despatch烧结炉中文版说明书
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红外烧结炉操作手册目录表1 关于这个手册1.1 手册的构成1.2 协议2 系统概况2.1 介绍2.2 系统容量2.3 系统组件2.3.1 硬件2.3.2 软件3软件描述3.1 进入3.2 主屏控制和说明3.2.1 炉状态3.2.2 程序控制3.2.3 数据标记3.2.4 温度压力监控3.2.5 菜单按钮3.2.6 灯功率3.3定义和修改程序3.3.1 创建3.3.2 修改3.4导入程序4附加功能4.1 I/O接口4.1.1 数据库控制4.1.2 网络4.1.3 超声清洗4.1.4 进入线程4.2 远程进入4.2.1 控制和指令描述 4.2.2 远程操作4.3 系统参数4.4 烘箱4.5 警报处理4.5.1 警报历史4.5.2 历史记录4.6 PID 控制4.7 校准4.8 数据显示5 附加功能5.1 监控失败5.2 UPS 操作5.2.1 UPS备份功率信号响应5.2.2 UPS电池低信号响应5.3 超声清洗5.3.1 组件5.3.2 UCS 操作5.4 红外灯电压控制5.5 选择灯开关5.6 VOC 冷凝器5.6.1 一般操作5.6.2 带移动和清洗1 关于手册1.1 手册结构手册的目的是提供操作说明,理论和红外炉的运用软件的结构。
手册分成3部分。
第2部分提供软件的概述。
第3部分提供软件的描述和不同的用户界面。
第4部分描述一些选择功能,但不是支持全部模式。
1.2 规定这个标记表示有重要信息。
标记让你通过多层菜单和对话框实现功能。
粗体的对话框提示选择软件,比如菜单和对话框。
同时提示参数名字,控制界面和菜单名字和调色板名字斜体表示变量,参考或者关键概念的说明。
这种字体有说明这是个占位符,你必须提供。
1monospace 字体这种字体说明你必须从键盘输入。
同样可用来表示正确的磁盘名字、路径、程序、子程序、设备名字、函数、变量、文件名等。
2monospace bold 字体粗体这种字体说明信息计算机自动响应monospace 文中这个字体表示你必须从键盘进入的文本或者特征,这个字体也常用在磁盘驱动器的命名、路径、目录、程序、子程序、设备驱动程序命名、函数、操作、变量、文件名以及扩展名2 系统概论2.1 介绍这个文件提供了Despatch 公司的红外炉的详细的操作说明。
注:本文件的更改,应由建议者提出申请,经批准后方可变更。
作成 审核批准 变更内容:谭旺文件编号版/次 总5页A/0 第1页 1.目的确保烧结工艺处于稳定、受控状态。
2.适用范围适用于印刷后硅片在烧结炉中的烧结过程。
3.职责3.1本作业指导书由技术部负责编写和修订;3.2所有操作人员必须严格按照该文件规定进行操作。
4.作业准备4.1劳保用品:穿戴好净化分体服、一次性手套、一次性口罩、帽子、布鞋。
4.2确认设备通电正常、冷却水正常、压缩空气气压正常、排风正常。
5.作业步骤 5.1工艺准备该作业由组长执行!5.1.1开机:具体步骤请参考《烧结炉维护操作规程》。
5.1.2设备确认检查设备和PC 上是否有故障显示(红色灯或/和警告窗口);确认冷却水温是否正常。
确认设备运行正常方可执行后续作业;确认急停按钮已经弹起。
若设备有故障显示,应立即汇报班长。
5.1.3确认工艺参数每班接班后,生产工序长需对工艺参数进行点检,发现异常及时报告工艺人员,如无异常,将点检结果填写于《烧结工艺参数点检表》中,见附件一。
5.2工艺启动,该作业由组长执行! 5.2.2实际参数确认等待参数:速度、温度达到稳定后;确认实际参数在设定的区间内(警示灯转为绿色)。
5.3硅片流入 5.3.1放入预烧片开机和设定温度修改后,在正常硅片流入前,放入两片预烧片(从低效片中取出的电池片),5.3.2 烧结工艺确认在放入预烧片后,流入印刷完成后的硅片5片。
由工程师确认烧结工艺正常。
注:本文件的更改,应由建议者提出申请,经批准后方可变更。
作成 审核批准 变更内容:谭旺文件编号版/次 总5页A/0 第2页 5.3.3硅片正常流入待烧结工艺确认后,印刷完电极后的电池片自动流入烧结炉,无需人工操作。
5.4电池片流出取出预烧片,重复使用。
观察流入电池片的位置,如果发现电池片偏移,手动移正,保证流入硅片位置无偏移。
取出烧结过程中破损电池片;定时对流出电池片做外观检查。
烧结炉的操作流程
一、炉前准备
1.检查炉子的完好性,确定烧结炉是否可以正常使用。
2.查看每个热区的加热器、燃气和电气系统是否正常。
3.确认烟囱是否通畅,能否排放废气。
4.确认仪表读数和电气控制系统是否正常,是否需要调整或更换。
二、上料
1.根据生产计划,选择合适的烧结矿和辅料,将其投入到上料斗中,注意按比例投放。
2.目测检查料层高度是否均匀,是否达到生产要求。
3.关闭上料斗。
三、点火和加热
1.打开主管道燃气,并清洗管道,防止堵塞。
2.打开点火器,使其在炉内点燃燃料。
3.按照操作说明书,设置合适的温度和时间,开始加热烧结矿。
4.加热过程中,根据物料状态和热场温度,调整燃料的喷射量和燃气流量,以达到最佳效果。
