基于微溶技术的高温压力传感器

玻璃微溶压力传感器原理及应用【摘要】玻璃微溶压力传感器是一种新型的压力传感器，利用玻璃微溶技术来实现微小尺寸和高精度的压力测量。

该传感器的工作原理是通过测量玻璃微溶膜在受压时的变形程度来确定压力大小。

结构简单，具有较高的灵敏度和稳定性，适用于各种高精度压力测量场景。

玻璃微溶压力传感器的优势在于其尺寸小、响应速度快、抗干扰能力强等特点。

广泛应用于汽车制造、医疗设备、航空航天等领域，特别是在工业生产中的精密测量和控制方面具有重要作用。

未来，随着技术的不断进步，玻璃微溶压力传感器将在市场上获得更多的应用和需求，有望成为压力传感器领域的重要发展方向。

【关键词】玻璃微溶压力传感器、工作原理、结构、优势、应用领域、工业应用、发展前景、未来趋势、市场需求1. 引言1.1 玻璃微溶压力传感器原理及应用玻璃微溶压力传感器是一种利用玻璃微流体技术设计制造的压力传感器，其原理是通过监测微量玻璃通道中的流体压力变化来实现对压力的测量。

当介质施加在玻璃微通道表面压力后，玻璃微溶压力传感器内部会产生微小的位移和形变，这些变化会导致传感器内部压力的变化，最终转化为电信号输出。

由于玻璃材料的特性，玻璃微溶压力传感器具有较高的灵敏度和稳定性，能够实现精确的压力测量。

玻璃微溶压力传感器的结构主要由压力传感元件、信号处理电路和输出接口等部分组成。

这种结构设计使得玻璃微溶压力传感器具有体积小、重量轻、响应速度快等优势，适用于各种工业领域的压力测量需求。

玻璃微溶压力传感器在汽车制造、医疗器械、航空航天等领域有着广泛的应用。

在工业中，玻璃微溶压力传感器常用于测量流体压力、气压、液位等参数，帮助优化生产过程，提高工作效率。

玻璃微溶压力传感器具有良好的发展前景和市场需求，随着技术的不断创新和应用场景的拓展，玻璃微溶压力传感器将在未来得到更广泛的应用和推广。

2. 正文2.1 玻璃微溶压力传感器的工作原理玻璃微溶压力传感器的工作原理是基于压阻效应。

基于MEMS工艺的SOI高温压力传感器设计李丹丹;梁庭;李赛男;姚宗;熊继军【摘要】利用MEMS(微机电系统)工艺中的扩散,刻蚀,氧化,金属溅射等工艺制备出SOI高温压力敏感芯片,并通过静电键合工艺在SOI芯片背面和玻璃间形成真空参考腔,最后通过引线键合工艺完成敏感芯片与外部设备的电气连接.对封装的敏感芯片进行高温下的加压测试,高温压力测试结果表明,在21℃(常温)至300℃的温度范围内,传感器敏感芯片可在压力量程内正常工作,传感器敏感芯片的线性度从0.9 985下降为0.9 865,控制在较小的范围内.高温压力下的性能测试结果表明,该压力传感器可用于300℃恶劣环境下的压力测量,其高温下的稳定性能为压阻式高温压力芯片的研制提供了参考.%By using the process ofdiffusion,etching,oxidation,sputtering in MEMS(micro electro mechanical sys-tem)process,the SOI high temperature pressure sensor chip is prepared,and the vacuum chamber is formed be-tween the back of sensor chip with the glass through the electrostatic bonding process,finally the sensor chip and the peripheral equipment is connected through the wire bonding process. Test the packaged sensor chip under high temperature with high pressure,the test results shows that in the temperature range 21℃(at room temperature)to 300℃,the sensor chip can work normally in the pressure scale,the linearity of the sensor chip is decreased from 0.9 985 to 0.9 865,controlled in a small range. The performance test results under high temperature pressure shows that the pressure sensor can be used for pressure measurement in 300℃harsh environment,the stable performanceunder high temperature has provided reference for the development of piezoresistive pressure chip.【期刊名称】《传感技术学报》【年(卷),期】2015(028)009【总页数】6页(P1315-1320)【关键词】高温压力传感器;压阻;敏感薄膜;SOI(绝缘体上硅);MEMS(微机电系统)【作者】李丹丹;梁庭;李赛男;姚宗;熊继军【作者单位】中北大学电子测试技术重点实验室,太原030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;中北大学电子测试技术重点实验室,太原030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;中北大学电子测试技术重点实验室,太原030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;中北大学电子测试技术重点实验室,太原030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;中北大学电子测试技术重点实验室,太原030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051【正文语种】中文【中图分类】TN305.1EEACC:7110；7230 doi:10.3969/j.issn.1004-1699.2015.09.009高温MEMS敏感器件由于可靠性高，在军事上广泛被采用［1］。

