比例电磁阀和 MFM-MFC-2824

7月份材料计划
序号名称规格单
位
数
量
备注
1 电磁阀品牌：AIRTAC
型号：4V210-8
线圈电压：220V
个10 渣仓出料气动门用
2 电磁阀品牌：AIRTAC
型号：4M310-10
线圈电压：220V
个10 灰库出料阀气动门用
3 电磁阀品牌：SMC
型号：SY7140-5DZD
线圈电压：24V
带底座
个10 电除尘气动插板门上用
4 电磁阀型号：Q25DC-15
线圈电压：24V 厂家：广东省肇庆方大气动有限公司
电除尘气动提升阀上用。

5 电接点水位计二
次表(补的计划)型号：DQS-76型个 2 厂家：长春锅炉仪表程控设
备股份有限公司
用在1号炉汽包电接点水
位计二次表
6 热电阻芯长度310mm 支 2 罗茨风机室加热器用
7 快速接头G1/4转φ8 个50 电除尘电磁阀上用
8 快速接头φ8转φ10 个30 电除尘用
9 快速接头M20×1.5转φ10 个20 电除尘用
综合
红胶皮米 2.5。

二位五通电磁阀原理图解电-气转化组件将电讯号转化为气动讯号，电气讯号输入控制了气动输出。

最常用的电-气转换组件是电磁阀。

电磁阀既是电器控制部分和气动执行部分的接口，也是和气源系统的接口。

电磁阀接受命令去释放，停止或改变压缩空气的流向，在电-气动控制中，电磁阀可以实现的功能有：气动执行组件动作的方向控制，ON/OFF开关量控制，OR/NOT/AND逻辑控制。

在电磁阀家族中，最重要的是电磁控制换向阀。

电磁控制换向阀的工作原理在气动回路中，电磁控制换向阀的作用是控制气流通道的通、断或改变压缩空气的流动方向。

主要工作原理是利用电磁线圈产生的电磁力的作用，推动阀芯切换，实现气流的换向。

按电磁控制部分对换向阀推动方式的不同，可以分为直动式电磁阀和先导式电磁阀。

直动式电磁阀直接利用电磁力推动阀芯换向，而先导式换向阀则利用电磁先导阀输出的先导气压推动阀芯换向。

图4.2a表示3/2(三路二位)直动式电磁阀(常断型)结构的简单剖面图及工作原理。

线圈通电时，静铁芯产生电磁力，阀芯受到电磁力作用向上移动，密封垫抬起，使1、2接通，2、3断开，阀处于进气状态，可以控制气缸动作。

当断电时，阀芯靠弹簧力的作用恢复原状，即1、2断，2、3通，阀处于排气状态。

二位五通双电控电磁阀的工作原理2009-10-20 21:47在气路(或液路)上来说，两位三通电磁阀具有1个进气孔(接进气气源)、1个出气孔(提供给目标设备气源)、1个排气孔。

两位五通电磁阀具有1个进气孔(接进气气源)、1个正动作出气孔和1个反动作出气孔(分别提供给目标设备的一正一反动作的气源)、1个正动作排气孔和1个反动作排气孔(安装消声器)。

在电气上来说，两位三通电磁阀一般为单电控(即单线圈)，两位五通电磁阀一般为双电控(即双线圈)。

两位三通电磁阀分为常闭型和常开型两种，常闭型指线圈没通电时气路是断的，常开型指线圈没通电时气路是通的。

常闭型两位三通电磁阀动作原理：给线圈通电，气路接通，线圈一旦断电，气路就会断开，这相当于“点动”。

消防专用阀门>>消防专用电磁阀>>消防专用电磁阀产品详细信息电磁阀系列价格供用户或设计院工程项目做预算一、阀门的选型步骤1.明确阀门在设备或装置中的用途，确定阀门的工作条件：适用介质、工作压力、工作温度等等。

