半导体物理第十章3
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《半导体物理学》课程教案大纲一、课程说明(一)课程名称:《半导体物理学》所属专业:物理学(电子材料和器件工程方向)课程性质:专业课学分:学分(二)课程简介、目标与任务:《半导体物理学》是物理学专业(电子材料和器件工程方向)本科生的一门必修课程。
通过学习本课程,使学生掌握半导体物理学中的基本概念、基本理论和基本规律,培养学生分析和应用半导体各种物理效应解决实际问题的能力,同时为后继课程的学习奠定基础。
本课程的任务是从微观上解释发生在半导体中的宏观物理现象,研究并揭示微观机理;重点学习半导体中的电子状态及载流子的统计分布规律,学习半导体中载流子的输运理论及相关规律;学习载流子在输运过程中所发生的宏观物理现象;学习半导体的基本结构及其表面、界面问题。
(三)先修课程要求,与先修课与后续相关课程之间的逻辑关系和内容衔接:本课程的先修课程包括热力学与统计物理学、量子力学和固体物理学,学生应掌握这些先修课程中必要的知识。
通过本课程的学习为后继《半导体器件》、《晶体管原理》等课程的学习奠定基础。
(四)教材与主要参考书:[]刘恩科,朱秉升,罗晋生. 半导体物理学(第版)[]. 北京:电子工业出版社. .[]黄昆,谢希德. 半导体物理学[]. 北京:科学出版社. .[]叶良修.半导体物理学(第版)[]. 上册. 北京:高等教育出版社. .[]. . , ( .), , , .二、课程内容与安排第一章半导体中的电子状态第一节半导体的晶格结构和结合性质第二节半导体中的电子状态和能带第三节半导体中电子的运动有效质量第四节本征半导体的导电机构空穴第五节回旋共振第六节硅和锗的能带结构第七节族化合物半导体的能带结构第八节族化合物半导体的能带结构第九节合金的能带第十节宽禁带半导体材料(一)教案方法与学时分配课堂讲授,大约学时。
限于学时,第节可不讲授,学生可自学。
(二)内容及基本要求本章将先修课程《固体物理学》中所学的晶体结构、单电子近似和能带的知识应用到半导体中,要求深入理解并重点掌握半导体中的电子状态(导带、价带、禁带及其宽度);掌握有效质量、空穴的概念以及硅和砷化镓的能带结构;了解回旋共振实验的目的、意义和原理。
§10.5 半导体发光一、辐射复合半导体中电子从高能量状态向较低能量状态跃迁并伴随发射光子的过程。
主要有两种:1、本征辐射复合(带-带复合)导带电子跃迁到价带与空穴复合的过程称为本征跃迁,本征跃迁伴随发射光子的过程称为本征辐射复合。
对于直接禁带半导体,本征跃迁为直接辐射复合,全过程只涉及一个电子-空穴对和一个光子,辐射效率较高。
II-VI 族和具有直接禁带的部分III-V 族化合物的主要发光过程属于这种类型。
对于间接禁带半导体,本征跃迁必须借助声子,因而是间接复合。
其中包含不发射光子的多声子无辐射复合过程和同时发射光子和声子的间接辐射复合过程。
因此,间接禁带半导体中发生本征辐射复合的几率较小,辐射效率低。
Ge 、Si 、SiC 和具有间接禁带的部分III-Ⅴ族化合物的本征复合发光属于这种类型,发光比较微弱。
因为带内高能状态是非稳状态,载流子即便受激进入这些状态也会很快通过“热化”过程加入导带底或价带顶。
显然,带间跃迁所发射的光子能量与E g 有关。
对直接跃迁,发射光子的能量满足g E h =ν对间接跃迁,在发射光子的同时,还要发射声子,因而光子能量应满足p g E E h -=ν其中E p 是声子能量。
2、非本征辐射复合涉及杂质能级的辐射复合称为非本征辐射复合。
在这种过程中,电子从导带跃迁到杂质能级,或从杂质能级跃迁到价带,或仅仅在杂质能级之间跃迁。
由于这种跃迁不受选择定则的限制,发生的几率也很高,是间接禁带半导体,特别是宽禁带发光材料中的主要辐射复合机构。
下面着重讨论电子在施主与受主杂质之间的跃迁,如图10-22所示。
当半导体中同时存在施主和受主杂质时,两者之间的库仑作用力使受激态能量增大,其增量△E 与施主和受主杂质之间距离r 成反比。
当电子从施主向受主跃迁时,若没有声子参与,发射光子能量为)4/()(02r q E E E h r A D g επεν++-=式中E D 和E A 分别代表施主和受主的束缚能,εr 是发光材料的相对介电常数。
第一章 半导体中的电子状态1.导体、半导体、绝缘体的划分:Ⅰ导体内部存在部分充满的能带,在电场作用下形成电流;Ⅱ绝缘体内部不存在部分充满的能带,在电场作用下无电流产生; Ⅲ半导体的价带是完全充满的,但与之上面靠近的能带间的能隙很小,电子易被激发到上面的能带,使这两个能带都变成部分充满,使固体导电。
2.电子的有效质量是*n m ,空穴的有效质量是*p m ;**np m m -=,电量等值反号,波矢k 与电子相同 能带底电子的有效质量是正值,能带顶电子的有效质量是负值。
能带底空穴的有效质量是负值,能带顶空穴的有效质量是正值。
3.半导体中电子所受的外力dtdkh f ⋅=的计算。
4.引进有效质量的意义:概括了半导体内部势场的作用,使得在解决半导体中电子在外力作用下的运动规律时,可以不涉及半导体内部势场的作用。
第二章 半导体中杂质和缺陷能级1.施主能级:被施主杂质束缚的电子的能量状态称为施主能级E D ;施主能级很接近于导带底;受主能级:被受主杂质束缚的空穴的能量状态称为受主能级E A ;受主能级很接近于价带顶。
施主能级图 受主能级图2.浅能级杂质:杂质的电离能远小于本征半导体禁带宽度的杂质,电离后向相应的能带提供电子或空穴。
深能级杂质:能级位于禁带中央位置附近,距离相应允带差值较大。
深能级杂质起复合中心、陷阱作用;浅能级杂质起施主、受主作用。
3.杂质的补偿作用:半导体中同时含有施主和受主杂质,施主和受主先相互抵消,剩余的杂质发生电离。
在Ⅲ-Ⅴ族半导体中(Ga-As )掺入Ⅳ族杂质原子(Si ),Si 为两性杂质,既可作施主,亦可作受主。
设315100.1-⨯=cm N A ,316101.1-⨯=cm N D ;则316100.1-⨯=-=cm N N n A D 由p n n i ⋅=2,可得p 值;①p n ≈时,近似认为本征半导体,i F E E =;②p n μμ=时,本征电导p n σσ=; p n >>时,杂质能级靠近导带底;第三章 半导体中载流子的统计分布1.费米分布函数(简并半导体)⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛⋅-+=Tk E E E f F 0exp 11)((本征);⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛⋅-+=T k E E E f F 0exp 2111)((杂质);玻尔兹曼分布函数(非简并半导体) ⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛⋅-=T k E A E f B0exp )(;2.费米能级:TF N F E ⎪⎭⎫⎝⎛∂∂==μ;系统处于热平衡状态,也不对外界做功的情况下,系统中增加一个电子所引起系统自由能的变化,等于系统的化学势,也就是等于系统的费米能级。
一、半导体物理知识大纲➢核心知识单元A:半导体电子状态与能级(课程基础——掌握物理概念与物理过程、是后面知识的基础)→半导体中的电子状态(第1章)→半导体中的杂质和缺陷能级(第2章)➢核心知识单元B:半导体载流子统计分布与输运(课程重点——掌握物理概念、掌握物理过程的分析方法、相关参数的计算方法)→半导体中载流子的统计分布(第3章)→半导体的导电性(第4章)→非平衡载流子(第5章)➢核心知识单元C:半导体的基本效应(物理效应与应用——掌握各种半导体物理效应、分析其产生的物理机理、掌握具体的应用)→半导体光学性质(第10章)→半导体热电性质(第11章)→半导体磁和压阻效应(第12章)二、半导体物理知识点和考点总结第一章半导体中的电子状态本章各节内容提要:本章主要讨论半导体中电子的运动状态。
主要介绍了半导体的几种常见晶体结构,半导体中能带的形成,半导体中电子的状态和能带特点,在讲解半导体中电子的运动时,引入了有效质量的概念。
阐述本征半导体的导电机构,引入了空穴散射的概念。
最后,介绍了Si、Ge和GaAs的能带结构。
在1.1节,半导体的几种常见晶体结构及结合性质。
(重点掌握)在1.2节,为了深入理解能带的形成,介绍了电子的共有化运动。
介绍半导体中电子的状态和能带特点,并对导体、半导体和绝缘体的能带进行比较,在此基础上引入本征激发的概念。
(重点掌握)在1.3节,引入有效质量的概念。
讨论半导体中电子的平均速度和加速度。
(重点掌握)在1.4节,阐述本征半导体的导电机构,由此引入了空穴散射的概念,得到空穴的特点。
(重点掌握)在1.5节,介绍回旋共振测试有效质量的原理和方法。
(理解即可)在1.6节,介绍Si、Ge的能带结构。
(掌握能带结构特征)在1.7节,介绍Ⅲ-Ⅴ族化合物的能带结构,主要了解GaAs的能带结构。
(掌握能带结构特征)本章重难点:重点:1、半导体硅、锗的晶体结构(金刚石型结构)及其特点;三五族化合物半导体的闪锌矿型结构及其特点。
第10章 半导体的光学性质和光电与发光现象补充题:对厚度为d 、折射率为n 的均匀半导体薄片,考虑界面对入射光的多次反射,试推导其总透射率T 的表达式,并由此解出用透射率测试结果计算材料对光的吸收系数α的公式。
解:对上图所示的一个夹在空气中的半导体薄片,设其厚度为d ,薄片与空气的两个界面具有相同的反射率R 。
当有波长为λ、强度为I 0的单色光自晶片右侧垂直入射,在界面处反射掉I 0R 部分后,其剩余部分(1-R)I 0进入薄片向左侧传播。
设材料对入射光的吸收系数为α ,则光在薄片中一边传播一边按指数规律exp(-αx )衰减,到达左边边界时其强度业已衰减为(1-R)I 0exp(-αd )。
这个强度的光在这里分为两部分:一部分为反射光,其强度为R(1-R)I 0exp(-αd );另一部分为透出界面的初级透射光,其强度为(1-R)2I 0exp(-αd )。
