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基于羟基自由基(ho·)和硫酸根自由基(so4·-)的高级氧化技术的研究摘要近几十年中,高级氧化技术具有反应速度快、处理效率高、适用范围广、无二次污染等优点,常被广泛用于去除水体中的新兴有机污染物。
但水体中含有溴离子时,基于臭氧或过硫酸盐氧化过程会产生具有致癌作用的溴酸盐。
文中阐述了臭氧氧化、臭氧/H2O2、催化臭氧氧化、UV/臭氧、UV/TiO2、过硫酸盐法等基于羟基自由基(·OH)或硫酸根自由基(SO4·-)的高级氧化技术在产生与控制溴酸盐方面的作用机理及应用现状,提出了高级氧化过程中控制溴酸盐生成这一领域未来的研究方向及需要解决的问题。
研究亮点1、综述了基于羟基自由基(·OH)或硫酸根自由基(SO4·-)的高级氧化技术在产生与控制溴酸盐方面的作用机理及应用现状；2、提出高级氧化过程中控制溴酸盐生成这一领域未来的研究方向；3、提出高级氧化过程中控制溴酸盐生成需要解决的问题。
传统水处理工艺主要以除浊杀菌为主，对近年来水体中的一些微污染物如药品、个人护理产品(PPCPs)和内分泌干扰物(EDCs)等去除能力有限，如何有效去除难降解有机物已经成为水处理的热点问题。
而高级氧化技术(AOPs)为解决传统工艺处理效果不佳的问题提供了新的方法，其定义由Glaze等首先提出，即以反应中产生的羟基自由基(·OH)为主要氧化剂，氧化分解和矿化水中有机污染物的方法。
目前，研究较多的AOPs主要有Fenton氧化法、臭氧类氧化法、过硫酸盐法、光催化氧化法、超声氧化法等。
AOPs虽然可以有效降解有机污染物，但氧化过程中产生的副产物限制了其应用。
其中，溴酸盐引起了强烈关注，《饮用水水质准则》第4版和美国环保署的《安全饮用水法》将其列为2B级的潜在致癌物，在饮用水中最高允许含量为10μg/L。
研究还发现溴酸盐和有机卤代消毒副产物之间的协同作用增加了含溴水的毒性。
强电离放电羟基自由基降解有机废气VOCs 实验研究作者：朱颖依成武刘莎莎王慧娟李珏来源：《科教导刊·电子版》2017年第13期摘要低温等离子体法（NTP）被认为是目前降解挥发性有机气体（VOCs）很有前途的方法。
本文以乙酸乙酯、异丙醇为目标污染物，采用强电离放电低温等离子体技术，分析了电压、频率以及气体初始浓度等对有机气体的降解效率影响规律。
实验结果表明，电压在4.5kV、频率为5.71kHz时，初始浓度为1500mg/m3的乙酸乙酯降解率可达85%，初始浓度为2400mg/m3的异丙醇降解率可达87%，从而表明强电离放电产生高浓度OH·可有效无害化降解VOCs。
关键词低温等离子体 VOCs 强电离放电羟基自由基降解中图分类号：X505 文献标识码：A世界卫生组织（WHO）对挥发性有机物的定义为：熔点低于室温、沸点小于260℃，常温下饱和蒸气压大于70.91Pa、并以气态形式存在于空气中的一类化合物的总称。
VOCs具有种类多、分布广、毒性大、浓度低等特点。
目前已鉴定出的有300 多种，最常见的有苯、乙酸乙酯、丙二醇、甲苯、甲醛等。
随着工业发展和人们生活水平提高，石油化工、污水及垃圾处理、油漆喷涂等行业及生活中汽车发动机尾气都是VOCs的主要来源，且排放量日益增加。
因此，近年来有机废气的治理技术得到了大量的研究，在传统技术不断发展的基础上，深入研究低温等离子体法等新兴技术。
本文简单总结了已有的VOCs治理技术，以异丙醇、乙酸乙酯为实验对象，分析强电离放电实验过程与结果，并对VOCs治理技术发展进行了展望。
1传统技术常见的VOCs处理技术可以分为回收类技术和销毁类技术两大类。
回收类技术主要有吸附法、吸收法、生物膜分离法以及冷凝法；销毁技术主要包括燃烧法、生物处理法和低温等离子体法。
吸附技术是利用具有大比表面积的多孔状结构吸附剂对污染物进行吸附，利用固体表面的分子吸收力与化学键力将污染物浓缩吸附在固体表面上，达到气相分离的效果。
光催化过程中羟基自由基的产生与效能光催化是一种利用光能来驱动催化反应的技术，广泛应用于环境治理、能源转换、有机合成等领域。
其中，光催化过程中羟基自由基的产生和效能是关键因素之一光催化过程中，光能被吸收并转化为激发态的电子，进而形成激发态的物质。
光能的吸收和电子激发的程度取决于催化剂的能带结构和光吸收剂的光敏化性能。