2.确定与阀门连接管道的公称通径和连接方式：法兰、螺纹、焊接等。

3.确定操作阀门的方式：手动、电动、电磁、气动或液动、电气联动或电液联动等。

4.根据管线输送的介质、工作压力、工作温度确定所选阀门的壳体和内件的材料：灰铸铁、可锻铸铁、球墨铸铁、碳素钢、合金钢、不锈耐酸钢、铜合金等。

5.确定阀门的型式：闸阀、截止阀、球阀、蝶阀、节流阀、安全阀、减压阀、蒸汽疏水阀、等。

6.确定阀门的参数：对于自动阀门，根据不同需要先确定允许流阻、排放能力、背压等，再确定管道的公称通径和阀座孔的直径。

7.确定所选用阀门的几何参数：结构长度、法兰连接形式及尺寸、开启和关闭后阀门高度方向的尺寸、连接的螺栓孔尺寸和数量、整个阀门外型尺寸等。

8.利用现有的资料：阀门产品目录、阀门产品样本等选型适当的阀门产品。

二、阀门的选型依据1.所选用阀门的用途、使用工况条件和操纵控制方式。

2.工作介质的性质：工作压力、工作温度、腐蚀性能，是否含有固体颗粒，介质是否有毒，是否是易燃、易爆介质，介质的黏度等等。

3.对阀门流体特性的要求：流阻、排放能力、流量特性、密封等级等等。

4.安装尺寸和外形尺寸要求：公称通径、与管道的连接方式和连接尺寸、外形尺寸或重量限制等。

⑤对阀门产品的可靠性、使用寿命和电动装置的防爆性能等的附加要求。

（在选定参数时应注意：如果阀门要用于控制目的，必须确定如下额外参数：操作方法、最大和最小流量要求、正常流动的压力降、关闭时的压力降、阀门的最大和最小进口压力。

）根据上述选型阀门的依据和步骤，合理、正确地选型阀门时还必须对各种类型阀门的内部结构进行详细了解，以便能对优先选用的阀门做出正确的抉择。

管道的最终控制是阀门。

MAC 电磁阀44系列
订货方式：
电磁线圈选择： G ④⑤⑥——⑦⑧⑨
④⑤ 电压 ⑥ 电线长度 ⑦ 手动装置
⑧⑨ 接线方式
AA 120VAC/2.5W A 18” 1 元锁定装置 KA 迷你插座
HC 220VAC/5.4W B 24” 2 有锁定装置 KT 迷你插座/带灯 DC 24VDC/1.8W C 36” BA 标准出线
DF 24VDC(4W) H 144” BT 标准出线/带灯 DN 12VDC(4W)
HB 插座型/带整流和灯 DJ 12VDC(1.8W)
备注：在交流电压时，必须使用带整流装置的插座
功能
接囗尺寸 流量（最大） 安装方式 5/2 常开常闭
M5–#10-32 0.10 Cv 管接/板接
介质
压缩空气，真空或惰性气体
压力范围 真空到 120 PSI
流量范围 4W:1.0Cv , 1.8W: 0.06Cv 电压范围 正常电压的-15%到+10% 通径
1.8mm
反应时间 通电: 3.4ms 断电: 1.5ms 线圈及防护等级
A 级防尘线圈,IP54
① 阀体类型 ②③接囗尺
寸 A 管接
AA #10-32UNF L 板接通用型 BA M5 N 0O 板接，无底座。

