轮廓仪 校准方法(一)

轮廓仪作业指导书引言概述：轮廓仪是一种用于测量物体外形尺寸和形状的仪器，广泛应用于工业生产、质量控制和科学研究领域。

本文将介绍轮廓仪的操作指导，帮助使用者正确、高效地使用轮廓仪进行测量和分析。

一、准备工作1.1 确认轮廓仪的工作状态：打开轮廓仪电源，检查仪器是否正常运转，确保显示屏幕清晰。

1.2 校准轮廓仪：使用校准块或标准物体对轮廓仪进行校准，确保测量结果准确可靠。

1.3 清洁仪器表面：使用干净软布擦拭轮廓仪表面，保持仪器清洁，避免影响测量精度。

二、测量操作2.1 放置待测物体：将待测物体放置在轮廓仪工作台上，确保物体表面与测量平台平行。

2.2 调整测量参数：根据待测物体的形状和尺寸，调整轮廓仪的测量参数，如扫描速度、分辨率等。

2.3 启动测量：点击仪器的测量按钮开始测量，等待测量完成后，查看测量结果并保存数据。

三、数据分析3.1 数据处理：将测量得到的数据导入计算机软件进行处理，生成物体的三维模型或轮廓图。

3.2 数据比对：将测量结果与标准数据进行比对，分析物体的尺寸、形状是否符合要求。

3.3 数据导出：将分析完成的数据导出保存，以备后续分析或报告使用。

四、维护保养4.1 定期校准：定期对轮廓仪进行校准，确保测量结果的准确性和可靠性。

4.2 清洁保养：定期清洁轮廓仪表面和光学元件，避免灰尘或污渍影响测量精度。

4.3 避免碰撞：在使用过程中避免轮廓仪与硬物碰撞，以免损坏仪器。

五、注意事项5.1 避免高温：轮廓仪应放置在通风干燥的环境中，避免高温或潮湿环境影响仪器性能。

5.2 避免震动：在测量过程中避免轮廓仪受到外部震动干扰，以确保测量结果准确可靠。

5.3 注意安全：使用轮廓仪时注意安全，避免触电或其他意外伤害发生。

结语：通过本文的轮廓仪作业指导书，希望能够帮助使用者正确操作轮廓仪，提高测量效率和准确性，确保测量结果符合要求，为工业生产和科学研究提供可靠的数据支持。

愿本文对您有所帮助！。

轮廓仪的校正方法一、准备：找齐工具：10mm、20mm、40mm各一块，校正表一块，螺丝刀一个、内六角扳手一个，酒精、无尘布二、调试压力:1.把校正表水平放置载物台上，用载物台的台钳轻轻夹住，让探针接触校正表（位置在校正表凹点向内2-3mm），旋转驱动器上下调节手轮至计数器上Z1数据为0，（打开软件新建一个窗口看Z1数据，看软件左侧刻度）读取校正表数值。

（探针下面垫布，防止探针滑落撞击载物台而损坏）2.校正表读数在30±5mmN以内OK，如不在则调整。

3.调整时打开砝码下面驱动器上的盖板，松开砝码上的锁紧螺钉左右调节至校正表读数在30±5mmN以内，然后锁紧砝码上的锁紧螺钉盖上盖板。

三、调水平1.把40mm和20mm标准块用酒精清洗后压在一起，要求无间隙，50mm量块在下面放在载物台。

2.打开软件点软件测量→点调水平→输入测量长度（量块的有效长度20-30之间）→点调水平，测量结束后会弹出测量结果。

3.差值在24um以内则OK，否则调节载物台水平调节螺丝至差值在24um以内。

四、设置补偿条件点软件测量→校正→选择静态校正→点测量→输入量块值（上面一块10mm，10mm与40mm 压在一起成台阶面，台阶面为4-8mm长即可）→点OK→点调水平→点取消→点确定→旋转驱动器上下调节手轮到探接触上一量块上面→继续旋转驱动器上下调节手轮至计数器上Z1数据在2-10之间→点测量开始→把探针水平移至下一量块上面→点确定→点测量开始→输入注释→点OK→点下一步→点下一步→点完成。

