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ESD设施点检表(DIP )

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静电测试点检表

静电测试点检表

目视 日/1次
5.各线组长应确保本线员工 在需要的岗位都正确佩戴好 静电环，不能松脱，更不能
戴在袖子上。
备 注：
OK： √ NG： × 其它 ：△
制作日期:2011年11月28日
文件编号：SZR-DJB-11
有效期： 2012年11月28日
制作日期:2011年11月28日
文件编号：SZR-DJB-11
2.进入静电敏感区域应将防
静电环连接好，与皮肤完全
接触，保护防静电环正常有
防
效的工作。
静
3.对静电敏感器件，需先带
电
好防静电环，再拿静电敏感 器件，先放静电敏感器件，
点检仪
再拔防静电环
手 4.防静电线的有效长度是2.5 米，在使用防静电环的过程
环 中，不可过度拉扯而超过它 的有效长度，不可折断防静 电线，不可冲洗防静电环， 插拔时不可通过拉防静电线 来完成，不可在防静电环金 属片上加水等，要注意正确
有效期： 2012年11月28日
项目
要求
点检 工具
1.每班开工前，每位员工都 应自检防静电环是否正常， 并做好记录，只有测试合 格，才可以进入静电敏感区
域工作。
ESD 点检表（2011年12月）
点检 方法
点检 频率点检人1234567
8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31

ESD対策 点检表

ESD対策 点检表

货仓前加工IQC SMT組立OQC货仓前加工IQC SMT組立OQC货仓前加工IQC SMT組立OQC货仓前加工IQC SMT組立OQC货仓前加工IQC SMT組立OQC测试地板2点之间的表面阻值ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○地控点检记录表公共接地点与地板表面的电阻值ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○摩擦电压(地板/工鞋步行电压)＜100VESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○各静电皮2点间的表面阻值ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○作业台静电对策确认表静电皮的接地状态ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○各表面2点间的阻值ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○ESD固定货架 点检记录表静电皮/面的接地状态ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○各静电皮2点间的表面阻抗ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○ESD移动推车 点检记录表静电皮的接地状态ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○针对可接触到部品的位置放置静电垫等，测量其表面电位＜100ＶESD担当○○○○○ESD设备/仪器/工治具 点检记录表整个真空包装机的接地阻值＜20ΩESD担当○○○○○2点间的表面电阻值ESD担当○○○○○○○○○○ESD脚垫 点检记录表确认静电脚垫是否有接地ESD担当○○○○○○○○○○2点间的表面阻值1.0×106～109ΩESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○ESD座椅 点检记录表表面摩擦电压＜100V ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○拉台的接地电阻值＜20ΩESD担当○○○○○○○○○○ESD设备/仪器/工治具 点检记录表测量与基板接触部分的表面电位＜100ＶESD担当○○○○○○○○○○设备接地点与设备的接地是否OK包括1.电源接地是否有效2.本体外壳的接地是否有效＜20ΩESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○ESD设备/仪器/工治具 点检记录表上下板机接地点与上下板机的接地阻值＜20ΩESD担当○○○○○ESD设备/仪器/工治具 点检记录表离子风机测量离子平衡度＜100VESD担当○○○○○○○○○○○○○○○离子风机点检记录表静电腕带/工鞋导通测试(确认静电腕带的导通与人体接触的导通是否良好)/测试人体和工鞋的电阻值0.8-1.2M Ω＜1.0×109Ω全体○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○防静电手环/鞋检测记录表备注ESD対策 点检记录表※ 如下检查项目及内容由品质部实施定期点检确认 年别：2013年阻抗基准(Ω/V）点检确认人检查对象7月8月6月＜1.0×109Ω1.0×106～109Ω一、ESD现场接地·防护控制10月1.0×106～109Ω地板防静电作业台防静电固定货架点检项目9月防静电移动推车1.0×106～109Ω＜1.0×109Ω流水拉/接驳台真空包装机防静电脚垫防静电座椅DONGGUAN EVERGREAT ELECTRONICS CO.,LTD.东莞绿成电子有限公司※ 点检确认人对所测定项目按要求定期点检确认，点检OK用“○”表示，NG用“N”表示并及时找相关责任人处理跟进至OK。

