激光干涉仪工作原理
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激光干涉仪的原理
激光干涉仪的工作原理主要基于试验光线和参考光线间的相干干涉现象。
通过干涉方式,可以直接或间接地测定物质的光学性质和几何参数,如折射率、厚度、温度、压力、振动、应力等。
首先,由激光源发出的激光经过分光器被分成两束。
一束作为参考光定向传播,另一束作为试验光无规则传播。
由于试验光经过物质介质后,其相位会发生改变,而参考光的相位则保持不变。
当参考光和试验光在相干条件下汇聚到一点时,两束光波的相位差就会在图像中形成干涉暗纹和亮纹。
干涉图案由于光波的干扰而产生。
当两束光的光程差为整数倍的波长时,干涉图案呈现亮纹。
当光程差为半整数倍的波长时,干涉图案呈现暗纹。
通过观察和分析这些干涉纹,可以精确地测定物质的光学性质和几何参数。
激光干涉仪的优点在于其测量的精度和灵敏度都非常高。
可以实现纳米级甚至皮米级的测量精度,广泛适用于国防科技、生命科学、物理化学、微电子制造等各个科技领域。
要点: 1) 激光干涉仪通过激光干涉的原理来测定物质的光学性质和几何参数;2) 激光干涉仪的测量精度和灵敏度都非常高,可达到纳米级甚至皮米级。
激光干涉仪的原理激光干涉仪是一种基于激光干涉原理的测量仪器,它能够利用激光的相干性对光程差进行精确测量,从而实现对物体形状、表面性质和光学参数等的测量。
激光干涉仪的原理可以简单地描述为激光光束经过分束器分成两束光,其中一束经过反射镜反射后与另一束光再次相遇,形成干涉图案。
这个干涉图案的变化可以通过干涉仪接收到的光强信号来进行分析和测量。
激光干涉仪的主要组成部分包括激光器、分束器、反射镜、光学路径调节装置和探测器。
激光器是产生激光光束的光源,通常采用氦氖激光器、半导体激光器或纤维激光器。
分束器是将激光光束分成两束的光学元件,常见的有半反射镜和光栅。
反射镜用于反射其中一束光,使它与另一束光再次相遇。
光学路径调节装置用于调整两束光的光程差,以便观察和测量干涉图案。
探测器用于接收光信号,并将其转换为电信号进行分析和处理。
激光干涉仪的工作原理是基于光的干涉现象。
当两束相干光相遇时,它们会发生干涉,形成明暗相间的干涉条纹。
干涉条纹的形状和间距与两束光的相位差有关,而相位差又与光程差有关。
通过测量干涉条纹的变化,可以计算出光程差的大小,从而得到被测物体的相关参数。
在实际应用中,激光干涉仪可以用于测量物体的形状和表面形貌。
通过调节光程差,可以实现对物体的高精度测量,例如测量薄膜的厚度、表面的平整度和光学元件的曲率等。
此外,激光干涉仪还可以用于检测光学元件的质量,如透镜的曲率、平面度和表面质量等。
激光干涉仪具有高精度、非接触和无损等优点,因此在工业、科研和医学等领域得到广泛应用。
例如,在制造业中,激光干涉仪可以用于检测零件的尺寸和形状,以确保产品质量。
在科学研究中,激光干涉仪可以用于测量微小物体的位移和振动等动态参数。
在医学领域,激光干涉仪可以用于眼科手术,如激光角膜切割术和激光视网膜手术。
激光干涉仪是一种基于激光干涉原理的测量仪器,通过利用激光的相干性对光程差进行精确测量,实现对物体形状、表面性质和光学参数等的测量。
详解激光干涉仪工作原理
干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。
激光干涉仪有单频的和双频的两种。
单频的是在20 世纪60 年代中期出现的,最初用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。
双频激光干涉仪是1970 年出现的,它适宜在车间中使用。
激光干涉仪在极接近
标准状态(温度为20℃、大气压力为101325 帕、相对湿度59%、CO2 含量0.03%)下的测量精确度很高,可达1 乘以10。
单频激光干涉仪
图1 为单频激光干涉仪的工作原理。
从激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。