左边界的初级反射光经过晶片的吸收返回右边界时,其强度为R(1-R)I 0exp(-2αd ),这部分光在右边界的内侧再次分为反射光和透射光两部分,其反射光强度为R 2(1-R)I 0exp(-2αd ),反射回到左边界时再次被衰减了exp(-αd )倍,即其强度衰减为R 2(1-R)I 0exp(-3αd )。
这部分光在左边界再次分为两部分,其R 2(1-R)2I 0exp(-3αd )部分透出晶片,成为次级透射光。
如此类推,多次反射产生的各级透射光的强度构成了一个以 (1-R)2I 0exp(-αd )为首项,R 2exp(-2αd )为公共比的等比数列。
于是,在左边界外测量到的总透过率可用等比数列求和的公式表示为()22211d id i Re T T R e αα---==-∑由上式可反解出用薄片的透射率测试值求材料吸收吸收的如下计算公式410ln()2A d Tα-+=- 式中,薄片厚度d 的单位为μm ,吸收系数α的单位为cm -1,参数A ,B 分别为21R A R -⎛⎫= ⎪⎝⎭;21R B =空气 薄片 空气入射光I 0 反射光I 0R1.一棒状光电导体长为l ,截面积为S 。
Chapter 1010.1(a) p-type; inversion (b) p-type; depletion (c) p-type; accumulation (d) n-type; inversion_______________________________________ 10.2(a) (i) ⎪⎪⎭⎫⎝⎛=i a t fp n N V ln φ ()⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛⨯⨯=1015105.1107ln 0259.0 3381.0=V 2/14⎥⎦⎤⎢⎣⎡∈=a fp s dTeN x φ()()()()()2/1151914107106.13381.01085.87.114⎥⎦⎤⎢⎣⎡⨯⨯⨯=--51054.3-⨯=cm or μ354.0=dT x m(ii) ()⎪⎪⎭⎫⎝⎛⨯⨯=1016105.1103ln 0259.0fp φ3758.0=V ()()()()()2/1161914103106.13758.01085.87.114⎥⎦⎤⎢⎣⎡⨯⨯⨯=--dTx51080.1-⨯=cmor μ180.0=dT x m(b) ()03022.03003500259.0=⎪⎭⎫⎝⎛=kT V⎪⎪⎭⎫⎝⎛-=kT E N N n g c i exp 2υ ()()319193003501004.1108.2⎪⎭⎫⎝⎛⨯⨯=⎪⎭⎫⎝⎛-⨯03022.012.1exp221071.3⨯=so 111093.1⨯=i n cm 3-(i)()⎪⎪⎭⎫⎝⎛⨯⨯=11151093.1107ln 03022.0fp φ3173.0=V()()()()()2/1151914107106.13173.01085.87.114⎥⎦⎤⎢⎣⎡⨯⨯⨯=--dT x51043.3-⨯=cm or μ343.0=dT x m(ii) ()⎪⎪⎭⎫⎝⎛⨯⨯=11161093.1103ln 03022.0fp φ3613.0=V()()()()()2/1161914103106.13613.01085.87.114⎥⎦⎤⎢⎣⎡⨯⨯⨯=--dT x51077.1-⨯=cm or μ177.0=dT x m_______________________________________ 10.3(a) ()2/14m ax ⎥⎦⎤⎢⎣⎡∈=='d fn s d dT d SDeN eN x eN Q φ()()[]2/14fns d eN φ∈=1st approximation: Let 30.0=fn φV Then()281025.1-⨯()()()()()()[]30.01085.87.114106.11419--⨯⨯=dN 141086.7⨯=⇒d N cm 3-2nd approximation:()2814.0105.11086.7ln 0259.01014=⎪⎪⎭⎫⎝⎛⨯⨯=fn φV Then ()281025.1-⨯()()()()()()[]2814.01085.87.114106.11419--⨯⨯=d N 141038.8⨯=⇒d N cm 3-(b) ()2831.0105.11038.8ln 0259.01014=⎪⎪⎭⎫⎝⎛⨯⨯=fn φV()566.02831.022===fn s φφV _______________________________________10.4 p-type silicon (a) Aluminum gate ⎥⎥⎦⎤⎢⎢⎣⎡⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛++'-'=fp g m ms e E φχφφ2 We have ⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛=i a t fp n N V ln φ ()334.0105.1106ln 0259.01015=⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛⨯⨯=V Then()[]334.056.025.320.3++-=ms φ or 944.0-=ms φV (b) +n polysilicon gate ⎪⎪⎭⎫⎝⎛+-=fp g ms e E φφ2()334.056.0+-= or 894.0-=ms φV (c) +p polysilicon gate ()334.056.02-=⎪⎪⎭⎫⎝⎛-=fp g ms e E φφ or226.0+=ms φV_______________________________________ 10.5()3832.0105.1104ln 0259.01016=⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛⨯⨯=fp φV ⎪⎪⎭⎫⎝⎛++'-'=fp g m ms e E φχφφ2 ()3832.056.025.320.3++-= 9932.0-=ms φV _______________________________________10.6 (a) 17102⨯≅d N cm 3- (b) Not possible - ms φ is always positive.(c) 15102⨯≅d N cm 3-_______________________________________10.7 From Problem 10.5, 9932.0-=ms φV ox ssms FB C Q V '-=φ (a) ()()814102001085.89.3--⨯⨯=∈=ox ox ox t C 710726.1-⨯=F/cm 2()()7191010726.1106.11059932.0--⨯⨯⨯--=FB V 040.1-=V (b) ()()81410801085.89.3--⨯⨯=ox C 710314.4-⨯=F/cm 2 ()()7191010314.4106.11059932.0--⨯⨯⨯--=FB V012.1-=V _______________________________________10.8 (a) 42.0-≅ms φV 42.0-==ms FB V φV(b) ()()781410726.1102001085.89.3---⨯=⨯⨯=ox C F/cm 2 (i)()()7191010726.1106.1104--⨯⨯⨯-='-=∆ox ss FB C Q V 0371.0-=V (ii)()()7191110726.1106.110--⨯⨯-=∆FB V 0927.0-=V(c) 42.0-==ms FB V φV ()()781410876.2101201085.89.3---⨯=⨯⨯=ox C F/cm 2 (i)()()7191010876.2106.1104--⨯⨯⨯-=∆FB V 0223.0-=V (ii)()()7191110876.2106.110--⨯⨯-=∆FB V0556.0-=V _______________________________________10.9 ⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛++'-'=fp g mms e E φχφφ2 where()365.0105.1102ln 0259.01016=⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛⨯⨯=fp φV Then ()365.056.025.320.3++-=ms φor975.0-=ms φVNowox ss ms FB C Q V '-=φor ()ox FB ms ss C V Q -='φ We have()()814104501085.89.3--⨯⨯=∈=ox ox ox t C or 81067.7-⨯=ox C F/cm 2 So now ()[]()81067.71975.0-⨯⋅---='ssQ 91092.1-⨯=C/cm 2or10102.1⨯='e Q ss cm 2- _______________________________________10.10 ()3653.0105.1102ln 0259.01016=⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛⨯⨯=fp φV ()()()()()2/1161914102106.13653.01085.87.114⎥⎦⎤⎢⎣⎡⨯⨯⨯=--dT x510174.2-⨯=cm()dT