低功耗电磁阀低功耗电磁阀它用于气动、液压系统的通用型或者安全型阀门使用不同的密封结构以及密封材料适用于多种流体介质如热风、热水、制冷剂以及其他易燃易爆流体。

美国Peter Paul 低功耗电磁阀根据复杂现场工况需求可以满足各种危险区域使用的低功耗防爆电磁阀。

它的低功耗防爆电磁阀最低功耗可以低至0.5w高规格的材质应用广泛地为全球各大知名品牌OEM线圈以及电磁阀。

美国Peter Paul 低功耗电磁阀产品特点1、Peter Paul 低功耗电磁阀用于经济型外形结构最大外形尺寸75 X 35 mm最小可以达到50 X 30mm特别适用于各种便捷式仪器设备、医疗设备等2、Peter Paul 低功耗电磁阀拥有更广泛的电源提供DC直流1.3 - 120V 可以用几节或一节7号干电池供电3、Peter Paul 低功耗电磁阀为了满足特殊完全使用提供多个危险等级区域使用如Class I Div 1 Groups AB C and D – Class II Div 1 Groups EF andG Div 2 Groups A B C D E F and G. “T” Rating as low as T5. 4、Peter Paul 低功耗电磁阀独特的启动结构以及密封材质拥有全球100多万只使用量的成功经验包括OEM在内5、Peter Paul 低功耗电磁阀拥有更广泛的现场工作压力适用范围0 - 600 PSI 0 - 4.15MPa.全球使用的低功耗防爆电磁阀有85的线圈以及密封结构都由Peter Paul 公司提供设计以及服务它独特的工艺技术以及规范大规范标准作业制造工艺设备使用是全球低功耗防爆电磁阀制造商的标杆企业。

拥有60多年的专业设计制造经验是您最可信赖的合作伙伴58系列型号L581A15PG 超低功耗型2路常开型L581系列超低功耗电磁阀轻松连接电路板和微型元件。

通用性是用于连接气动输出的电子信号。

CS系列200型质量流量控制器/质量流量计使 用 手 册目录调零 (12)第一部分产品说明 3.31.1 概述......................................1 3.4 软启动 (12)1.2 技术指标..................................1 3.5 延迟 (13)1.3 标定........................................3 3.6 阀控制 (13)1.3.1 标准状况...............................3 3.7 阀类型.. (13)1.3.2 制造环境................................3 3.8 多气体多量程.. (13)1.3.3 精度调节................................3 3.9 累积流量.. (14)第二部分安装 3.10 报警 (14)2.1 概述.......................................4 3.11 LED指示灯 (14)2.2 打开包装……………………………4第四部分维护2.3 机械安装.................................4 4.1 概述.. (14)2.3.1 概述 ....................................4 4.2 注意事项.. (15)2.3.2 安装.....................................7 4.2.1介质使用要求 (15)2.3.2.1 1/4″VCR接头安装方法..........8 4.2.2 阀口密封问题 (15)2.3.2.2 双卡套接头的安装方法………..8第五部分故障诊断2.4 电气安装.................................9 5.1 初步检查.. (15)2.4.1 概述.....................................9 5.2 故障检查.. (15)2.4.2 连接……………………………….9第六部分保证和服务2.5 工作检查.................................11 6.1 产品保证.. (17)第三部分功能介绍 6.2 服务 (18)3.1 概述 ......................................12附录Ⅰ. (19)3.2 控制方式.................................12附录Ⅱ. (21)第1页 共22页 MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER质量流量控制器和质量流量计使 用 手 册第一部分 产品说明1.1概述质量流量控制器（MFC ）和质量流量计（MFM ）用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。

液压电磁阀型号说明液压电磁阀型号说明 关于液压电磁阀型号，不同的厂家对型号的编排有所不同，这里小编举个例子说明液压电磁阀型号含义。

例如：34BYM-L20H-T。

其中34表示的是3位4通，B为交流型，Y为液动，M是滑阀机能，L表示螺纹连接形式，20为公称直径，H为公称压力，H表示为高压31.5MPA，T表示弹簧对中型代号。

WMM型手动换向阀 手动换向阀是利用手动杠杆来操纵的方向控制阀。

该阀根据定位方式不同，有弹簧复位式和钢球定位式两种。

弹簧复位式手动换向阀，当操纵手柄的外力取消后，复位弹簧把阀芯推回到初始位置。

钢球定位式是当操纵手柄的外力取消后，阀芯依靠钢球定位保持在换向位置。

2FRM型调速阀 2FRM型调速阀是二通的流量控制阀，该元件是由减压阀和节流阀串联构成的，由于减压阀对节流阀进行了压力补偿，所以调速阀的流量不受负载变化的影响，保持稳定。

