《半导体物理》讲义:第二章 晶格振动和晶格缺陷
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第二章 晶格振动和晶格缺陷在上一章中,我们把组成晶体的原子或离子看成是固定不动的,都处在其平衡位置上。
实际晶体中的原子却是不停地在其平衡位置附近做热振动的,并且随着温度的升高,振动会不断加剧。
这种热振动也称晶格振动,它会破坏晶格的周期性,在晶格中造成缺陷,从而对半导体的性质产生重要影响。
实际三维晶体中原子的振动现象很复杂,在这里我们只分析一维晶体(单原子和双原子链)的振动,然后将所得到的规律和结论推广到三维晶体中。
§2-1 一维均匀线的振动为研究一维原子链的振动,首先复习一下一维均匀线中弹性波(纵波)的传播现象。
设均匀线的质量密度为ρ,弹性模量为K ,又设线上每一点只能沿线本身的方向(纵向)运动,如图2-1所示。
若在线元x ∆上施加一作用力,它将引起x 点的纵向位移u (x )。
此时在x处的相对伸长(即形变)为xux e ∂∂=)(,在x x ∆+处的形变则为x xux e x x e ∆∂∂+=∆+22)()(。
根据胡克定律(Hooke's law ),此时在线元x ∆上的作用力为[]x xuK x e x x e K F x ∆∂∂=-∆+=∆22)()( (2-1)此作用力还可表示为线元质量x ∆ρ乘上加速度22tu∂∂,即22tux F x∂∂∆=∆ρ (2-2)从而有 22tu ∂∂=22222x u x u K ∂∂=∂∂υρ (2-3)式中,ρυK=是弹性波的传播速度(声波速度),与振动频率无关。
(2-3)式称线性振动方程,其解为具有如下形式的简谐波[])(ex p ),(t qx i A t x u ω-= (2-4)式中,A 为振幅,πνω2=为角频率,ν为振动频率,λπ2=q 为波矢(波数λ1π2⨯)。
由于波速λνυ=,从而有q υλπυπνω===/22 (2-5) 即ω与波矢q 成正比。
q 的绝对值可取∞→0,因而振动频率也可取∞→0,且与q 是一一对应的。
晶体结构晶格§1晶格相关的基本概念1.晶体:原子周期排列,有周期性的物质。
2.晶体结构:原子排列的具体形式。
3.晶格:典型单元重复排列构成晶格。
4.晶胞:重复性的周期单元。
5.晶体学晶胞:反映晶格对称性质的最小单元。
6.晶格常数:晶体学晶胞各个边的实际长度。
7.简单晶格&复式晶格:原胞中包含一个原子的为简单晶格,两个或者两个以上的称为复式晶格。
8.布拉伐格子:体现晶体周期性的格子称为布拉伐格子。
(布拉伐格子的每个格点对应一个原胞,简单晶格的晶格本身和布拉伐格子完全相同;复式晶格每种等价原子都构成和布拉伐格子相同的格子。
)9.基失:以原胞共顶点三个边做成三个矢量,α1,α2,α3,并以其中一个格点为原点,则布拉伐格子的格点可以表示为αL=L1α1 +L2α2 +L3α3 。
把α1,α2,α3 称为基矢。
10.平移对称性:整个晶体按9中定义的矢量αL 平移,晶格与自身重合,这种特性称为平移对称性。
(在晶体中,一般的物理量都具有平移对称性)11.晶向&晶向指数:参考教材。
(要理解)12.晶面&晶面指数:参考教材。
(要理解)立方晶系中,若晶向指数和晶面指数相同则互相垂直。
§2金刚石结构,类金刚石结构(闪锌矿结构)金刚石结构:金刚石结构是一种由相同原子构成的复式晶格,它是由两个面心立方晶格沿立方对称晶胞的体对角线错开1/4长度套构而成。
常见的半导体中Ge,Si,α-Sn(灰锡)都属于这种晶格。
金刚石结构的特点:每个原子都有四个最邻近原子,它们总是处在一个正四面体的顶点上。