四、降温和卸炉
1.达到目标烧结温度后,根据需要,开始降温卸炉。
2.打开降温风机,降低炉体温度,同时清理残留物。
3.根据卸炉需要,依次打开废气管道和卸炉装置,将烧结矿卸出。
五、常见故障排除
1.加热不均匀,烧结矿颜色不一致:检查加热器是否正常、燃气和电气系统是否有故障。
2.炉子温度升不起来:检查燃气供应管道是否正常,燃气流量是否足够,是否需要更换点火器。
3.排气不畅,烧结矿含碳量过高:检查烟囱是否通畅,排气量是否足够,是否需要更换废气处理设备。
以上就是烧结炉操作规程的简要介绍,希望对读者有所帮助。
在烧结生产中,及时发现故障并进行处理,可以提高炉子的生产效率和品质。
引言概述:烧结炉是在冶金、化工等行业中广泛应用的设备,用于将粉状或颗粒状原料烧结成块状产品。
为了保证烧结炉的正常运行,提高炉效、降低能耗和减少环境污染,制定一套科学严谨的烧结炉操作规程至关重要。
本文将详细讨论烧结炉操作规程的各个方面,包括炉前准备、操作注意事项、炉内温度控制、炉内气氛调控、炉后处理等。
正文内容:一、炉前准备1.物料准备a.根据生产计划提前调配所需原料,确保供应充足。
b.检查原料的质量和粒度,确保符合要求。
c.按照烧结炉的容量和技术要求,确定合适的进料量。
2.设备准备a.检查烧结炉的机械和仪表设备是否完好,如输送机、加热器、风机等。
b.检查炉内衬料的状况,如有损坏或老化应及时更换。
c.确保烧结炉的通风系统正常运行,炉内气氛通畅。
3.安全措施a.所有操作人员必须穿戴符合安全标准的防护装备。
b.将烧结炉周围的作业区域划定,并确保其它人员不得进入该区域。
c.确保机械设备的安全保护措施完善,预防事故发生。
二、操作注意事项1.按照烧结炉生产工艺流程操作,确保操作的连续性和稳定性。
2.严格遵守烧结炉的操作规程和操作指导书,禁止任何违规操作。
3.注意烧结炉的温度和压力变化,及时调整操作参数以保持稳定。
4.注意炉内给料的均匀性和连续性,避免出现断料或堵料等现象。
5.定期清洁烧结炉内的积炭和杂质,保持炉内环境的清洁和良好通风。
三、炉内温度控制1.根据生产工艺要求,确定烧结炉的炉温和升温速率。
2.监测烧结炉的温度变化,确保温度升降的平稳性和控制精度。
3.根据炉内温度的实际变化,调整加热器的功率以维持稳定温度。
4.定期检查烧结炉的热电偶和温度计的准确性,修复或更换有问题的仪器设备。
5.根据炉内温度的实际情况,适时调整炉内原料的进料速度和数量,保持炉内的热平衡状态。
四、炉内气氛调控1.根据烧结炉的工艺要求,确定炉内的气氛和气氛成分。
2.监测炉内气氛的变化,确保气氛的稳定性和控制精度。
3.根据气氛的成分变化,适时调整燃烧器和风机的工作参数。
T r o x l e r N T O燃烧炉使用说明书福州美德实验仪器有限公司FAX 0591-第一章安全信息一、警告(CAUTION AND WARNINGS)1、后面的下部?4730型接120Vac,50/60Hz交流电源,4731型接208~240VAC,50/60Hz交流电源?炉子电源必须连接地线,否则在操作过程中有可能发生伤害?9针串行接口:左边用来连接炉子到具有串行口的设备,右边仅由生产厂家使用2、门的右上部?炉表面是热的,可能灼伤皮肤?炉子放置在支撑面上,并远离任何建筑物15CM?警告:在打开炉门前,从观察口里查看以确定炉内无燃烧发生?打开炉门时把门当成一道防护屏?如果有任何火焰出现在炉门的上边,立即关闭炉门?穿防护服操作此仪器3、炉子的上侧面?炉子的侧表面是热的,可能灼伤皮肤?使炉子远离任何建筑物15CM4、炉子的顶部?炉子的顶部是热的,可能灼伤皮肤?正常的操作中,燃烧过程不能打开炉门。
如果锁门失败或门锁被操作者损坏,在燃烧过程中有可能打开,火焰会从门的顶部溢出,因此必须保证距炉子60CM地方是干净的?炉子距电源不超过1.2M?保证提供给炉子的电源的电压和电流,保证炉子,电源和地线是匹配的。
?炉子必须连接可靠的地线,否则操作过程中可能发生损害。
?保持所有的插座远离炉边和炉顶。
?燃烧过程中释放一氧化碳,保证炉子正确通风。
?把炉子放置在通风良好的场所,并保证排烟管不超过4.6M。
?不要禁止炉子底部的空气调节。
?不要放置任何超过本手册描述的物体在炉膛里,在打开炉子时,除了试样篮和热拌混合料,移走任何物体。
?移走炉外部的任何原料。
?不要让炉子靠近任何易燃材料,否则可能着火或引起爆炸。
?不要在炉子顶部放置任何东西。
?不要击打,碰撞和刮擦炉子的内表面。
?不要忽视门锁。
?不要用炉子来煮或测试本手册所述的沥青与集料以外的原料。
?不要用来烘干挥发性化学物质拌合的集料。
?可获得安全装备,可用于650度的隔热手套和面罩。
Despatch操作界面1.总界面1)System Status:显示当前加热状态,传送带和公用的或别的系统功能。
2)RUN:打开所有的系统。
STOP:启动终止程序,这样加热器开始冷却。
当加热器失效,加热区温度开始下降而其它功能键换是灰色。
一旦温度达到200℃,加热器显示失效并且运输停止3)EXIT:退出CDF操作系统。
4)User Information:用户信息。
显示日期和时间,用户ID号和使用的安全等级。