同时节流窗口设计成薄刃状，流量受温度变化很小。

调速阀与单向阀并联时，油流能反向回流。

直动式溢流阀 DBD型直动式溢流阀用于防止系统过载和保持系统压力恒定。

结构原理：进油口的压力油通过阻尼活塞作用在其底部，形成一个与弹簧力相抗衡的页压力。

当次液压力小于调压弹簧的弹簧力时， 锥阀关闭，此阀不起调压作用。

随着进油口压力的不断提高。

当液压力大于弹簧力时，锥阀开启，多余的油液溢回油箱，使进油口压力稳定在调定值上。

顺序阀 DZ-3X型先导式顺序阀： 该阀利用油路本身压力来控制液压缸或马达的先后动作顺序，以实现油路系统的自动控制。

改变控制油和泄油的联接方法，该阀还可作为卸荷阀和背压阀使用。

SV/SL型液控单向阀 液控单向阀的应用很广，如利用液控单向阀的锁紧回路、防止自重下降的回路、充液阀回路、旁通放油阀回路、蓄能器供油回路等。

Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: MFM/MFC IntroductionSierra 微管式质量流量计/质量流量控制器的介绍及学习本篇文章主要目的是为帮助SIERRA 代理及客户更好地了解MFM/MFC 和在选购产品时要注意些什么问题.如何正确使用SIERRA 质量流量计/质量流量控制器产品.下面详细通过有关工作原理和应用工况方面的问题一一讨论.如有错漏之处.恳请各代理商或朋友指正. 1. 质量流量计/质量流量控制器的含义Sierra Instruments Inc.美国斯亚乐仪表公司一直秉承 The mass flow company 的口号致力于质量流量计/质量流量控制器的研究开发.新推出的Max-trak 获得了2006 Gases & Technology Product Innovation Awards(气体控制类产品革新奖)英文Mass flow meter (缩写MFM),中文翻译为质量流量计.是一种精确测量气体质量流量的仪表.其测量值不因压力或温度的波动而失准.是一种直接质量流量测量原理的流量计.英文Mass flow controller (缩写MFC),中文翻译为质量流量控制器.它可自动控制气体的流量.用户可以根据自己的需要进行流量的设定.控制器的电磁阀自动控制输出恒定的质量的气体.即使系统压力或环境温度变化也不会使其偏离设定的值.Sierra 810和C100 都可进行内部或外Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 部设定,C100还可以通过手操器设定.当有用户需求对气体流量进行稳定控制时,质量流量控制器就是他的一个很好的选择. 2. 质量流量计/控制器的工作原理质量流量计/控制器主要是由微管传感器,线性层流器(LFE);放大输出电路;显示电路(带显示系列);自动电磁控制阀(带控制功能系列)组成.请参考Sierra 840剖面结构图.卡式或D 型输入/输出接口.主层流通道的一体设计使流量成比例内置的常闭电磁阀可在不同压力下准确控制内部316不锈钢表面经过电抛光处理 SIERR 直型大微管道可清洁专利传感器大直径的阀门孔可防止堵塞两端带方便拆卸的清洁密封头Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 图中的铂传感器采用毛细管温差法原理测量气体的质量流量.将传感器加热电桥测量的流量信号放大再送到处理电路.处理后的信号可以直接输出到用户的检测系统或通过电位检测直接在本地显示上输出质量流量的读数.同时放大后的流量信号.与设定信号相比较,再将差值信号放大后去控制电磁调节阀闭环控制流过控制器的流量与设定流量相等.3. 怎么理解质量流量计/控制器的单位?国际上MFM/MFC 气体质量流量计通常使用的单位一般以sccm(standard Cubic Centimeter per minute)标准立方毫升每分钟. S 标准状态规定为压力101.325Kpa(760毫米汞柱);温度0℃ (32℉)状态下气体的流量.这是MFM/MFC 与其他体积型流量计的重要区别.Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 对多数用户而言,体积流量计的表示方法很符合习惯,便于使用,但也有用户需要知道单位时间内流过的气体的质量(如Kg/min 或克/分钟).这个要求很容易实现.因为在标准状态下的气体.压力和温度都是固定的.那么气体的密度也就是一个常数.我们可以通过数据表查出密度值.只需做一个简单的乘法就可以求得以克每分钟为单位的流量值.所以在标准状态下的体积流量值是等同于质量流量的.同时SLPM 是被全世界质量流量计/控制器厂商共同采用的单位.符合国际半导体协会制定的SEMI 国际标准可参考SMEI E12. 4. 什么时候用MFM,什么时候用MFC?一般而言,只需要对气体流量进行检测测量时,用MFM;需要对气体流量进行控制时使用MFC.合理选取MFM/MFC 很重要.有些用户认为MFC 也可以当作MFM 使用.只要把MFC 的阀门状态设定为Purge(清洗或清洁功能.