高温硅压力传感器关键技术及应用高温硅压力传感器是一种能够在高温环境下测量压力的传感器。

它常用于汽车发动机、石油钻井和航空航天等领域。

高温硅压力传感器的关键技术及应用包括：1. 高温材料：传感器需要使用高温耐受的材料，如硅材料。

硅材料具有较好的耐高温性能，可在高温环境下保持传感器的稳定性。

2. 热补偿：高温环境下，温度会对传感器的测量结果产生影响。

因此，传感器需要进行热补偿，以消除温度对测量结果的影响。

3. 高精度的压力测量：高温环境下的压力测量需要具备高精度和稳定性。

传感器通常采用微机械系统技术，通过微米级别的结构实现高精度的压力测量。

4. 高温封装：传感器的封装需要能够抵御高温环境下的腐蚀和热变形。

常用的封装材料包括高温胶和陶瓷材料。

5. 防护措施：由于高温环境下的压力传感器容易受到腐蚀和热膨胀等因素的影响，传感器需要采取相应的防护措施，如使用压力隔离装置和冷却系统。

高温硅压力传感器的应用领域广泛，包括但不限于以下几个方面：1. 汽车发动机：高温硅压力传感器可以测量汽车发动机内的油压、冷却液压力等参数，帮助监测发动机的工作状态。

2. 石油钻井：高温硅压力传感器可以在油井中测量地下油层的压力，为油井的开采提供参考。

3. 航空航天：航空航天领域对高温硅压力传感器的需求较高，传感器可以用于测量飞机发动机的压力和推力，以及航天器的燃料压力等参数。

4. 汽车制造工艺：在汽车制造过程中，高温硅压力传感器可以用于车身焊接过程中的压力监测，保证焊接的质量和稳定性。

综上所述，高温硅压力传感器的关键技术和应用较为广泛，它在高温环境下的可靠性和稳定性使其成为许多领域中不可或缺的传感器之一。

基于微溶技术的高温压力传感器作者：杨岩等来源：《无线互联科技》2014年第04期摘要：本文主要以综述的方式简单的介绍了一种用微溶玻璃技术制作新一代压力传感器的原理、结构以及补偿电路，最后总结了微溶压力传感器的特点及优越性，可剔除了用传统工艺方法生产传感器带来的弊端，理论上可以完全替代陶瓷、应变片、溅射薄膜及充油芯体等技术。

关键词：微溶技术；压力传感器；应变片；芯体Abstract：This article mainly reviews the way of simple introduced a slightly soluble glass technology principle， structure for a new generation of sensors and compensation circuit， and finally summarizes the characteristics and advantages of slightly soluble pressure sensor， can be eliminated with the disadvantages of traditional process method sensors， could theoretically be entirely replace ceramics， strain gauge， sputtering thin film and the oil filled core body and other technology.Key words：slightly soluble technology；Pressure sensor；Strain gauge；Core body随着我国民用工业和国防工业以及航空航天工业的飞速发展，对传感器的需要也越来越多。