五、检测1.完成设置补偿条件后，旋转驱动器上下调节手轮到探接触上一量块上面（距台阶面5mm左右即可）→继续旋转驱动器上下调节手轮至计数器上Z1数据在2-10之间→点测量开始至探针接触下一量块上面并移动2-5mm→点STOP。

2.测量量块落差。

3.如落差与量块实际值相差7um以内则OK，否则重新校正。

文件名称：表面粗糙度轮廓形状复合测量机操作指导书 版次 A 总页数 2 文件编号：MX/J7601-08-30 第 1次修订 页次 1一、操作说明：1、闭合控制柜开关，同时启动电脑，检测轮廓形状时，将驱动器的电源打开。

2、根据检测要求，选择安装对应的检测器，并将检测器存放台的切换开关（SW ）切换到相应的位置。

3、摘下测针保护套，测量机自检完毕后，打开ACCT 测量软件，使测量机进行检测准备阶段。

4、将显示画面切换到测量界面。

5、清洁工件，然后选择对应的工装装夹工件。

6、测量完成，进入分析界面分析检测结果并填写检测报告单，手动返回测针，从工装上取下工件。

二、标准块校正： 1、粗糙度检测校正1.1在粗糙度测量画面中，单击菜单的“校正”并选择其中的“校正”，按校正步骤进行校正。

1.2选择探针为“通常使用的探针”→ 选择校正方法为“利用标准片校正”→ 校正条件的标准值设定为标准片上的值3.21um ，校正倍率选±128um → 将标准片放置在水平调整台上 → 执行校正测量条件的设定：单击“编辑”，选择“基本条件”，测量速度选0.300mm/s ，移动返回速度6.000mm/s ，测量长度5λ，单击滤波器，勾选“使λs 有效”，“比”设300，波长设0.8mm ，单击去除形状，选择最小二乘直线，确定并执行测量。

1.3移动测针至图2位置，点击测量，将测量值与标准块标识的值进行对比，差值在±5%之内即为测针可用。

如果大于±5%，需分析测量出的曲线图（纵横放大倍率分别为2万和2千倍），观察波峰波、谷是否清楚，波峰是否尖锐，否则表示测针磨损或损坏。

图1 校正驱动器标准块的摆放及与测针位置 图2 校正测针标准块的摆放及与测针的位置2、轮廓形状检测校正2.1在轮廓形状测量画面中，单击菜单的“校正”并选择其中的“校正”，按校正步骤进行校正。

2.2选择探针中单击变更，探针设定为“通常使用的探针” 单击属性对校正参数进行设置：LH=348.5，LV=0,K=1,R1=0.025，单击“R1对应值”→ 选择校正方法为“球段差成批校正” 标准球校正装置为“E-MC-S34A/65A ”→ 设定校正条件为“标准球半径为6.35mm ”段差量=16mm,退避量=20mm → 设置校正装置：将16mm 的块规与标准球校正装置组合连接，并水平放置（如图3所示），将探针停在标准球的顶点上方（如图4所示），单击“工具”菜单中的“峰＆谷检测”，选择X 轴，轨迹范围=4mm,测量速度=0.3,检测方法= 圆计算移动速度=3,执行检测，系统自动找准X 方向最高点。

轮廓仪粗糙度仪具有测量精度高，测量范围宽，操作简单，便携，操作稳定等特点，可广泛应用于各种金属和非金属加工表面的检测。

该仪器是与传感器主机集成的口袋大小的仪器。

具有手持功能，更适合在生产现场使用。

一、轮廓仪粗糙度仪工作环境1，室温23±5之间;2.房间的相对温度不超过65％;3.在无振动的环境中;4.周围没有腐蚀性介质;5.电源电压：AC220 / 50HZ。

