Array制程及设备介绍
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AMOLED Array工艺流程
AMOLED Array工艺流程主要包括以下几个步骤:
1.清洗:在开始制作AMOLED显示屏之前,需要对硅片进行清洗,以去除
表面的污垢和杂质。
2.涂覆光刻胶:在硅片表面涂覆一层光刻胶,作为掩膜,用于保护不需要进
行刻蚀的区域。
3.曝光:通过紫外线曝光的方式,将光刻胶上的图案转移到硅片上。
4.显影:使用化学试剂将曝光后的光刻胶去除,留下所需的图案。
5.刻蚀:使用化学或物理方法将硅片表面的材料去除,形成电路结构。
6.去胶:在完成刻蚀后,去除涂覆在硅片表面的光刻胶。
7.清洗和烘干:最后进行清洗和烘干,去除残留的化学物质和杂质,为后续
的工艺步骤做准备。
8.封装测试:最后,对制成的AMOLED显示屏进行封装和测试,确保其正
常工作。
以上是AMOLED Array工艺流程的基本步骤,具体工艺参数和细节可能会根据不同的制造厂商和生产工艺有所不同。
前段Array制程:薄膜/黄光/蚀刻/剥膜(一)液晶面板制造的前段Array制程主要是“薄膜、黄光、蚀刻、剥膜”四大部分,如果仅仅是这样看,很多网友根本不解这四步的具体含义,以及为什么会这样做。
首先,液晶分子的运动与排列都需要电子来驱动,因此在液晶的载体——TFT玻璃上,必须有能够导电的部分,来控制液晶的运动,这里将会用ITO(Indium Tin Oxide,透明导电金属)来做这件事情。
ITO是透明的,也成薄膜导电晶体,这样才不会阻挡背光。
液晶分子排列的不同以及快速的运动变化,才能保证每个像素精准显示相应的颜色,并且图像的变化精确快速,这就要求对液晶分子控制的精密。
ITO薄膜需要做特殊的处理,就犹如在PCB板上印刷电路一般,在整个液晶板上画出导电线路。
首先,需要在TFT玻璃上沉积ITO薄膜层,这样整块TFT 玻璃上就有了一层平滑均匀的ITO薄膜。
然后用离子水,将ITO 玻璃洗净,准备进入下一步骤。
接下来,要在沉积了ITO薄膜的玻璃上涂上光刻胶,在ITO 玻璃上形成一层均匀的光阻层。
然后烘烤一段时间,将光刻胶的溶剂部分挥发,增加光阻材料与ITO玻璃的粘合度。
用紫外光(UV)通过预先制作好的电极图形掩模版照射光刻胶表面,使被照光刻胶层发生反应,在涂有光刻胶的玻璃上覆盖光刻掩模版在紫外灯下对光刻胶进行选择性曝光。
●前段Array制程:薄膜/黄光/蚀刻/剥膜(二)我们以一个像素单位为例,如上图,这个像素中,浅色部分未曝光,而深色的是曝光部分。
接着,用显影剂将曝光部分的光刻胶清洗掉,这样就只剩下未曝光的光刻胶部分,然后用离子水将溶解的光刻胶冲走。
显影之后需要加热烘烤,让未曝光的光刻胶更加坚固的依附在ITO玻璃上然后用适当的酸刻液将无光刻胶覆盖的ITO膜的蚀刻掉,只保留光刻胶下方的ITO膜。
ITO玻璃为(In2O3 与SnO2)的导电玻璃,未被光刻胶覆盖的ITO膜易与酸发生反应,而被光刻胶覆盖的ITO膜可以保留下来,得到相应的拉线电极。