当光敏化剂吸收光能后，电子会从价带跃迁到导带，形成激发态电子。
这些激发态电子与催化剂表面的氧分子发生反应，形成羟基自由基。
羟基自由基(OH·)在光催化过程中起着重要的作用。
它是一种极其活性的自由基，具有很强的氧化能力和高的还原能力。
正是由于羟基自由基的高活性，它能够与污染物中的有机物质发生反应，将有机物氧化分解为无害的物质。
另外，羟基自由基还能与氧分子反应，生成过氧自由基(·O2-)等其他活性氧自由基，从而进一步促进有机物的分解和氧化。
1.光敏化剂的选择：光敏化剂的选取会直接影响光吸收剂的光敏化性能，进而影响激发态电子的产生。
通常选择具有较高的光敏化效率和光稳定性的催化剂，以提高羟基自由基的产生效率。
2.光照强度和波长：光照强度和波长对光催化反应的效率有着直接的影响。
光照强度越高，激发态电子的产生速率越快，从而促进羟基自由基的形成。
而光照波长则决定了光敏化剂能否吸收光能，因此选择合适的光照波长也是提高羟基自由基生成效能的关键。
3.催化剂的表面活性：催化剂的表面活性是影响光催化效能的关键因素之一、表面具有较高活性的催化剂能够更有效地捕获激发态电子，并与氧分子发生反应，从而增强羟基自由基的产生。
4.反应条件：反应条件如温度、气氛等也会对光催化过程的效果产生影响。
适当的温度和气氛条件有助于提高羟基自由基的产生效率。
综上所述，光催化过程中羟基自由基的产生与效能是光催化反应中关键的环节。
选择合适的光敏化剂、光照强度和波长、催化剂表面活性以及优化反应条件都能够提高羟基自由基的产生效率。
用双极膜电解池产生羟基自由基(·oh)处理含苯酚废水和含甲醛废水的原理双极膜电解池是一种用于处理废水的技术，它可以有效地去除含有苯酚和甲醛的废水中的有害物质。
本文将介绍双极膜电解池产生羟基自由基(·OH)处理这两种废水的原理。
1. 双极膜电解池的基本原理双极膜电解池是一种通过膜的电离选择性来实现电解过程的装置。
该装置由正负两极膜、电极和电解槽组成。
正负两极膜分别具有阴离子选择透过性和阳离子选择透过性，并能阻隔电解槽内的氧气和氢气的混合。
通过施加电流，电子向阳极流动，形成氧化电流。
同时，离子经过膜的选择性透过效应，分别移动到阳极和阴极一侧。
2. 废水中所含的苯酚和甲醛的处理原理在双极膜电解池中，含有苯酚和甲醛的废水经过阳极和阴极两极膜的选择性透过，阳极处的膜能将苯酚氧化生成羟基自由基(·OH)，阴极处的膜则将甲醛还原为无害物质。
这样，废水中的有害物质得以有效去除。
3. 操作参数的优化在实际应用中，为了提高处理效率，需要优化双极膜电解池的操作参数。
首先，电流密度的选择对于羟基自由基的产生非常重要，过高的电流密度会导致能量消耗过大，而过低的电流密度则会影响处理效果。
其次，pH值的控制可以调节羟基自由基的活性，较高的pH值有利于产生更多的羟基自由基。
此外，废水中的溶解氧也会影响羟基自由基的产生效果，添加适量氧气可以提高处理效率。
4. 废水处理效果的评价为了评价双极膜电解池处理废水的效果，可以采用各种物理化学指标进行监测。
例如，可以通过测定废水中苯酚和甲醛的浓度变化来评估处理效果。
此外，还可以对废水中的COD（化学需氧量）和TOC（总有机碳）进行监测，从而评价废水的净化程度。
总结起来，双极膜电解池产生羟基自由基(·OH)处理含苯酚废水和含甲醛废水的原理是通过阳极处的膜氧化苯酚为羟基自由基(·OH)，阴极处的膜还原甲醛为无害物质。
优化操作参数，监测处理效果指标能够提高废水的处理效率和净化程度。
电催化阳极反应生成羟基自由基的方程式下载温馨提示：该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。
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羟基自由基的形成及其反应机理研究自由基是一种高活性的物质，它们具有单个未配对电子，因此十分易于发生反应。
其中，羟基自由基是一种特殊的自由基，在许多化学反应中起着重要的作用。
本文将概述羟基自由基的形成及其反应机理的研究进展。
一、羟基自由基的形成羟基自由基的形成可以由多种途径实现，其中最常见的有四种形式：1. 光解反应：光辐射引起的分子解离产生羟基自由基。
例如，氢氧自由基可以通过以下反应产生羟基自由基：H2O2 + hv → 2•OH2. 热解反应：高温反应可以引起分子分解并产生羟基自由基。