a SDx eN Q ='m ax ()()()5161910174.2102106.1--⨯⨯⨯=810958.6-⨯=C/cm 2()()781410301.2101501085.89.3---⨯=⨯⨯=ox C F/cm 2()fp ms ox ss SDTN C Q Q V φφ2max ++'-'= ()()71910810301.2106.110710958.6---⨯⨯⨯-⨯= ()3653.02++ms φ ms φ+=9843.0(a) n + poly gate on p-type: 12.1-≅ms φV 136.012.19843.0-=-=TN V V(b) p + poly gate on p-type: 28.0+≅ms φV 26.128.09843.0+=+=TN V V (c) Al gate on p-type: 95.0-≅ms φV0343.095.09843.0+=-=TN V V_______________________________________10.11 ()3161.0105.1103ln 0259.01015=⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛⨯⨯=fn φV ()()()()()2/1151914103106.13161.01085.87.114⎥⎦⎤⎢⎣⎡⨯⨯⨯=--dT x 510223.5-⨯=cm ()dT d SDx eN Q ='m ax ()()()5151910223.5103106.1--⨯⨯⨯= 810507.2-⨯=C/cm 2 ()()781410301.2101501085.89.3---⨯=⨯⨯=ox C F/cm 2 ()fn ms ox ss SDTP C Q Q V φφ2m ax -+⎥⎥⎦⎤⎢⎢⎣⎡'+'-= ()()⎥⎦⎤⎢⎣⎡⨯⨯⨯+⨯-=---71019810301.2107106.110507.2 ()3161.02-+ms φ ms TP V φ+-=7898.0(a) n + poly gate on n-type: 41.0-≅ms φV 20.141.07898.0-=--=TP V V(b) p + poly gate on n-type: 0.1+≅ms φV 210.00.17898.0+=+-=TP V V (c) Al gate on n-type: 29.0-≅ms φV 08.129.07898.0-=--=TP V V _______________________________________10.12()3294.0105.1105ln 0259.01015=⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛⨯⨯=fp φV The surface potential is ()659.03294.022===fp s φφV We have 90.0-='-=oxssms FB C Q V φV Now()FB s oxSDT V C Q V ++'=φmaxWe obtain 2/14⎥⎦⎤⎢⎣⎡∈=a fp s dTeN x φ()()()()()2/1151914105106.13294.01085.87.114⎥⎦⎤⎢⎣⎡⨯⨯⨯=-- or410413.0-⨯=dT x cm Then()()()()4151910413.0105106.1m ax --⨯⨯⨯='SDQ or()810304.3m ax -⨯='SDQ C/cm 2 We also find()()814104001085.89.3--⨯⨯=∈=ox ox ox t C or810629.8-⨯=ox C F/cm 2 Then90.0659.010629.810304.388-+⨯⨯=--T Vor142.0+=T V V_______________________________________10.13()()814102201085.89.3--⨯⨯=∈=ox ox ox t C 710569.1-⨯=F/cm 2()()1019104106.1⨯⨯='-ssQ 9104.6-⨯=C/cm 2By trial and error, let 16104⨯=a N cm 3-.Now ()⎪⎪⎭⎫⎝⎛⨯⨯=1016105.1104ln 0259.0fp φ3832.0=V()()()()()2/1161914104106.13832.01085.87.114⎥⎦⎤⎢⎣⎡⨯⨯⨯=--dT x 510575.1-⨯=cm ()m ax SDQ ' ()()()5161910575.1104106.1--⨯⨯⨯= 710008.1-⨯=C/cm 294.0-≅ms φV Then()fp ms oxss SDTN C Q Q V φφ2max ++'-'=79710569.1104.610008.1---⨯⨯-⨯=()3832.0294.0+- Then 428.0=TN V V 45.0≅V_______________________________________10.14()()814101801085.89.3--⨯⨯=∈=ox ox ox t C 7109175.1-⨯=F/cm 3- ()()1019104106.1⨯⨯='-ssQ 9104.6-⨯=C/cm 2By trial and error, let 16105⨯=d N cm 3- Now()⎪⎪⎭⎫⎝⎛⨯⨯=1016105.1105ln 0259.0fn φ3890.0=V()()()()()2/1161914105106.13890.01085.87.114⎥⎦⎤⎢⎣⎡⨯⨯⨯=--dT x510419.1-⨯=cm()m ax SDQ ' ()()()5161910419.1105106.1--⨯⨯⨯= 710135.1-⨯=C/cm 3-10.1+≅ms φV Then()()fn ms ox ss SDTP C Q Q V φφ2max -+'+'-= ()797109175.1104.610135.1---⨯⨯+⨯-= ()3890.0210.1-+Then 303.0-=TP V V, which is within thespecified value. _______________________________________ 10.15 We have 710569.1-⨯=ox C F/cm 2 9104.6-⨯='ssQ C/cm 2 By trial and error, let 14105⨯=d N cm 3-Now()⎪⎪⎭⎫⎝⎛⨯⨯=1014105.1105ln 0259.0fn φ 2697.0=V()()()()()2/1141914105106.12697.01085.87.114⎥⎦⎤⎢⎣⎡⨯⨯⨯=--dT x 410182.1-⨯=cm ()m ax SDQ ' ()()()4141910182.1105106.1--⨯⨯⨯= 910456.9-⨯=C/cm 233.0-≅ms φVThen ()()fn ms oxss SDTP C Q Q V φφ2max -+'+'-= ⎪⎪⎭⎫⎝⎛⨯⨯+⨯-=---79910569.1104.610456.9 ()2697.0233.0--970.0=V Then 970.0-=TP V V 975.0-≅ V which meets the specification._______________________________________ 10.16(a) 03.1-≅ms φV()()814101801085.89.3--⨯⨯=ox C 7109175.1-⨯=F/cm 2Now oxss ms FB C Q V '-=φ()()71019109175.1106106.103.1--⨯⨯⨯--= 08.1-=FB V V(b) ()⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛⨯=1015105.110ln 0259.0fp φ 2877.0=V ()()()()()2/115191410106.12877.01085.87.114⎥⎦⎤⎢⎣⎡⨯⨯=--dT x 510630.8-⨯=cm()m ax SDQ ' ()()()5151910630.810106.1--⨯⨯= 810381.1-⨯=C/cm 2 Now ()fp FB oxSDTN V C Q V φ2max ++'=()2877.0208.1109175.110381.178+-⨯⨯=-- or 433.0-=TN V V_______________________________________10.17 (a) We have n-type material under the gate, so2/14⎥⎦⎤⎢⎣⎡∈==d fn s C dT eN t x φ where()288.0105.110ln 0259.01015=⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛⨯=fn φVThen()()()()()2/115191410106.1288.01085.87.114⎥⎦⎤⎢⎣⎡⨯⨯=--dT x or 410863.0-⨯==C dT t x cm μ863.0=m (b)()()fn ms ox ox ss SD T t Q Q V φφ2max -+⎪⎪⎭⎫⎝⎛∈'+'-= For an +n polysilicon gate, ()288.056.02--=⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛--=fn g ms e E φφ or272.0-=ms φV Now ()()()()4151910863.010106.1m ax --⨯⨯='SD Q or ()81038.1m ax -⨯='SDQ C/cm 2 We have()()91019106.110106.1--⨯=⨯='ssQ C/cm 2 We now find ()()()()81498105001085.89.3106.11038.1----⨯⨯⨯+⨯-=T V ()288.02272.0--or 07.1-=T V V _______________________________________ 10.18 (b) ⎪⎪⎭⎫⎝⎛++'-'=fp g m ms e E φχφφ2 where 20.0-='-'χφm V and()3473.0105.110ln 0259.01016=⎪⎪⎭⎫⎝⎛⨯=fp φV Then()3473.056.020.0+--=ms φ or 107.1-=ms φV (c) For 0='ss Q ()fp ms ox ox SDTN t Q V φφ2max ++⎪⎪⎭⎫⎝⎛∈'= We find()()()()()2/116191410106.13473.01085.87.114⎥⎦⎤⎢⎣⎡⨯⨯=--dT xor 41030.0-⨯=dT x cm μ30.0=m Now()()()()416191030.010106.1m ax --⨯⨯='SDQ or ()810797.4m ax -⨯='SDQ C/cm 2Then()()()()14881085.89.31030010797.4---⨯⨯⨯=T V()3473.02107.1+- or00455.0+=T V V 0≅V _______________________________________ 10.19Plot _______________________________________ 10.20 Plot_______________________________________ 10.21 Plot _______________________________________10.22 Plot_______________________________________10.23 (a) For 1=f Hz (low freq), ()()814101201085.89.3--⨯⨯=∈=ox ox ox t C 710876.2-⨯=F/cm 2a st s ox ox oxFB eNV t C ∈⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛∈∈+∈=' ()()()()()()()16191481410106.11085.87.110259.07.119.3101201085.89.3----⨯⨯⎪⎭⎫ ⎝⎛+⨯⨯= 710346.1-⨯='FB C F/cm 2 dTs ox ox oxx t C ⋅⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛∈∈+∈='minNow ()3473.0105.110ln 0259.01016=⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛⨯=fp φV ()()()()()2/116191410106.13473.01085.87.114⎥⎦⎤⎢⎣⎡⨯⨯=--dTx51000.3-⨯=cmThen ()()()5814min 1000.37.119.3101201085.89.3---⨯⎪⎭⎫ ⎝⎛+⨯⨯='C 810083.3-⨯=F/cm 2 C '(inv)710876.2-⨯==ox C F/cm 2 (b) 1=f MHz (high freq), 710876.2-⨯=ox C F/cm 2 (unchanged) 710346.1-⨯='FBC F/cm 2 (unchanged) 8min10083.3-⨯='C F/cm 2 (unchanged) C '(inv)8min10083.3-⨯='=C F/cm 2 (c) 10.1-≅==ms FB V φV()fp FB oxSDTN V C Q V φ2max ++'=Now()dT a SDx eN Q ='m ax ()()()516191000.310106.1--⨯⨯=81080.4-⨯=C/cm 2 ()3473.0210.110876.21080.478+-⨯⨯=--TN V 2385.0-=TN V V_______________________________________10.24(a) 1=f Hz (low freq), ()()814101201085.89.3--⨯⨯=∈=ox ox oxt C 710876.2-⨯=F/cm 2a st s ox ox oxFB eNV t C ∈⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛∈∈+∈='()()()()()()()141914814105106.11085.87.110259.07.119.3101201085.89.3⨯⨯⨯⎪⎭⎫ ⎝⎛+⨯⨯=---- 810726.4-⨯='FBC F/cm 2 dTs ox ox oxx t C ⋅⎪⎪⎭⎫⎝⎛∈∈+∈='minNow()2697.0105.1105ln 0259.01014=⎪⎪⎭⎫⎝⎛⨯⨯=fn φV()()()()()2/1141914105106.12697.01085.87.114⎥⎦⎤⎢⎣⎡⨯⨯⨯=--dT x 410182.1-⨯=cmThen()()()4814min 10182.17.119.3101201085.89.3---⨯⎪⎭⎫ ⎝⎛+⨯⨯='C 910504.8-⨯=F/cm 2C '(inv)710876.2-⨯==ox C F/cm 2(b) 1=f MHz (high freq),710876.2-⨯=ox C F/cm 2 (unchanged)810726.4-⨯='FBC F/cm 2 (unchanged) 9min10504.8-⨯='C F/cm 2 (unchanged) C '(inv)9min10504.8-⨯='=C F/cm 2 (c) 95.0≅=ms FB V φV()fn FB oxSDTP V C Q V φ2max -+'-=Now()dT d SDx eN Q ='m ax ()()()4141910182.1105106.1--⨯⨯⨯= 910456.9-⨯=C/cm 2Then()2697.0295.010876.210456.979-+⨯⨯-=--TP V378.0+=TP V V_______________________________________10.25The amount of fixed oxide charge at x is ()x x ∆ρ C/cm 2By lever action, the effect of this oxide charge on the flatband voltage is()x x t x C V ox ox FB ∆⎪⎪⎭⎫⎝⎛-=∆ρ1 If we add the effect at each point, we must integrate so that ()dx t x x C V oxt oxoxFB⎰-=∆01ρ _______________________________________10.26 (a) We have ρx Q t SS ()='∆ Then∆V C x x t dx FB ox ox ox t=-()z 10ρ ≈-'F H G I K J F H I K-z 1C t t Q t dx ox ox oxox oxSSt t t ∆∆b g =-'--=-'F H I K 1C Q t t t t Q C ox SS ox ox SSox ∆∆a for ∆V Q t FB SS ox ox=-'∈F H G I K J =-⨯⨯⨯⨯---()16108102001039885101910814...b g b g b gb gor∆V FB =-00742.V(b) We have ρx Q t SS ox()='=⨯⨯⨯--16108102001019108.b g b g =⨯=-64103.ρONow ∆V C x x t dx C t xdx FB oxox oxOox oxoxt t =-=-()zz10ρρor ∆V t FB O oxox=-∈ρ22=-⨯⨯⨯---()6410200102398851038214...bg b g b gor∆V FB =-00371.V (c) ρρx x t O ox()F H G I KJ =We find12216108102001019108t Q ox O SS O ρρ='⇒=⨯⨯⨯--.b gb g or ρO =⨯-128102. Now ∆V C t x x t dx FB ox ox O ox t ox =-⋅⋅F H G I KJ z110ρ =-⋅z122C t x dx ox O oxox t ρaf which becomes ∆V t t x t FB ox oxO oxox O oxox t =-∈⋅⋅=-∈F H G I KJ 1332302ρρaf Then∆V FB =-⨯⨯⨯---()12810200103398851028214...b g b g b gor 0494.0-=∆FB V V_______________________________________10.27 Sketch_______________________________________10.28 Sketch_______________________________________10.29 (b)⎪⎪⎭⎫⎝⎛-=-=2ln i d a t bi FB n N N V V V ()()()()⎥⎥⎦⎤⎢⎢⎣⎡⨯-=2101616105.11010ln 0259.0or695.0-=FB V V(c) Apply 3-=G V V, 3≅ox V VFor 3+=G V V,sdx d ∈-=Eρ n-side: d eN =ρ1C x eN eN dx d sd s d +∈-=E ⇒∈-=E0=E at n x x -=, then snd x eN C ∈-=1 so()n s dx x eN +∈-=E for 0≤≤-x x n In the oxide, 0=ρ, so=E ⇒=E 0dxd constant. From the boundary conditions, in the oxidesn d x eN ∈-=E In the p-region,2C x eN eN dx d sa sa s+∈=E ⇒∈+=∈-=Eρ 0=E at ()p ox x t x +=, then ()[]x x teN p oxsa-+∈-=EAt ox t x =, snd sp a x eN x eN ∈-=∈-=E So that n d p a x N x N = Since d a N N =, then p n x x = The potential is ⎰E -=dx φFor zero bias, we can write bi p ox n V V V V =++where p ox n V V V ,, are the voltage drops acrossthe n-region, the oxide, and the p-region, respectively. For the oxide:soxn d ox ox t x eN t V ∈=⋅E =For the n-region:()C x x x eN x V n s d n '+⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛⋅+∈=22Arbitrarily, set 0=n V at n x x -=, thensnd x eN C ∈='22so that()()22n sdn x x eN x V +∈=At 0=x , snd n x eN V ∈=22which is the voltagedrop across the n-region. Because ofsymmetry, p n V V =. Then for zero bias, wehavebi ox n V V V =+2 which can be written as bi sox n d s n d V t x eN x eN =∈+∈2or 02=∈-+ds bi ox n n eN V t x x Solving for n x , we obtain dbis ox ox n eN V t t x ∈+⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛+-=222 If we apply a voltage G V , then replace bi V by G bi V V +, so ()dG bi s ox ox p n eN V V t t x x +∈+⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛+-==222 We find2105008-⨯-==p n x x()()()()()1619142810106.1695.31085.87.11210500---⨯⨯+⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛⨯+ which yields510646.4-⨯==p n x x cmNow soxn d ox t x eN V ∈=()()()()()()148516191085.87.111050010646.410106.1----⨯⨯⨯⨯=or359.0=ox V V We also findsnd p n x eN V V ∈==22()()()()()142516191085.87.11210646.410106.1---⨯⨯⨯=or67.1==p n V V V_______________________________________10.30(a) n-type (b) We have731210110210200---⨯=⨯⨯=ox C F/cm 2Also ()()7141011085.89.3--⨯⨯=∈=⇒∈=ox ox ox ox ox ox C t t C or 61045.3-⨯=ox t cm 5.34=nm o A 345= (c)oxssms FB C Q V '-=φ or 71050.080.0-'--=-ssQwhich yields8103-⨯='ssQ C/cm 21110875.1⨯=cm 2- (d) ⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛∈⎪⎭⎫ ⎝⎛⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛∈∈+∈='d s s ox ox ox FB eN e kT t C()()[][6141045.31085.89.3--⨯÷⨯= ()()()()()⎥⎥⎦⎤⨯⨯⨯⎪⎭⎫ ⎝⎛+--161914102106.11085.87.110259.07.119.3 which yields81082.7-⨯='FBC F/cm 2 or156=FB C pF_______________________________________10.31 (a) Point 1: Inversion 2: Threshold3: Depletion4: Flat-band5: Accumulation_______________________________________10.32 We have ()()[]fp ms x GS ox nV V C Q φφ2+---=' ()()max SD ssQ Q '+'- Now let DS x V V =, so ()⎩⎨⎧--='DS GS ox n V V C Q ()()⎪⎭⎪⎬⎫⎥⎥⎦⎤⎢⎢⎣⎡+-'+'+fp ms ox ss SD C Q Q φφ2m ax For a p-type substrate, ()max SDQ ' is a negative value, so we can write()⎩⎨⎧--='DS GS ox n V V C Q()⎪⎭⎪⎬⎫⎥⎥⎦⎤⎢⎢⎣⎡++'-'-fp ms ox ss SD C Q Q φφ2m ax Using the definition of threshold voltage T V ,we have()[]T DS GS ox nV V V C Q ---=' At saturation()T GS DS DS V V sat V V -== which then makes nQ 'equal to zero at the drain terminal._______________________________________10.33(a) ()[]222DS DS T GS n D V V V V L W k I --⋅'= ()()()()[]22.02.04.08.028218.0--⎪⎭⎫ ⎝⎛= 0864.0=mA (b) ()22T GS n D V V LW k I -⋅'= ()()24.08.08218.0-⎪⎭⎫ ⎝⎛= 1152.0=mA(c) Same as (b), 1152.0=D I mA(d) ()22T GS n D V V L W k I -⋅'=()()24.02.18218.0-⎪⎭⎫ ⎝⎛= 4608.0=mA _______________________________________ 10.34 (a) ()[]222SDSD T SG p D V V V V LW k I -+⋅'= ()()()()[]225.025.04.08.0215210.0--⎪⎭⎫ ⎝⎛= 103.0=D I mA(b) ()22T SG p D V V LW k I +⋅'= ()()24.08.015210.0-⎪⎭⎫ ⎝⎛= 12.0=mA(c) ()22T SG p D V V L W k I +⋅'=()()24.02.115210.0-⎪⎭⎫ ⎝⎛=48.0=mA(d) Same as (c), 48.0=D I mA_______________________________________10.35(a) ()22T GS n D V V LW k I -⋅'=()28.04.126.00.1-⎪⎭⎫ ⎝⎛⎪⎭⎫ ⎝⎛=L W26.9=⇒LW(b) ()()28.085.126.926.0-⎪⎭⎫ ⎝⎛=D I06.3=mA(c) ()[]222DSDS T GS n D V V V V L W k I --⋅'= ()()()()[]215.015.08.02.1226.926.0--⎪⎭⎫ ⎝⎛=271.0=mA_______________________________________10.36(a) Assume biased in saturation region()22T SG p D V V L W k I +⋅'=()()2020212.010.0T V +⎪⎭⎫ ⎝⎛=289.0+=⇒T V VNote: 0.1=SD V V 289.00+=+>T SG V V V So the transistor is biased in the saturation region.