该功能是把阀门全打开.)就可以当作MFM 使用.但在该功能使用时测量低值部分很容易造成阀门过热.测量精度降低.所以在MFM/MFC 选用时要让客户了解自己需要的是什么.正确选取MFM/MFC. 5. MFM/MFC 的主要优点是什么.(1) 测量或控制的流量值不因温度或压力的波动而失准.对于大多数体积型的流量测量而言,很难避免系统的压力波动和环境及介质温度Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 变化的影响.并且会导致较大的误差.而对MFM/MFC 一般则可忽略不计.(2) 测量控制的自动化. MFM/MFC 可以将流量测量值以标准的电信号输出.这样很容易实现对流量数字显示;累计;数据采集;计算机管理.MFC 更是可以自动控制恒定流量.通常的模拟MFM/MFC 输出信号都为0-5V 或4-20mA.还有0-10V 可选.数字式的MFM/MFC 如Sierra 的Smart-Trak 系列带RS-232串行通信.能结合Sierra 的软件非常方便地与计算机连接进行自动控制.(3) 精确稳定的流量控制.MFC 可以精确控制气体的给定量,这对很多工艺处理过程相当重要.对于不同气体的比例控制或比例混合特别适用(4) 适用范围广.MFM/MFC 可使用于绝大部份与316L 不锈钢兼容的气体(包括一些腐蚀性气体.如H2S;HCL;HF 等. 具体参考本公司800系列和100系列的气体数据表. 注:强腐蚀性气体测量或控制时必需注意泄漏和是否干燥.某些气体与水气结合后形成强酸, 腐蚀不锈钢.对于该类型气体保用期只有三个月.)量程比宽也是MFM/MFC 的一大特点.最小流量一般为0~10sccm 可特殊定制0-4sccm.MFM/MFC 最大流量0~5600 slpm.控制器范围可对2%~100%.Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 6. MFM/MFC 优缺点及使用的注意事项. 相对于廉价的转子流量计来说.MFM/MFC 价格比较昂贵.在使用过程中主要注意的四个问题. 1). 粉尘;通常在测量过程中都要求客户加装过滤器.因为如果粉尘或大颗粒物进入传感器可能会造成堵塞.误差增大.而SIERRA 800系列可清洁型;大直径传感器和入口过滤网很大程度上减少了粉尘造成的测量误差.一般的少量粉尘对测量的影响不大.2). 潮湿或带油污带水的气体对测量影响很大.潮湿的腐蚀性气体会腐蚀内部的不锈钢部件或密封圈.所以在测量强酸或强腐蚀性气体时必须要求用户对气体进行干燥处理再进行测量或控制.同时要求用户格外注意气体的泄漏.普通的气体尽可能干燥.湿度太大会造成测量误差增大.正确使用,安全操作,对每的用户都是最重要的.7. MFM/MFC 的压力损耗和压差需求.流体经过MFM 的层流器和传感器势必造成压力损耗.具体的压力损耗值请查看特定型号产品数据表.某些客户在压力损耗要求上很严格,要求压力损耗很小.这时我们就考虑选择合适的型号或特殊定做尽可能减小压力损耗以满足客户要求.在MFC 选用时也要考虑进出口压力差是否能满足要求.压力差太小.控制流量有可能将达不到要求的控制点.造成阀门过热.Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 8. MFM/MFC 在高压气源下的使用. 要在高压条件下正常使用需要注意三点.第一,选择耐压符合要求的MFM/MFC;第二;尽可能挑选工作压力高的系列产品如不锈钢表体的产品.第三,要在MFC 气路前加减压阀,稳定入口气压.在出口也加稳压.这样就可以较稳定地控制MFC 的压力差.让MFC 更稳定高精度地安全工作.9 如何为MFM/MFC 选择合适的O-Ring(密封圈)MFM/MFC 可以用于各种气体的测量与控制.但要注意的是对于腐蚀性或特殊气体,需要选择恰当的型号和密封圈.用户在定货时.都必需正确填些Sierra 提供的ADS(应用数据表) 它包含产品型号;气体种类和具体的应用条件.这样制造商厂方的工程人员就可以再次核实该型号是否适合该应用条件.以免因为选型或错误选择O-ring 造成不必要的损失或危险. Sierra 提供的O-Ring 材料有Viton 橡胶;Neoprene 橡胶;Kalrez 橡胶及Teflon.材质;具体何种气体应使用何种O-ring.请查看800和100系列的气体数据表.和查找相关气体兼容性数据. 11.产品定货时应当注意的问题.这一点关系到客户和代理商的切身利益.涉及到的问题或细节也比较多.因而代理商尽可能向用户详尽客观地向用户说明SIERRA 产品的用途及Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 注意事项.责任.避免不必要的误解.把前面的工作做得细致些会避免我们后期的大堆麻烦. (1).选择正确的量程.第一:将用户提供的测量流量范围转换为标准状态下的流量(是质量流量).第二:根据Sierra 提供的气体间流量转换系数,将用户所测量气体的质量流量大小换算成相对N2流量大小的流量值.