传感器的种类各式各样，按其工作原理分，可分为压电式传感器、压阻式传感器、电容式传感器、电磁式传感器等，如果按其被测参数分，可分为温度、压力、位移、速度传感器等，型号可到上十万种。

基于SOI技术高温压力传感器的研制陈勇;郭方方;白晓弘;卫亚明;程小莉;赵玉龙【摘要】针对油气田等领域高温高压环境要求,介绍了一种高温压力传感器芯片的设计及研制,设计的高温压力传感器芯片解决了传统压阻式传感器在高温高压环境下的热稳定性问题.通过静电键合封装技术将耐高温SOI压阻芯片与玻璃片在真空环境下封装结合为一体,作为全硅结构的压力传感器的弹性敏感单元,解决高温环境下测量大量程压力的难题.同时,采用高温充硅油技术,用波纹片和高温硅油将被测量介质隔离开来,提高了传感器的适应能力.【期刊名称】《仪表技术与传感器》【年(卷),期】2014(000)006【总页数】3页(P4-6)【关键词】高温压力传感器;硅隔离;静电键合;波纹膜片;封装【作者】陈勇;郭方方;白晓弘;卫亚明;程小莉;赵玉龙【作者单位】长庆油田油气工艺研究院,陕西西安710018;低渗透油气田勘探开发国家工程实验室,陕西西安710018;西安交通大学机械学院,机械制造系统工程国家重点实验室,陕西西安710049;长庆油田油气工艺研究院,陕西西安710018;低渗透油气田勘探开发国家工程实验室,陕西西安710018;长庆油田油气工艺研究院,陕西西安710018;低渗透油气田勘探开发国家工程实验室,陕西西安710018;长庆油田油气工艺研究院,陕西西安710018;低渗透油气田勘探开发国家工程实验室,陕西西安710018;西安交通大学机械学院,机械制造系统工程国家重点实验室,陕西西安710049【正文语种】中文【中图分类】TP2120 引言为了满足石油化工、航空航天等高温恶劣工况条件下的压力测试要求，基于硅隔离SOI(Silicon on Insulator)技术的耐高温压力传感器得到了广泛的应用[1]。

目前我国油气田领域高性能传感器主要依赖进口，严重制约了我国石化行业的发展。

针对油气田等特殊领域压力测量问题，文中所提出的高温压力传感器采用MEMS工艺，基于先进的高能氧离子注入SIMOX技术，制作了全硅结构的压阻力敏芯片，解决了传统扩散硅压阻式压力传感器难于在120 ℃以上高温下工作的问题，并通过波纹膜片进行介质隔离，提高了传感器芯片的热稳定性和可靠性，研制的高温压力传感器可以在0～200 ℃的条件下工作，具有工作温度高、体积小、灵敏度高等优点，能够满足石油化工等自动化领域中的压力测量要求。

基于玻璃微熔技术的高压传感器开发
毛亮亮;章柯豪;付忠亮
【期刊名称】《丽水学院学报》
【年(卷),期】2022(44)5
【摘要】为了提高SOI硅力敏原件和弹性敏感元件的黏合性,利用玻璃微熔技术将敏感电阻固定在敏感膜片上,研发出一款高压传感器。

采用微机电系统MEMS工艺制备硅应变计,增强传感器各方面的性能。

以高集成度的桥式压力传感器芯片NSA9260作为信号调理芯片,其具有三阶的非线性校准能力,校准精度较高。

对高压传感器的主要指标进行检测实验,结果表明:在-40~120℃的温度区间内,压力测量范围可达50 MPa,控制精度在0.1%以内。

【总页数】6页(P27-32)
【作者】毛亮亮;章柯豪;付忠亮
【作者单位】丽水学院工学院;浙江毅力汽车空调有限公司
【正文语种】中文
【中图分类】TP212;TH703
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