ESD月点检记录表

ESD月点检记录表

1x109~1.0x1012
1x10 ~1.0x10
5
10
每条线取2个点进行检查
测试人:
测试日期
静电位水平
<100 V
表面电阻： 对地电阻： 工作台面对地电阻和表面 每条线取3个点进行检 5 1 7.5x10 ~1.0x10 5 9 （点对点）电阻 查，设备小于3个则全检 7.5x10 ~1.0x10 0 工作椅对地电阻和表面 (点对点)电阻 防静电手套、指套表面 (点对点)电阻 地板、地垫表面(点对点) 电阻 测试地点： 表面电阻：≤ 1.0x1010 对地电阻： 每条线取3个点进行检 7.5x105~1.0x109 查，设备小于3个则全检 每条线取2个点进行检查
ESD 月 点 检 记 录 表
Code: QR-0049 实测点1 测量项目 判定标准 测量点要求 测试点名称 实测数值 或编号 实测点2 测试点名称 实测数值 或编号 实测点3 测试点名称 实测数值 或编号
判定结果
Rev:01
ESD标记情况
目视，要ห้องสมุดไป่ตู้标识清楚
-
腕带插孔及防静电桌布接 目视，要求腕带插孔无松动，各接 每条线取3个点进行检 地点与主静电线电气连接可靠 地检查情况 查，设备小于3个则全检 每条线取3个点进行检 查，其中操作工位3个， 地3个

ESD日常检查表

ESD日常检查表
ESD 日常点检表
日期 防静电 防静电的插 接地扣 检测人 座是否松动 是否松 动 连接线 是否损 坏 静电手 环是否 测试 Pass 防静电 的插座 是否松 动 防静电 接地扣 是否松 动 连接线 是否损 坏 静电手 环是否 测试 Pass 防静电 的插座 是否松 动 防静电 接地扣 是否松 动 连接线 是否损 坏 静电手 环是否 测试 Pass 防静电 的插座 是否松 动 防静电 接地扣 是否松 动 连接线 是否损 坏 静电手 环是否 测试 Pass 防静电 的插座 是否松 动 防静电 接地扣 是否松 动 连接线 是否损 坏
日常点检表ຫໍສະໝຸດ 静电手 环是否 测试 Pass

esd点检表

esd点检表
频率测试仪器检ห้องสมุดไป่ตู้标准静电环每月一次兆欧表接地线每月一次万用表和接地电阻测试仪烙铁每月一次兆欧表地面每月一次静电压表万用表和兆欧表防静电容器每月一次兆欧表防静电台垫每月一次兆欧表工作台每月一次兆欧表流水线自动传送带每月一次兆欧表表单编号
点检日期： 项目
点检对象 静电环 接地线 烙铁 地面
防静电容器 防静电台垫
工作台 流水线自动传送带
表面电阻(Ω ) 泄漏电阻(Ω )
点检表
静电压(V)
频率
测试仪器
检测标准
每月一次
兆欧表
泄漏电阻为1×106Ω ±10％
每月一次 每月一次 每月一次
万用表和接地电阻测试仪 ＜4Ω
兆欧表
烙铁头接地电阻＜20Ω ，手柄 绝缘电阻1×107~1×108Ω
静电压表，万用表和兆欧表 200V ，1×104Ω ~ 109Ω
每月一次
兆欧表
表面电阻>1012Ω
每月一次
兆欧表
表面电阻：1×105Ω ~1×109Ω
每月一次
兆欧表
表面电阻：1×106Ω ~1×109Ω
每月一次
兆欧表
表面电阻：1×106Ω ~1×109Ω
批准：
审核：
表单编号： 编制：

