ESD培训教程
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ESD培训手册(共 64张PPT)
ESD 介绍
Towards Zero Defect Caused by ESD Two main ways in which charges can be built up: 产生电荷的两种主要途径：
1) By Contact & Separation of Materials (Triboelectric charging) 接触和分离材料（摩擦产生电荷）
使用中的ESD模式和ESD引力
Towards Zero Defect Caused by ESD 实时ESD图谱 脉冲宽度
Real ESD Spectrum – ESD Models Pulse Width [s] 10-9 10-8 10-7
MM
HBM –标准
Towards Zero Defect Caused by ESD * MIL STD 883 D, method 3015.7, 1989
摩擦产生电荷
ESD
Towards Zero Defect Caused by
Step over of electrons 电子的转移步骤 Remaining charge 剩余电荷
摩擦产生电荷
Towards Zero Defect Caused by ESD * Triboeletric Charging means charge generation by contact and separation of two objects due to a difference in work function 摩擦产生电荷指由接触和分离两个不同物体而得到 的电荷。 * Factors influencing the magnitude and polarity of
ESD(防静电)知识培训
D、静电损伤的特点
1.隐蔽性。 2.潜伏性。 3.随机性。 4.复杂性。 5.严重性。
ESD静电释放的影响
三、 ESD防护的意义
1、减少损失 2、提高产品质量和可靠性 3、提高生产效率 4、提高产品生命周期和运行稳定性 5、静电防护投入产出比极高
四、 ESD防护原理
1、静电耗散与接地 A、静电耗散
日常生活中如走动，空气流动，搬运等都能产生静 电。人们一般认为只有CMOS类的晶片才对静电敏感， 实际上，集成度高的元器件电路都很敏感。
ESD静电释放的影响
A、按SJ/T10630-1995电子元器件制造防静电技术标准要求 I级静电敏感度的元器件（1-1999V） II级静电敏感度的元器件（2000-3999V） III级静电敏感度的元器件（4000-15999V）
2、静电的弊
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ★ESD对电子生产制造业的不良影响。
ESD静电释放的影响
ESD对电子生产制造业的不良影响：
集成电路元器件的线路缩小，耐压降低，线路面 积减小，使得器件耐静电冲击能力的减弱，静电电场 （Static Electric Field）和静电电流（ESDcurrent）成为这 些高密度元器件的致命杀手。同时大量的塑料制品等 高绝缘材料的普遍应用，导致产生静电的机会大增。
通过一组以限制流过人体的电流达到安全值的电阻器连 接到接地极的一种接地方式。如静电手腕。
ESD防护原理
2、静电中和
将正负离子与静电源上的正负电荷中和，从而消除静电 源上积累的静电。（对绝缘体静电的消除 ）
ESD知识培训目录
一． 静电和ESD简介 二． ESD静电释放的影响 三． ESD防护的意义 四． ESD防护原理 五． 电子产品ESD防护方法 六． 公司目前的ESD危害及防护方法
2024版ESD防护培训教程
国家标准
参照国家发布的ESD防护 规范和行业标准，如GB/T 19539-2004《静电放电 敏感器件防护通则》等。
企业标准
根据企业实际情况，制定 更严格的ESD防护内部标 准。
ESD防护设施配置要求
静电防护系统
包括静电消除器、静电检测仪、防静电系统 和防静电工作区等。
防静电系统和防静电工作服
员工需穿戴防静电衣、帽、鞋、手套等。
进出管理
严格控制人员进出ESD防护区域， 避免静电产生和带入静电敏感器 件。
定期检查与维护
定期对ESD防护区域进行检查和 维护，确保设施完好有效。
ESD防护人员培训与考核
培训内容
包括ESD基础知识、ESD危害及防护、 ESD设施使用与维护、ESD操作规范 等。
