第04章 化合物半导体材料--2015.04.22
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三大化合物半导体材料发展现状分析半导体材料可分为单质半导体及化合物半导体两类, 单质半导体如硅(Si)、锗(Ge)等所形成的半导体, 化合物半导体为砷化镓(GaAs)、氮化镓(GaN)、碳化硅(SiC)等化合物形成. 半导体在过去主要经历了三代变化, . 砷化镓(GaAs)、氮化镓(GaN)和碳化硅(SiC)半导体分别作为第二代和第三代半导体的代表, 相比第一代半导体高频性能、高温性能优异很多, 制造成本更为高昂, 可谓是半导体中的新贵.三大化合物半导体材料中, GaAs占大头, 主要用于通讯领域, 全球市场容量接近百亿美元, 主要受益通信射频芯片尤其是PA升级驱动;GaN大功率、高频性能更出色, 主要应用于军事领域, 目前市场容量不到10亿美元, 随着成本下降有望迎来广泛应用;SiC主要作为高功率半导体材料应用于汽车以及工业电力电子, 在大功率转换应用中具有巨大的优势.化合物半导体材料性能更为优异数据来源:一、砷化镓(GaAs):无线通信核心材料, 受益5G大趋势砷化镓具有高频、抗辐射、耐高温的特性, 因此广泛应用在主流的商用无线通信、光通讯以及国防军工用途上. 无线通信的普及与硅在高频特性上的限制共同催生砷化镓材料脱颖而出, 在无线通讯领域得到大规模应用.基带和射频模块是完成3/4/5G蜂窝通讯功能的核心部件. 射频模块一般由收发器和前端模组(PA、Switch、Filter)组成. 其中砷化镓目前已经成为PA和Switch的主流材料.4G/5G频段持续提升, 驱动PA用量增长. 由于单颗PA芯片仅能处理固定频段的信号, 所以蜂窝通讯频段的增加会显著提升智能手机单机PA消耗量. 随着4G通讯的普及, 移动通讯的频段由2010年的6个急速扩张到43个, 5G时代更有有望提升至60以上. 目前主流4G通信采用5频13模, 平均使用7颗PA, 4个射频开关器.PA价值量明显受益4G发展趋势数据来源:目前砷化镓龙头企业仍以IDM模式为主, 包括美国Skyworks、Qorvo、Broadcom/Avago、Cree、德国Infineon等. 产业发展模式开始逐渐由IDM模式转为设计+代工生产, 典型事件为代工比例持续提升、avago去年将科罗拉多厂出售给稳懋等. GaAs衬底和器件技术不断成熟和标准化, 产品多样化、器件设计的价值显著, 设计+制造的分工模式开始增加.2017年全球用于PA的GaAs器件市场规模达到80-90亿美元, 大部分的市场份额集中于Skyworks、Qorvo、Avago三大巨头. 预计随着通信升级未来两年有望正式超过100亿美元.二、氮化镓&碳化硅:高压高频优势显著氮化镓(GaN)和碳化硅(SiC)并称为第三代半导体材料的双雄, 由于性能不同, 二者的应用领域也不相同. 由于氮化镓具有禁带宽度大、击穿电场高、饱和电子速率大、热导率高、化学性质稳定和抗辐射能力强等优点, 成为高温、高频、大功率微波器件的首选材料之一.PA产品市场占比数据来源:1.碳化硅:功率器件核心材料, 新能源汽车驱动成长SiC主要用于大功率高频功率器件. 以SiC为材料的二极管、MOSFET、IGBT 等器件未来有望在汽车电子领域取代Si. 目前SiC半导体仍处于发展初期, 晶圆生长过程中易出现材料的基面位错, 以致SiC器件可靠性下降. 另一方面, 晶圆生长难度导致SiC材料价格昂贵, 预计想要大规模得到应用仍需一段时期的技术改进.SiC应用领域数据来源:预测到2025年SiC功率半导体的市场规模有望达到30亿美元. 在未来的10年内, SiC器件将开始大范围地应用于工业及电动汽车领域. 