氦检工艺

氦检漏工艺规程2013-11-25发布2013-12-01实施张家港韩中深冷科技有限公司发布氦检漏工艺规程1. 目的此工艺规定了对低温贮槽进行氦检漏的设备和程序，以确保低温贮槽绝热夹套的真空能保持较长时间。

氦检漏方法分为正压法和外压法。

正压法适用于不能承受外压的部件（如应变强化内容器）的检漏，外压法是最常用的氦检漏方法，适用于任何可以进抽真空外部喷氦检漏的容器。

2. 定义氦检漏测试：使用氦气质谱仪和氦气显示剂确定内容器及管线和外壳的真空泄漏位置和泄漏率。

3. 灵敏度a. 真空检漏可探测泄漏读数小于1.0x10-10Pa.m3/s。

b. 吸枪模式可探测泄漏读数小于5.0×10-9Pa.m3/s。

4. 设备4.1 一般情况：为保证最大流量通过，必须尽可能使连接管线和软管的长度缩短及加大内径，要求连接软管长度≤3m，连接管径为DN50。

在内容器做完压力试验之后和夹层充珠光砂之前，要对贮罐的内容器和外壳分别进行氦检漏测试。

4.2 布置：设备要按附图所示进行连接（外压法氦检漏示意图）。

4.3 环境条件：质谱仪必须在周围温度为50C到400C的环境下启动和操作。

周围温度低于5℃将导致启动困难和校定不准。

泄漏率校定器也极易受周围温度的影响。

一般情况下，每摄氏度泄漏率变化约为4%（较低温度=较低泄漏率）。

质谱仪供电电压必须在220V 10%。

4.4 校正：a）真空方式校正能够用内置或外置检漏来执行，具体操作方法按氦检漏仪操作手册要求c) 吸枪方式校正按氦检漏仪操作手册要求。

5. 外压检漏操作步骤5.1 对检测容器抽真空（见附图）5.1.1 用真空机组对测试贮罐的内容器或夹套进行抽真空。

（阀A开启，阀B关闭）5.1.2 对贮罐进行抽空，直至真空达到要求（即有效容积小于等于50立方米贮罐夹套真空度低于2.5Pa，对于有效容积大于100立方米的储罐≤8Pa；对内容器进行氦检时，真空度低于5*10-1Pa)时可以进行泄漏测试。

钛制压力容器氦检漏讲解制造与安装钛制压力容器的氦泄漏试验陈孝国(宝鸡有色金属加工厂,陕西宝鸡721014摘要:氦泄漏试验作为一种致密性试验,它的检漏灵敏度远远超过了气密性试验和氨渗漏等试验方法。

随着国产化钛制压力容器的不断增多,一些高温高压和密封性要求高的压力容器,制造完成后除了进行常规的致密性试验外,还需要进行氦泄漏试验。

钛制压力容器与其它相比,在结构上有较大的区别。

选择合理的氦泄漏试验方案,可做到既能检漏又能及时发现漏点,有效地保证钛制容器安全性和可靠性。

关键词:钛制压力容器;氦泄漏试验;检漏中图分类号:T Q05113文献标识码:B文章编号:1001-4837(200511-0035-04H elium Leak Test of Titanium Pressure V esselCHEN Xiao-guo(Baoji Non ferrous Metals W orks,Baoji721014,ChinaAbstract:As a seal test,sensitivity of helium leak test is higher than other test methods as gas seal and NH3 leak test.With home-manu facture titanium pressure vessel increasing,seal requirement to these high tem per2 ature and high pressure vessel is further.A fter finishing the vessel and ordinary seal tests,then helium leak test is generally required for these vessel.C om pared with pressure vessel constructed of steel,titanium pres2 sure vessel is obviously different on structure.I f appropriate helium leak test plan is selected,it will be of benefit to im proving detectability and effectively secure titanium vessel safety and reliability.K ey w ords:titanium pressure vessel;helium leak test;detection1前言钛作为一种优良的耐腐蚀材料,在石化、化工、制盐等行业得到了大量的推广和应用。

氦检及氮氢检测设备规格及技术要求2020年1月1设备规格及技术要求1.1设备通用技术要求1.1.1设备的设计、制造、油漆、包装等要符合中国国家标准和ISO标准，不得使用失效的标准和规范。

1.1.2* 设备及元器件选型应采用节能环保产品，禁止选用《高耗能落后机电设备（产品）淘汰目录》、《淘汰落后生产能力、工艺和产品的目录》内产品。

电机选型不低于国家二级能耗标准，优先选用国家一级能耗及高效电机推广目录产品。

1.1.3设备所带的各种计量仪表（电、液、气）应采用国际公制计量单位，并需经有资质的计量部门鉴定，每个计量仪表必须随机提供鉴定合格证书和标明有效周期。

1.1.4设备机械及电气基本要求详见“附件Ⅱ-6-1_《设备通用技术规格——机械部分》”及“附件Ⅱ-6-2_《设备通用技术规格——电气部分》”。

1.1.5设备需配备标准工业以太网接口（TCP/IP协议），具有双向通讯功能，保证能与订货方的装配线管理及控制模块网络联网及实现数据交互，具体要求详见“附件Ⅱ-6-3_生产线管理及控制模块接口技术要求”。