当可动反射镜移动时,干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号,经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数,再由电子计算机按计算式[356-11]
计算式
式中λ为激光波长(N 为电脉冲总数),算出可动反射镜的位移量L。
使用单频激光干涉仪时,要求周围大气处于稳定状态,各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。
单频激光干涉仪原理图
双频激光干涉仪
图2 为双频激光干涉仪的工作原理。
在氦氖激光器上,加上一个约0.03 特斯。
zygo激光干涉仪原理
ZYGO激光干涉仪是一种精密光学测量设备,利用干涉原理测量光程差来评估物体表面的形状和大小。
该设备通过发射激光光束,并将其分为两个光路,然后将这两个光路重新合并,形成一系列干涉带。
当测量物体表面发生微小变形时,两条光线的光程差就会发生变化,因此干涉带也会发生变化。
该变化通过计算和分析验证,可以得出物体表面的形状和大小的毫米级测量精度。
ZYGO激光干涉仪主要应用于半导体、光学和航空航天等领域的研究中,以提高产品质量和性能。
激光干涉仪的基本原理激光干涉仪是一种高精度的测量仪器,它可以用来测量物体的形状、表面质量、位置以及运动状态等。
在工业、航空航天、医学等领域都有广泛的应用。
本文将介绍激光干涉仪的基本原理。
1. 激光的特性首先,我们需要了解激光的特性。
激光是一种单色性和相干性极高的光波。
其波长稳定,方向一致,段差小,能够形成高质量的平行光束。
这些特性使得激光在干涉测量中有着很大的优势。
2. 干涉原理干涉现象是指两束光波在空气中相遇时,由于相位差的存在,会发生一系列的干涉现象。
常见的干涉现象有等厚干涉、等附加厚度干涉、菲涅尔双棱镜干涉、迈克尔逊干涉等。
在迈克尔逊干涉中,激光光束从分束器射出,经过反射镜反射后再次聚焦于分束器,形成一种干涉图形。
在干涉图形中,可以通过测量干涉带的位移、亮度等来计算物体的形态、位置、偏移量等信息。
3. 激光干涉仪的工作原理激光干涉仪是一种基于干涉原理的测量仪器。
它包括激光源、分束器、反射镜、检测器等部分。
当激光从激光源经过分束器后,会被分为两束光束。
其中一束光束经过反射镜后返回分束器,与另一束光束发生干涉。
通过调整反射镜的位置,可以改变干涉光束之间的相位差,从而形成干涉图形。
检测器会将干涉图形转化为电信号,通过电路处理后输出测量结果。
4. 激光干涉仪的优点和应用激光干涉仪有着高精度、高稳定性、非接触性测量等一系列优点。
它可以被应用于各种领域,例如:在机械加工领域,激光干涉仪可以用来测量机床导轨、定位板、工件表面形态等参数,从而提高加工质量和效率。
在医学领域,激光干涉仪可以用来测量角膜曲率、晶体位移等参数,从而用于诊断和治疗眼科疾病。
在航空航天领域,激光干涉仪可以用来测量航天器的姿态、运动状态等参数,从而实现精确的导航和控制。
总之,激光干涉仪是一种重要的测量仪器,具有广泛的应用前景。
了解其基本原理可以帮助我们更好地理解其工作原理和优点,从而更好地应用于实际应用中。
激光干涉仪工作原理
激光干涉仪就是用激光束来测量物体表面的几何形状和尺寸特性的几何测量仪器,是
物理量测与检测领域精密度最高的仪器。
快速、精确地测量、分析和监测物质的基本形态,激光干涉仪已经在品质检测、发动机研究、航空航空制造等多个行业得到广泛运用和发展。
激光干涉仪的工作原理是通过发射两束相互垂直的干涉线,其中一束为引射激光束,
另一束为参考激光束,把它们对准物体平面(对平轮廓进行量测),当物体表面有波动时,随着距离的变化,引射激光束发生位移,从而使参考激光束与引射激光束的相位发生变化,从而形成激光干涉图像,再结合光栅尺或者线阵扫描仪的辅助便可以获取物体面的形状、
尺寸等参数的测量信息。
激光干涉仪系统通常包括发射激光器、反射镜、振荡器、编码器及扫描仪等结构以及
检测调整、数据输出等电子电路和软件系统。
发射激光器发出的激光束经过反射镜和振荡器,形成垂直或水平的引射激光束和参考激光束,然后在物体表面反射干涉,并被传阅到
外部扫描仪进行线阵扫描量测,编码器根据测量结果输出数据,电脑就可以实现对表面粗
糙度、有效形状等的快捷准确的测量分析。