(每个原子所具有的最邻近原子的数目称为配位数)每两个邻近原子都沿一个<1,1,1,>方向,处于四面体顶点的两个原子连线沿一个<1,1,0>方向,四面体不共顶点两个棱中点连线沿一个<1,0,0,>方向。
金刚石结构的密排面:{1,1,1} 晶面的原子都按六方形的方式排列。
半导体物理学黄整半导体与理想情况的偏离晶格原子是振动的材料含杂质晶格中存在缺陷¾点缺陷(空位、间隙原子)¾线缺陷(位错)¾面缺陷(层错)2极微量的杂质和缺陷就能对半导体材料的物理性质和化极微量的杂质和缺陷,就能对半导体材料的物理性质和化学性质产生决定性的影响,同时也严重影响半导体器件的质量。
¾1个B原子/ 105个Si原子→室温下电导率提高1000倍一般的硅平面器件要求2¾般的硅平面器件要求Si单晶的位错密度低于1000/cm 半导体与理想情况偏离的原因理论分析认为理论分析认为:杂质和缺陷的存在使周期性排列原子所产生的周期性势场受到破坏受到破坏。
在禁带中引入了能级,允许电子在禁带中存在,从而使半3导体的性质发生改变。
(b )晶胞中所有Si 原子占据晶胞体积的百分比)1133)r a a =×=解:(a (2484(b )33833rππ×==34%16a间隙式杂质、替位式杂质间隙式杂质替位式杂质杂质原子位于晶格原子间的间隙位置,杂质原子位于晶格原子间的间隙位置称为间隙式杂质。
¾间隙式杂质原子一般比较小,如Si、Ge、GaAs材料中的离子锂(0.68Å)。
杂质原子取代晶格原子而位于晶格点处,称为替位式杂质。
¾替位式杂质原子的大小和价电子壳层结构要求与被取代的晶格原子相近。
如Ⅲ、Ⅴ要求与被取代的晶格原子相近如ⅢⅤ族元素在Si、Ge晶体中都为替位式杂质。
5间隙式杂质替位式杂质单位体积中的杂质原子数称为杂质浓度6半导体的掺杂施主:向半导体中提供导电的电子,并成为带正电离子的杂质原子称为施主。
如Si中的P和AsE AsDE ΔDE C杂质能级施主杂质电离能VE 施主能级7N 型半导体受主:能够向半导体提供导电的空穴,并成为带负电离子的杂质原子称为受主。
如Si中的BCE BE 受主杂质电离能VE AAE ΔP 型半导体受主能级8Ⅲ、Ⅴ族杂质在Si 、Ge 晶体中分别为受主和施主杂质,它们在禁带中引入了能级;受主能级比价带顶高ΔE ,施主能级;受能级价带顶高A 施能级比导带底低ΔE D ,均为浅能级,这两种杂质称为浅能级杂质硼铝碳硅氮磷种杂质称为浅能级杂质。
晶格振动对晶体的热导率的晶格缺陷效应晶体的热导率是指物质在温度梯度下传导热量的能力。
晶格振动是晶体热传导的主要机制之一,而晶格缺陷则会对晶体的热导率产生影响。
本文将探讨晶格振动对晶体热导率的晶格缺陷效应。
1. 晶格振动与热导率晶体的热导率主要受到晶格振动的影响。
晶格振动是指晶体中原子或离子在其平衡位置附近发生的振动运动,其振动形式可以是平动、转动或者伸缩振动。
晶格振动的频率和振幅决定了晶体的热导率大小。
2. 晶格缺陷的种类与效应晶格缺陷是指晶体中存在的原子、离子或分子位置的非理想性。
晶格缺陷可以分为点缺陷、线缺陷和面缺陷。
点缺陷包括空位、间隙原子和杂质原子,线缺陷包括晶体中的位错,面缺陷包括晶界和孪晶。
晶格缺陷对晶体热导率的影响主要有两个方面。
一方面,晶格缺陷能够散射晶格振动的能量,增加热阻。
另一方面,晶格缺陷会改变晶格振动的传播方式,从而影响能量的传递效率。
3. 点缺陷对热导率的影响点缺陷是晶体中最简单的缺陷形式,对热导率的影响较为复杂。
在点缺陷中,空位和间隙原子可以降低热导率,因为它们能够散射晶格振动。
而杂质原子的影响则取决于杂质的种类和浓度。