例如，甲醛可以热解为羟基自由基和CO：HCHO → H• + CO3. 氧化还原反应：氧化还原反应可以使得原子附带的电子转移到其他原子上，形成羟基自由基。
例如，氢氧化钠与锌可以反应产生氢氧化锌和羟基自由基：2NaOH + Zn → Zn(OH)2 + 2•OH4. 化学反应：化学反应可以通过单一分子或多分子反应形成羟基自由基。
例如，氢氧自由基可以与甲烷反应产生羟甲基自由基和水：•OH + CH4 → •CH3 + H2O以上四种形式均可通过实验室模拟羟基自由基的形成，以研究其反应机理。
二、反应机理研究羟基自由基参与许多化学反应，而其反应机理的研究对于了解这些反应至关重要。
目前，研究人员已经揭示了许多羟基自由基参与的反应机理。
1. 游离基反应游离基反应是羟基自由基应用最广泛的反应之一。
在游离基反应中，羟基自由基与其他自由基或共价键形成的中性物质反应。
例如，以下是羟基自由基和氧自由基的游离基反应：•OH + •O → O2 + H•2. 氧化反应在氧化反应中，羟基自由基可以通过氧化化学物质中的电子形成氧化羟基（OH）。
例如，以下是羟基自由基氧化为氧化羟基的反应：•OH + O2 → O3 +H2O3. 过氧化反应过氧化反应中，羟基自由基与另一个羟基自由基反应形成过氧化氢（H2O2）。
例如，以下是羟基自由基过氧化为过氧化氢的反应：2•OH → H2O24. 消除反应消除反应是羟基自由基参与的另一种反应。
羟基等自由基杀灭医疗废水中病菌的实验研究作者：徐欣彭鸿彬吴清森依成武刘苹萱来源：《科学导报·科学工程与电力》2019年第14期【摘 ;要】本文采用强电离放电产生的羟基（·OH）等自由基处理含病菌的医疗废水，考察了大肠杆菌及枯草芽孢杆菌的初始浓度、·OH浓度、循环流量等单因素对·OH降解细菌的影响。
实验结果表明：随着循环流量的增加，细菌杀灭率增加，但5L/min 后对其影响不大;·OH 浓度的增加，细菌的杀灭率迅速提高;随着菌液初始浓度增加，其杀灭速率减小，但18min后可几乎完全降解所有病菌;增加反应时间，细菌杀灭率明显增大。
在循环流量10L/min，反应温度25℃，羟基溶液浓度2.25mg/L，大肠杆菌菌液浓度3.68×106cfu/mL，枯草芽孢杆菌菌液浓度4.56×106cfu/mL时，杀灭率高达100%。
【关键词】羟基自由基;医疗废水;大肠杆菌;枯草芽孢杆菌;杀灭率中图分类号：X505 ; 文献标识码：A引言医疗废水中含有大量的病原细菌，其具有空间污染、急性传染和潜伏性传染的特征。
由于没有严格的制度，我国的一般医院很少对有毒有害污水污物进行分离。
很多病毒源携带着大量的致病菌通过冲洗水进入下水道，如果直接混入市政排水管网将给生活污水的处理带来巨大的困难，且医疗废水中的病菌环境理化因素抵抗力强，在天然环境中的存活率较高，因此，医疗废水必须经过单独的消毒处理除去有毒有害成分。
由于受经济条件的限制，我国很难在大范围内建立完整独立的有毒有害污水污物处理系统，那么医疗污水的处理就成为一个严重的问题[1]。
高级氧化技术是以产生·OH为主要氧化剂的绿色氧化技术，·OH具有氧化能力极强，使水中有机物完全降解，且反应速度快、不产生二次污染等优点[2]。
本文以大肠杆菌和枯草芽孢杆菌代表细菌繁殖体和细菌芽孢作为研究对象，采用大气压强电场电离放电产生高浓度·OH进行去除医疗废水中细菌的研究，通过单因素静态杀菌和动态杀菌的方法来考察不同条件下羟基自由基对细菌杀灭效果的影响，这些不同条件包括循环流量、羟基自由基浓度、初始含菌量等，为该方法的工业化应用提供依据。
西北师范大学硕士学位论文接触辉光放电等离子体产生的羟基自由基的检测及其在聚合反应中的应用姓名：吴建林申请学位级别：硕士专业：分析化学指导教师：高锦章;杨武2008-06摘要低温等离子体技术是上世纪后期出现的一种新型水处理技术， 即在常温常压下，通过非法拉第电解可以产生大量活性粒子，如羟基自由基（·OH）(标准氧化电位为2.80V)，以及紫外线和冲击波，对水体中的污染物有很强的破坏作用。
该类报道甚多，相对而言，对于活性粒子的测定研究较少。
本文的目的之一就是研究辉光放电电解等离子体中羟基自由基的测定方法； 同时研究了自由基引发的聚合反应，合成高分子阻垢剂。
结果表明，所建立的分析方法和合成方法均有实际应用价值。
