢板箱体,双 层门(内门活动)
铝合金(200及以上 T型,200以下槽
镀锌扁铁,洁净室 内用铜线
普通铝合金 ABS
新风机
干盘管(DCC)

保温棉
热水保温
电气 设备配电箱 照明配电箱 桥架 控制桥架 IT桥架
防静电
控制 湿度控制器 温度控制器 控制阀 控制风阀 平衡阀 过滤风机 排烟
消防系统 消防栓箱及管道 空气采样管道
设计院推荐材料
室外
室内埋的/穿墙/ 穿楼板
室内
备注
PP-R
PP-R
SS304
SS304 SS304
序号
系统
数量 单位
室外埋地
2 Central Utilities 中央工艺 City Water(自來水)
PCW製程冷卻水系統) CDA(製程高壓空氣系統)
大于或同50mm用钢丝网 骨架增强PE复合管 (PN=1MPa),小于50mm 用内筋嵌入式衬塑钢管 (内衬PP-R, PN=1.25MPa)卡环连接
PFA+透明PVC PFA+透明PVC SS316L-BA SS316L-BA
PN=1MPa PN=1MPa PN=1MPa
PP PP PP PP SS304
PN=1MPa PN=1MPa PN=1MPa PN=1MPa PN=1MPa
双壁热镀锌管
双壁热镀锌管
双壁热镀锌管 双壁热镀锌管
双壁热镀锌管 双壁热镀锌管
UPW冷冻纯净水 Reclaim DI(回收系統)
5 Bulk Gas(大众气体) 气体站进纯化间管路(普通氮气) 气体站进纯化间管路(其它) General N2普通氮气 CDA Process N2(2+1) 纯净氮气 Process O2(1+1)纯净氧气 Process Ar Process H2(1+1)纯净氢气 Process He
Process Vacuum(製程真空系統)
House Vacuum(2)(清潔真空系統)
冷却塔
中温冷水(12oC/18OC) 冷冻水(5oC/12oC))(空调冰水主 机) 热水(80o/70oC(锅炉)
中温水(37oC/27OC) 天然气给锅炉 地埋燃油罐
3 洁净室 Make-up Air(MUA)(新风) Supporting-Area(支援區)
9 Drain System排废系统 DR-R(回收) DR-W(一般酸鹼) DR-HF(濃) DR-DHF(稀) DR-S溶劑
Total
10
Central Monitoring & Control System 中央检测及控制系统
11 Others其他
12 Fire Fighting System消防系统 1 室外消防栓
SS316L-EP SS316L-EP SS316L-EP SS316L-EP
PP PP PP PP SS304
Clean PVC Clean PVC
SS304-AP SS304-AP SS316L-EP SS316L-EP SS316L-EP SS316L-EP SS316L-EP
SS316L-EP SS316L-EP SS316L-EP SS316L-EP
回水用PP-H,PN=1MPa 到MAU加湿用Sch40 PVC
Clean PVC Clean PVC SS304-AP SS304-BA
PP PP PP PP SS304
Clean PVC Clean PVC
SS304-AP SS304-AP SS316L-EP SS316L-EP SS316L-EP SS316L-EP SS316L-EP