二、测试时的安装点1.正确的固定驱动检测部件和工件测量过程需要确保驱动检测部件和测量表面不移位。

当将驱动检测部分连接到高度计等时，牢固地固定驱动检测部分。

2.让测针（探针）正确接触测量表面。

确保探测器的触针正确接触测量表面，并且探测器与测量表面平行。

三、测量前的准备上电后检查电池电压是否正常;擦拭待测工件表面;将仪器正确，平稳，可靠地放置在待测表面上。

传感器的滑动路径必须垂直于待测量工件表面的加工纹理的方向。

注意：正确，标准化的操作是准确测量结果的先决条件。

四、开关机按下开关键约2秒钟后，仪器将自动开启。

上电后，将显示仪器型号，名称和制造商信息，然后将显示基本测量状态的主显示界面，如图所示。

注意：1。

下次打开电源时，将显示上次关机时设置的内容。

2.打开和关闭电源时，按住开关键约2秒钟以执行相应的操作。

3.当仪器长时间不使用时，应关闭仪器侧面的主电源开关。

4.安装传感器时，请在开始测量时参考触控笔的位置。

尝试将手写笔位置光标调整到最佳“0”位置。

五、设定点1牢固地固定驱动部件和测量对象为确保驱动部件在测量过程中不会偏离，驱动部件和测量对象牢固地固定。

特别是，当驱动单元安装在诸如高度计的装置上时，需要非常小心。

2将产品正确安装在测量对象上。

使测针正确接触测量表面，探测器与测量表面平行。

六、纠正操作（1）将表面粗糙度标准片和产品放在工作台上进行校准（2）按以下顺序更改画面：主画面→主菜单画面→校正测量画面显示当前登录的校正值。

（3）将显示的校正值与表面粗糙度标准片的标准值进行比较。

轮廓仪校准方法
1. 轮廓仪校准是确保轮廓仪在测量中提供准确结果的重要步骤。

2. 校准方法主要包括机械校准和软件校准两种方式。

3. 机械校准是通过调整轮廓仪的机械结构以保证测量的准确性。

这种方法适用于机械结构存在变形或磨损的情况。

4. 机械校准的步骤包括调整轨道导轨、调整传感器位置、校准测量范围等。

5. 软件校准是通过调整软件参数以提高测量的准确性。

这种方法适用于软件算法存在误差或参数设置不正确的情况。

6. 软件校准的步骤包括校准图像清晰度、校准灰度值、校准测量范围等。

7. 在进行轮廓仪校准时，需要使用参考物体进行比对和校准。

参考物体应具备稳定的形状和尺寸，并具备已知的几何特征。

8. 校准过程中需要采用准确的测量工具和仪器来确保校准结果的准确性。

9. 校准的频率应根据轮廓仪的使用情况来定，一般建议至少每年进行一次校准。

10. 校准后应进行验证，即使用标准物体进行测量，与已知的几何特征进行比对，以确保校准结果的准确性。

轮廓仪作业指导书一、概述轮廓仪是一种用于测量物体表面轮廓的仪器，通过扫描物体表面并记录数据，可以获取物体的三维轮廓信息。

本作业指导书旨在为使用轮廓仪进行测量的操作人员提供详细的指导，确保测量结果准确可靠。

二、操作准备1. 确保轮廓仪处于正常工作状态，检查仪器的电源、通讯线路等是否连接稳固。

2. 清洁测量台面，确保表面平整无杂物。

3. 校准轮廓仪，按照仪器的使用说明进行校准操作。

三、测量步骤1. 将待测物体放置在测量台面上，并固定好，确保物体不会移动或晃动。

2. 打开轮廓仪的软件界面，选择适当的测量模式和参数设置。

3. 在软件界面上选择开始测量，并确保轮廓仪已经开始扫描物体表面。

4. 等待扫描完成后，保存测量数据，并进行数据处理。

5. 根据需要，可以进行多次测量，以提高测量结果的准确性。

四、数据处理1. 导出测量数据，保存为常见的数据格式，如CSV、Excel等。

2. 对测量数据进行清洗，去除异常值或噪声。

3. 根据需要，进行数据平滑处理，以消除测量误差。

4. 进行数据分析，提取所需的轮廓信息，如最大高度、最小高度、曲率等。

5. 可以使用数据可视化工具，将测量结果以图表或三维模型的形式展示出来。