ESD检查报告表

ESD检查报告表
ESD检查报告表
检查 日
部门/生产线:
项目
内容
静电手环功能检测
静电手 环／套
静电手环夹子须连接ESD接地线
标准 －－
工具 静电手环测试仪
无松脱/接触良好
万用表
结果
稽核结果
静电手套允许最大静电电压
＜100V
静电电压测试仪
静电地面电阻阻抗值/静电电压 值
1X105~1011Ω/＜
表面阻抗测试仪 /静电电压测试
1、以上 注： 报告无表数中
据2、要稽求核 结果注栏栏由 内；
检查 人：
审核：
稽核：
FW-SG-04
静电电压测试仪
静电材料包装允许最大静电电压
＜100V
静电电压测试仪
防静电测试用之仪器校验有效性 校验合格且有标签
操作员/修理员有佩带静电手环 及佩带方法正确
SMT房及敏感元器件仓人员是否 穿静电衣、防静电鞋/帽
－－ －－
电批/烙铁与安全地线连接
无松脱/接触良好
接触静电敏感元器件使用ESD电 烙铁
目视 目视 目视 万用表 目视
100V
仪
防静电容具
＜100V
静电电压测试仪
备注

静电区域有ESD警告标识
－－
目视
仪器\设备\治具与安全接地线连 接
无松脱/接触良好
万用表
防静电工作台垫允许最大静电电 压
＜100V
静电电压测试仪
防静电工作台垫与ESD地线连接 生产线 /IQC/ 防静电椅垫允许最大静电电压 仓库
无松脱/接触良好
万用表
＜100V

2019年ESD防静电审核检查表(ESD Checklist)

防靜電衣是否有正確穿著?
M6. Measure the resistivity of the ESD protective garment/smock; Spec: 0-1e5 Ohms/Square
測量靜電衣表面電阻率;規格：0 - 10^5歐姆/平方
□符合□不符合
17
Are the ground points of all equipment grounded to the common ESD ground of the plant?
測量工作臺任何絕緣材料及易摩擦帶電的場電壓;規格：<200V的
□符合□不符合
29
Is the RH of ESD controlled areas maintained above 40% and is the RH in these areas monitored?
Is the surface of the worktable where ESD-sensitive devices are handled covered with a static dissipative mat?
處理靜電敏感元件時是否于工作臺上鋪設靜電消散墊子?
□符合□不符合
21
Is the static dissipative mat on the table properly grounded to the ESD common ground at prescribed intervals?
在ESD管制區域是否絕緣材料存在，例如，塑料包裝袋，塑料信封，塑料文件夾，盒子？
□符合□不符合
26
Where insulative materials are present in ESD controlled areas, are ionizers in use?

电器公司ESD点检表


测试仪
记录
日/2次
∕
目视
日/2次
防静电腕 带
对静电敏感器件，需先戴好防静电环，再拿静电敏感器件ESD,先放下静电 敏感器件ESD，再拔防静电环。
∕
目视
Hale Waihona Puke 日/2次防静电线的有效长度是2.5米，在使用防静电环的过程中，不可过度拉扯而 超过它的有效长度，不可折断防静电线，不可冲洗防静电环，拔插时不可通 过拉防静电线来完成，不可在防静电环金属片上加水等，要注意正确使用和 妥善保护好防静电环。 各线组长和生产主任应确保本线员工在需要的岗位都正确佩戴好静电环，不 能松脱，更不能戴在袖子上。 腕带插座 腕带连接插座接触良好，无松脱现象。
∕
目视
日/2次
∕
目视
日/2次
∕
目视 点检人
日/2次
OK打: √
NG打: ×
其它打: △
确认人(每周由专职人员进 行一次确认)
____电器___(ESD)点检表
年月份：
项目 点检要求 点检工 点检方 点检频 1 具 法 次
∕ ∕ ∕ ∕ ∕ 目视 目视 目视 目视 目视 日/1次 日/1次 日/1次 日/1次 日/1次
2
3 4
5 6
7
8
9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31
防静电手 在不便使用有绳防静电腕带的岗位，如流动操作岗位，须使用防静电手套。 套\指套 定期更换破，旧和脏的防静电手套和指套。 防静电工作台在日常使用中，必须确保正常接地状态。 防静电工作台上不允许存放塑料盒、橡皮、玻璃、白色塑料袋等易产生静电 的物品，图纸、资料等应放入防静电文件袋中。 检查工作区所有ESD敏感器件、单板都放置在防静电周转工具或包装中。 确定你的工作区内、防静电周转工具和包装中没有不允许的或未经处理的静 防静电工 电源。工作区内必须存在的一些静电源远离ESD敏感器件和敏感单板30厘米 作台 以上。保证明显而严重的静电源远离防静电工作区1米以上。 确认工作台台垫为防静电台垫，工具为防静电工具。确认工作区域所有防静 电工具都有ESD标识。 确认在工作台上的清洁用品、溶剂、喷雾器、胶纸等工具材料已被EPA区域 责任人确认可以使用。 如果工作台装了离子风机，在工作时应打开，并保证其位置正确。 设备\测试 每日对设备的接地线进行检查，要求接地点和设备的接地点相通。 工装 检查设备和工装的接地点必须牢固，无松开现象。 电批 电烙铁 电动起子电线外壳部分应实行硬接地，并进行测试保证接地良好。 电烙铁电力线外壳部分应实行硬接地，并进行测试保证接地良好。