论文由五章组成:第一章介绍了等离子体的基本概念，综述了羟基自由基的检测方法和应用范围、自由基引发阻垢剂合成的现状， 最后，简要介绍了实验中用到的正交实验方法。
第二章以水杨酸为捕获剂，采用高效液相色谱检测了接触辉光放电产生的羟基自由基，在体系pH值为3.2的条件下，考察了放电电压和溶液电导率对辉光放电等离子体中产生的羟基自由基浓度的影响，并半定量地计算了辉光放电电解过程中羟基自由基的产量与实验条件之间的关系。
第三章对辉光放电等离子体技术引发合成高分子聚合马来酸酐-丙烯酰胺共聚物阻垢剂进行了研究, 借助正交设计法,考察了原料浓度、电压、后聚合时间等因素对聚合物分子量、阻垢率的影响。
第四章对辉光放电等离子体技术引发合成高分子聚合马来酸酐-丙烯酸共聚物阻垢剂进行了研究, 借助正交设计法,考察了原料浓度、电压、后聚合时间等因素对聚合物分子量、阻垢率的影响。
第五章对辉光放电等离子体技术引发合成高分子聚合马来酸酐-丙烯酸-丙烯酰胺共聚物阻垢剂进行了研究, 借助正交设计法,考察了原料浓度、电压、后聚合时间等因素对聚合物分子量、阻垢率的影响。
关键词：辉光放电等离子体；羟基自由基；高分子聚合；阻垢剂AbstractThe low-temperature plasma in aqueous solution is one of the emerging technologies for water-treatment which appeared in the early 1980's. It has received extensive attention in many fields in the world, due to its high degradation efficiency, instrumental simplicity, and amenability to the environment. It is worth notice that there are a lot of energetic species such as hydroxyl radical, caused by contact glow discharge plasma. So far, very few papers deal with the determination of hydroxyl radical yielded in the CGDE process. Thus, one of our purposes is to find a convenience method to detect hydroxyl radical in quantity. And then, an approach to initiate some polymerization was also discussed in detail. .This paper includes five chapters:Chapter 1 gives a review on the low temperature discharge plasma, the determination of hydroxyl radical and its application to the polymerization. In addition, the arithmetic of orthogonal design was also described in brief.Chapter 2 examines the effect of some of variable parameters, such as discharging voltage and electric conductivity, on the yield of hydroxyl radical during the glow discharge process at the solution pH value of 3.2, and semiquantitatively observes the relationship between output of hydroxyl radical and influencing factors.Chapter 3 studies the polymerization of maleic