五、注意事项1. 在进行测量时，避免手部或其他物体接触测量台面或待测物体，以免影响测量结果。

2. 避免在强光下进行测量，以免光线干扰导致测量误差。

3. 注意保持测量环境的稳定性，避免风、震动等外界因素对测量结果的影响。

4. 定期对轮廓仪进行维护和保养，保持仪器的正常工作状态。

5. 在使用轮廓仪进行测量时，应遵守相关的安全操作规程，确保人员和设备的安全。

六、常见问题及解决方法1. 问题：测量结果出现异常值。

解决方法：检查待测物体是否有杂物或损坏，重新进行测量；检查轮廓仪的校准情况，重新进行校准。

2. 问题：测量结果不稳定。

解决方法：检查测量环境是否稳定，避免外界因素干扰；检查轮廓仪的固定情况，确保仪器稳定。

3. 问题：无法正常启动轮廓仪软件。

轮廓测量仪操作规程轮廓测量仪操作规程轮廓测量仪能够对各种工件轮廓进行长度、高度、间距、水平距离、垂直距离、角度、圆弧半径等几何参数测量，并且具有强大的CNC功能，能进行一系列操作自动化，可高效率地进行测量作业。

一.操作步骤1．测量前准备。

2．开启电脑、打开机器电源开关、检查机器启动是否正常。

3．擦净工件被测表面。

二.测量1．将测针正确、平稳、可靠地移动在工件被测表而上。

2．工件固定确认工件不会出现松动或者其它因素导致测针与工件相撞的情况出现。

3．在仪器上设置所需的测量条件。

4．开始测量。

测量过程中不可触摸工件更不可人为震动桌子的情况产生。

5.测量量完毕，根据图纸对结果进行分析，标出结果，并保存、打印。

三.保养1．每天开机前及测量完毕后用高织纱棉布沾无水酒精清洁工装表面、测针、轨道。

2．平时不使用时将所有电源关闭，且将测针的保护套套上。

3．严禁用扫帚清扫地面，以免灰尘扬起。

4．对仪器进行全面的维护和精度调整。

四.维护1.测力标定如图1所示。

此界面用于对测针扫描时测量力的设置。

（图1）测力标定界面测力标定示意图，如图2所示。

（图2）测力标定示意图注意：请在专业人员的指导下进行测力标定和测杆摆动调整！下针尖测力设置：如图2所示。

1)把电子称放置在测量位置下方，把电子称清零（注意：电子称开机后自动清零，电子称显示的单位应为“g”）。

2)控制测针移到电子称上方。

3)软件上先设置“测力大小”（普通工件测力一般为7g），然后点击“设置”按钮，则输入框变为可编辑状态。

4)点击“向下测力”（绿色标志表示选中），此时测针向下接触电子称。

5)同时在主界面观察Z0光栅值，看摆杆是否处于水平位置（注意：测力标定应在摆杆处于水平位置时进行操作，摆杆处于水平位置时的Z0光栅值主要由机械安装确定，一般情况下，此时Z0光栅值等于0.000mm，具体参数见“测力标定”界面的提示值），若不处于水平位置，则上下移动Z 轴使Z0光栅值等于提示值即可。

MAHR XC20轮廓仪测针的建立及测针校准步骤：1．开启软件：点击“Marsurf XC20”图标。

进入软件，击活控制面板上绿色电控按纽。

软件提示：执行参考点。

如果测针有建立并加载，点击“确定”；如果测针没有建立，点击“取消”进入‘测头系统’页面。

如下图，建立测针系统点击“定义测杆数据”图标选择“创建新的测头系统”，去创建测头，如果测头已经建立，请跳过此选项。

在下拉菜单中选择与仪器匹配对应的传感器类型，如：PCV，CD120，CD200等，具体所对应选项需在“配置”中加载。

选择后点击‘下一步’。

输入对应的传感器序列号，点选“下一步”点“Finish”确认创建的测头。

在测头系统中调用建立的测头，如下图。

2．创建测针点选“创建测杆数据”选项 –选择“创建新测杆单元”，点“下一步”，如下：在下拉菜单中选择你需要的测针类型，如“PCV350x33mm”,它表示PCV -- 传感器350 -- 测杆长度，33 测针长度。

