分振幅干涉.ppt
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§11-2 分振幅干涉 —— 薄膜干涉一、等厚干涉平行光不是垂直入射 结论:光程差不但与膜厚度 有关,还与入射角有关。
平行光垂直入射 结论:光程差与膜厚有关反射光1 单色平行光 反射光2λan1 n2n3θA e单色平行光反射光1 反射光2 aλn1 n2n3θAe1计算1光与2光的光程差:单色平行光反射光1 反射光2 a关键----考虑是否有半波损失 讨论:(1)λn1 > n2 > n3 δ = 2n2 e (2) n1 < n2 < n3 δ = 2n2 e (3) n1 > n2 , n2 < n3 λ δ = 2n2 e + 2 (4) n1 < n2 , n2 > n3n1 n2n3θAe注意:涉及反射 时务必注意是否 存在半波损失!δ = 2n2 e +λ22当薄膜很薄且折射率均匀时,光程差仅与膜厚有关。
因此,膜上厚度相同的各点反射的每一对相干光有 相同的光程差,因此这些点对应同一级条纹,光强 相等。
从垂直于膜面的方向观察,且视场角范围很 小时,薄膜上的干涉条纹与膜表面的等厚线形状相 同,故这种干涉条纹称为等厚干涉条纹,这类干涉 称为等厚干涉。
等厚干涉典型实验:劈尖和牛顿环3二、劈尖空气劈尖分析劈尖的等厚条纹特点 ——光程差是出发点δ = 2ne或δ = 2 ne +λ2厚度相同的点构成同一级条纹1、条纹位置λ ⎧ kλ ⎪ δ = 2ne + = ⎨ λ (2k + 1) 2 ⎪ 2 ⎩ ⎧ kλ ⎪ λ 或 δ = 2ne = ⎨ (2k +1) ⎪ 2 ⎩( k = 1, 2 ,3 , L ) ( k = 0 ,1, 2 , L ) ( k = 0 ,1, 2 , L ) ( k = 0 ,1, 2 , L )θ明纹 暗纹 明纹 暗纹42、相邻明(暗)条纹对应的膜厚差Δe = ek+1 −ek =λ2 nλ2nθλ2n即明(暗)条纹的级次每增加一级,对应的膜厚就增加3、相邻明(暗)条纹间距Δe Δe λ Δl = ≈ = sinθ θ 2nθ若劈尖角固定,则条纹间距固定. 劈尖干涉条纹是等间距的分布.ΔlθΔeek lek+1n劈尖角越小,条纹间距越大,条纹越疏;反之,条纹越密.54、条纹特点对于劈尖角固定的劈尖而言,劈尖干涉条纹是一系列平行 于棱边的明暗相间的等间距的直条纹.5、应用(1)测量微小长度和微小角度λ标 准 块 规 待 测 块 规平晶Δh(2)测量长度的微小变化等厚条纹 平晶(3)检测平面质量待测工件6例1 在半导体元件生产中,为测定硅(Si)表面氧化硅(SiO )薄膜的2厚度,可将该膜一端用化学方法腐蚀成劈尖状。