anhydride, acrylamide. The effects of applied voltage, concentration of reactants, time of polymerization on molecular weight of scale inhibitor.Chapter 4investigates the polymerization of maleic anhydride, acrylic acid. The effects of applied voltage, concentration of reactants, time of polymerization on molecular weight of scale inhibitor.Chapter 5 researches the polymerization of maleic anhydride, acrylic acid, acrylamide. The effects of applied voltage, concentration of reactants, time of polymerization on the molecular weight of scale inhibitor .Keywords: glow discharge plasma; hydroxyl radical; macromoleclar polymer;scale inhibitor.独创性声明独创性声明本人声明所呈交的论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。
强电场电离放电产生羟基等离子体反应过程的研究
白敏菂;白希尧;张芝涛;邓淑芳
【期刊名称】《核聚变与等离子体物理》
【年(卷),期】2004(024)003
【摘要】从强电场等离子体反应室结构、电介质材料及加工工艺等方面出发,研究了在建立强电场并把O2、H2O电离后在分子层次上加工成OH*、eaq-(水合电子)等自由基的等离子体反应过程.用这种方法产生的自由基的浓度、产成量均能满足工程上的需要,达到绿色化学12条原则要求,从源头上解决了环境污染问题.着重研究了羟基治理烟气SO2的绿色资源化的新方法,在无吸收剂、催化剂条件下,仅在0.8s内就能把烟气中SO2、H2O和O2电离后在分子层次上加工成H2SO4.
【总页数】6页(P219-224)
【作者】白敏菂;白希尧;张芝涛;邓淑芳
【作者单位】大连海事大学环境工程研究所,大连,116026;大连海事大学高气压强电场电离放电辽宁省重点实验室,大连,116026;大连海事大学高气压强电场电离放电辽宁省重点实验室,大连,116026;大连海事大学环境工程研究所,大连,116026【正文语种】中文
【中图分类】O539
【相关文献】
1.强电场电离放电脱硫研究 [J], 白希尧;白敏菂;韩慧;张芝涛;鲜于泽
2.Fe(phen)2+3光度法测定辉光放电等离子体中产生的羟基自由基 [J], 付燕;王爱
香;马东平;李岩;吴建林;郭晓;高锦章
3.强电场电离放电对水稻幼苗生长生物学效应的试验性研究 [J], 陈信;康珏;熊建平
4.强电场电离放电对水稻幼苗生长生物学效应的试验性研究 [J], 陈信;康珏;熊建平
5.强电场电离等离子体输运特性研究 [J], 周建刚;白敏冬;谷建龙;白希尧
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羟基自由基
羟基自由基是化学中一个重要的概念和研究领域。
羟基自由基是指一个氢原子
被氧原子取代后产生的自由基，通常用OH表示。
羟基自由基在大气化学、生物化学和有机化学等领域中具有重要作用。
羟基自由基的形成
羟基自由基通常是由氢氧离子参与的反应而生成。
在大气中，紫外光可以将水
蒸汽或水分子分解为羟基自由基和氢原子自由基。
在生物体内，代谢产生的氧化剂也可以产生羟基自由基。
在有机化学反应中，氢氧离子也常常是羟基自由基的来源。
羟基自由基的反应
羟基自由基是一种高度活泼的分子，具有强氧化性。
它们参与许多氧化反应，
在有机合成中也扮演着重要角色。
羟基自由基可以与有机分子中的双键或其他活泼基团发生加成反应，也可以与分子中的碳原子形成碳-氧键。
羟基自由基的应用
羟基自由基在生物体内具有双重作用。
一方面，它们可以参与细胞代谢，促进