纵观全球SiC主要市场, 电力电子占据了2016-2018年最大的市场份额. 该市场增长的主要驱动因素是由于电源供应和逆变器应用越来越多地使用SiC器件.碳化硅市场空间(百万美元)数据来源:2.氮化镓:5G时代来临, 射频应用前景广阔目前氮化镓器件有三分之二应用于军工电子, 如军事通讯、电子干扰、雷达等领域;在民用领域, 氮化镓主要被应用于通讯基站、功率器件等领域. 氮化镓基站PA的功放效率较其他材料更高, 因而能节省大量电能, 且其可以几乎覆盖无线通讯的所有频段, 功率密度大, 能够减少基站体积和质量.GaN较GaAs大幅减少体积数据来源:特色工艺代工厂崛起, 分工大势所趋. 全球半导体分为IDM(IntegratedDeviceManufacture, 集成电路制造)模式和垂直分工模式两种商业模式, 老牌大厂由于历史原因, 多为IDM模式. 随着集成电路技术演进, 摩尔定律逼近极限, 各环节技术、资金壁垒日渐提高, 传统IDM模式弊端凸显, 新锐厂商多选择Fabless(无晶圆厂)模式, 轻装追赶. 同时英飞凌、TI、AMD 等老牌大厂也逐渐将全部或部分制造、封测环节外包, 转向Fab-Lite(轻晶圆厂)甚至Fabless模式.氮化镓射频器件产业结构变化数据来源:氮化镓射频器件飞速成长, 复合增速23%, 下游市场结构整体保持稳定. 数据显示, 2017年氮化镓射频市场规模为3.8亿美元, 将于2023年增长至13亿美元, 复合增速为22.9%. 下游应用结构整体保持稳定, 以通讯与军工为主, 二者合计占比约为80%.基站建设将是氮化镓市场成长的主要驱动力之一. 数据显示, 2018年, 基站端氮化镓射频器件市场规模不足2亿美元, 预计到2023年, 基站端氮化镓市场规模将超5亿美元. 氮化镓射频器件市场整体将保持23%的复合增速, 2023年市场规模有望达13亿美元.氮化镓射频器件市场结构。
应材化合物半导体材料
应材化合物半导体材料是一种新型的半导体材料,在近年来受到了越来越多的关注。
它不仅在电子、光电子、光伏等领域具有广泛应用,而且在环保方面也有很重要的作用。
本文就围绕应材化合物半导体材料进行分步骤阐述。
第一步,了解什么是应材化合物半导体材料。
应材化合物半导体材料是指由元素间化学键键强共价的半导体材料。
具有比纯硅、锗等芯片具有更高的能隙,能够将更多的光子转化为电子以形成载流子等特性。
第二步,应材化合物半导体材料的优势。
与传统半导体材料相比,应材化合物半导体材料有许多优势。
因为能量带隙更大,所以电子流动与光电转换的效率更高;还很适合高亮度、高清晰度的显示器件,如LED、OLED等,耗电量低,寿命长,属性稳定,绿色环保等优势。
第三步,应材化合物半导体材料的应用。
应材化合物半导体材料的应用领域广泛,常见的有电子、光电子、电力电子、光伏、乃至光学等多个领域。
尤其是在显示技术、半导体照明、半导体激光、锗基光电子器件、无线电部件、集成电路和光电探测器等方面都受到了广泛的应用。
第四步,应材化合物半导体材料的研究现状。
目前,应材化合物半导体材料的研究领域正在快速发展。
许多学者针对其制备方法、材料结构、光电性能等进行了广泛地研究,以提高其研究水平,并开发出更广泛的应用领域。
综上所述,应材化合物半导体材料是一种性能优良、应用广泛的新型半导体材料。
它已经在许多领域得到了广泛的应用,还有很多研究正在进行之中。
相信在不久的将来,应材化合物半导体材料将会成为半导体领域的主流材料。
半导体材料半导体材料作为半导体产业链上游的重要环节,在芯片的生产制造过程中起到关键性作用。
根据芯片制造过程划分,半导体材料主要分为基体材料、制造材料和封装材料。
