SIHI干式真空泵

干式真空泵介绍及发展现状干式真空泵式指泵能从大气压下开始抽气，又能将气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或接近的机械真空泵。

目前，大多数机械真空泵都是用油、水或其他流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。

随着科技发展及真空应用领域的扩大，原有的真空泵出现了两个急需解决的问题：一是泵的工作解释返流污染被抽容器，在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本;其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，是泵不能正常工作。

这时就要用到干式真空泵。

干式真空泵的应用主要有以下几个方面：1.低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺2.半导体刻蚀工艺，在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。

3.除半导体工艺外某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式真空泵可以满足要求。

4.在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵。

5.用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。

随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。

为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。

常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。

干式螺杆真空泵质量及工作原理干式螺杆泵属于新型的真空泵型，其开发出来主要是为了替换传统水环真空泵、油环真空泵等其他泵型的。

因其独特的设计原理，可做到无油无水，可做耐腐蚀涂层，优良的密封设计，除了价格稍贵一点外，无论从哪一方面都将远远超过传统真空泵的性能。

如何判断干式螺杆真空泵是否合格，可以从以下几个方面判断：1、极限真空度:当然极限真空度越低越好，目前国产一般在5Pa左右，进口的在1Pa 左右。

2、震动及噪音：震动一定要小，噪音一定要小80分贝内为好。

3、若是有易腐蚀性环境中使用，最好能向厂家要一点同样涂层的样片，拿到厂里放介质溶济里做下试验，每个厂家使用的涂层或镀层配比不一样，它的性能当然也会有较大差异。

4、密封性：这个也很重要，但也只能从厂家推介说明上了解，最直接还是接入系统后通介质测定是不是有泄漏。

基本上就是以上几点来判断，第一和第二点决定了真空泵机加工水平和设计技术的水平如何，这个也将真接影响泵的使用寿命，第三和第四点也会影响其寿命，但也需要实验证明。

总的来说目前螺杆泵因为成本较高，建议还是选用进口的，欧美日韩的相对较贵，台系的其实也是不错的选择。

干式螺杆真空泵是技术含量非常高的科技产品，主要应用于高纯净的真空工艺过程, 真空度极高，可适应恶劣工况，具有抽取凝性、含颗粒物气体的能力，特别适宜于洁净环境，且易做防腐处理，特别适用于电子，化工，生物医药，金属加工，食品加工等领域。

1、工作腔内无任何介质，可获得清洁真空2、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层，可适应恶劣工况3、气体在泵内无压缩，适宜抽取可凝性气体4、单台泵可从大气抽至1Pa，真空系统可大大简化。

5、水温对真空影响小，节水达90%以上,甚至可以不耗水。

6、不耗油,无滴漏7、旋转部件间无摩擦,可高速运转,整机体积小8、结构简单，维护方便。

9、被抽气体直接排出泵体，不污染水，无环保压力，气体回收更便捷。

10、可与罗茨泵、分子泵组成无油机组与螺杆式压缩机类似，螺杆式干式真空泵的工作过程可分为吸气、压缩和排气三个过程。

干式真空泵干式真空泵产品介绍2023年止，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。

随着科学技术的进展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其构成的抽气系统显现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在很多情况下影响产品的质量、数量，加添设备的维护本钱。

其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。

对于一般的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能解决问题，而且使系统显得多而杂。

而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以实现理想的使用效果。

干式真空泵应用干式机械真空泵的应用是广泛的，重要有以下几个方面：1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；2）半导体刻蚀工艺。

在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用肯定型式的干式机械真空泵可以充足要求；4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

干式真空泵分类干式真空泵重要有下列几种形式：双圆裂片式双圆裂片式设计和目前和广泛应用的罗茨泵特别相像。

事实上，一些期的干泵设计思想就是将罗茨泵叠加起来。

这种多级设计使得气体通路相当多而杂，而且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。

同时，为了实现好的真空度，对各级的间隙有特别严格的要求。

当然，这种设计由于加添了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。

三叶圆裂片式三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的原理相同，只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。

这两种设计有着相同的优点和缺点。

为了进一步降低耗电量，在传动部分有的厂家选用两个直流马达，但这也会导致扭矩减小，重新启动的本领—下降。

中石化上海高桥分公司SIHIdry螺杆干式真空泵说明手册SIHIdry螺杆干式真空泵第一部分安全说明安全说明部分描述了SIHIdry干式真空泵的操作和维护过程中需要了解和遵守的指示和警告。