点“下一步”输入‘新的测针名称’，如“Long”. 点“下一步”点“下一步”点“下一步”点“Finish”,结束。

在“测头系统”中选择新建的测针，如下图。

更换并导入测针，点“确定”显示测针参数讯息。

测针的校准在校准前，请将标准件准备好：A．标准玻璃球（校准球参数）B．标准测力环（标准重量）点选“测头系统” --- “校准测杆单元”输入校准间隔时间，勾选“校准项目”，如下图，点“启动”。

1．测力校准根据校准标准件上所标注，输入校准重量。

将测头移到安全位置，避免碰撞。

点“OK”确认点选“∨”（钩）。

如下图。

测针Z方向全程运行。

出现下列提示，将标准重量环放置到测杆顶端。

然后点“OK”出现下列提示后拿下标准重力环，点“OK”测力校准完成。

2．测头弯曲度校准将测针移到一光滑坚硬的表面，并接触。

测针Z方向调整示值大约为0。

确认点选钩。

测针弯曲校准中。

完成弯曲校准，点选“确定”选“向下”接触。

3．测针几何校准在下列界面里输入对应标准球的参数及校准所使用之角度，如下图：点“OK”点“OK”将标准球（大球）大致放置在测针针尖下，对应顶点最高点后，自动接触，调整调心工作台，找到TX，TY最高点，并将Z高度调整到允许区间，如下：调整好后，点选钩。

轮廓仪新测头校正步骤按开机步骤开机后，进入如图视窗，点击红色方框区域F8显示如图视窗，点击probe显示如图视窗，选择测针型号：WCD TA60，编号10133（新测针也可编著新的编号），点击ok进入在显示画面上点击F6选择一个量测模式，点击open进入如图视窗，点击F6，进入量测界面将陶瓷底座、标准块（60mm)放置于治具上1、调整测针与标准块上端接触，并利用键盘上的“↑”“↓”（或图右边红色线框中的↑和↓线圈）将测针位置调节到30000um处（如图左边红色线框所示2、然后点击图下方红色框内F10跳出如图对话框，选择量测范围±30000um并于下面框内打“√”，点击“next”进入下一步骤跳出此视窗，点击“next”进入下一步骤出现此视窗继续点击“next”跳出此视窗，将标准块从陶瓷底座上移走，点击“NEXT”注意：要留出足够的横向距离，防止测杆与标准块碰撞测头接触底座完成后，会出现右图对话框，点击红色方框中的“check prote toctor”进入下一步骤出现如图视窗后，再将标准块移至量测位置（如下图），点击“next”继续继续点击“next”出现如图视窗，将标准块移走并点击“next”继续出现如图“笑脸”视窗，点击finished完成，并移走陶瓷底座并同标准块存放适当位置继续回到如图视窗，进行标准陶瓷球校正将标准球放置于固定治具上，注意应使标准球的底座上的三个钢球固定于治具的横竖沟槽内点击图左红色线框内的图标，显示如图对话框，在对话框红色框内输入位置值20mm，点击OK继续进入此界面后（注意线框内的值），将测针找到陶瓷球最高点，并压下至7500um位置，再点击F7继续出现此视窗，输入测针移动距离：20量测节距：1量测速度：0.记录点数（自动生成）量测时间（自动生成）再点击OK继续回到此界面，点击红色方框内F12出现此视窗，按“next”继续此视窗输入标准球半径（14.99925），点击 “next”继续出现此视窗，按“next”继续（执行标准球的校正）在此视窗中，点击“finished”完成点击图左红色线框内的图标，显示如图对话框，在对话框红色框内输入位置值6mm，点击OK继续探针将自动执行量测量测过程将由左图蓝色线框中的红色曲线表示量测完毕后，一直点击弹出对话框中的“OK”，直至出现左图画面。