有些杂质原子能够散射晶格振动,因此降低热导率;而有些杂质原子可能增加了晶格的复杂度,从而增加了热导率。
4. 线缺陷对热导率的影响线缺陷包括晶体中的位错,其对热导率的影响也比较复杂。
位错可以作为散射中心,降低热导率。
另一方面,位错也会影响晶格振动的传播路径,从而影响能量的传递效率。
5. 面缺陷对热导率的影响面缺陷包括晶界和孪晶。
晶界是晶体中两个不同晶格的交界处,而孪晶则是晶体中两个具有不同取向但具有相同晶格结构的区域。
晶界和孪晶都会影响晶格振动的传播方式,从而对热导率产生影响。
6. 控制晶格缺陷的方法控制晶格缺陷是提高晶体热导率的重要途径之一。
通过控制晶体生长条件,可以减小晶格缺陷的生成。
此外,通过控制杂质原子的浓度和分布,也可以改变晶体中的晶格缺陷情况。
第二章 晶格振动和晶格缺陷在上一章中,我们把组成晶体的原子或离子看成是固定不动的,都处在其平衡位置上。
实际晶体中的原子却是不停地在其平衡位置附近做热振动的,并且随着温度的升高,振动会不断加剧。
这种热振动也称晶格振动,它会破坏晶格的周期性,在晶格中造成缺陷,从而对半导体的性质产生重要影响。
实际三维晶体中原子的振动现象很复杂,在这里我们只分析一维晶体(单原子和双原子链)的振动,然后将所得到的规律和结论推广到三维晶体中。
§2-1 一维均匀线的振动为研究一维原子链的振动,首先复习一下一维均匀线中弹性波(纵波)的传播现象。
设均匀线的质量密度为ρ,弹性模量为K ,又设线上每一点只能沿线本身的方向(纵向)运动,如图2-1所示。
若在线元x ∆上施加一作用力,它将引起x 点的纵向位移u (x )。
此时在x处的相对伸长(即形变)为xux e ∂∂=)(,在x x ∆+处的形变则为x xux e x x e ∆∂∂+=∆+22)()(。
根据胡克定律(Hooke's law ),此时在线元x ∆上的作用力为[]x xuK x e x x e K F x ∆∂∂=-∆+=∆22)()( (2-1)此作用力还可表示为线元质量x ∆ρ乘上加速度22tu∂∂,即22tux F x∂∂∆=∆ρ (2-2)从而有 22tu ∂∂=22222x u x u K ∂∂=∂∂υρ (2-3)式中,ρυK=是弹性波的传播速度(声波速度),与振动频率无关。
(2-3)式称线性振动方程,其解为具有如下形式的简谐波[])(ex p ),(t qx i A t x u ω-= (2-4)式中,A 为振幅,πνω2=为角频率,ν为振动频率,λπ2=q 为波矢(波数λ1π2⨯)。
由于波速λνυ=,从而有q υλπυπνω===/22 (2-5) 即ω与波矢q 成正比。
q 的绝对值可取∞→0,因而振动频率也可取∞→0,且与q 是一一对应的。
(2-5)式也称波的色散关系。
***胡克定律:是力学基本定律之一,适用于一切固体材料的弹性形变。
它指出:在弹性限度内,物体的形变与引起形变的外力成正比。
这个定律是英国科学家胡克提出的,所以叫做胡克定律。
(罗伯特·胡克,英国科学家,又译罗伯特·虎克(Robert Hooke ,1635年7月18日-1703年3月3日),英国博物学家,发明家。
1635年7月18日生于英国怀特岛的弗雷斯沃特村,1703年3月3日卒于伦敦。
在物理学研究方面,他提出了描述材料弹性的基本定律-胡克定律,在机械制造方面,他设计制造了真空泵,显微镜和望远镜,并将自己用显微镜观察所得写成《显微术》一书,细胞一词即由他命名。
在新技术发明方面,他发明的很多设备至今仍然在使用。
除去科学技术,胡克还在城市设计和建筑方面有着重要的贡献。
但由于与牛顿的争论导致他去世后少为人知。
