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AvantageXPS分析软件基本分析方法1．进行全扫描
2．进行含量的精确计算3．进行分类拟合
在全图上用[ID]进行
全部扫描，此时为自
动扫描，还可以用ID
进行手动扫描，找到
自己觉得从在的元
素，进行寻找
在add peak中的smart（扣
背景）模式下进行精确计算，
选择要计算的高分辨扫描图，
选择高分辨扫描图，进行平滑处理（不进行add peak 处理），找峰，与相关元素的标准结合能进行比较，在中输入偏移的数值（注意查看是正偏移还是负偏移），之后在smart模式下进行拟
合（加峰add peak，按自己分析的此种元素可能存在的形式），蓝色为拟合后的线，越接近红线越好。
4．查图的信息
选中所要看的图的信息，点中，即可获取相关的图的信息
5．数据及图像导出
用选择数据存储目录以及存储格式，将数据导入Origin中进行作图。
用Avantage软件进行全谱分析和单元素谱峰分析1.全谱图分析（主要是鉴别峰）（1）打开全谱图，选择文件类型vgd（2）鉴别谱峰，手动（），自动（，）手动鉴别峰（），可以选择根据元素鉴别峰，也可以选择根据能量范围）选择自动分析，会自动生成标好的各个峰。
是自动峰鉴别，可以选择XPS位置容差、俄歇位置容差等参数。
不论采用上面三种中的那种鉴别峰的分析，软件都会自动计算出原子百分比、面积CPS等参数，感觉不太有用，有些峰的面积会被计算为负的，有些峰的原子百分比会被算为0。
自动鉴别谱峰，会得到不需要的结果，而手动鉴别谱峰可以根据实际情况选择性的添加谱峰。
（3）能量校正根据标出的C1S峰的能量对峰进行能量校正，可以用软件的快捷键电荷偏移，将C1S的能量校正为285ev，用此软件校正的能量有误差，还可以用origin软件进行能量的校正。
在图像上点击右键，用copy active cell，导出数据文件，后保存为txt格式，将文件导入到origin软件中，对Binging Energy列的数据进行处理，即可达到希望的能量校正。
2.单元素谱峰的分析(1).数据平滑处理：Savitzky-Golay, 高斯或傅立叶，使用工具栏中的选择傅里叶平滑处理（2）去底与峰拟合，选择smart去底法，根据元素的化学环境确定拟合峰的个数，对峰进行拟合。
（4）校正荷电位移，在本例中选择Si衬底的能量97.8ev作为参考能量。
同样采用此软件校正的能量具有误差。
（5）关于counts与counts/s，基本上论文中出现的都是counts，因此点击（6）刻蚀时间的调整，在最下方的工具栏内调整，如上图。
（7）去掉拟合残留，点击右键，选择Display Options,勾选Show Residuals.（8）copy active cell，粘贴到txt文件中，再导入到origin软件内（9）点此空格，即可全选中数据，右键plot-line，即可画出曲线（10）点击下图圈的键，即可实现line和line+symbol的转换。
应用Avantage 软件进行XPS 谱图处理步骤一、 打开处理软件双击桌面上Avantage 图标二、 载入谱图数据Open files ——选择需要处理的vgp.格式的数据文件，打开相应的XPS 谱图。
三、 XPS 谱图处理1. 荷电位移（Charge Shift ）a. 先用鼠标指针选中C1s 谱图，读出当前C1s 谱图上C —C 键的C1s 结合能位置，以C1s=284.8eV 为参考值，记录下当前的荷电位移。
b.选中所有XPS谱图（包括Survey谱图及元素的窄扫谱图），即点击谱图框左上角的小方块。
c.对XPS谱图进行荷电位移：选择工具栏中的“charge shift”图标，在弹出的窗口中选中“shift by amount”，然后在“shift by：”中输入荷电位移值，再选择“+eV”或“-eV”，最后点击“Close”关闭窗口。
2.扣除X射线伴峰（Satellite Subtraction）—此步骤仅适用于双阳极XPSa.用鼠标指针选中某个元素的窄扫谱图，然后点击工具栏中的“Satellite Subtraction”图标。
b. 在弹出的窗口中选择本底类型为“Smart ”，勾选“Subtract Background First ”，然后点“Subtract Satellites ”。
（注意XPS 测试时双阳极的类型是Mg?还是Al?）c. 重复以上扣伴峰的步骤，将所有元素的窄扫谱图都进行X 射线伴峰的扣除，最后点击“Close ”关闭窗口。
3. 定量（Quantification ）a. 先选中双竖线指针，在需要定量的各个元素的窄扫谱图中分别选取定量范围。
注意：定量范围的起点与终点应选在本底较平滑的位置。
b. 用鼠标+Ctrl 键选中所有需要定量的元素窄扫谱图，然后进行加峰，即点击工具栏中“Add Peak ”图标。
在弹出的窗口中选取“Peak Background ”类型为“Smart ”，然后点击“Add To All ”对所有元素进行定量加峰。