5)Light Tower Status:灯塔状态。
绿色,黄色,或红色灯打开或断开。
红色-警报。
黄色-警告,系统要求操作者帮助。
绿色-系统准备好或运行。
6)ACTIVE PROFILES/RECIPE IN USE:激活的配置文件/当前的程序使用中。
7)RT Graph :数据记录/图表。
监视工艺剖面图。
8)CHILLED WATER TEMPERATURE SUPPLY/RETURN:冷冻水进水和出水温度。
10) SECURITY SETUP :设置/安全设置。
按这个按钮并且改变或创建用户特权,只有管理员才可进行操作。
11)LOG OUT:退出系统。
12)SIGNAL CALIBRATION:校准。
显示模拟输入或输出的校准屏幕。
13)PID TUNING:比例积分微分调整。
显示PID闭环运行和控制屏幕。
14.) ALARM STATUS:显示报警状态屏幕。
15) SYSTEM PARAMETERS :系统参数。
16)THROUGHPUT CALCULATOR:生产量计算。
计算硅片的生产量。
17)I/O ACCESS 输入/输出信号进入。
显示输入输出屏幕,直接提供输入输出控制模块。
18)Recipe Directory配方目录。
列出当前有用的配方。
19)Monitor/Recipe/Power Profile 识别屏幕各区的工作状况:正在运行的程序,功率的剖面图或者监视当前的系统。
20)Dryer & FurnaceTemperatures烘干和烧结区温度。
目录1操作指令备注1.1标识描述1.2定义1.2.1设备用户1.2.2熟练技工1.2.3操作人员1.3版权1.4实质性过失责任2 绪论2.1身份识别2.2 尺寸2.3炉子数据2.3.1传送带2.3.2盒式快速烧结加热2.3.3冷却2.4处理温度2.5媒介供给线路2.5.1水2.5.2空气2.5.3去除废气2.5.4电流2.6 电脑设备2.7功能描述3安全3.1正确用法3.2错误用法3.3安全指示概要3.4安全装备3.4.1过热防护3.4.2紧急停止开关3.4.3“Belt stop”按钮3.5绝缘说明3.6设备操作软件说明3.7防火灭火4功能描述4.1入口/出口4.1.1入口门4.1.2出口门4.2加热4.2.1加热盒烧结FF4.2.2中间的Muffle4.3冷却4.3.1冷却盒4.3.2冷却橱4.4 设备驱动装置4.5媒介4.5.1电力供给装置4.5.2冷却水供给装置4.5.3压缩空气供给装置4.5.4文丘里管系统4.6操作/控制4.6.1CANtrol系统控制器4.6.2动力控制装置4.6.3 CAN Bus 1 和 24.6.4温控装置4.6.5 CANtrol 处理控制系统4.6.6变频器4.6.7 遥控服务4.7去除废气5搬运5.1特别安全措施5.2包装类型5.3搬运5.4引入检验5.4.1交付范围5.4.2搬运损害5.4.3存储措施6组装6.1预备安装场所6.2设备核检6.3安装7试运转及停止运转7.1初始启动7.2试运转7.2.1设备-电脑7.2.1.1微软Windows用户界面7.2.1.2 CT-Visual用户界面7.2.2 手动操作面板7.2.3启动7.2.4运行模式7.2.4.1生产7.2.4.2周末运行7.3停止试运转7.4处理8操作8.1状态屏8.2导航栅8.2.1用户登录及退出8.2.2处方保存8.2.3处方加载8.2.4打印8.3跳格设定8.3.1加热8.3.1.1随处方而定的输入值8.3.1.2一般输入值8.3.1.3“Temperature”指示器值8.3.1.4“Operational States”指示器值8.3.1.5“Disturbance”指示器涵义值8.3.2气体供给8.3.3冷却系统8.3.4设置8.3.4.1输入值8.3.5警报8.3.5.1表格显示器定义8.3.5.2显示器选项8.3.5.3警报选项8.3.5.4“附加选项”菜单8.3.6测量8.3.6.1功用概要8.3.6.2测量路线定义8.3.6.3开始测量8.3.6.4连续测量8.3.6.5曲线跟踪8.3.7选项8.3.7.1数据录入8.3.7.2时间控制8.3.7.3用户管理8.3.7.4配置8.3.7.5数据根目录8.3.7.6烧结炉数据8.4网络显示器8.4.1控制系统俯视图8.4.2 CT 视觉系统目录结构9维护9.1故障诊断9.1.1信号灯9.1.2个别干扰9.1.3 ID 10-74 加热故障讯息9.1.3.1超温控制器FF9.1.3.2超温监测器FF9.1.3.3温度测量故障9.1.3.4加热回路FF9.1.3.5温度公差FF9.1.4 ID 100-104 驱动故障讯息9.1.4.1传送带停止按钮9.1.4.2变频器驱动9.1.4.3 CAN-Bus-Error变频器驱动9.1.4.4传送带停顿9.1.4.5传送带公差9.1.4.6外部传送带停止按钮9.1.5 ID 200-255 气体供给故障讯息9.1.5.1处理气压消失9.1.5.2提升气胎气压消失9.1.5.3外部排气装置故障9.1.5.4 Y321-Y335流量计9.1.6 ID 300-322 