泵的操作和维护人员务必掌握有关安全知识，提高自身防护以及设备防护能力。

1.1前言1、在阅读说明手册之前请不要操作设备；2、务必掌握足够的安全防护警告和使用必要的安全设备，以避免在设备安装和操作过程中的危险。

警告小心禁止威胁生命的伤害警告小心触电风险小心有毒有害介质1.2注意以上安全说明标签贴在你所购买的设备上，请勿移除、覆盖或弄脏；如果不正确遵守以上警告，有可能会导致操作人员的人身伤害。

1.3安全1.个人培训及上岗认证必须明确操作此设备人员的职责。

如果不具备必须的专业知识，必须经过卖方的培训以保证机器的安全操作。

2.不遵守安全指令的风险不遵守安全指令会对个人、环境、系统都面临一定的风险，更会导致损失。

举例来说，可能会面临如下风险：导致系统产生重大故障一些特定的维护和修复程序产生损坏让操作人员面临电气、机械以及化学危害的风险向环境释放危险物质的风险3.操作运行安全指南当吸入自燃气体时，尤其含有氧气时，需引入惰性气体。

当进料介质为化学性质不稳定的气体或蒸汽时，这些被认为是可能的危险源，额外的安全措施是需要的，以阻止聚合或过氧化氢物的形成。

当易燃、易爆、有毒和高温的气体或水蒸气作为进料介质时，要确保对环境和人没有危害。

真空系统中流量、温度、压力的参数的设置是为了安全操作，改变时需要咨询真空泵厂家系统在运行时，避免拆除部件，比如说拆除冷却液输送泵的联轴器。

泄漏的危险介质必须立即处理以避免对人员、环境造成伤害。

相应的法律法规必须遵守。

由于电气造成的风险已经排除.(详情如下：通过地方企业认证、VDE认证).4.维护、检查和安装时安全指南在开关泵时，严格安装操作守则中的条目进行。

泵系统内输送危险介质时要及时进行排出。

5.所有安全保护装置必须重新安装，在完成安装后，必须进行一次操作调试。

干式真空泵常见故障及解决办法干式真空泵需要在纯粹的容积水平上运行，且与旋片式真空泵相比，罗茨泵不具有内部压缩功能。

它能够对排气压力进行压缩。

与旋片式真空泵相比，与介质接触的所有部件都是无油的，而且，所有适用于罗茨泵的部件同样适用于干式真空泵。

干式真空泵常见故障及解决办法1、在极限压力下运行对于在最大差压下运行的罗茨泵，在对其进行冷却前，不建议将其直接置于极限压力下运行。

在极限压力下，由于真空泵转速过快，最小或零气体通过量不会通过气体或外壳表面散发任何热量。

由于温度的突然升高，转子和外壳之间的的气隙太小，泵会停止转动。

在严重情况下，这会导致真空泵完全失效。

2、不当的温度波动在罗茨泵塞仍然很热的情况下，环境温度突然大幅度下降将会造成泵壳收缩，导致泵停止转动。

如图1所示，这在极限压力下作业时会尤其重要。

因此，必须不惜一切代价避免环境温度的突变。

另外，操作人员一定要注意不要突然打开附近的百叶窗、其他门等，特别是在冬天。

另外，对于那些自立式泵，要将其放在屋檐或天蓬下，以免其受到雨淋。

如果在发生火灾时，将水直接对准泵，泵壳可能会爆炸，尤其是那些由灰口铸铁制作的壳体更容易发生爆炸。

球墨铸铁版的泵，由于其材料的较高强度，更适合于承受这样的热波动。

3、温度控制如果将罗茨泵以其最大差压运行，则需要在排气端安装一个温度传感器，用以防止过热及由此产生的任何损害。

这会在限定的温度时产生警报，并且当其达到最大允许气温时，将会关闭泵。

4、快速抽空在应用中，必须实现几秒钟的抽取周期，因此操作人员必须要确保罗茨泵和前级泵的比例为1：2。

保证这一比例非常的必要，因为前级泵以100 hPa压强将空气泵出占用了大部分的泵出时间，而罗茨泵只需从10 hPa起的压力就可以有效运转。

因此，前级泵尺寸必须相应地大一些才行。

5、启动泵如果使用了多级泵站或者多个并行操作的真空泵组合，那就有必要以交错的间隔来启动这些泵，最先要启动的是大气泵，这样可以避免过度的电力峰值以及保护高成本的断路器。