激光干涉仪具有精度高、量测速度快等特点,广泛应用于机械加工行业,例如电器机
壳及其它零件加工,可以迅速测出零件形状、尺寸以及轮廓等参数,精确控制零件质量,
满足生产的要求。
如检测汽车发动机活塞缸筒内表面粗糙度,滚道弯曲度,筒体管口头椭
圆度,螺旋角矩形性检测等参数,外部曲面等参数,有助于发动机研究和开发,确保了零
件的质量。
zygo激光干涉仪原理
zygo激光干涉仪使用的是Michelson干涉仪的原理。
Michelson 干涉仪是一种基于光的干涉原理进行测量的仪器。
其基本原理是将激光分成两路,经过反射镜反射后再汇聚到一起,形成干涉条纹,通过测量干涉条纹的形态和位移,可以得到被测物体的形状和表面高度变化等参数。
zygo激光干涉仪使用的是双频激光干涉原理,其优点是干涉条纹的稳定性高、测量精度高、适用于复杂表面、具有三维测量功能等。
其基本原理是利用激光的相位差来测量物体表面的高度差异,通过调整激光波长差来调整干涉条纹的间距和形态,从而实现对物体表面高度的测量。
总之,zygo激光干涉仪是一种高精度、高稳定性的测量仪器,可以广泛应用于机械制造、光学制造、电子制造、医学等领域。
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简述激光干涉仪的基本原理及应用激光干涉仪的基本原理激光干涉仪是一种利用干涉现象测量物体形状、表面粗糙度和位移等参数的仪器。
它基于光的干涉原理,通过将激光分成两束,使得它们在空间中相互干涉产生干涉条纹。
根据干涉条纹的变化,可以获取物体表面的形状和位移信息。
以下是激光干涉仪的工作原理:1.激光发射:激光干涉仪使用一台激光器产生单一频率、单色性好的激光束。
2.光分束:激光束被一个分束器分成两束,分别称为参考光和测量光。
3.光路径的差异:参考光和测量光沿着不同路径到达物体表面,然后反射回来。
4.光的重合:参考光和测量光在空间中重合形成干涉条纹,这些条纹会展现出光程差的变化。
5.干涉条纹的检测:通过使用光电二极管或相机等光学检测器,可以观察和记录干涉条纹的变化。
6.数据处理:通过对记录的干涉条纹进行分析和处理,可以得到物体表面的形状、位移等参数。
激光干涉仪的应用激光干涉仪广泛应用于科学研究、工程技术和工业领域。
以下是一些常见的应用领域:1.表面形貌测量:激光干涉仪可以用来测量物体的表面形状和轮廓。
通过分析干涉条纹的密度和形态,可以获取物体表面的高程数据,从而实现对物体形貌的准确测量。
2.镜面反射测试:激光干涉仪可以用来测试镜面的反射质量。
通过分析镜面反射的干涉条纹,可以评估镜面的平整度、平行度等参数,从而判断镜面的质量。
3.光学元件定位:激光干涉仪可以用来定位光学元件,例如透镜、光栅等。
通过测量光学元件的位置和位移,可以实现准确的光学装配和校正。
4.振动分析:激光干涉仪可以用来分析物体的振动状态。
通过测量物体在不同时间点的位移,可以获得物体的振动频率、振幅等信息,从而进行振动分析和优化设计。
5.材料应力测试:激光干涉仪可以用来测试材料的应力分布。
通过测量材料表面的形变量,可以推断材料内部的应力分布状况,从而实现对材料力学性能的评估。
综上所述,激光干涉仪是一种重要的光学测量仪器,具有广泛的应用前景。
它通过利用激光的干涉现象,实现对物体形状、表面粗糙度和位移等参数的测量和分析。
激光干涉仪工作原理
激光干涉仪是一种用于测量光程差的仪器,基于激光干涉原理。
其工作原理如下:
1. 激光发生器产生一束单色、相干、准直的激光光源。
2. 光源经过分束器后,被分为两束光线,各自经过不同的光路。
3. 分别经过不同的光路后,光线再次汇聚在一个检测平面上,形成干涉条纹。
4. 当两束光线的光程差为整数倍的波长时,即满足相干条件,干涉条纹会呈现明暗交替的条纹图案。
5. 通过调节其中一条光路的长度,即可改变光程差,从而改变干涉条纹的位置和形态。
6. 引入被测物体时,可以通过测量光程差的变化来获取被测物体的形貌或长度等信息。
7. 干涉条纹的观察可以使用目视或使用光电探测器等设备进行记录和分析。
激光干涉仪广泛应用于光学、物理、电子等领域中的测量和检测工作中,可以用于精密测量、表面形貌测量、物体位移测量等。
其主要优点包括高分辨率、非接触性、非破坏性等。