冷却故障讯息9.1.6.1冷却水箱式冷却器及固态继电器9.1.6.2冷却水回路1-39.1.6.3冷却水中间MUFFLE9.1.6.4 超1分钟温度/冷水回路9.1.6.5 上下冷却盒1/2中冷却扇停止控制9.1.7 ID 400-402 不间断电源/干线供给故障讯息9.1.7.1干线供给阶段性消失9.1.7.2动力失灵超过10秒钟9.1.7.3 L1-L3/N震荡保护开启9.1.8 ID 500-505 气胎故障讯息9.1.8.1冷却盒上半部分1/2没关上9.1.9 ID 600-662 故障/警告混杂讯息9.1.9.1驱动关闭9.1.9.2加热FF关闭9.1.9.3 加热盒FF加温9.1.9.4加热盒FF冷却9.1.9.5校准区温度公差运行后延时9.1.9.6指示灯由黄变绿延时9.1.10 ID 700-703 清洁传送带9.1.10.1刷子清洁器提升/清洁位置不正确9.1.10.2刷子清洁器汽缸开关故障9.1.11 ID801-902 继电器单独警报故障讯息9.1.11.1 V1…V59加热电路控制9.2选取部件的置换9.2.1加热9.2.1.1加热器的置换9.2.2石英轨道上的石英棒9.2.2.1加热盒式烧结FF石英棒更换9.2.2.2盒式冷却石英棒的更换9.2.3冷却系统9.2.3.1冷却盒中冷却扇的更换9.2.3.2冷却盒下半部分冷却扇的更换9.2.4驱动装置9.2.4.1传送带的更换9.2.4.2齿轮电机的更换9.2.4.3滑动离合器的更换9.2.4.4磁制离合器的更换9.2.5媒介9.2.5.1冷却水过滤器的更换9.2.5.2气体加热器的更换9.2.5.3文丘里管喷嘴的更换9.2.5.4如何置换电子流量计(FM)9.2.6操作/控制9.2.6.1单体温控器的更换9.2.6.2更换TMM5模块9.2.6.3更换CAN I/O模块9.2.6.4更换RDIO 8/24模块9.2.6.5更换固态继电器9.2.6.6更换热电偶9.2.6.7更换变频器9.2.6.8更换工业PC(温控器)9.2.6.9更换PLC 中央处理器模块(CEDIO)9.2.6.10更换PLC外延模块9.2.6.11更换BEBRO DC 发动机控制器9.2.6.12更换FANCON扇控制器9.3灭火措施10预防性维护10.1安全检查10.2 烧结炉日志10.3预防性维护间隔期10.3.1日常维护程序10.3.1.1核检设置显示器10.3.1.2核检“Alarm”表符讯息10.3.2周预防性维护程序10.3.2.1核检信号灯功能10.3.2.2核检传送带10.3.3月预防性维护程序10.3.3.1清洁传送带10.3.3.2核检传送带长度10.3.3.3核检冷却盒中冷却扇部分10.3.3.4核检传送带牵引性能10.3.3.5进行数据备份10.3.4季度预防性维护程序10.3.4.1核检单体温控器10.3.4.2清洁文丘里管喷嘴10.3.4.3清洁冷却水过滤器(大)10.3.5半年度预防性维护程序10.3.5.1清洁冷却盒10.3.6年度预防性维护程序10.3.6.1清洁加热盒烧结FF装置10.3.6.2核检温度测量值10.3.6.3核检驱动器速度校准10.3.7每四年度预防性维护程序11备用部件及服务11.1如何订购备用部件11.2备用和磨损部件清单11.3废物处理12附录12.1一致性声明,图版类型,档案12.2制图,规格单,电路图表12.3参数描述12.4控制系统12.5驱动装置12.6软件12.7备用及磨损部件12.8玷污声明12.9供应商文档12.10有独立档案的PC附件12.11图形明细操作手册正文部分:1 操作指令备注该部分内容是设备技术手册的一部分,其涵盖了相关诸如搬运、安装、试运转、运行、服务及设备维护等重要信息的操作指令。
目录1操作指令备注1.1标识描述1.2定义1.2.1设备用户1.2.2熟练技工1.2.3操作人员1.3版权1.4实质性过失责任2 绪论2.1身份识别2.2 尺寸2.3炉子数据2.3.1传送带2.3.2盒式快速烧结加热2.3.3冷却2.4处理温度2.5媒介供给线路2.5.1水2.5.2空气2.5.3去除废气2.5.4电流2.6 电脑设备2.7功能描述3安全3.1正确用法3.2错误用法3.3安全指示概要3.4安全装备3.4.1过热防护3.4.2紧急停止开关3.4.3“Belt stop”按钮3.5绝缘说明3.6设备操作软件说明3.7防火灭火4功能描述4.1入口/出口4.1.1入口门4.1.2出口门4.2加热4.2.1加热盒烧结FF4.2.2中间的Muffle4.3冷却4.3.1冷却盒4.3.2冷却橱4.4 设备驱动装置4.5媒介4.5.1电力供给装置4.5.2冷却水供给装置4.5.3压缩空气供给装置4.5.4文丘里管系统4.6操作/控制4.6.1CANtrol系统控制器4.6.2动力控制装置4.6.3 CAN Bus 1 和24.6.4温控装置4.6.5 CANtrol 处理控制系统4.6.6变频器4.6.7 遥控服务4.7去除废气5搬运5.1特别安全措施5.2包装类型5.3搬运5.4引入检验5.4.1交付范围5.4.2搬运损害5.4.3存储措施6组装6.1预备安装场所6.2设备核检6.3安装7试运转及停止运转7.1初始启动7.2试运转7.2.1设备-电脑7.2.1.1微软Windows用户界面7.2.1.2 