干式真空--个人整理、总结目录干式真空泵及现状1.往复式干泵 (3)2.爪式干泵 (4)3.多级罗茨泵 (5)4.干式螺杆真空泵 (5)5.涡旋干泵 (7)6.涡轮式干泵 (8)7.分子泵 (9)干式真空泵是清洁真空获得设备的代表，在各类真空泵的市场份额中占23%，年增长率超过15%。

干式泵的主要应用领域有半导体、化工、薄膜、仪器、医药、食品等行业。

1.往复式干泵往复式干泵是往复式真空泵（又称活塞式真空泵）的一种，依靠气缸内的活塞作往复式运动来吸入和排出气体。

往复式干泵的主要特点是①结构简单，易于操作，价格便宜；②工作过程中不产生粉尘；③耐粉尘，排水蒸气压力强；④流量跨度较大。

但这种泵又具有往复式真空泵易损件多，寿命短，可靠性差，效率低等特点。

往复式干泵最常见的就是活塞干泵（Dry Piston Vacuum Pump）和无油隔膜泵（Oil-Free Diaphragm Pump）可抽除He，H2，Ar和N2等气体，可作为涡轮分子泵、低温泵的粗抽泵和前级泵使用。

活塞干泵（Dry Piston Vacuum Pump）的典型代表为莱宝（EcoDry系列）和普发（Pfeiffer XtraDry系列）。

EcoDry系列泵，流量在11m3/hr至48m3/hr之间，极限真空度为5.5Pa。

XtraDry系列泵，两级活塞泵流量为13m3/hr，极限真空度为103Pa(10mbar)，四级活塞泵流量为7.5m3/hr,极限真空度为10Pa。

主要作为气体分析泵及高真空泵的前级泵使用。

无油隔膜泵（Oil-Free Diaphragm Pump）主要有普发(Pfeiffer)的MVP系列，凯孚(KNF)的Laboport系列以及莱宝(Leybold)的DiVac系列。

此类泵主要应用在实验室及作为分子泵的前级泵使用。

实验室应用主要有旋转蒸发器(rotary evaporators)、真空干燥箱(drying chambers)、真空过滤设备(filtration units)、真空蒸馏设备(vacuum distillation configurations)、凝胶干燥(gel drying)、真空升华(sublimation)、疏散真空干燥(evacuating desiccators)、分析仪器(analysis preparation)、流体灭菌(stream sterilization)、小样本真空冷冻干燥(small sample freeze drying)及其他医疗应用。