胡克也因其兴趣广泛,贡献重要而被某些科学史家称为“伦敦的莱奥纳多(达芬奇)”)§2-2 一维单原子链的振动晶体由周期性排列的原子构成。
由于晶体微观结构的这种不连续性,使得晶体中原子的振动具有与连续媒质弹性振动不同的特点。
由于原子之间的相互作用,在晶体中每个原子的振动并不是彼此孤立的,而是一个原子的振动要依次传递给其他原子。
晶体中的原子振动,总体而言,也是以波的形式在晶体中传播的。
这种晶体中的原子振动波称格波。
下面分析由质量为m 、间距为a (晶格常数)的同种原子构成的一维单原子链的晶格振动。
如图2-2所示,假设第n 个原子的位移为u n 。
如果这个原子偏离平衡位置不远,则其受到的相互作用力可认为是准弹性的,并与原子间距的变化成比例。
因此,在忽略包括次近邻以外原子的作用后,n 原子所受到的作用力F n 为n-1和n+1两个最近邻原子的作用力之和,即)2()()(1111n n n n n n n n u u u u u u u F -+=---=-+-+βββ (2-6)式中,β称准弹性力常数且a K /=β,即a K β=,K 为弹性模量。
于是,第n 个原子的运动方程可写为=22dtu d m n)2(11n n n u u u -+-+β (2-7)该方程的解为简谐波[])(ex p t qna i A u n ω-= (2-8) 将(2-8)代入(2-7)得)2(2-+=--iqa iqa e e m βω=[]2sin 4)cos 1(22qaqa ββ-=-- 从而有 2sin 422qam βω= (2-9) 于是得 2sin 2sin )(22/1qaqa m m ωβω== (2-10)式中,2/1)/(2m m βω=为最大振动角频率。
(2-10)式即为一维单原子链的色散关系,也称频谱分布。
从而一维单原子链中准弹性波的传播速度为λπβπλπωλνλυa m sin )/(22/1=== (2-11) 与波长有关。
一维单原子链的格波(简谐波)具有以下性质:1.所有原子都以相同的角频率ω和振幅A 作简谐振动;2.各原子之间有一均匀变化的位相差。
位相差的大小由原子之间的距离a 和波长q πλ2=决定。
近邻原子间的位相差为a a q λπ2=; 3.如果两个波矢'q q 和之间存在以下关系l aq q π2'+= (l 为任意整数) (2-12) 则相应于这两个波矢的格波所引起的原子振动是相同的。
**因为,对于'q 格波,原子振动为[][]t)-ex p )2ex p()(ex p 2(ex p 'ωπωωπqna A nl i t qna i A t na l a q i A u n ()=-=⎥⎦⎤⎢⎣⎡-+= =u n (2-13)与波矢为q 的格波所引起的原子的振动相同。
因此,当q 在2π/a 的范围内变化时,能够给出所有的独立格波。
为了明确起见,通常限制 aq a ππ<≤-(2-14)波矢q 的这一变化范围,称为第一布里渊区。
格波之所以具有上述性质,是因为晶体中的原子不是连续分布,而是周期排列的。
由于q 在aaππ和-之间取值,故当aq π=max 时,相应的格波波长最小,为a q 22maxmin ==πλ。
这个结果的物理意义λ=6a(q=2π/6a)λ=6a/7(q=7*2π/6a)λ=2a(q=π/a)是很清楚的。
因为在晶格中不可能存在半波长比晶格常数a小的格波。
图2-3中,画出了)6(62aaq==λπ和)2(aaq==λπ的两个格波。
而)7/6(62*7aaq==λπ的简谐波与aq62π=的格波相差aπ2,但半波长小于a,故不属于格波。