其中,基体材料主要用来制造硅晶圆或化合物半导体;制造材料主要是将硅晶圆或化合物半导体加工成芯片所需的各类材料;封装材料则是将制得的芯片封装切割过程中所用到的材料。
基体材料根据芯片材质不同,基体材料主要分为硅晶圆和化合物半导体,其中硅晶圆的使用范围最广,是集成电路制造过程中最为重要的原材料。
1、硅晶圆硅晶圆片全部采用单晶硅片,对硅料的纯度要求较高,一般要求硅片纯度在99.9999999%以上,因此其制造壁垒较高。
一般而言,硅片尺寸越大,硅片切割的边缘损失就越小,每片晶圆能切割的芯片数量就越多,半导体生产效率越高,相应成本越低。
2、化合物半导体主要是指神化钱(GaAs)氮化钱(GaN)>碳化硅(SiC)等第二、三代半导体。
在化合物半导体中,碎化钱(GaAs)具备高功率密度、低能耗、抗高温、高发光效率、抗辐射、击穿电压高等特性,广泛应用于射频、功率器件、微电子、光电子及国防军工等领域。
氮化钱(GaN)能够承载更高的能量密度,且可靠性更高,其在手机、卫星、航天等通信领域,以及光电子、微电子、高温大功率器件和高频微波器件等非通信领域具有广泛应用;碳化硅(SiC)具有高禁带宽度、高饱和电子漂移速度、高热导率等特性,主要作为高功率半导体材料,通常应用于汽车及工业电力电子等领域,在大功率转换领域应用较为广泛。
制造材料1、光刻胶光刻胶是光刻工艺的核心材料,其主要是通过紫外光、准分子激光、电子束、离子束、X射线等光源的照射或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀刻材料。
按照下游应用场景不同,光刻胶可分为半导体光刻胶、1CD光刻胶和PCB光刻胶。
从组成成分来看,光刻胶主要成分包括光刻胶树脂、感光剂、溶剂和添加剂等。
在光刻工艺中,光刻胶被涂抹在衬底上,光照或辐射通过掩膜板照射到衬底后,光刻胶在显影溶液中的溶解度便发生变化,经溶液溶解可溶部分后,光刻胶层形成与掩膜版完全相同的图形,再通过刻蚀在衬底上完成图形转移。
化合物半导体权威解释化合物半导体权威解释引言在科技发展的当今世界中,半导体技术无疑扮演着重要的角色,而其中又以化合物半导体备受瞩目。
化合物半导体是指由两个或多个元素组成的化合物,具备半导体特性。
本文将着重解释化合物半导体的概念、特性,以及其在科技领域的应用。
第一部分:化合物半导体的概念和特性1. 什么是化合物半导体?化合物半导体是由两个或多个元素通过化学反应形成的半导体材料。
与纯硅等单一元素半导体相比,化合物半导体由于其特殊的组合结构,具备一系列优越的性质。
2. 化合物半导体的特性2.1 带隙化合物半导体相较于单一元素半导体具有更大的能带隙。
能带隙指的是价带(valence band)和导带(conduction band)之间的能量差。
这使得化合物半导体能够在更广泛的光谱范围内吸收和发射光线,具备更高的光电转化效率。
2.2 良好的载流子迁移率化合物半导体因为其晶格结构和成分的差异,具备较高的载流子迁移率。
这意味着电子和空穴在化合物半导体中移动的速度更快,使得器件具备更高的工作效率和响应速度。
2.3 高饱和漂移速度饱和漂移速度是指在电场作用下,载流子达到饱和速度时的漂移速度。
化合物半导体由于其特殊的晶格结构和较大的能带隙,使得饱和漂移速度更高,从而在高频电子器件中具备更好的性能。
第二部分:化合物半导体的应用领域1. 太阳能电池化合物半导体因为其良好的光电转化效率和光吸收能力,成为太阳能电池领域的重要材料。
III-V族化合物半导体如氮化镓(GaN)和砷化镓(GaAs)可以实现高效率的光电转化。
2. 光电子器件化合物半导体在光电子器件领域有广泛的应用,例如激光二极管、光电传感器和光纤通信等。
砷化镓和磷化铟是典型的化合物半导体材料,具备优异的光电性能,使得这些器件能够实现高效率的光传输和信号处理。