干式真空泵的应用及前景展望●干式真空泵简介无油干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。

到目前为止，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。

随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。

其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。

对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。

而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。

●干式真空泵的优点干式真空泵使工作容积中无油，因此带来了不少益处。

首先，它增强了泵的可靠性。

干式泵不像油密封泵那样受到水蒸气或者尘粒的影响，因此它们更耐用，所需的维护工作更少。

减少用油量还意味着减少了认真处理油而花费的成本。

使用干式真空泵还使可能的污染减到最小程度，这种污染既可能出现在油里——影响了泵的性能，也可能出现在某些极端的情况下，例如在最终产品中。

要想成功地更换现有的基于油的真空泵系统，关键是要找到针对特定应用的最合适的解决方案。

为了看一下可以受益的不同类型的应用，下面介绍四种不同的工业生产过程，以及它们使用干式真空泵的主要好处有哪些。

一、在滚动喷涂行业中便于维修金属喷镀覆膜是滚动喷涂行业中一种沿用已久的加工过程，它在真空环境下使用热蒸发技术。

一层薄薄的金属层（最常见的是铝）附着在纸张、聚乙烯（PE）或其他高分子膜上，从而形成一种坚固、漂亮的包装材料，它们能防潮、防灰、隔离光线。

这是适合于食品应用领域的理想材料，因为它使产品保持新鲜，延长保存期限。

各种真空泵的详细介绍真空泵是一种将空气或其他气体从封闭容器中抽除的设备。

它广泛应用于科学研究、工业制造、医疗设备以及高科技领域。

根据不同的原理和应用需求，真空泵可以分为多种不同类型，以下是一些常见的真空泵及其详细介绍。

1.常规真空泵常规真空泵是一种基础设备，用于较低真空度的抽气工作。

它主要分为两类：干式真空泵和液环真空泵。

干式真空泵：干式真空泵使用叶片或齿轮机构来压缩和抽除气体。

它们无需使用润滑剂，因此运行更干净。

干式真空泵适用于一般的生产和实验室应用。

液环真空泵：液环真空泵利用液体（通常是水）的旋转运动来形成真空。

它们适用于液体和粉尘含量较高的工况。

液环真空泵具有较高的抽气速度和较低的噪声水平。

2.分子泵分子泵是一种高真空泵，可提供非常低的压力。

它的工作原理是利用高速运动的气体分子和表面的碰撞，将气体抽出。

分子泵通常用于高真空科学研究和半导体制造等领域。

3.扩散泵扩散泵是一种高真空泵，通过扩散气体分子的速度差异来实现气体抽出。

它通常与其他低真空泵（如液环泵或旋片泵）结合使用，以提供更高的真空度。

扩散泵广泛用于半导体制造和真空冶金等工业领域。

4.混合泵混合泵是一种结合了旋片泵和扩散泵的真空泵。

它可以同时提供较高的抽气速度和较低的极限真空度，适用于广泛的应用领域。

5.根式泵根式泵是一种高真空泵，通过叶轮运动产生气体分子的螺旋运动，从而实现气体排放。

根式泵具有高抽气速度和干燥净化的优点，广泛应用于电子器件制造和真空冶金等领域。

6.螺杆泵螺杆泵是一种高真空泵，利用螺旋转子和固定螺纹壳体之间的间隙来抽排气体。

螺杆泵具有较高的抽气速度和较低的噪音水平，适用于高真空和半导体制造等领域。

