PVD真空镀膜机作业指导书

PVD实验说明书1. 实验目的本实验旨在通过物理气相沉积（Physical Vapor Deposition，简称PVD）的方法制备薄膜，并探究其制备过程和影响因素。

2. 实验原理物理气相沉积是利用高能粒子或高温等条件，使目标材料蒸发并在基底表面沉积形成薄膜的一种方法。

常见的物理气相沉积技术包括蒸发法、溅射法和分子束外延法等。

3. 实验步骤3.1 准备实验装置- 确保实验装置的真空度符合要求，排除氧气和其他杂质。

- 预热目标材料，使其达到蒸发温度。

3.2 预处理基底- 清洗基底材料，确保表面干净无杂质。

- 在基底表面形成特定形貌，如凹凸结构或光栅结构。

3.3 加热- 将基底装入加热器中，升温至适宜的温度，以提高薄膜的质量和结晶程度。

3.4 蒸发沉积- 在蒸发源处放置目标材料。

- 加热目标材料，使其蒸发生成原子或分子束。

- 控制气体流动速度和沉积时间，使薄膜均匀沉积在基底表面。

3.5 冷却- 停止蒸发源加热，关闭气体流动。

- 让基底在恢复大气压下缓慢冷却，防止薄膜结构的变化和应力的产生。

4. 实验注意事项- 严格控制实验装置的真空度，避免氧气和水分对沉积薄膜的污染。

- 注意目标材料的蒸发温度，避免材料过热或过冷导致不良沉积效果。

- 控制蒸发速率和沉积时间，以获得均匀一致的薄膜。

- 冷却过程中避免突然接触空气，防止薄膜结构的变化和损坏。

5. 实验结果及分析通过PVD方法制备的薄膜可以观察到其成分、厚度和表面形貌等特征。

利用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD）等仪器分析，可以进一步研究薄膜的晶体结构、形貌和性能。

6. 实验总结PVD作为一种常用的薄膜制备方法，在材料科学和工程领域具有广泛的应用前景。

通过本实验，我们深入了解了PVD的原理、操作步骤以及注意事项，为今后的研究工作打下了基础。

参考文献：[参考文献的列表，不包括超链接形式]注意：本实验说明书仅为参考，具体实验操作应根据实验室条件和指导教师要求进行相关调整。

部门文件编号版本编制页数审核1版修订日期批准1.0 目的：指导HSG PVD镀铬-铝膜相关人员按标准流程作业。

2.0 范畴：适用HSG 镀铬-铝膜。

3.0 设备、辅助材料及工具：新柯隆RAS-1100镀膜机、待清洗后HSG 产品、纯度99%的Al靶、Cr靶、吸尘器、无尘手套、酒精、无尘布、镊子。

文件名称HSG PVD 镀铬-铝膜操作指导书（新科隆RAS机）初版发行4.0 操作方法：产品操作指导书镀 膜文件修订履历第四步：选择镀膜程序操作方法：在电脑内选择‘HSG-PVD-Cr-Al ’专用程序进行自动成膜。

注意事项：工艺参数必须由技术员设定。

操作员不得修改机器参数。

全程自动成膜入换。

第二步：安装挂板操作方法：将装有HSG 的夹具固定在挂板后，按顺序将挂板安装在溅射机载物鼓上，依次拧紧各个挂口螺丝； 注意事项：确保HSG 夹具螺丝拧紧；旋转鼓且依次逐个检查挂板，确保各个挂板螺丝无松动。

操作方法：按顺序将HSG 五种通孔用塞子遮蔽，使用单面高温胶覆盖协助固定，然后将HSG 轻轻放入专用夹具后固定夹具盖板； 注意事项：确保各个通孔正确遮蔽，且用单面高温胶覆盖；盖板螺丝要拧紧。

第一步：HSG 遮蔽与装夹第三步：关门排气操作方法：关闭真空腔门，触摸屏点"Evac"排气。

注意事项：关门后旋转紧固阀，全部紧固阀打紧，直至显示屏Close 指示灯变绿色。

点‘Evca'后排气无漏气气流声。

第五步：下锅 操作方法：镀膜完成后自动入换，开门后挂板从锅上取下至无尘风淋柜暂放区。

注意事项：挂板不能叠加，操作员必须穿戴干净手套，禁止任何物品触碰触碰镀膜表面。

第六步：已镀产品冷却操作方法：已镀膜产品挂板放置无尘风淋柜下锅暂放区冷却至常温（冷却20分钟） 注意事项：无尘风淋柜确保风机为打开状态，产品需关门冷却。

第七步：拆夹下片 第八步：产品标识操作方法：产品从无尘风淋柜转无尘工作台后，拆卸夹具，轻轻取出HSG 产品，然后拆除塞子，将塞子放在指定位置回收。

承认确认作成3、 4、1.确认小车完好2.确认石墨舟完好3.核对物卡数量4.放置硅片5.小车放置区域6.石墨舟向前倾斜7.准备吸片8.插片9.注意事项10.检查硅片11.放置空篮12.空花篮劳动防护用品：13.空花篮放置区14.一面装片完成15.石墨舟复位16.旋转180°改定履历年月日改定内容123454.确认流程单数量与实际数量一致且硅片表面无异常，无崩边缺角。