3. 高速晶体管化合物半导体晶体管因为其较高的饱和漂移速度,被广泛应用于高速和高频电子器件中。
砷化镓高电子迁移率晶体管(HEMT)在通信和雷达系统中具备优异的性能,成为主流技术之一。
化合物半导体高速集成电路.1.化合物半导体是由两种或多种元素组成的混晶结构半导体。
目前应用最广、发展最快的化合物半导体材料是Ⅲ-Ⅴ族化合物。
.2.化合物半导体集成电路的主要特征是超高速、低功耗、多功能、抗辐射。
具体表现在以下几个方面:(1)化合物半导体材料具有很高的电子迁移率和电子漂移速度。
(2)GaAs材料的肖特基势垒特性比Si优越。
(3)GaAs的本征电阻率可达109,比硅高四个数量级,为半绝缘衬底。
4)禁带宽度大,可以在Si器件难以工作的高温领域工作。
GaAs为直接带隙半导体,可以发光。
也就是说它可以实现光电集成。
(6)抗辐射能力强。
.3.高性能化合物半导体材料制备设备主要为:分子束外延设备(MBE)和金属有机物化学气相沉积设备(MOCVD)。
4.GaAs材料为闪锌矿结构,与金刚石结构类似,所区别的是前者由两类不同的原子组成。
.5原子结合为晶体时,轨道交叠。
外层轨道交叠程度较大,电子可从一个原子运动到另一原子中,因而电子可在整个晶体中运动,称为电子的共有化运动6.二维电子气概念半导体表面反型层中的电子因处于如同被封闭于势箱中的自由电子一样,电子的德布罗意波长与势阱的宽度相当,发生“量子尺寸效应”。
即在垂直方向的运动丧失了自由度,只存在有在表面内两个方向的自由度,它的散射几率比三维电子气小得多,因此迁移率高。
.7.典型的二维电子气(2-DEG)存在于以下结构中:半导体表面反型层、异质结的势阱、超薄层异质结(量子阱结构)。
8.超晶格,是由几种成分不同或掺杂不同的超薄层周期性地堆叠起来而构成地一种特殊晶体。
9.超薄层堆叠地周期(称为超晶格地周期)要小于电子的平均自由程,各超薄层的宽度要与电子的德布罗意波长相当。
其特点为在晶体原来的周期性势场之上又附加了一个可以人为控制的超晶格周期势场,是一种新型的人造晶体。
.10。
11.利用异质结构,重复单元是由组分不同的半导体薄膜形成的超晶格称为复合超晶格,又称为组分超晶格。
化合物半导体材料
化合物半导体材料是一类具有特殊电子结构和半导体性质的材料,具有广泛的应用前景。
化合物半导体材料由两种或两种以上元素通过化学键结合而成,具有较高的电子迁移率和较窄的能隙,因此在光电器件、光伏材料、激光器件等领域具有重要的应用价值。
首先,化合物半导体材料在光电器件中具有重要地位。
例如,氮化镓材料因其较宽的能隙和较高的电子迁移率,被广泛应用于LED、LD等光电器件中。
此外,磷化铟等化合物半导体材料也在光电器件中发挥着重要的作用,其优异的光电性能使其成为高性能光电器件的重要材料。
其次,化合物半导体材料在光伏材料领域也具有广泛的应用。
铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池是目前研究最为深入的一种薄膜太阳能电池技术,其主要材料为化合物半导体材料。
CIGS太阳能电池具有高吸收系数、较高的光电转换效率和较长的寿命,被认为是下一代薄膜太阳能电池技术的发展方向之一。
此外,化合物半导体材料还在激光器件、光通信、光储存等领域发挥着重要的作用。
例如,磷化铟材料被广泛应用于激光器件中,其优异的光电性能使其成为高性能激光器件的重要材料之一。
在光通信领域,砷化镓材料也被广泛应用于光电器件中,其优异的光电性能使其成为高性能光电器件的重要材料之一。
总之,化合物半导体材料具有广泛的应用前景,在光电器件、光伏材料、激光器件等领域发挥着重要的作用。
随着材料科学和半导体技术的不断发展,化合物半导体材料的研究和应用将会得到进一步的推动,为人类社会的可持续发展做出更大的贡献。