注意事项
1.在运行软件前，先将轮廓测量探针装上。

2.测量零件表面时，注意设定好探针摆动预留量。

3.粗糙度测量，小探针只能测量弦高小于1mm的零件圆弧表面。

大探针，只能
测量弦高小于2mm的零件圆弧表面。

部分问题及解决方法
1.问题：轮廓探针测量过程，接触力为0.01N时，点接触时，探针下移一小段后停止，没
有接触零件表面，0.02N时，可以测量。

校准过程中也是类似问题。

解决方案：按照以下图示调整探针后面配重，重新校准探针。

2.问题：校准过程，轮廓校准完小球时，出现以下图示错误提示：
解决方案：在分别进行大球或者小球轮廓校准时，先将探针往后移动（X轴正方向移动）一段距离，然后再找大小球最高点，进行校准。

3问题：粗糙度测量问题。

探针接触表面时，出现问题并停止运行。

出现提示框（error collision detect），导致无法测量粗糙度。

解决方案：1. 应该是撞针保护，注意看下测头显示值是否是向上红色，如果是，用手轻碰一下测针，让他往下。

2.探针移近表面，点接触，看测头显示是否为零值附近。

然后到测量设置界面看OK提示是否为亮。

或者，在测量设置里，置零一栏改为OFF状态试试后，再改回原值。

MAHR XC20轮廓仪测针的建立及测针校准步骤：1．开启软件：点击“Marsurf XC20”图标。

进入软件，击活控制面板上绿色电控按纽。

软件提示：执行参考点。

如果测针有建立并加载，点击“确定”；如果测针没有建立，点击“取消”进入‘测头系统’页面。

如下图，建立测针系统点击“定义测杆数据”图标选择“创建新的测头系统”，去创建测头，如果测头已经建立，请跳过此选项。

在下拉菜单中选择与仪器匹配对应的传感器类型，如：PCV，CD120，CD200等，具体所对应选项需在“配置”中加载。

选择后点击‘下一步’。

输入对应的传感器序列号，点选“下一步”点“Finish”确认创建的测头。

在测头系统中调用建立的测头，如下图。

2．创建测针点选“创建测杆数据”选项 –选择“创建新测杆单元”，点“下一步”，如下：在下拉菜单中选择你需要的测针类型，如“PCV350x33mm”,它表示PCV -- 传感器350 -- 测杆长度，33 测针长度。

点“下一步”输入‘新的测针名称’，如“Long”. 点“下一步”点“下一步”点“下一步”点“Finish”,结束。

在“测头系统”中选择新建的测针，如下图。

更换并导入测针，点“确定”显示测针参数讯息。

测针的校准在校准前，请将标准件准备好：A．标准玻璃球（校准球参数）B．标准测力环（标准重量）点选“测头系统” --- “校准测杆单元”输入校准间隔时间，勾选“校准项目”，如下图，点“启动”。

1．测力校准根据校准标准件上所标注，输入校准重量。

将测头移到安全位置，避免碰撞。

点“OK”确认点选“∨”（钩）。

如下图。

测针Z方向全程运行。

出现下列提示，将标准重量环放置到测杆顶端。

然后点“OK”出现下列提示后拿下标准重力环，点“OK”测力校准完成。

2．测头弯曲度校准将测针移到一光滑坚硬的表面，并接触。

测针Z方向调整示值大约为0。

确认点选钩。

测针弯曲校准中。

完成弯曲校准，点选“确定”选“向下”接触。

3．测针几何校准在下列界面里输入对应标准球的参数及校准所使用之角度，如下图：点“OK”点“OK”将标准球（大球）大致放置在测针针尖下，对应顶点最高点后，自动接触，调整调心工作台，找到TX，TY最高点，并将Z高度调整到允许区间，如下：调整好后，点选钩。

轮廓测量仪校准阶规测量方法与测量不确定度评定摘要三维轮廓扫描仪校准所用的校准阶规，其关键尺寸的溯源情况对三维轮廓扫描仪使用中的准确性起到重要影响，本文针对校准阶规关键尺寸的高精度测量方法开展研究。