7.装卸片时吸笔要保证干净.8.硅片顺着槽壁滑进槽内，由工艺点定位，注意速度和角度。

9.检查插片是否漏片，是否贴合槽壁。

工序目的：使用部品材料： 吸笔，花篮，小车，石墨舟制作晶体硅电池的减反射膜及钝化 1、PE机10.插片顺序应从左到右，从上到下。

12.石墨舟倾斜度根据操作员高度，台架高度来调整，合适的角度利于操作。

定位置管理说明格式编号：HCZY 011．穿戴好劳保用品。

2.保证小车运转平稳。

3.确认石墨舟叶片完好，螺丝紧固，在小车放置平稳。

5.硅片放置平稳，确保非扩散面贴向槽壁。

页码信息：HCBZZZ040 总 4 页01PECVD镀膜操作作业指导书文书编号版 本修改日期第 1 页年 月 日 年 月 日作成日期1.应遵守的要点及注意事项设备名/设备编号： 2、使用夹具、 工具：每舟规定资料及判定标准管理要点测定法目测无杂物5.双手扶着石墨舟缓慢调整倾斜，避免手臂接触石墨舟。

2.改定色彩均匀管理項目3pcs/舟沉积面确认承认频度样品数电极头11.插片时硅片扩散面朝外，非扩散面贴着槽壁。

13.石墨舟必须复位扶正水平时方可旋转。

备 考3.目测单晶硅片。

作业手顺·遵守事项●作业手顺扩散硅片手套（PVC),口罩，网孔布鞋。

样式编号：AAAE02。

5.细部内容学习
5.1 设备清扫
用吸尘器和小刀,刷子对药盘,药槽周围清理,去除残渣异物,手感无灰尘,.将电子枪内部杂物清出.适当时保持每班一次
喷砂处理.
重点清扫部位,一般被忽视,伞环转动中有大量灰尘在移动,影响膜层的洁净度.每镀膜一次后需对齿轮和轴承的磨损
痕迹清理去除灰尘.
尘.
,便
.设备运行到一定周期后(7天)需要大清扫将所有内皮更换,真空室内有脏污的地方用小刀,刷子清
理干净,并用丙酮擦拭,去除任何油污,喷砂后的内皮先用气枪吹尘再擦拭使用.安装后对设备抽真空加热烘烤,再投入
生产.。

1. 目的
规范真空镀膜机的操作：防止操作不当产生安全事故及增加设备的故障率。

2. 术语
3. 具体内容
3.1首先打开空压机，冷却水塔，再打开冰水机，待气压表压力达到4KG后再打开机器电源。

3.2进入机器操作作业面，手动打开RP机械泵，在开启DP扩散泵，加热，待温度达到设定
温度后便可正常生产。

3.3关机时一定要先关DP扩散泵，待冷却1小时后才可关RP机械泵，再关闭冰水机，冷却水塔及空压机和总电源。

4 注意事项
4.1控制柜必须由经过培训且有相应操作权限的专职人员操作，严禁正常生产期间擅自操
作和调改；严禁非专业人员对电柜内元器件进行任何操作调改。

4.2观察空压气体，冰水机开启后是否正常运转，查看操作柜上水气指示灯是否正常亮起。

4.3待加热温度达到设定温度后，抽空炉查看排气是否正常。

4.4每镀一炉后查看钨丝是否全部蒸发干净，是否有折断或需要更换的。

4.5如发生故障和异常情况，请立即汇报相关人员，必要时按下电箱上的红色“急停”按钮和关掉电源总制。

5 相关文件
6 文件拟制/修订记录。

PVD镀膜工艺操作规范一、开机前准备:1.开机前检查气压(正常0.6~0.8MPa)、水压是否正常;2.检查油位、油质是否正常;3.检查电缆电线是否完好，若有损坏，及时上报处理;4.穿戴好口罩、无尘衣、PVC手套等劳保防护用品;5.准备好预镀产品，做好前处理，检验出合格的预镀品，制定相关镀膜工艺。

二、开机与镀膜工艺规范:1.合上镀膜系统总电源，打开控制柜电源及电脑，进入操作界面，启动数据记录，打开维持泵对扩散泵抽真空，真空度为0.1Pa时，打开扩散泵加热电源对扩散泵进行加热一个小时; 2.打开充气阀对真空室进行充气，打开镀膜室门，拉出转架，测量靶材厚度，清除屏蔽罩、靶材表面氧化物或其它污染，防止短路;3.装上产品/样品，然后把转架推入真空室，开启转架转动电源，看转架转动是否正常，测量转架与镀膜室腔体之间的电阻，确认二者之间绝缘，关好真空室门;4.抽真空:启动旋片泵，并依次开启旁通阀、粗抽阀;当真空度达要求时，关闭旁通阀，然后打开罗茨泵对真空系统抽真空;当达到油扩散泵的前级真空度时，关闭粗抽阀，然后依次打开前级阀、精抽阀，对真空系统进行抽高真空;5.真空度达到工艺要求时，开始进行镀膜工艺操作:设定加热温度，对系统进行加热，设定氩气流量对镀膜室冲入氩气，达到工艺要求的镀膜真空，打开偏压，离子源，然后进行离子镀膜、溅射镀膜工艺;6.镀膜结束时，先关闭溅射电源、弧电源、离子源、偏压电源、加热电源灯，然后依次关闭精抽阀、前置阀、罗茨泵、旋片泵，并对系统进行冷却。