《化合物半导体材料与器件》课程教学大纲课程代码:ABJD0527课程中文名称:化合物半导体材料与器件课程英文名称:CompoundSemiconductorMateria1sandDevices课程性质:选修课程学分数:2学分课程学时数:32学时授课对象:电子科学与技术专业本课程的前导课程:固体物理、半导体物理、场效应器件物理一、课程简介《化合物半导体材料与器件》是一门电子科学与技术专业的专业核心课程,所涉及的专业技术内容有:化合物半导体材料,化合物半导体器件,半导体异质结的形成,半导体异质结的能带,异质结双极晶体管,金属半导体肖特基接触,金属半导体场效应晶体管,调制掺杂场效应晶体管,半导体光电子器件,宽带隙化合物半导体器件等基础化合物半导体材料和器件知识。
旨在培养电子科学与技术专业的学生,能够在半导体领域内掌握相关理论基础和器件结构的技术人才。
二、教学基本内容和要求第一章化合物半导体材料与器件基础主要教学内容:(1)、半导体材料的分类;(2)、化合物半导体材料晶格结构;(3)、化合物半导体材料化学键和极化;(4)、化合物半导体材料能带结构;(5)、化合物半导体材料施主和受主能级;(6)、化合物半导体材料载流子迁移率;(7)、化合物半导体器件的发展方向。
教学要求:1)、了解元素半导体、化合物半导体、半导体固溶体概念和种类。
2)、了解化合物半导体器件的发展方向。
3)、理解化合物半导体材料的晶格结构、化学键和极化。
4)、掌握化合物半导体材料的能带结构、施主和受主能级以及载流子迁移率。
重点:掌握化合物半导体材料的能带结构、施主和受主能级。
难点:掌握化合物半导体的截流子迁移率。
第二章半导体异质结主要教学内容:(1)、异质结的形成;(2)、异质结的能带图;(3)、突变异质结的伏安特性和注入特性;(4)、异质结的超注入现象;(5)、二维电子气的形成及能态;(6)、多量子阱与超晶格。
教学要求:1)、理解异质结的概念。
化合物半导体材料半导体材料是一类既不是导体又不是绝缘体的材料,其电导率介于导体和绝缘体之间。
在现代电子学和光电子学中,半导体材料被广泛应用于各种电子器件和光电器件中,如电子集成电路、太阳能电池和激光器等。
常见的半导体材料包括硅(Si)和锗(Ge),它们是最早被广泛应用的半导体材料。
然而,还有很多其他化合物材料也具有半导体特性,如化合物半导体材料。
这些化合物半导体材料具有一些独特的特性,使它们在特定领域具有许多优势。
首先,化合物半导体材料的能隙宽度(bandgap)可以通过调节成分比例和晶格结构来调控。
能隙宽度是指电子从价带跃迁到导带所需的能量,也决定了材料的导电性能。
能隙宽度较大的化合物半导体材料通常具有较高的电阻和较低的载流子浓度,适用于高频和高温应用。
能隙宽度较小的化合物半导体材料则具有较高的导电性能和较高的载流子浓度,适用于光电子和光电器件等高效率应用。
化合物半导体材料还具有较高的光吸收系数和较短的光子寿命,使它们在光电子和光电器件中具有较高的量子效率和响应速度。
磷化镓、砷化镓和氮化镓等化合物半导体材料已广泛应用于光电子器件(如激光器、LED和光电二极管)和光通信领域。
尽管化合物半导体材料具有许多优势,但它们也存在一些挑战。
首先,制备过程相对复杂和成本较高,通常需要特殊的设备和技术。
其次,由于化合物半导体材料的晶格常数和热膨胀系数通常较小,因此与硅基材料的集成存在困难。
此外,一些化合物半导体材料还存在较高的缺陷密度和较短的寿命。
因此,尽管化合物半导体材料在一些特定领域具有广泛应用,但对于一般电子器件来说,硅仍然是主要的材料。
随着科学技术的不断发展和成熟,化合物半导体材料的制备工艺和性能将不断提高,实现与硅的集成和应用。