针对其端面尺寸特点，应用二等量块与电脑量块比较仪开展测量，并进行测量不确定度评定。

结果表明，该方法可解决拥有较高精度的校准阶规的计量溯源问题。

关键词：轮廓扫描仪；校准阶规；测量不确定度；1 引言近年来飞秒激光、皮秒激光等微纳加工技术不断发展，已成为现代加工技术的又一发展趋势[1-2]。

微纳加工技术已经广泛应用于微机械系统、集成电路、半导体器件领域，而与之相关的微纳表面的三维形貌测量技术亦得到广泛关注[3]。

对于微纳表面的三维形貌测量，通常采用3D轮廓扫描仪开展，目前该仪器通常采用触针式、干涉显微式、扫描电子显微镜式、非接触光学式等原理实现测量[4]。

对于轮廓测量仪的校准，我国没有专门的计量校准规范可供使用，目前该仪器在使用中常利用其配套的校准阶规进行校准。

从溯源的角度来看，校准阶规的关键尺寸应定期进行溯源，从而保证仪器的准确性，因此亟需提出针对这类量规的专用校准方法，保证轮廓测量仪在使用中的准确性。

2测量方法校准阶规通常依据仪器特点有不同的型式，本文以基恩士VR系列轮廓测量仪配套的校准阶规为例，该阶规具有深度为2mm的端面尺寸特征，其测量精度要求较高，达到微纳量级，因此参考量块的检定过程[5]，利用电脑量块比较仪和二等量块进行比较测量。

由于阶规上工作面高度25mm，下工作面高度23mm，台阶深度2mm，因此选用相同规格的量块进行比较测量。

在对校准阶规与二等量块进行充分恒温后，用电脑量块比较仪分别读出校准阶规的上、下工作端面与标准量块的微差，从而实现高精度的测量。

图1 校准方法示意图Fig.1Schematic diagram of calibration principle3测量不确定度评定3.1 测量模型阶规2mm台阶的深度测量模型为：其中：，，——阶规在20℃时的被检中心尺寸、线膨胀系数和温度；，，，——在20℃时25mm规格二等量块中心长度，23mm规格二等量块中心长度，量块的线膨胀系数和量块温度；，——电脑量块比较仪的测得值；——测点偏离标准量块中心所产生的误差，此值无法确定，其大小与测点对中心的偏移量有关。

触针式电动轮廓仪检定/校准实施细则1．适用范围本细则适用于触针式电动轮廓仪的检定/校准工作的实施。

2．依据文件JJF1105—2003《触针式表面粗糙度测量仪校准规范》。

3. 检定/校准前的准备3.1 标准设备的准备检查标准器多刻线样板是否在有效期内及工作面的状况。

在检定室内恒温不少于4h。

3.2被检测/校准仪器的准备a.核对是否属本细则范围。

b.仪器在温度20℃—30℃，恒温不少于4h。

3.3. 使用的文件、资料、记录、证书的准备。

JJF1105—2003《触针式表面粗糙度测量仪校准规范》。

b.原始记录。

c.检定记录。

3.4 检定/校准环境条件检查及记录。

检定时应对室温、湿度进行记录。

4. 检定/校准步骤a.在检定过程中不允许碰撞仪器的传感器。

b.仪器各活动部分运动时应平稳、灵活，连接部分应连接方便，接触良好。

固紧部分应牢靠。

c.测量前指针应指零。

用一组多刻线样板分别依次对各挡垂直放大和各行程长度进行检定，在样板工作面的三个不同位置上各测量三次。

取其平均值，按下列公式计算示值误差。

δ=（R a－R a0）/ R a0×100R a——读数平均值R a0——多刻线样板检定值（μm）5.对可疑数据处理检查多刻线样板是否清洗干净。

触针接触是否良好。

仪器换挡是否符合要求等。

6.意外情况处理a.断开电源。

b.做出相应处理和记录。

7.检定记录及处理a.温度记录、湿度记录。

b.检定日期记录。

c.对意外情况要记录。

8.检定后的作业a.对检定/校准设备，做仪器正常状态检查，并作作使用记录进行日常维护。

b.数据处理按照检定规程要求进行数据处理，并给出测量结果或测量不确定度。

c.打印证书。

d.复核记录，数据、证书。

e.核验员，室主任签字。

f.填写检定/校准收费三联单。

g.将证书、检定/校准原始记录、检定/校准收费及收费三联单及被检样品交仪器收发室。