图2-3 一维单原子链中不同波长的格波§2-3 一维双原子链的振动如图2-4所示,假设在质量为m1和m2的两种原子组成的晶格常数为a的一维晶体中,分别用序列号'n和"n标志第n个原胞中的m1和m2原子,用'nu和"nu表示'n和"n原子的位移,并认为相邻原子之间的准弹性力常数β相等,则可仿照一维单原子链情况,写出以下两种原子的运动方程'"1"2'212(nnnn uuudtudm-+=-β))2("''12"22nnnn uuudtudm-+=+β(2-15)上述方程的解为[])(ex p1'tqnaiAunω-=[])(ex p 2"t qna i A u nω-= 3,2,1,0±±±=n (2-16) 将(2-16)代入(2-15)得0)1()2(2121=+---A e A m iqa βωβ0)2()1(2221=--+A m A e iqa ωββ (2-17) 这是一个二元线性齐次联立方程组。
若要A 1和A 2不同时为零,则其系数行列式必等于零。
即)2()1()1()2(2221ωβββωβm e e m iqa iqa -++--=0 (2-18) 利用qa e e iqa iqa cos 2=+-和2sin 2cos 12qaqa =-,可得 02sin 422212221214=++-qam m m m m m βωβω (2-19)从而有⎥⎦⎤⎢⎣⎡-+=2sin 112222021qa r ωω⎥⎦⎤⎢⎣⎡--=2sin 112222022qa r ωω (2-20) 式中,212122m m m m +=βω,221212)(4m m m m r +=。
由(2-20)可知,每个q 对应两个ω(负ω无意义)。
因此,在原胞中有两个原子的一维晶体中有两支振动波(格波),其中频率较高者与晶体的光学性质有关,通常称光学波。
而频率较低者则与宏观弹性波(声波)有密切关系,通常称声学波。
图2-5给出了一维双原子链振动频率与波矢之间的色散关系。
下面讨论两种极端情况,即对波长最长和最短的格波进行讨论。
1)对q=0和q=π/a 有01)0(ωω= , 201112)(r a -+=ωπω0)0(2=ω , 202112)(r a --=ωπω (2-21)从而有 )0()()()0(22101ωπωπωωω〉〉〉=aa =0 (2-22)2)对无限长波长声学波,0)0(2=ω,从而由(2-16)和(2-17)式有121"'==A Au u nn (2-23)即此时两个原子的位移相同。
这意味着无限长声学波中,两个原子的振动是同步的,并在任何时刻它们偏离平衡位置的方向相同,与弹性波类似,故称其为声学波。
3)对无限长波长光学波,最大频率01)0(ωω=。
根据(2-16)和(2-17)式有: 1221"'m mA A u u n n -== (2-24)因此,在无限长光学波中,同一原胞中的两个原子反向位移,位相相反,质量中心不动,即0"2'1=+n nu m u m 。
如果原胞由两个符号不同的离子组成,它们的反位相振动将导致原胞电偶极矩的变化,从而引起红外光的吸收和发射,故称其为光学波。
4)对较长波长格波,即q 较小时,有22sin qaqa ≈,从而(2-20)式中的根号项可展成级数,结果对光学波有:)321(22201q a r -≈ωω (2-25) 当0→q 时,光学波的相速度∞→=qf 1ωυ,而群速度0162201→-==q a r dq d g ωωυ. 而对声学波则有:q q m m araq υβωω=+=≈)(2412102 (2-26) 式中,a K /2=β。
上式表明,对于长声学波,振动频率正比于声速ρβυKm m a=+=)(221且相速度与群速度均等于声速,即:υυυ==g f 。