有益的生化反应。
另一方面，过多的羟基自由基会对细胞内的生物分子造成氧化损伤，导致氧化应激反应，引发疾病。
此外，羟基自由基也被广泛应用于化学合成和催化反应中。
它们可以作为氧化
剂或催化剂，促进复杂有机分子的合成反应。
结语
羟基自由基在化学研究和应用中具有重要意义。
它们不仅参与了众多氧化反应，还在生物体内发挥着关键作用。
对羟基自由基的深入研究有助于我们更好地理解化学反应的机制，为新材料、新药物的合成和应用提供更多可能性。
羟基自由基详细资料大全羟基自由基（—OH）是一种重要的活性氧，从分子式上看是由氢氧根（OH¯）失去一个电子形成。
羟基自由基具有极强的得电子能力也就是氧化能力，氧化电位2.8eV。
是自然界中仅次于氟的氧化剂。
2019年4月，复旦大学魏大程课题组开发出一种基于内剪下反应的石墨烯场效应电晶体感测器，实现了对羟基自由基的检测。
基本介绍•中文名：羟基自由基•外文名：Hydroxyl radical•分子式：（-OH）•制取 ... ：高级氧化法制取 ... ,电Fenton法,电解氧化法,半导体电催法,光电催化法,检测 ... ,研究方向,套用领域,制取 ...电Fenton法工艺上将Fe 2+和H 2O 2的组合称为Fenton试剂。
它能有效地氧化降解废水中的有机污染物，其实质是H 2O 2在Fe 2+的催化下产生具有高反应活性的·OH。
Fenton法主要是通过光辐射、催化剂、电化学作用产生·OH。
利用光催化或光辐射法产生·OH，存在H 2O 2及太阳能利用效率低等问题。
而电Fenton法是H 2O 2和Fe2+均通过电化学法持续地产生，它比一般化学Fenton试剂具有H 2O 2利用率高、费用低及反应速度快等优点。
因此，通过电Fenton法产生·OH将成为主要途径之一。
套用电Fenton法产生·OH处理有机废水多数是以平板铁为阳极，多孔碳电极为阴极，在阴极通以氧气或空气。
通电时，在阴阳两极上进行相同电化当量的电化学反应，在相同的时间内分别生成相同物质的量的Fe 2+和H 2O 2，从而使得随后生成Fenton试剂的化学反应得以实现。
溶液的pH值对氧阴极还原获得H 2O 2的反应有很大的影响。
研究表明，溶液的pH值不仅对阴极反应电位和槽电压有影响，还将决定着生成H 2O 2的电流效率，进而影响随后生成·OH的效率及与有机污染物的降解脱色反应。
Dho3l型高浓度臭氧水溶液产生设备白敏菂;冷宏;朱玉鹏;李超群【摘要】随着超大规模集成电路的发展,高浓度臭氧水溶液产生设备成为硅片清洗的关键设备.因此大连海事大学环境工程研究所研制成功国内首台dho31系列高浓度臭氧水溶液设备,它的臭氧水浓度达到20～30 mg/L.该设备采用强电场电离放电方法,将O2和H2O电离成高浓度氧活性粒子O2+、O3、O(1D)、O(3P)和引发剂HO2-,在引发剂HO2-作用下,O3与H2O生成高浓度臭氧水溶液.它具有臭氧水浓度高、自动化程度高、能耗低、体积小、高性价比等特点,并着重阐述了该设备的技术先进性及性能指标.【期刊名称】《电子工业专用设备》【年(卷),期】2010(039)012【总页数】3页(P13-15)【关键词】臭氧水溶液;臭氧浓度;硅片清洗;性价比【作者】白敏菂;冷宏;朱玉鹏;李超群【作者单位】大连海事大学,环境工程研究所,大连,116026;大连博羽环保技术开发有限公司,大连,116000;大连博羽环保技术开发有限公司,大连,116000;大连博羽环保技术开发有限公司,大连,116000【正文语种】中文【中图分类】X505硅片是半导体器件和集成电路的基底材料，随着超大规模集成电路不断发展对硅片清洗要求越来越严。
近来索尼公司研究成功的单片旋转清洗硅片机，采用的臭氧浓度达到15 mg/L的高浓度臭氧水溶液/稀HF/去离子超纯净水等清洗300mm硅片[1-3]，而高浓度臭氧水溶液生产设备成为其中的关键部件，由于国内此类设备技术相当落后，长期以来高浓度臭氧水生产设备被日本等发达国家占据。
为了改变这一被动局面，2009年大连海事大学在国家863项目(2008AA06Z317)、国家自然科学基金项目(50778028)等资助下研制成功dho3l系列臭氧水溶液产生设备。
臭氧水溶液中臭氧浓度达到20～30 mg/L，臭氧水溶液产生量达到5 t/h以上，其技术指标是以满足300mm硅片清洗的要求。