(b) ()()2289.04.020212.0+⎪⎭⎫ ⎝⎛=D I570.0=mA(c) ()()[()15.0289.06.0220212.0+⎪⎭⎫⎝⎛=D I()]215.0-or293.0=D I mA_______________________________________10.37 ()()781410138.3101101085.89.3---⨯=⨯⨯=ox C F/cm 2 ()()()()2.122010138.342527-⨯==L W C K ox n n μ310111.1-⨯=A/V 2=1.111 mA/V 2(a) 0=GS V , 0=D I 6.0=GS V V, ()15.0=sat V DS V, ()()()245.06.0111.1-=sat I D 025.0=mA2.1=GS V V, ()75.0=sat V DS V, ()()()245.02.1111.1-=sat I D 625.0=mA8.1=GS V V, ()35.1=sat V DS V,()()()245.08.1111.1-=sat I D 025.2=mA4.2=GS V V, ()95.1=sat V DS V,()()()245.04.2111.1-=sat I D 225.4=mA (c)0=D I for 45.0≤GS V V 6.0=GS V V,()()()()[]21.01.045.06.02111.1--=D I 0222.0=mA 2.1=GS V V,()()()()[]21.01.045.02.12111.1--=D I 156.0=mA 8.1=GS V V,()()()()[]21.01.045.08.12111.1--=D I 289.0=mA 4.2=GS V V,()()()()[]21.01.045.04.22111.1--=D I 422.0=mA_______________________________________10.38()()814101101085.89.3--⨯⨯=∈=ox ox ox t C 710138.3-⨯=F/cm 2L WC K ox p p 2μ=()()()()2.123510138.32107-⨯=41061.9-⨯=A/V 2=0.961 mA/V 2(a) 0=SG V , 0=D I6.0=SG V V, ()25.0=sat V SD V()()()235.06.0961.0-=sat I D 060.0=mA2.1=SG V V, ()85.0=sat V SD V()()()235.02.1961.0-=sat I D 694.0=mA 8.1=SG V V, ()45.1=sat V SD V()()()235.08.1961.0-=sat I D02.2=mA4.2=SG V V, ()05.2=sat V SD V()()()235.04.2961.0-=sat I D04.4=mA (c)0=D I for 35.0≤SG V V6.0=SG V V()()()()[]21.01.035.06.02961.0--=D I 0384.0=mA 2.1=SG V V ()()()()[]21.01.035.02.12961.0--=D I154.0=mA8.1=SG V V ()()()()[]21.01.035.08.12961.0--=D I 269.0=mA 4.2=SG V V()()()()[]21.01.035.04.22961.0--=D I 384.0=mA_______________________________________10.39(a) From Problem 10.37,111.1=n K mA/V 2 For 8.0-=GS V V, 0=D I0=GS V , ()8.0=sat V DS V()()()28.00111.1+=sat I D 711.0=mA8.0+=GS V V, ()6.1=sat V DS V()()()28.08.0111.1+=sat I D 84.2=mA6.1=GS V V, ()4.2=sat V DS V()()()28.06.1111.1+=sat I D 40.6=mA_______________________________________10.40 Sketch _______________________________________10.41 Sketch _______________________________________ 10.42We have ()T DS T GS DS V V V V sat V -=-=so that()T DS DS V sat V V +=Since ()sat V V DS DS >, the transistor is always biased in the saturation region. Then()2T GS n D V V K I -=where, from Problem 10.37,111.1=n K mA/V 2and 45.0=T V V10.43From Problem 10.38, 961.0=p K mA/V 2()()[]22SD SD T SG p D V V V V K I -+=()T SG p V SDDd V V K V I g SD +=∂∂=→20For 35.0≤SG V V, 0=d g For 35.0>SG V V,()()35.0961.02-=SG d V g For 4.2=SG V V,()()35.04.2961.02-=d g 94.3=mA/V_______________________________________10.44(a) GS D m V I g ∂∂=()()[]{}22DS DS T GS n GSV V V V K V --∂∂=()DS n V K 2=()()05.0225.1n K =5.12=⇒n K mA/V 2(b) ()()()[()]205.005.03.08.025.12--=D I 594.0=mA(c) ()()23.08.05.12-=D I125.3=mA_______________________________________10.45We find that 2.0≅T V V Now ()()T GS oxn D V V LC W sat I -⋅=2μ where ()()814104251085.89.3--⨯⨯=∈=ox ox oxt C or81012.8-⨯=ox C F/cm 2We are given 10=L W . From the graph, for 3=GS V V, we have ()033.0≅sat I D , then ()2.032033.0-⋅=LC W oxn μ or310139.02-⨯=LC W oxn μor()()3810139.01012.81021--⨯=⨯n μwhich yields342=n μcm 2/V-s_______________________________________10.46 (a)()T GS DS V V sat V -= or8.48.04=⇒-=GS GS V V V(b) ()()()sat V K V V K sat I DS n T GS n D 22=-= so()244102n K =⨯- which yields μ5.12=n K A/V 2 (c) ()2.18.02=-=-=T GS DS V V sat V Vso ()sat V V DS DS > ()()()258.021025.1-⨯=-sat I Dor ()μ18=sat I D A(d)()sat V V DS DS <()[]22DS DS T GS n D V V V V K I --= ()()()()[]25118.0321025.1--⨯=-orμ5.42=D I A_______________________________________10.47(a) ()()814101801085.89.3--⨯⨯=ox C 7109175.1-⨯=F/cm 2(i)()()7109175.1450-⨯=='ox n nC k μ 510629.8-⨯=A/V 2 or μ29.86='nk A/V 2 (ii)()()22T GS nD V V L W k sat I -⎪⎭⎫ ⎝⎛⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛'= ()24.02208629.08.0-⎪⎭⎫ ⎝⎛⎪⎭⎫ ⎝⎛=L W24.7=⇒L W(b) (i) ()()7109175.1210-⨯=='ox p p C k μ 510027.4-⨯=A/V 2or μ27.40='p k A/V 2(ii) ()()22T SG p D V V L W k sat I +⎪⎭⎫ ⎝⎛⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛'= ()24.02204027.08.0-⎪⎭⎫ ⎝⎛⎪⎭⎫ ⎝⎛=L W5.15=⇒LW_______________________________________ 10.48 From Problem 10.37, 111.1=n K mA/V 2(a) ()()[]{}22DS DS T GS n GS mL V V V V K V g --∂∂= ()()()()1.02111.12==DS n V K so 222.0=mL g mA/V (b) (){}2T GS n GS ms V V K V g -∂∂=()()()45.05.1111.122-=-=T GS n V V K so 33.2=ms g mA/V _______________________________________10.49From Problem 10.38, 961.0=p