培训方式
采用理论讲解、案例分析、实践操作 等多种方式进行培训。
THANKS
感谢观看
定期复查
对改进措施进行效果评估，确保ESD 风险得到有效控制。
改进措施
针对评估结果，采取相应的防静电措 施，如使用防静电材料、改善环境湿 度等。
ESD检测记录与报告编写要求
01
记录内容
包括检测日期、地点、仪器、项目、 结果等详细信息。
审核与批准
报告需经过审核和批准，确保内容 真实、准确、完整。
03
静电安全操作规程及制度
详细讲解相关静电安全操作规程及制度，要 求员工严格遵守。
静电安全教育培训方法选择
理论授课
采用讲解、演示等方式，使员工掌握静电基 础知识和防护技能。
实践操作
组织员工进行实际操作练习，提高员工静电 防护技能水平。
视频教学
通过播放相关视频资料，使员工更加直观地 了解静电危害及防护方法。
ESD教育训练教程
肆.ESD防制之设备仪器介绍与使用
表面阻抗测试器 静电压测试器 接地断路警报系统 静电环测试器 静电环
表面阻抗测试器
功能:检测工作表面静电消散
功能是否符合规范，以减少敏 感组件受到ESD破坏
校验频率: 1次/年
操作步骤:
1.将测试设备置于欲量测之位置 2.施以适当之压力 3.按下绿色钮 4.进行表面阻抗检测并记录读值
机器放电模式(MM)的ESD是指机器(例如机器手臂)本 身累积了静电，当此机器去碰触到IC时，该静电便经由IC 的pin放电。因为大多数机器都是用金属制造的，其机器放 电的等效电阻为0；由于机器放电模式的等效电阻为零， 故其放电的过程更短，在几毫微秒到几十毫微秒之内会有 数安培的瞬间放电电流产生，因此对组件的破坏力更大。
静电安全工作区
静电安全工作区域中无法避免之绝缘材料(OI 架、文件夹…)时，应使用静电消散液覆盖其 表面，并定期检测是否失效。
未使用静电消散液
计算机屏幕(阴极射线管)应予以接地屏蔽或使 用离子风扇，平衡产生之电荷。
于静电安全工作区外一公尺范围内，所有物体 之静电压须小于100V。
人员安全防护：考虑人员碰触电源时，通过人体 的电流。故接触人体的接地系统必须要有限流电 阻(静电环)。
静电放电接地（ ESD Ground (Soft Ground) ）
能够使静电产生源(人或物)藉由此路径到接地的端点、 扁平电缆、金属线或其他接地系统。(EIA-625)
实接地（ Ground(Hard Ground) ）
改善产品质量并减少及防制ESD对电子产品 的损害。
藉由教育训练的实行，降低产品不良的发生 与耗损。
改善客户产品损害，增加产品可靠度。
ESD防护培训教程课件
11
静电防护的基本原则
✓ 抑制静电电荷的聚集
✓迅速、安全、有效地消除及释放已产生的静电电荷
ESD防护培训教程
12
预防静电电荷
➢ ESD 保护区域：配备各种防静电设备和器材、 能限制静电电位、具有确定边界和专门标记的 适用于从事静电防护操作的场所.
✓ 设计人员会在EPA区域内标明ESD区域的界限，并在明显位置
悬挂警示标志。
Clearly Signs are pasted in ESD Work Area
✓ 员工应了解各车间内的ESD工作区范围。并在此区域内严格遵 从公司制定的防静电控制措施。
ESD防护培训教程
13
具体方法：
➢所有加入公司的新员工必须接受ＥＳＤ培训，并通过考试 获得ＥＳＤ资格证。未接受培训的人员不允许接触ＥＳＤＳ 器件。ＥＳＤ资格证的有效期为一年。
第一部分
ESD防护的基本知识
ESD防护培训教程
1
提纲：
1. 什么是ESD 2. 引起ESD 的原因 3. ESD电压等级 4. ESD对生产装配造成的伤害 5. 导体和绝缘体的概念
ESD防护培训教程-Static Discharge 静电释放
➢ESD元件的定义： 静电敏感制品，包括所有容易因为 静电释放而遭到损害的元器件以及包含此类元器件的 电路板、机柜等。
✓失效的元器件或组件，在送去修复之前，仍需与正常品 一样进行防静电包装，以加强防护。
✓对镶有电路板的单体或传递箱存放时，应远离容易产生 静电的物体
ESD防护培训教程
27
搬运及运输过程中的ESD防护
✓ 使用干净的、尺寸适当的箱体来放置ESD 设备，箱体的表面粘贴有清晰的ESD标识。
✓ 在搬运、运输前，确认箱体已被完全关闭。 ✓ 进入ESD控制区后，需佩带好所需的防护
ESD基本知识培训教材
理想的防靜電工作台 可接受的防靜電工作台
A.桌墊:
一工作站的表面或桌面完全不需要是傳導的,只要它不產生傷 害性的靜電電荷即可.