ESD防护项目检查表

ESD防护项目检查表
频率 每日必巡检 项目 a）腕带 b）ESD防护鞋 c）个人ESD防护衣穿着 d）个人穿着之腕带或ESD防护鞋 a）ESD防护工作站(如：接地） b）ESD防护地板(如：清洁地板，避免破损） c）ESD接地连接（如：腕带，台垫接地线） a）ESD防护区域及工作站静电电压的测量 a）ESD防护静电消散工作表面之ESD接地的电阻值 b）ESD导电工作表面至ESD接地电阻值 c)ESD防护地板至ESD接地的电阻值 d）腕带测试器 e）ESD接地至接地点 a）空气游离器使用 b）空气游离器充电衰减使用 ESD系统符合本规范
建议周检
建议月检
建议季检
建议年检 建议年检
目检查表
允许标准 参考章节 ≥500K to ≤10M 6.4/6.4.1 9 6.4/6.4.1 ≥500K to ≤10 Ω 目视检查 11.4 目视检查 6.3 目视检查 7.3/7.4.1/7.4.2 目视检查 7.3/7.5 目视检查 7.3/7.6 未受保护的ESD敏感元 6.5 件在12英寸内必修≤± 1000 7.3/7.4.1 ≥105 to ≤109Ω ﹤1000K（无串联电阻） 4.3/7.3/2 4 9 7.5 ≥10 to ≤10 Ω ≥500K to ≤10M 6.4.3 ﹤1.0 4.10/7.6/7.7/7.8/7.9 平衡﹤±35v 11.3e 参考制造商规格参数 11.3f 使用ESD稽核表 9.2