CT-Visual用户界面7.2.2 手动操作面板7.2.3启动7.2.4运行模式7.2.4.1生产7.2.4.2周末运行7.3停止试运转7.4处理8操作8.1状态屏8.2导航栅8.2.1用户登录及退出8.2.2处方保存8.2.3处方加载8.2.4打印8.3跳格设定8.3.1加热8.3.1.1随处方而定的输入值8.3.1.2一般输入值8.3.1.3“Temperature”指示器值8.3.1.4“Operational States”指示器值8.3.1.5“Disturbance”指示器涵义值8.3.2气体供给8.3.3冷却系统8.3.4设置8.3.4.1输入值8.3.5警报8.3.5.1表格显示器定义8.3.5.2显示器选项8.3.5.3警报选项8.3.5.4“附加选项”菜单8.3.6测量8.3.6.1功用概要8.3.6.2测量路线定义8.3.6.3开始测量8.3.6.4连续测量8.3.6.5曲线跟踪8.3.7选项8.3.7.1数据录入8.3.7.2时间控制8.3.7.3用户管理8.3.7.4配置8.3.7.5数据根目录8.3.7.6烧结炉数据8.4网络显示器8.4.1控制系统俯视图8.4.2 CT 视觉系统目录结构9维护9.1故障诊断9.1.1信号灯9.1.2个别干扰9.1.3 ID 10-74 加热故障讯息9.1.3.1超温控制器FF9.1.3.2超温监测器FF9.1.3.3温度测量故障9.1.3.4加热回路FF9.1.3.5温度公差FF9.1.4 ID 100-104 驱动故障讯息9.1.4.1传送带停止按钮9.1.4.2变频器驱动9.1.4.3 CAN-Bus-Error变频器驱动9.1.4.4传送带停顿9.1.4.5传送带公差9.1.4.6外部传送带停止按钮9.1.5 ID 200-255 气体供给故障讯息9.1.5.1处理气压消失9.1.5.2提升气胎气压消失9.1.5.3外部排气装置故障9.1.5.4 Y321-Y335流量计9.1.6 ID 300-322 冷却故障讯息9.1.6.1冷却水箱式冷却器及固态继电器9.1.6.2冷却水回路1-39.1.6.3冷却水中间MUFFLE9.1.6.4 超1分钟温度/冷水回路9.1.6.5 上下冷却盒1/2中冷却扇停止控制9.1.7 ID 400-402 不间断电源/干线供给故障讯息9.1.7.1干线供给阶段性消失9.1.7.2动力失灵超过10秒钟9.1.7.3 L1-L3/N震荡保护开启9.1.8 ID 500-505 气胎故障讯息9.1.8.1冷却盒上半部分1/2没关上9.1.9 ID 600-662 故障/警告混杂讯息9.1.9.1驱动关闭9.1.9.2加热FF关闭9.1.9.3 加热盒FF加温9.1.9.4加热盒FF冷却9.1.9.5校准区温度公差运行后延时9.1.9.6指示灯由黄变绿延时9.1.10 ID 700-703 清洁传送带9.1.10.1刷子清洁器提升/清洁位置不正确9.1.10.2刷子清洁器汽缸开关故障9.1.11 ID801-902 继电器单独警报故障讯息9.1.11.1 V1…V59加热电路控制9.2选取部件的置换9.2.1加热9.2.1.1加热器的置换9.2.2石英轨道上的石英棒9.2.2.1加热盒式烧结FF石英棒更换9.2.2.2盒式冷却石英棒的更换9.2.3冷却系统9.2.3.1冷却盒中冷却扇的更换9.2.3.2冷却盒下半部分冷却扇的更换9.2.4驱动装置9.2.4.1传送带的更换9.2.4.2齿轮电机的更换9.2.4.3滑动离合器的更换9.2.4.4磁制离合器的更换9.2.5媒介9.2.5.1冷却水过滤器的更换9.2.5.2气体加热器的更换9.2.5.3文丘里管喷嘴的更换9.2.5.4如何置换电子流量计(FM)9.2.6操作/控制9.2.6.1单体温控器的更换9.2.6.2更换TMM5模块9.2.6.3更换CAN I/O模块9.2.6.4更换RDIO 8/24模块9.2.6.5更换固态继电器9.2.6.6更换热电偶9.2.6.7更换变频器9.2.6.8更换工业PC(温控器)9.2.6.9更换PLC 中央处理器模块(CEDIO)9.2.6.10更换PLC外延模块9.2.6.11更换BEBRO DC 发动机控制器9.2.6.12更换FANCON扇控制器9.3灭火措施10预防性维护10.1安全检查10.2 烧结炉日志10.3预防性维护间隔期10.3.1日常维护程序10.3.1.1核检设置显示器10.3.1.2核检“Alarm”表符讯息10.3.2周预防性维护程序10.3.2.1核检信号灯功能10.3.2.2核检传送带10.3.3月预防性维护程序10.3.3.1清洁传送带10.3.3.2核检传送带长度10.3.3.3核检冷却盒中冷却扇部分10.3.3.4核检传送带牵引性能10.3.3.5进行数据备份10.3.4季度预防性维护程序10.3.4.1核检单体温控器10.3.4.2清洁文丘里管喷嘴10.3.4.3清洁冷却水过滤器(大)10.3.5半年度预防性维护程序10.3.5.1清洁冷却盒10.3.6年度预防性维护程序10.3.6.1清洁加热盒烧结FF装置10.3.6.2核检温度测量值10.3.6.3核检驱动器速度校准10.3.7每四年度预防性维护程序11备用部件及服务11.1如何订购备用部件11.2备用和磨损部件清单11.3废物处理12附录12.1一致性声明,图版类型,档案12.2制图,规格单,电路图表12.3参数描述12.4控制系统12.5驱动装置12.6软件12.7备用及磨损部件12.8玷污声明12.9供应商文档12.10有独立档案的PC附件12.11图形明细操作手册正文部分:1 操作指令备注该部分内容是设备技术手册的一部分,其涵盖了相关诸如搬运、安装、试运转、运行、服务及设备维护等重要信息的操作指令。
