外层干膜培训资料(78张)PPT
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工程培训材料 - 外层干菲林一:原理及工艺要求部分1:外层干菲林工序的作用:将菲林上的外层线路图像,转移到已完成沉铜工艺的覆铜板上,形成抗电镀干膜图像。
简称图形转移2:工序流程磨板贴膜曝光冲影检查菲林制作3:磨板:1)磨板的作用:∙除去板面的氧化,油污,手指印,及其它污物。
∙在板面上形成微观粗糙表面,增大干膜与板面接触面积,使干膜有更好的附着力。
∙提供烘干后的干燥板面。
2)磨板的控制:A:磨辘的选择:磨辘按磨料粒度的大小不同,根据磨料粒度的目数区分为不同号数的磨辘。
∙沉铜粗磨一般选择 180-240# 刷子∙外层干菲林精磨一般选择320-500#刷子∙磨辘主体是尼龙丝,磨料有:SiC、AI2O3B:磨辘的安装要求:∙磨辘的转动方向应与磨辘上标识方向一致。
∙磨辘与钢辘的接触点应与其它运输辘保持在一条水平线上。
∙安装磨辘人员应戴手套,避免油污污染磨板机。
∙磨辘安装完成之后应清洁磨板机∙磨辘安装完成应作磨痕测试,检查钢辘与磨辘是否水平。
C:磨痕测试为什么要做磨痕测试:磨痕测试结果可以直接反映磨板机工作情况,根据磨痕测试结果可以分析到:∙钢辘与磨辘是否平行∙磨辘是否到使用寿命∙功率表数据是否有太大偏差∙避免磨板过度或磨板不良D:磨板后板面质量检查∙目检板面是否有氧化、水迹、污物∙水膜测试:测试方法,取板面清洁处理后的板,用水浸湿垂直放置,用秒表测量水腊膜破裂的时间(15秒)。
∙板面粗糙度;一般用目视法估计,较少用科仪器检测∙粗糙度由:磨刷材料,磨料粒度,磨板时的功率等共同决定。
4、无尘房的控制A:无尘房需控制的条件:温度(21+/-3)、湿度(55+/-5%)、压力(正压)、空气中尘粒含量、光线。
B:为什么无尘房要控制温度?1.干膜的存放需要控制温度,温度过高干膜容易融边,另外温度高,干膜溶剂挥发影响贴膜效果。
2.黄菲林尺寸稳定性受温度的影响;温度对黄菲林影响:(10-20)*10-6/o C例如长度为24”的菲林,温度升高10o C,长度约增加24*1000*(10-20)*10-6 = 0.24-0.48 mil/o CC:为什么无尘房要控制湿度?1.黄菲林尺寸稳定性受湿度的影响,湿度对黄菲林影响:(15-25)*10-6/%RH例如长度为24”菲林,相对湿度增加1%RH,长度约增加:24*1000*(15-25)mil*10-6=0.36-0.6 mil/%RH2.干膜儲存需要控制一定的湿度D:无尘房空气中尘粒含量尘粒含量是通常是指1ft3的空气中含有0.5μm以上尘埃个数,做为表达单位,如100个以下称 class100 (现公司尘量为class1万)。
外层图形转移工艺培训教材高玉枝1. 目的:通过干膜这种特殊感光材料,利用贴膜机贴到光铜板面上,然后用所需要的线路菲林通过对位、紫外线曝光、显影等流程使菲林上的线路图形转移到铜面上,该图形可以通过电镀加厚线路和孔壁铜以满足客户的要求,也可以采用掩孔工艺法直接蚀刻出线路图形。
2.工艺流程前处理→ 贴膜→ 曝光→ 显影2.1 前处理流程:上板→酸洗→水洗→去毛刺磨板→火山灰磨板→水洗→烘干今板件要经过酸洗(5%H2SO4 ),主要作用是清洗油脂,手迹,轻微的氧化物等。
如果厚板在平板电镀时烘的不干,会造成孔内轻微氧化,经过干膜、电镀、蚀刻后就会有孔内点状蚀不净的缺点,我们可以适当提高酸洗段的浓度改善这种由于孔内氧化而导致的点状蚀不净的缺点。
今经过酸洗后,需要用水清洗,将板面上残留的硫酸和溶解下的油迹清洗干净。
今去毛刺磨板和沉铜前磨板一样,有针刷磨板和不织布磨板,但是使用的针刷和不织布的型号有一点不同,干膜前是针刷 320 目,不织布 500 目。
针刷主要打磨对板面,而不织布刷则对孔口的磨损比较大。
所以我们规定返工的板件不能开去毛刺磨板。
磨刷压力为 15-25%,最佳值为 20%,但是对于板面有明显不平整,如有凹点、擦花时会考虑将针刷的压力调整到 20% -25%。
压力过大磨板过度导致无铜压力合适磨板后 OK今干膜前火山灰磨板采用 4F 火山灰,它作用是对平板电镀后铜面进行粗化处理,使铜面得到微观粗化以达到增加干膜与板面的结合力,防止后工序出现渗镀短路等品质问题。
今控制参数:磨刷压力 (15-25%) 、火山灰浓度 (12-20%) 磨痕 (9-15mm) 、水破时间(30s)即磨完板后浸入水中拿出斜放45°位置看水膜在板面保持完整情况如果〉 30 秒钟不破为合格。
今磨板速度:根据板线路要求。
板件类型线宽<5.0mil 及有埋盲孔的板件(A 类)线宽 5.0-7.0mil 的板件(B 类)线宽>7.0mil 的板件(C 类)要求控制在磨板速度1.8±0.1m/min2.1±0.1m/min2.4±0.1m/min手动贴膜速度0.8-1.2 m/min1.2-1.5 m/min1.5-2.0 m/min自动贴膜速度1.8±0.1m/min2.1±0.1m/min2.4±0.1m/min2.2 贴膜今 2.2.1 干膜的介绍干膜根据根据显影和去膜的方法可把干膜分为三种类型一 溶剂型; 二 水溶型; 三 干显影或剥离型。