1.1.6整线设备外型须突出美观、和谐、整齐，设备基本漆色及相关标识按“附件Ⅱ-6-4_设备色彩及标识要求”执行。

1.1.7设备尽可能采用模块化设计，结构要有利于维修和清理。

1.1.8在能保证加工品质的前提下尽可能使设备最小化、简单化、轻量化。

1.1.9设备上的主体结构与防护装置均固定在大底板上，形成一个设备整体，便于设备安装和工艺调整。

若不能形成整体需取得订货方认可。

1.1.10设备管线布置应整齐、牢固、无颤动，输送辊道段需在地面以上辊道下方走管走线，输送线设备的电控柜布置在线体内侧。

1.1.11设备中运动单元（如上升、下降、移动、回转等）应无尖角，所有动作须有缓冲，保证运行平稳可靠。

1.1.12人机工程1)整线设备操作高度及结构要符合人机工程学的有关要求，尽量降低作业者劳动强度。

2)整线工位根据操作高度要求设计，必要时需配置操作者用踏板。

换热器氦检方法换热器是工业生产中常用的设备之一，其主要作用是将热能从一个介质传递给另一个介质。

而换热器的工作性能直接影响到工业生产的效率和质量，因此对换热器的检测方法也十分重要。

氦检法是一种常用于换热器检测的方法，其原理是利用氦气的低黏度和高扩散速率，将氦气作为检测介质，通过细微的渗漏来判断换热器是否存在泄漏问题。

下面将详细介绍氦检法在换热器检测中的应用。

一、氦检法的原理和特点氦检法是一种无损检测方法，其原理是利用氦气的低黏度和高扩散速率。

当氦气从高压区域透过微小的泄漏孔流向低压区域时，信号探测器可以非常准确地检测到微弱的氦气泄漏信号。

因此，氦检法可以非常快速、准确地判断出换热器的泄漏情况，并通过泄漏量的大小来评估换热器的工作性能。

1. 检测灵敏度高：氦检法可以检测到非常微小的泄漏，其灵敏度可以达到10^-6到10^-9毫升/秒。

这种高灵敏度使得氦检法成为检测换热器泄漏的理想方法。

2. 检测速度快：氦检法可以在短时间内完成对换热器泄漏的检测，通常只需几分钟到几个小时不等。

3. 检测准确性高：由于氦气的高扩散速率和低黏度，氦检法可以准确地检测到换热器的泄漏情况，避免了传统的检测方法中可能存在的误差和漏检问题。

4. 检测范围广：氦检法可以应用于各种型号和材质的换热器，包括板式换热器、管式换热器、壳管式换热器等。

二、氦检法的应用步骤氦检法在换热器检测中的应用一般包括以下步骤：1. 准备工作：首先，需要准备好氦气供应装置、氦气探测器和氦气检测仪等设备。

同时，还需要准备一定数量的氦气和其他配套的检测材料。

2. 连接设备：将氦气供应装置与待检测的换热器连接起来，确保氦气能够顺利地流入换热器中。

3. 氦气充装：将氦气注入到待检测的换热器中，通常需要将换热器充满氦气并保持一定的压力，使得氦气可以充分渗透到换热器内部。

4. 检测操作：启动氦气探测器和氦气检测仪，开始对换热器进行泄漏检测。

探测器可以通过检测换热器四周的氦气浓度变化来判断换热器是否存在泄漏问题。

气密氦检工艺方案、安全防护我公司承制的BB012汇聚罐、BB011缓冲罐、BB001碎球罐、AT001氦气提升金属过滤器、AT002加热系统金属过滤器、AT003气氛切换系统金属过滤器等6种设备，在气密试验的状态下进行氦检漏；本项目设备大部分设计压力是8.3MPa，在该压力下进行气密试验氦检漏，操作程序的合理、严谨、正确尤为重要，安全防护是试验过程的重中之重，详述如下：1场地1.1 气密性氦检漏试验必须在专用场地进行。

1.2 试验场地应用黄漆标出场地边框线，并注明“试验专用场地”字样。

1.3 场地周边设有醒目的安全防护栏或绳和桩等其他标识。

2 试验设备2.1 试验设备：试压泵、氮气（30~40瓶）、管线（钢管304 φ10×2、约3米）、阀门（一个、针阀12MPa）、压力表（二个16MPa）、转接头3种，试验用设备必须完好，且符合有关规范的规定。