微波烧结炉操作说明大连交通大学环境与化学工程学院物质吸收微波的能力,由介质损耗因数决定,介质损耗大,则加热后温度高。
物质不吸收微波,需用碳化硅坩埚提高加热效果。
1. 开总电闸、机柜电闸。
2. 打开磁控管冷却水的进水阀,水流量大于199,调至1000左右流量。
3. 观察机柜中各冷却水软管是否渗水、漏水。
如有此现象,停止操作,待修。
4. 样品放置,石英转盘上依次放置保温砖、保温棉,坩埚用保温棉包裹。
5. 红外对焦,按一下红外对焦仪的最上按钮,可看到红外焦点,使焦点对准坩埚中心;对焦后,关闭红外对焦,并确认。
6. 关闭炉门,如果炉门右侧有缝隙,需将炉门轴的连接处向里推。
7. 确认控制面板的“放气阀”关,机柜中手动放气白阀关,真空泵抽气阀关,真空泵水阀开,点控制面板的“真空1”,打开真空泵,微开真空泵手动抽气阀,顺序不可颠倒。
(如果颠倒顺序,由于抽气瞬间的气量太大,真空泵的出水管会剧烈震动,水四处喷溅)。
8. 设置真空上下限,控制面板中真空度,点上限,设置3.0 KPa,点下限,设为2.0 KPa,真空度在上下限之间变动,最低真空度由水环泵的特性决定。
(真空抽气管处的自动阀动作:真空泵启动,电子抽气阀开,开始抽气,至真空下限值,阀关闭,炉腔压力回升至上限值,阀开,继续抽气,即上限值为阀开启,下限值为阀关闭)9. 设置温控仪的加热程序长按SET键,4 s后进入编程,依次按SET,分别显示TD(00是以秒计时、01是以分钟计时)、STA(00,加热起始段号)、LOOP(00,程序运行终止后,再次重复运行的起始段号,适用于多次热处理),以上默认设定值均不动。
以下参数可以更改,TI00是加热起始段的加热时间,SU00是加热起始段的终止温度,“∧”键增加设定值,“∨”键减小设定值,“<”光标左移,可修改光标处的数字,每个参数设定完后,点SET保存,同时显示可修改的下一参数,以此类推,依次设定TI01、SU01、TI02、SU02、TI03、SU03……,最后一段,加热终止,TI**的设定值为0,SU**的设定值为0,程序运行至该段,微波停止加热。
上海伏日机电设备有限公司专营美国Despatch热处理系列烘箱,解决热处理的所有需求。
Despatch是一家有百年历史的提供热处理,各种加热、固化系统及环境测试解决方案的美国公司。
主要产品有工业、实验室用烘箱,洁净室用烘箱,量产烘炉,环境模拟及老化实验设备,烧结和扩散炉等,可广泛应用于电子,半导体,机械,制药,材料,交通以及各种实验室。
LAC 高性能台式炉。
这些台式炉将用于实验室环境的固化涂布作业。
LAC 台式炉的特点为水平式重复循环气流和绝佳的温度均匀性。
其结果为在要求严格的生产和实验室应用上(诸如固化、干燥、灭菌、老化测试和其它攸关制程的流程)经过证实的可靠性。
由于耐刮、烤漆的外部以及不锈钢的内部炉体,因此易于清洁。
如欲了解有关Despatch 的更多信息,请浏览我们的网站:工业用烤箱和烤炉批量式烤箱对于负荷量或产量变化较大的应用,批量式加工无疑是一个好办法。
同样,对于要求在温度或驻留(烘烤)时间等变量上具有高度灵活性的情况,批量式烤箱同样是理想的选择。
Despatch 生产品种齐全的工业用炉,可满足不同装载尺寸和产量需求。
批量式烤箱产品线包括强制对流烤箱、穿透式烤箱、惰气烤箱、HEPA 过滤ISO 5 级无尘式烤箱箱和 A 级烤箱。
应用方式包括半导体晶片级封装的黏晶固化、聚酰亚胺固化、磁性退火、干燥、杀菌、老化处理、稳定性测试、晶片级预烧及其他重要制程程序。
带式连续烤箱在高容量、可重复应用方面,连续运行可能是最佳方法。
在大批量、可重复应用方面,Despatch 连续式烤箱提供宽度为46 至91 厘米的传送带,采用电热或气热。
带式连续烤箱可确保在大批量应用情况(如制造电子元件或汽车零件)下对每个部件保持一致的热加工时间。
带式连续烤箱还可让若干分散的制程衔接起来,从而减小材料处理量,提高处理量。
我们所恪守的宗旨是不断改进制程,以实现卓越的优化效果、更为严格的温度容限、更高的产量和稳定而可重复的成果。