7.陶瓷泵陶瓷泵是一种特殊的真空泵，使用陶瓷材料制成。

它们具有非常高的耐腐蚀性和超高真空能力，常用于高纯度气体制造和超高真空实验室等应用。

以上是一些常见的真空泵类型及其详细介绍。

每种真空泵都有其独特的工作原理、优点和适用范围。

干式螺杆真空泵的结构、性能与应用摘要：干式螺杆真空泵是一种新型的真空泵，摒弃了传统润滑介质，具有结构简单、无油污染、高效能等特点。

本文通过对干式螺杆真空泵的结构、性能及应用进行研究与分析，总结出其在工业生产、科学研究等领域的广泛应用。

通过实验测量和数据分析，验证了干式螺杆真空泵的高抽速、低温升、可靠性等优势。

该研究为进一步推动干式螺杆真空泵的应用提供了理论依据和技术支持。

关键词：干式螺杆真空泵；性能；结构引言干式螺杆真空泵作为一种新型的真空泵，具有结构简单、无油污染、高效能等优势，已经在工业生产和科学研究中得到广泛应用。

本文旨在研究和分析干式螺杆真空泵的结构、性能及应用，并通过实验验证其抽速、温升和可靠性等方面的优势。

通过该研究，可为进一步推动干式螺杆真空泵的应用提供理论依据和技术支持，促进其在各个领域的发展和应用。

1.干式螺杆真空泵的结构干式螺杆真空泵是一种新型的真空泵，其结构相比传统润滑介质的真空泵有所不同。

它主要由驱动电机、螺杆转子、定子、进气口、排气口等组成。

其中，驱动电机提供动力，使螺杆转子旋转；螺杆转子与定子之间形成密封腔，通过旋转运动实现气体的抽吸和排放。

干式螺杆真空泵不需要外部润滑介质，因此在结构上取消了传统泵中的润滑系统，简化了结构，并且避免了润滑介质对工艺气体的污染。

此外，干式螺杆真空泵还采用了特殊的密封措施，以确保真空度的稳定性。

整个结构紧凑，占用空间小，方便安装和维护。

干式螺杆真空泵的结构简单而高效，使其在工业生产和科学研究中得到广泛应用。

2.干式螺杆真空泵的性能2.1高抽速的实验验证通过实验验证，干式螺杆真空泵展现出了高抽速的优异性能。

实验中，我们使用不同压力下的气体进行测试，并测量了干式螺杆真空泵的抽速。

结果显示，在各种压力范围内，干式螺杆真空泵表现出了卓越的抽取能力。

尤其是在高真空条件下，其抽速明显高于传统润滑介质的真空泵。

这可归因于干式螺杆真空泵采用无油设计，减少了气体与润滑介质之间的摩擦损失，提高了气体的流动性能。

edwardsgxs干式螺杆真空泵工作原理
干式螺杆真空泵是一种常用的真空设备，广泛应用于许多工业领域。

它的工作
原理如下：
干式螺杆真空泵采用螺杆技术进行真空抽取。

它由两个相互啮合的螺杆组成：
主动螺杆和从动螺杆。

这两个螺杆通过电机的驱动进行旋转。

在螺杆的轴心之间形成一系列密封腔。

在泵的吸入端，气体通过进气口进入密封腔。

随着螺杆的旋转，气体被推进到
螺杆的排气端。

在这个过程中，气体被连续压缩并向外部环境排放。

中间互影相关信息描述
由于干式螺杆真空泵没有使用润滑剂，所以它不会产生任何油蒸汽或油污染物。

这使得它适用于对干净环境要求较高的应用，如电子、医疗器械和食品行业等。

此外，干式螺杆真空泵还具有高效、可靠、易于维护和操作等优点。

它可以提
供稳定的真空度，并在各种工况下工作。

然而，由于干式螺杆真空泵不适用于处理大量水蒸汽或可燃气体，因此在应用之前需要仔细评估其适用性。

总之，干式螺杆真空泵通过有效的螺杆设计和旋转运动实现真空抽取的工作原理。

它在工业领域中扮演着重要的角色，为各种应用提供了可靠的真空解决方案。

干式螺杆真空泵技术参数全文共四篇示例，供读者参考第一篇示例：干式螺杆真空泵是一种由螺杆压缩机和真空泵融合而成的设备，广泛应用于真空蒸馏、真空蒸发、真空干燥等领域。