K mA/V 2(a) ()()[]{}22SD SD T SG p SGmL V V V V K Vg -+∂∂= ()()()()1.02961.02==SD p V K or 192.0=mL g mA/V (b) ()[]2T SG p SGms V V K V g +∂∂=()()()35.05.1961.022-=+=T SG p V V K or 21.2=ms g mA/V_______________________________________10.50 (a) oxa s C N e ∈=2γNow ()()814101501085.89.3--⨯⨯=oxC 710301.2-⨯=F/cm 2 Then()()()()716141910301.21051085.87.11106.12---⨯⨯⨯⨯=γ 5594.0=γV 2/1 (b) ()3890.0105.1105ln 0259.01016=⎪⎪⎭⎫⎝⎛⨯⨯=fpφV (i)()()()()()2/1161914105106.13890.01085.87.114⎥⎦⎤⎢⎣⎡⨯⨯⨯=--dT x510419.1-⨯=cm()m ax SDQ ' ()()()5161910419.1105106.1--⨯⨯⨯=710135.1-⨯=C/cm 2 ()fp FB oxSDTO V C Q V φ2max ++'= ()3890.025.010301.210135.177+-⨯⨯=-- 7713.0=VL WC K ox n n 2μ=()()()()2.12810301.24507-⨯=410452.3-⨯=A/V 2 or 3452.0=n K mA/V 2 For 0=D I , 7713.0==TO GS V V V For 5.0=D I ()()27713.03452.0-=GS V 975.1=⇒GS V V (c) (i) For 0=SB V , 7713.0==TO T V V V (ii) 1=SB V V,()()[1389.025594.0+=∆T V()]389.02-2525.0=V024.12525.07713.0=+=T V V (iii) 2=SB V V,()()[2389.025594.0+=∆T V ()]389.02-4390.0=V210.14390.07713.0=+=T V V (iv) 4=SB V V,()()[4389.025594.0+=∆T V()]389.02-7294.0=V501.17294.07713.0=+=T V V _______________________________________10.51()3473.0105.110ln 0259.01016=⎪⎪⎭⎫⎝⎛⨯=fp φ V[]fpSBfpT V V φφγ22-+=∆()()[5.23473.0212.0+=()]3473.02- or114.0=∆T V VNow T TO T V V V ∆+= 114.05.0+=TO V 386.0=⇒TO V V _______________________________________ 10.52 (a) ()()814102001085.89.3--⨯⨯=ox C710726.1-⨯=F/cm 2oxds C N e ∈=2γ ()()()()715141910726.11051085.87.11106.12---⨯⨯⨯⨯= 2358.0=γV 2/1 (b) ()3294.0105.1105ln 0259.01015=⎪⎪⎭⎫⎝⎛⨯⨯=fnφV []fn BS fnT V V φφγ22-+-=∆()()[BS V +-=-3294.022358.022.0()]3294.02- 39.2=⇒BS V V_______________________________________10.53(a) +n poly-to-p-type 0.1-=⇒ms φV ()288.0105.110ln 0259.01015=⎪⎪⎭⎫⎝⎛⨯=fp φValso 2/14⎥⎦⎤⎢⎣⎡∈=a fp s dTeN x φ()()()()()2/115191410106.1288.01085.87.114⎥⎦⎤⎢⎣⎡⨯⨯=-- or410863.0-⨯=dT x cm Now()()()()4151910863.010106.1m ax --⨯⨯='SDQ or()81038.1m ax -⨯='SDQ C/cm 2 Also()()814104001085.89.3--⨯⨯=∈=ox ox ox t C or81063.8-⨯=ox C F/cm 2 We find ()()91019108105106.1--⨯=⨯⨯='ss Q C/cm 2 Then ()fp ms oxss SD T C Q Q V φφ2m ax ++'-'=()288.020.11063.81081038.1898+-⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛⨯⨯-⨯=--- or 357.0-=T V V(b) For NMOS, apply SB V and T V shifts in apositive direction, so for 0=T V , we want 357.0+=∆T V V. So[]fp SB fpoxa s T V C N e V φφ222-+∈=∆or()()()()81514191063.8101085.87.11106.12357.0---⨯⨯⨯=+ ()()[]288.02288.02-+⨯SB V or[]576.0576.0211.0357.0-+=SB V which yields 43.5=SB V V_______________________________________10.54 Plot_______________________________________10.55 (a)()T GS oxn m V V L C W g -=μ()T GS oxoxn V V t L W -∈=μ ()()()()()65.0510*******.89.340010814-⨯⨯=--or26.1=m g mS Nowsm m m s m m m r g g g r g g g +=='⇒+='118.01which yields⎪⎭⎫⎝⎛-=⎪⎭⎫ ⎝⎛-=18.0126.1118.011m s g r or 198.0=s r k Ω (b) For 3=GS V V, 683.0=m g mS Then ()()602.0198.0683.01683.0=+='m g mS or 88.0683.0602.0=='m m g g which is a 12% reduction._______________________________________10.56 (a) The ideal cutoff frequency for no overlap capacitance is,()222L V V C g f T GS n gs m T πμπ-==()()()24102275.04400-⨯-=π or 17.5=T f GHz (b) Now ()M gsT m T C C g f +=π2 where ()L m gdT M R g C C +=1 We find()()4410201075.0--⨯⨯=ox gdT C C()()814105001085.89.3--⨯⨯= ()()4410201075.0--⨯⨯⨯ or1410035.1-⨯=gdT C F Also ()T GS oxn m V V LC W g -=μ()()()()()()84144105001021085.89.34001020----⨯⨯⨯⨯= ()75.04-⨯or3108974.0-⨯=m g SThen ()1410035.1-⨯=M C ()()[]331010108974.01⨯⨯+⨯- or 1310032.1-⨯=M C F Now()()W L C C ox gsT 41075.0-⨯+= ()()814105001085.89.3--⨯⨯= ()()44410201075.0102---⨯⨯+⨯⨯ or1410797.3-⨯=gsT C F We now find ()M gsT mTC C g f +=π2 ()1314310032.110797.32108974.0---⨯+⨯⨯=π or 01.1=T f GHz _______________________________________10.57 (a) For the ideal case()4610221042-⨯⨯==ππυL f ds Tor 18.3=T f GHz(b) With overlap capacitance (using the values from Problem 10.56), ()MgdT mT C C g f +=π2 We findds ox m W C g υ= ()()()()86144105001041085.89.31020---⨯⨯⨯⨯= or3105522.0-⨯=m g S We have()L m gdT M R g C C +=1 ()1410035.1-⨯=()()[]331010105522.01⨯⨯+⨯- or 1410750.6-⨯=M C F。
§10.5 半导体发光一、辐射复合半导体中电子从高能量状态向较低能量状态跃迁并伴随发射光子的过程。
主要有两种:1、本征辐射复合(带-带复合)导带电子跃迁到价带与空穴复合的过程称为本征跃迁,本征跃迁伴随发射光子的过程称为本征辐射复合。
对于直接禁带半导体,本征跃迁为直接辐射复合,全过程只涉及一个电子-空穴对和一个光子,辐射效率较高。
II-VI 族和具有直接禁带的部分III-V 族化合物的主要发光过程属于这种类型。