最后开启充气阀，向镀膜室充入空气，打开镀膜室门，拉出转架，取出产品/样品;7.若需镀多炉产品/样品，按(3)~(6)步骤重复操作。

三、关机阶段1.转架推入真空室，关上镀膜室门，对系统进行抽真空，可参考镀膜工艺规范(4);2.完成时依次关闭精抽阀、前置阀、罗茨泵、粗抽泵、扩散泵，并对系统进行冷却;3.关闭维持泵与电离真空计，保存电脑数据，关闭触摸屏电源、真空镀膜系统总电源、循环冷却水电源等;4.车间整理、卫生打扫。

1. 目的
明确真空镀膜机保养周期，保证设备的使用稳定性及产品电镀的品质。

2. 术语
3. 具体内容
3.1 保养的等级划分：日保养、周保养、月保养、大保养。

3.1.1 日保养
3.1.1.1 每生产四小时用吸尘器将电镀机内的废渣及粉尘吸干净。

3.1.1.2 每天下班前，电镀技术员安排人员将真空镀膜机表面用无尘布擦拭干净。

3.1.2 周保养
3.1.2.1 每周一上午对RP粗抽泵进行排水处理。

3.1.2.2 每两周对镀膜机内炉炉板及莲花转架更换并清洗一次。

3.1.2.3 每两周对冷却水塔清洗一次。

3.1.3 月保养
3.1.3.1 每三个月更换一次RP粗抽泵油。

3.1.3.2 每三个月对钨丝架及铜电极清洗一次。

3.1.4 大保养
3.1.
4.1 每年对DP扩散泵清洗一次并更换DP扩散泵油。

3.1.
4.2 每两年安排供应商对电镀机做一次全面的保养。

3.2 异常的反馈及处理
3.2.1 电镀出来的每炉产品都必须先由技术员及品质人员抽检，当发现产品表面黑点超5%时必须停止电镀并对镀膜机进行彻底的保养（按周保养的方式进行）后，重新制作首件，确认不良率，控制在标准范围内才能生产。

3.2.2 电镀炉真空抽不到时，真镀技术员必须上报给真镀课长，前来协助调试，若改善无效果时，上报总经办，安
排厂商来厂协助处理。

4.注意事项
5.相关文件
6.文件拟制/修订记录。

1. 目的促使真空镀严格按照生产作业并保证真空镀各生产工序顺利完成。

使产出的产品满足客户的要求。

2. 术语3. 具体内容3.1生产前准备3.1.1真镀生产计划（物料组）根据PMC总部下达的《生产任务单》拟制生产内部的《生产排程》并下达至生产部。

3.1.2前处理组长根据《生产排程》领出当天生产所需的素材、夹具及其它辅助物料。

3.1.3调漆员根据《生产排程》，按《调油喷涂作业指导卡》的要求调配好当天使用的油漆并把调油参数记录在《调油记录表》上，把调配好的油漆加到相应的喷柜。

喷涂技术员确认调油参数并记录于《生产工艺表》中。

3.1.4喷涂技术员根据《真镀喷涂作业指导卡》规定的工艺范围，调好喷枪的角度、气压、油量进行试喷。

3.1.5装配组长根据《生产排程》安排前处理人员进行夹具清洗、产品清洗及装配。

a.根据产品的种类安装好夹具并放入胶盘摆好垫好泡棉。

b.把装配清洗好的产品安装在底漆喷涂线上。

3.2 真空镀底漆/面漆喷涂过程控制3.2.1 真空镀产品的生产工序为a.NCVM：UV底漆→真空镀膜→UV中漆→UV面漆.b.PPVD：喷底（色漆）→UV底漆→真空镀膜→保护漆→曝光→退镀→清洗→UV中漆→UV面漆。

c.OPVD:喷底（色漆）→UV底→光学镀膜→UV中漆→UV面漆。

VM:UV底漆→真空镀膜→NCVM UV中漆→NCVM UV面漆→全检→装遮喷夹具→腐蚀→清洁→CCVM UV中漆→CCVMUV面漆。

3.2.2 喷涂技术员在进行喷涂作业时，须严格按《喷涂作业指导卡》及《自动喷涂设备操作规范》的规定进行作业。

制作首件，底漆首件要求水煮，百格及弯拆等常规经测试OK再送电镀试镀，正常真镀工艺的产品在生产中各工序间的停留时间不可超过2小时，防止产品在UV底漆和镀膜后裸露时间过长，导致产品物性测试部稳定。

3.2.3 喷涂技术员在进行底漆作业前先点检各设备是否正常。

3.2.4 批量投入生产前，必须先试喷、试镀产品，由喷漆技术员、镀膜技术员及质检员共同进行首件确认。