试验设备上的各种安全附件应齐全、灵敏，在周检期内且示值准确。

2.2 试验用压力表至少是两个且量程相同并经校验合格，表盘直径不得小于100mm，精度等级符合《容规》的规定并安装在试验容器顶部便于观察的位置。

2.3 试验用法兰盖、垫片和紧固件的压力级别、连接尺寸、密封面型式、材质、性能等级、规格型号等必须与试验压力、被试验容器的法兰相匹配。

3 试验人员3.1 试验人员必须熟知试验工艺规程，认真遵守试验工艺守则，能对实验中的突发问题采取相应的应急措施3.2 操作者必须能够熟知试验设备的安全技术操作规程，熟练地操作试压设备和排除设备故障。

3.3 在试压过程中，试验人员能够及时发现和消除异常现象。

3.4 气密试验质控系统责任工程师为压力试验总负责人，对压力试验全过程进行指挥和处理试验过程中出现的问题。

4 安全防护措施4.1 试验场地应设置安全标识，划出安全警戒线。

4.2 试验人员必须穿好防护服，戴好安全帽。

4.4 进行气压试验时，单位技术负责人和安全员应现场监督检查安全防护措施的实施情况。

印度BCPL天然气冷箱项目氦检的说明1.概述根据合同技术文件6907-112-EP-SP-6216 rev.a“JOB SPECIFICA TION FOR PLA TE FIN HEA T EXCHANGERS”中第19条ii）的要求（注），本项目的换热器需要按ASME规范第五卷第10章[版本2007版和2009增补]（ASME CODE Section V ARTICLE 10，2007EDITION & A09）的要求进行氦质谱检内漏和外漏。

对于通道互漏试验，试验压力为设计压力，其中氦气的浓度不得低于10%。

通道互漏试验时，采用氦氮混合气进行试验，其中氦气的浓度不得低于10%。

注：合同技术文件6907-112-EP-SP-6216 rev.a“JOB SPECIFICA TION FOR PLA TE FIN HEA T EXCHANGERS”中第19条ii）的要求如下：2.执行规程氦检的试验程序按照公司标准ZW07005-2009执行。

在内漏试验时，应先充氦气到指定的量，然后再充氮，直到氦氮混合气达到指定的压力。

考虑到经济性，高压通道的氦氮混合气应泄放到接下去做试验的低压通道中去，然后补充氦气到规定要求，再充氮气到指定的氦氮混合气压力,应保证满足试验时氦气的浓度要求。

内漏合格指标为/Sec（1X10-4Pa.m3/s）。

外漏合格要求为/Sec（1X10-6 Pa.m3/s），试验方法按ZW07005-2009。

3.试验时氦氮混合气中氦气的充气要求因为每台产品试验时的压力和容积不同，因此，每台换热器试验时氦气的充气量是不同的。

氦气的分压为10%的试验压力。

表1 内漏试验* ℃计算。

4.其他本试验至少应在EIL的代表在场见证的情况下进行。

氦质谱检漏的工艺方法与检验关键点作者：白金浩万聪来源：《速读·下旬》2016年第06期摘要：从电子元器件气密性封装的原理入手，介绍了常用的检漏试验方法，阐述了美军标MIL-STD-883氦质谱检漏试验方法的最新发展，分析了积累氦质谱试验方法的特点及要求，并探讨了基于氦气交换时间常数τHe的氦质谱检漏思路。

关键词：氦质谱；密封；标准；试验方法1 常用的检漏试验方法鉴于密封对电子元器件的重要性，国内外已经开展了多种漏率检测技术的研究与应用。

在著名的美国军用标准最新发布的MIL-STD-883J《微电子器件试验方法和程序》的方法1014.14中，规定了多种测量密封器件漏率的试验方法，其中包括氦质谱细检漏、放射性同位素（Kr85）粗/细检漏、碳氟化合物粗检漏、光干涉法粗/细检漏、染料浸透粗检漏、增重粗检漏和积累氦质谱粗/细检漏共7类方法。

所谓粗/细检漏是以等效标准漏率L=1.0Pa·cm/s为界限，一般将检漏范围大于该标准漏率值的称为粗检漏，小于的称为细检漏。

细检漏方法包括氦质谱细检漏、放射性同位素（Kr85）细检漏和光干涉法细检漏等方法。

其中，放射性同位素（Kr85）细检漏所采用的公式中Kr85的压入和外泄均按粘滞流，理论上不够严谨，Kr85检测的等效标准漏率可能与氦质谱检漏仪检测的漏率相差非常大，又伴有辐射，在美国应用较为普遍，近年来又推出了Kr85热检漏，但国内应用甚少。

光干涉法细检漏不受吸附漏率的影响，主要适用于具有易变形金属或陶瓷上盖的封装，可用于集成在圆晶片上的MEMS等微小器件的矩阵式检测，检测效率高，近来发展较快，目前其可检等效标准漏率L已与较先进的单级氦质谱检漏仪相当。

普通氦质谱检测仪细检漏的最小有效可检测量漏率判据一般为5×10Pa·cm/s（He），检测效率较高，且无损无害，是目前应用最为普遍的细漏检测方法，但被检件的表面氦气吸附常严重地制约氦质谱检漏仪的检测灵敏度（最小可检漏率），并限制着判据加严。