红外烧结炉操作手册目录表1 关于这个手册1.1 手册的构成1.2 协议2 系统概况2.1 介绍2.2 系统容量2.3 系统组件2.3.1 硬件2.3.2 软件3软件描述3.1 进入3.2 主屏控制和说明3.2.1 炉状态3.2.2 程序控制3.2.3 数据标记3.2.4 温度压力监控3.2.5 菜单按钮3.2.6 灯功率3.3定义和修改程序3.3.1 创建3.3.2 修改3.4导入程序4附加功能4.1 I/O接口4.1.1 数据库控制4.1.2 网络4.1.3 超声清洗4.1.4 进入线程4.2 远程进入4.2.1 控制和指令描述 4.2.2 远程操作4.3 系统参数4.4 烘箱4.5 警报处理4.5.1 警报历史4.5.2 历史记录4.6 PID 控制4.7 校准4.8 数据显示5 附加功能5.1 监控失败5.2 UPS 操作5.2.1 UPS备份功率信号响应5.2.2 UPS电池低信号响应5.3 超声清洗5.3.1 组件5.3.2 UCS 操作5.4 红外灯电压控制5.5 选择灯开关5.6 VOC 冷凝器5.6.1 一般操作5.6.2 带移动和清洗1 关于手册1.1 手册结构手册的目的是提供操作说明,理论和红外炉的运用软件的结构。
手册分成3部分。
第2部分提供软件的概述。
第3部分提供软件的描述和不同的用户界面。
第4部分描述一些选择功能,但不是支持全部模式。
1.2 规定这个标记表示有重要信息。
标记让你通过多层菜单和对话框实现功能。
粗体的对话框提示选择软件,比如菜单和对话框。
同时提示参数名字,控制界面和菜单名字和调色板名字斜体表示变量,参考或者关键概念的说明。
这种字体有说明这是个占位符,你必须提供。
1monospace 字体这种字体说明你必须从键盘输入。
同样可用来表示正确的磁盘名字、路径、程序、子程序、设备名字、函数、变量、文件名等。
2monospace bold 字体粗体这种字体说明信息计算机自动响应monospace 文中这个字体表示你必须从键盘进入的文本或者特征,这个字体也常用在磁盘驱动器的命名、路径、目录、程序、子程序、设备驱动程序命名、函数、操作、变量、文件名以及扩展名2 系统概论2.1 介绍这个文件提供了Despatch 公司的红外炉的详细的操作说明。
这些指令描述了启动和关闭炉子的正常操作顺序。
炉子控制器是一台装有Despatch公司软件的PC机,操作人员可以通过包含有显示器、鼠标、键盘的PC 控制台对炉子进行控制。
当炉子启动,PC机自动打开软件炉子的正常/维修开关必须被放置在正确的位置以使PC软件适当运行2.2 系统功能系统功能主要取决于所购买的炉子的型号,在手册中所讨论的一些系统功能为可选择的,或许你的系统不一定支持你的系统。
这样的性能被指定为“(可供选择)”2.3 系统组件2.3.1 硬件参考硬件组件的目录A的列表。
2.3.2 软件运行安装工具将安装红外烧结炉的主程序(IRFMain.exe)同时安装其它必要的支持的文件以及一些预先定义的程序。
同时安装国家标准的数据服务器。
2.3.2.1 主屏这是设备的总屏幕。
图2-1显示了超级管理员成功登陆后的控制屏幕。
图2-1:红外烧结炉主屏幕2.3.2.2 软件配置文件(*.ini)这些文件是软件正常运行的必要文件。
不要手动修改这些内容。
2.3.2.3 系统事件日志这个文件不是安装文件的一部分,而是在软件运行后会产生。
它类举了软件产生的事件,包括时间日志、系统状态、使用者姓名以及对事件的描述。
3 软件描述3.1 进入打开红外炉控制软件后,操作人员在进入系统功能前需要登陆。
登陆按照下面的步骤进行。
先点LOG IN这样注册对话框出现了。
系统接受任何一个对应唯一特征码的用户ID。
密码必须和在SETUP由管理员定义的吻合。
图3-1:登陆屏幕一个超级用户必须先注册才能进入SETUP对话筐(图3-2)。
设置不同等级的密码。
最初,密码是按照图3-2所示进行设置的。
同样,包括在SETUP界面在内,管理员可以访问不同的功能。
输入用户ID以及相应的密码后,按下ENTER按钮登陆或者Cancel返回主界面。
注册的用户ID 和等级必须显示在主屏幕的右上方.注意,只有超级用户才能通过按下STOP按钮才能退出红外线炉软件。
图3-2:安装屏幕3.2 主要的控制和说明在表2-1中有列举,包括一些控制和说明,可以使用户能使用这台红外加热炉系统。
一些非注册用户不可以使用某些功能。
但是,注册用户可以使用所有的功能函数。
这部分描写了全部的功能和特点。
点击左上角上面的Despath公司标记,得到其大体介绍并显示软件的版本3.2.1 炉子状态这里可以设置功能、传输、加热状态。
当按照手册模式运行时,例如,对于注册的工程师或者管理员,程序可以开启。
运输系统只有功能状态就绪后才能启动,最后才是加热系统启动。
3.2.1.1 自动运行当一个操作人员作为一个合法用户登陆时,在系统载入一个工艺配方时,系统将提供一个自动操作按钮,如图3-3所示。
点击RUN按钮会启动自动循环系统,这样进入运行,然后在搬运系统达到设定的工作点并稳定工作时,加热器开始工作。
当加热状态准备好时,说明加热器到达理想的工作点。
图3-3:带有操作员登陆的红外烧结炉主界面3.2.1.2 停止自动运行同一RUN按钮可以停止自动反应过程。
点STOP按钮会启动终止程序,这样加热器开始冷却。
当加热器失效,加热区温度开始下降而其它功能键换是灰色。
一旦温度达到200℃,加热器显示失效并且运输停止,并立刻导致功能键就失效。