干式螺杆真空泵具有结构简单、操作方便、稳定性高等优点，逐渐成为很多行业的首选设备。

在选购干式螺杆真空泵时，了解其技术参数是非常重要的，下面就让我们来详细了解一下干式螺杆真空泵的技术参数。

一、流量参数流量是干式螺杆真空泵的核心参数之一，一般以立方米/小时或者升/分钟为单位表示。

不同规格的干式螺杆真空泵的流量参数差异较大，选择时要根据具体需求进行选择。

干式螺杆真空泵的流量大小直接影响到设备的真空度以及抽气速度，因此在选购时一定要确保流量参数符合实际需求。

二、抽气速度抽气速度是另一个重要的技术参数，通常以立方米/小时或者升/分钟来表示。

抽气速度越大，干式螺杆真空泵的抽气效果就越好。

在实际应用中，抽气速度与流量参数密切相关，选择时需要综合考虑。

三、极限压力极限压力是干式螺杆真空泵的一个重要参数，通常以帕斯卡（Pa）或者毫巴（mbar）来表示。

极限压力越低，说明干式螺杆真空泵的抽气能力越强。

极限压力与真空度密切相关，选购时一定要选择极限压力较低的干式螺杆真空泵。

四、功率功率是衡量干式螺杆真空泵性能的重要指标之一，通常以千瓦（KW）为单位表示。

功率大小会直接影响到干式螺杆真空泵的抽气效率以及运行成本，因此选择时要根据实际需要进行合理选择。

五、转速转速是干式螺杆真空泵的关键技术参数之一，通常以转/分来表示。

转速的大小会影响到干式螺杆真空泵的运转效果和生产效率，选购时需谨慎考虑。

六、冷却方式干式螺杆真空泵通常采用风冷式或者水冷式冷却方式，不同的冷却方式对干式螺杆真空泵的性能和使用寿命有着直接影响。

在选购时要根据具体的工况和环境条件选择合适的冷却方式。

七、外形尺寸外形尺寸是干式螺杆真空泵的重要技术参数之一，通常以毫米为单位表示。

不同规格的干式螺杆真空泵外形尺寸差异较大，选购时需根据实际安装场地和空间进行选择。

目录第一章绪论 (4)1.1 课题背景及研究意义 (4)1.2 螺杆真空泵在国内外的研究现状与发展方向 (6)第二章螺杆干式真空泵转子型线的研究 (8)2.1 常见转子型线比较 (8)2.2 多头双边对称圆弧型线 (9)2.2.1转子型线要素 (10)2.2.3 多头双边对称圆弧型线方程 (12)第三章螺杆干式真空泵工作原理 (16)第四章螺杆干式真空泵设计计算 (19)4.1螺杆基本尺寸 (19)4.2排气量 (21)4.2.1理论排气量 (21)4.2.1实际排气量 (21)4.3进排气孔口 (22)4.3.1轴向进气口 (22)4.3.2轴向排气口 (23)4.4极限真空度、功率及冷却水量 (23)4.5轴的强度计算 (24)4.6同步齿轮的设计计算 (24)4.6.1齿轮尺寸计算 (24)4.6.1齿轮强度校核 (25)参考文献： (26)螺杆式干式真空泵摘要：近年来在半导体工业和液晶显示器制造等工艺中，对清洁真空环境的要求越来越高。

如在半导体的等离子增强气相沉淀(PECVD)和反应离子刻蚀(RIE)工艺中，在液晶生产上使用的蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆(PLASMA)的CVD制程中，不但要求环境清洁，而且还需要抽除大量含有微小颗粒及粉尘的反应生成气体。

这些问题都不是传统的有油泵所能解决的。

本文的研究对象——螺杆式干式真空泵，抽气腔内无任何工作液，保证了被抽空间不受污染;无油蒸汽排放，保证了外部环境的清洁。

由于阴阳转子齿面间留有间隙，因而可以抽除含有粉尘，或有腐蚀性，有毒的气体。

作者主要着重于以下几个方面的研究：干式螺杆真空泵的基本原理。

阴阳螺杆的型线研究。

螺杆端面型线采用双边对称圆弧型线，推导出啮合原理的数学表达式，建立几何模型推导出端面型线方程，继而推导出螺旋齿面方程。

几何特性的研究等。

关键词：干式真空泵螺杆型线Abstract:Recently，in the semiconductor process of plasma enhanced chemical vapor deposition (PEVCD) and reactive ion etching (RIE)，in the liquidcrystal display device manufacture process of etching and PLASMA CVDproduction, it has not only high demand of vacuum environmentcleanliness, but also need to extract a huge amount of reaction-gascontaining particle and dust. The conventional oil pump can't solve theproblems mentioned above. The research object in this paper-dry screwvacuum pump has no operating fluid in the extracting chamber. It canguarantee space extracted and out side clean. It can extract gas containingmill dust ,corrosivity ,and poison ,because it has small gap between toothface of male and female rotors .I have focused on there search asfollowing .The profile research of male and female screws . The end faceprofile is double sides and symmetrical circles. Deduce the mathematicexpression of meshing principle; establish the geometric model and deducethe equations of end face profile, then the Equations of helical toothface .The research of geometrical properties，etc.Keywords：dry(oil-free)vacuum pump screw第一章绪论1905年德国人沃尔夫岗.盖德发明了油封式旋片泵，从此各种以油为工作液、润滑剂、密封液的真空泵如雨后春笋般迅速普及，统治了真空设备市场近百年。

干式螺杆真空泵的日常清洗方法
首先，清洗前需要确保真空泵已经停机，并且处于冷却状态。

然后，按照以下步骤进行清洗：
1. 清洗滤网，首先清洗滤网，将滤网取出，用清水冲洗干净，去除堵塞的灰尘和杂物。

2. 清洗泵体外表面，用湿布或者软刷蘸取清洁剂，轻轻擦拭泵体外表面，去除表面的污垢和油渍。

3. 清洗进气口和出气口，用软刷或者压缩空气清洁进气口和出气口，确保通畅无阻。

4. 清洗内部，打开泵体盖，用清洁剂和软刷清洁泵体内部，去除内部的污垢和沉积物。

注意不要损坏螺杆和密封件。

5. 冲洗和擦干，用清水冲洗泵体内部和泵体盖，然后用干净的布擦干。

6. 组装，清洗干净后，将滤网和泵体盖安装回原位，确保安装
牢固。

7. 启动检查，清洗完成后，启动真空泵进行检查，确保清洗后的泵能正常运行。

需要注意的是，清洗时要避免水或清洁剂进入泵内部，以免影响泵的正常工作。

另外，清洗后要及时擦干泵体表面和内部，避免水渍残留导致腐蚀。

总之，干式螺杆真空泵的日常清洗是保持设备性能稳定运行的重要步骤，只有做好日常清洗和维护工作，才能延长设备的使用寿命，保证生产的顺利进行。