氦检漏设备
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4. 氦检漏设备•基本工作原理
•根据氦检漏的原理,用氦气作为示踪气体,在真空箱内将氦气充入工件,然后通过氦检漏仪能高精度、迅速准确的判断工件的泄露情况。
•基本功能
•操作者把工件放在真空箱内,将工件接口与真空箱内的快速接头进行连接,在真空箱门关闭后,系统能全自动的完成大漏检测、工件强度检测、抽空、充氦、检漏、回收整个过程,生产节拍快,检漏精度高。
•吸枪法氦气检漏装置、真空箱法氦气检漏装置
4.1 氦检漏工艺示意图---背压法
预抽泵
精抽泵检测仪
充氦工件
V3V1
V2
真空箱
打开阀V3,预抽真空泵对已装入充氦工件的真空箱进行抽真空25秒,然后关闭阀V3,开启阀V2,再用精抽泵继续抽真空,在达到真空度10-20Pa时,开启阀V1,并用检测仪对真空箱进行检测。
氦检漏工艺示意图---真空箱法
工艺过程见下页
氦检漏工艺示意图文字说明
工艺流程
A1:安装工件-----关真空箱门-----真空箱抽真空,同时工件内充高压氮气-----大漏及强度检测;
B1:若A1检测不通过,则系统报警,大漏工件序号显示-----检测程序中止;
B2:若A1检测通过,放掉氮气------对工件抽真空------工件内充入氦气-------真空模式,微漏检测;
C1:若B2检测不通过,则系统报警-----循环检,小漏工件序号显示------检测程序中止;
C2:若B2检测通过,真空箱内充入大气,同时工件内氦气回收-------真空箱开门,检测完成。
4.2 氦检漏系统特点
系统特征及优点:
1、高压氮气强度检测真空箱内进行,保护操作者安全;
2、真空箱内氦气本底抑零,保证了检漏的准确性、高精度。
3、检漏仪的自动校准功能以及自动校准程序,可随时校准检漏仪的灵敏度、准确度。
4、特殊设计的检测程序判断出具体的有漏工件,并通过灯光和液晶操作屏显示出来。
5、专利技术的密封接头,减少误判。
6、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能,确保了系统的操作安全及可靠运行。