工厂静电防护项目自检表

ESD 防护设施及用品技术要求及检测项目表
类别
相关产品
项目
环境
温湿度表/加加湿器/空调
温湿度
接地及等 电位连接
人员装备
静电桩/静电接地监控器（1-2） 静电接地线（电线）
静电接地组件（瓜钉）（41） 静电接地插座（贵司剥接地线外层胶皮直接联
接）（41）
1、 手腕带/静电鞋（42/19-21） 2、 手腕带测试仪/人体静电综合测试仪
耗散时间
CPM/SIMCO F003
（7 -11）
推车及移 动料架
1、更换导电轮，2、增加导电链条 3、非导电推 车禁止使用或更换或做防静电处理。（塑胶推
车）
接地链 台垫表面电阻
对地电阻
目测 表面阻值仪
兆欧表
另建议配置静电设备：1、人体静电释放器（放于进入 EPA 区之前，对于人体身上积累的大量静电进行释放）。
万用表 兆欧表
1、 静电防护区域：地板上贴防静电警示胶带
2、 防静电产品上包装周转材料上需贴防静电
EPA 标识
标志。
是否完好
目视
3、 在静电防护区域的明显处悬挂警示吊牌.
（38）
1、工位密集地方:3 头风机。
偏置电压
离子风机
2、关键工位：单独使用高效单头离子风机（3-6） 3、风机无法摆放的地方可以考虑离子风嘴等
兆欧表 ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ欧表
/
1х 105Ω ~1х 1011Ω
1х 105Ω ~1х 1011Ω
/
兆欧表
7.5х 105~1х 1012Ω
表面阻值仪
<1х 109Ω
静电电压仪
<100V
表面阻值仪
105Ω ≤Ω ≤109Ω
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点检项 测试点 接地线 电阻值 电压值
每一个测试点根据点检项目进行 点检， 点检，划“ ”部分不作点检。 ”部分不作点检。 部分不作点检
接地线良好记录“○”， 接地线良好记录“○”，不符合 “○” 记录“×”，电阻或电压记录实际 记录“×”， “×” 电压值
测试点D 测试点D67 测试点D 测试点D68 测试点D 测试点D69 测试点D 测试点D70 测试点D 测试点D71 测试点D 测试点D72 测试点D 测试点D73 测试点D74 测试点D 测试点D 测试点D75 测试点D 测试点D76 测试点D 测试点D77 测试点D 测试点D78 测试点D 测试点D79 测试点D 测试点D80 测试点D 测试点D81 测试点D 测试点D82 测试点D 测试点D83 测试点D 测试点D84 测试点D 测试点D85 测试点D 测试点D86 测试点D 测试点D87 测试点D 测试点D88
点检项 测试点 接地线 电阻值 电压值
测试点D 测试点D89 测试点D 测试点D90 测试点D 测试点D91 测试点D 测试点D92 测试点D 测试点D93 测试点D 测试点D94 测试点D 测试点D95 测试点D96 测试点D 测试点D 测试点D97 测试点D 测试点D98 测试点D 测试点D99 测试点D 测试点D100 测试点D 测试点D101 测试点D 测试点D102 测试点D 测试点D103 测试点D 测试点D104 记录事项： 记录事项：
点检项 测试点 接地线 电阻值 电压值
测试点D 测试点D45 测试点D 测试点D46 测试点D 测试点D47 测试点D 测试点D48 测试点D 测试点D49 测试点D 测试点D50 测试点D 测试点D51 测试点D52 测试点D 测试点D 测试点D53 测试点D 测试点D54 测试点D 测试点D55 测试点D 测试点D56 测试点D 测试点D57 测试点D 测试点D58 测试点D 测试点D59 测试点D 测试点D60 测试点D 测试点D61 测试点D 测试点D62 测试点D 测试点D63 测试点D 测试点D64 测试点D 测试点D65 测试点D 测试点D66
年月
管理担当 制造2 制造2科 页码 第1页 总计1 总计1页
ESD设施点检表 ESD设施点检表
部门
点检项 测试点 接地线 电阻值 电压值
测试点D 测试点D01 测试点D 测试点D02 测试点D 测试点D03 测试点D 测试点D04 测试点D 测试点D05 测试点D 测试点D06 测试点D 测试点D07 测试点D08 测试点D 测试点D 测试点D09 测试点D 测试点D10 测试点D 测试点D11 测试点D 测试点D12 测试点D 测试点D13 测试点D 测试点D14 测试点D 测试点D15 测试点D 测试点D16 测试点D 测试点D17 测试点D 测试点D18 测试点D 测试点D19 测试点D 测试点D20 测试点D 测试点D21 测试点D 测试点D22 异常事项记录： 测试点D 测试点D23 测试点D 测试点D24 测试点D 测试点D25 测试点D 测试点D26 测试点D 测试点D27 测试点D 测试点D28 测试点D 测试点D29 测试点D30 测试点D 测试点D 测试点D31 测试点D 测试点D32 测试点D 测试点D33 测试点D 测试点D34 测试点D 测试点D35 测试点D 测试点D36 测试点D 测试点D37 测试点D 测试点D38 测试点D 测试点D39 测试点D 测试点D40 测试点D 测试点D41 测试点D 测试点D42 测试点D 测试点D43 测试点D 测试点D44