3.2.1.3 状态标记●脱机:说明系统不能和I/O接口建立正确的传输。
●失效:说明系统部分不能运行。
例如加热器,运输器或者Utilities。
利用Enable/Disable(在可行时)改变这个状态。
●稳定性:说明系统部分达到理想的工作点。
●准备:说明部分系统达到理想要求或者全部的前处理已经完成。
●冷却:说明部分系统处在关闭过程中。
●警告:说明达到临界点,在清楚警告条件前阻止部分系统继续运行。
3.2.1.4 报警消除当报警发生时,这个按钮将出现,并且可以来消除警报。
3.2.1.5最高极限设置只要当炉子或者干燥器激活或者温度传感器失效。
说明加热区温度超过极限,这个按钮是可见的。
点这个按钮重新设置温度传感器。
3.2.2 程序控制3.2.2.1 程序这些命令可用来定义传送速度和温度设定。
具体参考其它细节。
当程序设定改变时,保存按钮的LED会由绿色转向黄色说明改变没保存。
点重新保存来回到最初的设置,或者点SAVE来保存。
你可以将变化保存为一个新的工艺文件3.2.2.2 设置点这些命令可用来修改当前程序运行的实际值。
参考加载程序部分得到更多信息。
当最初的值改变时,最初的设置灯是绿色的会变为黄色,说明设置改变了。
点RESTORE恢复到原来的设置。
3.2.2.3 实际情况这些设置显示了实际的运输速度和加热区温度值。
温度用℃或者F表示。
这些由系统参数设置。
当模式支持加热区时,当这些设置是可用的,4个加热区和3个指令,每个指令说明了Lamp1-2, Lamp3-4,Lamp5-6的状态。
设置每对灯是程序定义的一部分。
3.2.2.4 工艺参数目录这里展示了所有定义的工艺配方的名字。
根据进入的等级,用户可创建一个新的工艺参数、查看、载入或者删除已经有的工艺曲线。
更多信息请参考工艺参数的定义和修改。
3.2.3 数据记录屏幕点击用户可以进入数据记录界面。
以后会提供更多数据记录的信息。
3.2.4 温度和压力监视●冷却水温度供应●冷却水温度循环●排气压力(可选择),更多详细的描述请参考VOC Condenser部分3.2.5 菜单按钮这些按钮位于主屏幕底部区域,其目的是给用户提供附加的功能。
根据用户级别,其中有些可能不能用。
关于按钮的详细信息请查看第4部分。
3.2.6 灯信号这些按钮提供灯信息,每个按钮(绿、黄或者红)按至NO或者OFF位置则对应相应的颜色的灯光3.3 定义和修改工艺参数主菜单提供用户修改和定义程序。
软件有自带的程序,它们可以被修改或者删除,或者定义新的函数。
这部分就描述怎么创建。
3.3.1 创建新函数要创建新的工艺参数,使用人员应当以超级用户的身份登陆,按下列步骤创建新的工艺参数1 .在函数命令里设定每个加热区理想的传输速度和温度2 .如果可能,设定选择好的开关对应的4个加热区。
这些开关可以使你单独改变SCR的输出上限和下限。
3 .如果可能,设定温度或者电力控制。
4 .提供一个程序名字5 .完成后保存3.3.2 修改已有程序用户必须是管理员才能修改已有的函数1从程序目录选择要修改的函数点VIEW2函数值现在显示在函数命令里3修改运输速度或加热温度4如可能,修改每个加热区的开关。
这些开关允许你独立设置每个上下线值。
5如果可能,修改温度或者动力控制模式。
在动力模式,加热区值用百分数表示。
注意在动力模式下,软件操作是开放循环模式并不提供封闭循环式温度控制。
6保存新函数,改变名字在名字控制蓝7点保存结束注意,你点RESTORE就不再保存你改变的函数而回到最初的设置。
同样,你可以删除已有的函数,点DELETE,只有管理员或者工程师才可以。
3.4 载入工艺参数除非是注册的用户,否则在导入一个程序前软件不允许用户改变运输和加热等或者打开机器.为了载入一个函数,选择函数目录并点载入按钮。
这样,被选择的函数就被载入而函数数据就显示在控制命令里。
用户可通过修改命令修改载入的值。
当定义函数时依靠选择好的模式。
设定值在温度模式下就随温度改变,或者如果可能,当转到动力模式就用百分数形式表示。
4 附加功能软件提供了附加的功能,可通过点屏幕下的菜单实现。
注意,这由登陆人员的级别决定,一些按钮也许不可用。
同样,一些选项可能不支持你的系统。
4.1 I/O接口这个面板提供用户直接进入控制面板,如图4-1所示(Main Screen>>I/O Access)。
它提供直接的开关控制模式,同样提供全部不连续的控制线和输出线的值。
它允许用户监视输入状态和热电偶的值。
图4-1:I/O存取面板为了可以修改这些值,系统不可运行任何程序。
但是你可以进入面板监视每一个参数的运行状态和每个参数的值。
4.1.1 数据资料控制这里介绍的控制是出问题的时候使用,不能在正常下使用。
●数据状态:这个指示器说明了数据代码和状态连接。
在正常情况下,代码要激活,文本要连接。
●接口代理:进入I/O客户程序面板●接口服务:进入I/O服务面板●打开数据库:这可以打开或者关闭数据库连接4.1.2 I/O网络良好LED 必须是绿的,说明软件成功连接到了I/O控制模块。
如果LED不是绿色的,那么软件就不能使用。
4.1.3 超声波清洗这是个可选择选项,可能不支持你的模式。