便于正确选择型号.各种气体相对N2的流量值大小可以从Sierra 800或100系列K 系数表查找.如有混合气体的.也可以通过100型号的混合气体K 系数计算软件求得作微管MFM/MFC 参考K 值.(注:现国际上几大著名MFM/MFC 厂商都有各自的K 系数表.会有些小的差别.但基本值都是很接近的.)第三:确定所需标准量程.由于Sierra 所有产品都是根据用户要求量身定做.量程范围避免过大或过小.因为通常MFM/MFC 的误差指示都是满量程的百分比规定的.(%FS),如果实际流量值很小而满量程值选取过大,则测量值的相对误差就会增大.(2)正确选择过程压力和MFC 的压力差;尽可能准确地了解清楚用户测量管道中的压力.和MFC 的压力差.Sierra 将会在标定时进行压力补偿标定.使得产品安装到用户管道时更能精确测量控制.Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: (3)关于MFM/MFC 三大指标的说明准确度;线性;重复性是MFM/MFC 三大重要指标.其中重复性在很多场合应用很重要. Sierra 基本产品精度为1%满量程;820及810系列产品精度为1.5%满量程. Sierra 独特的LFE 技术.800系列对不同流量范围的的测量配备各种LFE.以达到流量与输出信号线性度更好.输出成正比例关系.Sierra 的100型号蝶片式LFE 技术使得单个仪表可以同时测量多种气体.同时由于线性度极好实现了两点标定即可满足测量精度要求.传感器对输出型号及流量关系.所取值范围是小方框内线性较好的区域.以下为几种主要LFE 种类参考图片:822尼龙Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 826/827铝表体LEF822S 不锈钢系列小流量822S 不锈钢系列中流量822S 不锈钢系列高流量Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 100系列LFE重复性方面100型号标准值为千份之二. 830/840标准值为千分之一点五.820系列稍差些为千份之五. (4)客户对响应时间的选择.有些客户对MFM/MFC 的响应时间有较高的要求.因为要监控跳变或波动较大的气体流量.标100系列准值为300毫秒.两秒内基本接近新的设定点.800系列为800毫秒.Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: (5) 对安装位置的要求.对于Sierra 800系列产品.由于用的是大直径可清洁型传感器.在用户订购产品时.填写应用数据表(ADS)时要求注明安装的方向.是平衡或垂直向上,垂直向下. 但是对于己于100 Smart-trak 系列由于传感器直径相当小,只有0.25毫米.任何安装方向对它的影响都可以忽略不计. (6) 注意进出口连接头的大小和方式从1/8”到两寸大小接头.从Swagelok 卡套式;VCR;VCO;螺纹.注意流量大小选择合适的接头.一般流量小的可选择小口径接头.流量大的要选择大口径接头.具体查看价格表或选型表中的接口流量要求.借口类型根据用户要求和具体气体应用选择不同的接口.VCR 更适合一些高端要求的应用.腐蚀气体的应用.同时在国内很多用户使用的都是公制尺寸的连接头.这时需要购买一些转接头进行转换连接.Swagelok 压垫密封式连接Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: VCR 连接方式及介绍Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: VCO 连接图介绍Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: (7) 电气连接的方式.以下列举Sierra MFM/MFC 常用的信号及电源接口方式.型号 822/824/826/827Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 用户可安装上图购买购买九针的D 型串口接头.该接头在一般电脑配件或电子市场都可以找到.可以从D 型接头上供电源.也可以从下面的3.0规格插孔供电.注意是内正外负.在国内购买电源后如果有条件.测量一下其输出电压及波型.防止电压过高或过低.影响仪表测量精度.甚至损坏仪表.810系列Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 810系列只能通过双排十五针D 型口供电.注意最新的D 型口接线方式.以跟随说明书为准.同时设定点的来源有内设和外设.可通过810内部DIP 小开关转换. 注意: 第六个小开关是不使用的.Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 830/840卡式连接.Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 830/840 D 形头连接.Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 100 smart-trak 三排D 型连接Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 180 Max-Trak 内部双排连接座Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 以上仅为Sierra MFM/MFC 特点和使用的使用上的一些介绍.更多详细的资料请查看各型号的操作说明书. 如有任何意见或建议请来电或email.下面再提供一篇文章做参考.不过关于K 系数.使用Sierra 的K 系数表或100混合气体K 系数计算器就可以得到结果.How do you calculate a gas correction factor if you flow a mixture of gases?For gas mixtures, the calculated mass flow controller (MFC) gas correction factor (GCF) is not simply the weighted average of each component's GCF. Instead, the GCF (relative to nitrogen) is calculated by the following equation (for n gases):Here, a 1 through a n are the fractional flows of gas 1 through n; s 1 through s n are the molecular structure factors; d 1 through d n are the standard densities; and c p1 through c pn are the specific temperatures. Values for s, d, and c p are available for most gases; many are listed in our MFC manuals. The values for a 1 through a n will depend upon the application. (Remember that a 1 through a n must add up to 1.0.) Molecular Structure correction factor(s):• 1.030 for monoatomic gases • 1.000 for diatomic gases • .941 for triatomic gases• .880 for polyatomic gases (four or more atoms)Example:Gas 1 = argon at 150 sccm Gas 2 = nitrogen at 50 sccmCorporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: GCF=1.302上式中的d=为密度值Cp=气体的定压比热S=气体份子构成系数. 单原子分子与多原子份子的值是有差别的.What is an sccm?Sccm stands for Standard Cubic Centimeters per Minute. Where "Standard" means referenced to 0 degrees Celsius and 760 Torr.What gcf do I use if flowing a gas that is different than the gas that the MFC was calibrated for? Take the gcf of the gas that you are flowing and divide that by the gcf of the gas that the MFC was calibrated for. Example: the MFC is calibrated for 100 sccm of Argon (gcf 1.39) and you are flowing CO2 (gcf = 0.7) the resulting effective gcf would be 0.7/1.39 = 0.50. Therefore the 100 sccm Argon instrument will be flowing 50 sccm of CO2 at full scale.What should the gcf (gas correction factor) be if I am flowing the gas that the instrument is calibrated for?The gcf would be 1.。