对于间接禁带半导体,本征跃迁必须借助声子,因而是间接复合。
其中包含不发射光子的多声子无辐射复合过程和同时发射光子和声子的间接辐射复合过程。
因此,间接禁带半导体中发生本征辐射复合的几率较小,辐射效率低。
Ge 、Si 、SiC 和具有间接禁带的部分III-Ⅴ族化合物的本征复合发光属于这种类型,发光比较微弱。
因为带内高能状态是非稳状态,载流子即便受激进入这些状态也会很快通过“热化”过程加入导带底或价带顶。
显然,带间跃迁所发射的光子能量与E g 有关。
对直接跃迁,发射光子的能量满足g E h =ν对间接跃迁,在发射光子的同时,还要发射声子,因而光子能量应满足p g E E h -=ν其中E p 是声子能量。
2、非本征辐射复合涉及杂质能级的辐射复合称为非本征辐射复合。
在这种过程中,电子从导带跃迁到杂质能级,或从杂质能级跃迁到价带,或仅仅在杂质能级之间跃迁。
由于这种跃迁不受选择定则的限制,发生的几率也很高,是间接禁带半导体,特别是宽禁带发光材料中的主要辐射复合机构。
下面着重讨论电子在施主与受主杂质之间的跃迁,如图10-22所示。
当半导体中同时存在施主和受主杂质时,两者之间的库仑作用力使受激态能量增大,其增量△E 与施主和受主杂质之间距离r 成反比。
当电子从施主向受主跃迁时,若没有声子参与,发射光子能量为)4/()(02r q E E E h r A D g επεν++-=式中E D 和E A 分别代表施主和受主的束缚能,εr 是发光材料的相对介电常数。
由于施主和受主一般以替位原子出现在晶格中,因此r 只能取原子间距的整数倍,相应的光子能量为不连续数值,对应于一系列不连续的发射谱线。
但这只在r 较小,即电子在相邻的施主和受主间跃迁时才可区分;随着r 的增大,发射光子的能量差别越来越小,而且电子从施主向受主跃迁所要穿过的距离也越来越大,跃迁几率很小。
因此杂质发光主要发生在相邻施-受主之间。
3、GaP 中的非本征辐射复合机构GaP 的室温禁带宽度E g =2.26eV ,但其本征辐射跃迁效率很低,主要依靠非本征发光中心。
图10-23表示GaP 中几种可能的辐射复合机构。
图10-22施主与受主间的1)GaP 中的施受主对发光中心(Zn(或Cd)-O 对发光中心)掺O 和Zn 的GaP 材料,经过适当热处理后,O 和Zn 分别取代相邻的P 原子和Ga 原子,其中O形成一个深施主能级(导带下0.89eV 处),Zn 形成一个浅受主能级(价带以上0.06eV 处)。
当这两个杂质原子在p 型GaP 中处于相邻格点时,形成一个电中性的Zn-O 络合物,起等电子陷阱作用,束缚能为0.3eV 。
与之相关的复合过程有3种:①Zn-O 络合物俘获一个电子.邻近的Zn 中心俘获一个空穴形成一种激子状态。
激子的淬灭 (即杂质俘获的电子与空穴相复合),约发射660nm 左右的红光。
这一辐射复合过程的效率较高;②Zn-O 络合物俘获一个电子后,再俘获—个空穴形成另一种类型的束缚激子,其空穴束缚能级E h 在价带0.037eV 处。
这种激子复合时发射红光。
③孤立O 中心俘获的电子与Zn 中心俘获的空穴相复合, 发射红光。
2)GaP 中的其他非本征发光中心④ N 等电子中心 N 在GaP 中取代P 起等电子陷阶作用,其能级位置在导带下0.008eV 处。
N 等电子陷阱俘获电子后再俘获空穴形成束缚激子,其空穴束缚能级E h 在价带之上0.011eV 处。
这种激子复合时发绿光。
⑤Te -Zn 施受主对 若GaP 材料中还掺有Te 等浅施主杂质,Te 中心俘获的电子与Zn 中心俘获的空穴相复合,发射550um 附近的绿色光。
可见,不含O 的p 型GaP 可以发绿色光,而含O 的GaP 主要发红色光。
因此,要提高绿光发射效率,必须避免O 的掺入。
二、发光效率电子跃迁过程中,除了发射光子的辐射跃迁外,还存在无辐射跃迁。
无辐射复合过程中的能量释放机理比较复杂,包含俄歇复合和多声子无辐射复合等。
辐射复合和无辐射复合过程两者发生几率的不同使材料具有不同的发光效率,因而发光效率决定于额外载流子的辐射复合寿命τr 和无辐射复合寿命τnr 的相对大小。
1、内量子效率发光效率通常分为“内量子效率”η内和“外量子效率”η外。
内量子效率定义为:平衡时,电子-空穴对的激发率等于额外载流子的复合率(包括辐射复合和无辐射复合),而复合率分别决定于寿命τr 和τnr (辐射复合率正比于1/τr ,无辐射复合率正比于1/τnr ),因此,η内可写成 nr r ττη/11+=内可见,只有当τnr >>τr 时,才能获得有效的光子发射。
对以间接复合为主的半导体材料,一般既存在辐射复合中心,也存在无辐射复合复合中心。
因此,要使辐射复合占压倒优势,即τnr >>τr ,必须使发光中心浓度N L 远大于其他杂质浓度N t 。
2、外量子效率辐射复合所产生的光子并不是全部都能离开晶体向外发射。
从发光区产生的光子向外传输时有部分会被再吸收。
另外,由于半导体的高折射率(3~4),光子在界面处很容易发生全反射而返回到晶体内部。
即使是垂直入射界面的光子,由于高折射率导致高反射率,有相当大部分(30%左右)被反射回晶体内部。
因此,用“外量子效率”η外来描写半导体材料的总有效发光效率,即对于像GaAs 这一类的直接禁带半导体,直接辐射复合在额外载流子的复合过程中占主导地位,因此,内量子效率比较高,可接近100%,但能够从晶体内实际发射出去的光子比例却不一定很高。
例如,室温下GaP (Zn-O )红光LED 的η外最高可达15%,GaP (N )绿光LED 的η外只有0.7%。
为了提高LED 的发光效率,不但要选择内量子效率高的材料,还要采取适当措施提高外量子效率。
譬如将LED 芯片表面做成球面,并使发光区域处于球心,这样可以避免表面的全反射。
因为晶体的吸收随着温度增高而增大.因此,发光效率将随温度增高而下降。
三、电致发光机构半导体电致发光的额外载流子注入主要有两种方式:场注入和结注入。
1、场致发光均匀高阻材料在强电场下通过载流子的雪崩倍增效应(俄歇产生)获得额外载流子的注入,这些载流子通过本征跃迁复合,或通过杂质能级复合,发射发射相应波长的光。
这种方式的效率不高,通常只有单极性半导体,例如ZnS 才采用这种方式。
2、p-n 结注入发光如图l0-24所示,利用p-n 结在正向偏置条件下的注入作用,可以在势垒区外形成额外少数载流子的累积,这些额外载流子在扩散的过程中通过与多数载流子的复合而发光。
利用pn 结注入发光制造的LED 分同质结和异质结两种。
1)同质结LED 同质p-n 结势垒区两边都有额外载流子注入。
由于一般发光材料的少子扩散长度远大于正偏压下的势垒宽度,因此势垒区中的辐射复合几率较小,辐射复合主要发生在结两边的扩散区。
同质结的注入区又是少子累积区,复合几率较大,影响注入效率。
同时,由于本征辐射复合发射的光子能量与所用材料的禁带宽度相当,发射光子在向外传播的过程中大部分被材料吸收,因而其外量子效率很低。
利用杂质能级发光的GaP LED 主要采用同质结结构。
改进办法是采用异质结2)异质结LED 采用异质结可以提高少数载流子的注入效率。
图10-25表示理想的异质结能带示意图。
由于p 区和n 区的禁带宽度不等,势垒是不对称的。
如图10-25(b)所示,当正向偏压使二者的价带顶持平时,p 区的空穴由于不存在势垒而不断向n 区扩散,而n 区的电子由于面临高势垒△E =E g1-E g2而不能从n 区注入p 区,从而保证了空穴(少数载流子)向n 区的高注入效率。
这时,禁带较宽的p 区成为单一注入区,禁带较窄的n 区成为单一发光区。
例如GaAs-GaSb 异质结,其发射光子能量为0.7eV ,相当于GaSb 的禁带宽度。
这种异质结LED 的另一优点,是宽禁带注入区同时作为辐射窗口,其禁带宽度大于发射光子的能量,发射光向外传播时不会被吸收,提高了η外。
现代LED 还采用双异质结结构和量子阱结构进一步提高注入效率和量子效率。
量子阱结构利用量子尺寸效应将电子的势能提高,发射能量比材料E g 高的光子。
图10-24 pn 结注入发光示意图§10.6 半导体激光激光(laser -light amplification by stimulated emission of radiation)一词是“利用辐射的受激发射进行光量子放大”的缩写。
激光器是一种亮度极高。
方向性和单色性极好的相干光辐射。
激光器分固体激光器和气体激光器两大类。
半导体激光器是固体激光器的重要组成部分,主要用于通讯,覆盖从红外到近紫外的整个波段。
如常用的激光材料GaAs 可发射红外激光,固溶体体GaAs 1-x P x 可发射可见激光,新兴的GaN 基激光器发射蓝色和近紫外激光..….一、自发辐射和受激辐射所谓自发辐射,就是电子不受任何外界因素的作用而自发地从高能状态E 2向低能状态E 1跃迁并发射一个能量为hν12=E 2-E 1的光子,正如前面所述之LED 的发光过程。
所谓受激辐射,就是电子在光辐射的激励下从激发态向基态跃迁的辐射过程。
在这种过程中,电子同样是从高能状态E 2向低能状态E 1跃迁并发射一个能量为hν12=E 2-E 1的光子,但要预先受到另一个能量同样为hν12的光子的激励。
半导体激光器和半导体LED 的根本差别,就在于除了额外载流子的注入与自发辐射,还有这样一个很关键的受激辐射过程。
自发辐射和受激辐射是两种不同的光子发射过程。
自发辐射中所有电子的跃迁都是随机的,所发射的光子虽然具有相等的能量hν12,但它们的位相和传播方向各不相同;而受激辐射中发射光子的频率、位相、方向和偏振态等全部特性都与入射光子完全相同。
同时,如果激励光子原本就是由能级E 2到E 1的电子跃迁过程产生的,则一个受激辐射过程同时发射两个同频率、同位相、同方向的光子。
二、受激辐射的必要条件对上述频率为ν12的光子而言,它既可能被能级E 1上的电子吸收而使之激发到能级E 2,也可能激励能级E 2上的电子使之跃迁到能级E 1而产生受激辐射。
这两个过程的发生几率哪个更大,取决于电子在能级E 1和E 2的分布情况。