B.接地:
在此工作站的工作人員的皮膚一定要接地,而腕帶(靜電 手環)是最安全,最方便,最易監督和最便宜的方法.腕帶不是只 接到桌面而已,而是接到桌面后再由桌面接到大地.桌面的接地, 是連在腕帶連接到大地接地的同一點.腕帶一定要有最少 250KΩ的電阻才能排除電擊的可能.
電磁脈沖導致電路出現錯誤, 設備誤動 作。
電子產品生產中的典型靜電源
身體 衣服
原材料 生產輔助物 包裝材料
地板 工作面 主要設備 清潔室
牆壁 天花板 光源固定器 通風架
靜電控制原理
一、靜電泄漏和耗散 1、防靜電材料 2、泄漏與接地----軟接地 硬接地
二、靜電中和 將正負離子與靜電源上的正負電荷中和, 從而消除靜
使用工具 靜電接地測試儀(搖表)
歐姆表 歐姆表 表面阻抗測試儀 靜電壓測試儀 表面阻抗測試儀 靜電鞋測試儀 靜電手環測試儀 歐姆表 表面阻抗測試儀 靜電壓測試儀 表面阻抗測試儀 靜電壓測試儀 表面阻抗測試儀 靜電壓測試儀
電表
1-1.生產場地防靜電規定
a.禁止直接使用木質地板或鋪設毛.麻.化縴地毯; b.可選用防靜電活動地板或在普通地面上鋪設防靜電地
C.腕帶:
珠鏈式腕帶附件
手鐲式腕帶
FRED腕帶
D.抗靜電包裝材料
ESD接地示意圖
ESD靜電接地干線 系統(≧6mm,3歐)
機台
連接靜電手環,膠皮
ESD接地系統匯流 排 (≧100mm,3歐)
ESD接地支線系統 (≧1.25mm,4歐)
機台外殼
點檢內容 系統幹線匯流排
ESD基础知识培训PPT课件
< 1 x 109 ohms < 1 x 109 ohms
105 to 1011 Ohms并且摩擦电压 <100V
点对点电阻 : 105 to 1011 ohms 并且摩擦电压 <100V
< 1x109 ohms
1*106 to 1*109 ohms
18
摩擦电压< 30
ESD 静电工衣、工帽着装标准与NG 对照图
• 7.所有人员包括访客必须遵循此个人静电防 护守则。
12
ESD员工自检
• 1. 穿戴好防静电工衣,防静电工鞋, 防静电手环,检测防静电工鞋，手 环通过测试,并作好记录.
• 2. 目检是否所有静电敏感元部件 完全放置于防静电的屏蔽箱/袋(传 导性容器)里.
• 3. 确保在防静电屏蔽箱/袋中没有 可以产生静电的物体与ESD敏感 物件放置一起.
月度 4Hrs
每天
检测频次
每月或按客户要求或生产需要
每天第一次进入EPA区 每天第一次进入EPA区 每季度 每季度 每季度 进料检查和定期抽检
进料检查和定期抽检
防静电袋及其它防静电材料 进料检查和定期抽检
ESD 容器/托盘/盒子/箱子 静电耗散工作台 静电屏蔽袋
进料检查和定期抽检 月度 进料检查和定期抽检
的。如果他在危险场所走动或操作，就等于一个
流动的火种！！！
10
5.怎样正确的进行ESD防护
• 1. 生产车间、来料检查区、货仓为静电防 护区域，必須采取基本ESD防护措施。 静 电防护区域可分为非静电操作区域和静电操 作区域，静电操作区域又可分为0级(静电控 制<50V)、I级(静电控制<100V)、II级(静电 控制<2000V)三个级别，不同级别的静电操 作区域须相应采取额外ESD防护措施。
105 to 1011 Ohms并且摩擦电压 <100V
点对点电阻 : 105 to 1011 ohms 并且摩擦电压 <100V
< 1x109 ohms
1*106 to 1*109 ohms
18
摩擦电压< 30
ESD 静电工衣、工帽着装标准与NG 对照图
• 7.所有人员包括访客必须遵循此个人静电防 护守则。
12
ESD员工自检
• 1. 穿戴好防静电工衣,防静电工鞋, 防静电手环,检测防静电工鞋，手 环通过测试,并作好记录.
• 2. 目检是否所有静电敏感元部件 完全放置于防静电的屏蔽箱/袋(传 导性容器)里.
• 3. 确保在防静电屏蔽箱/袋中没有 可以产生静电的物体与ESD敏感 物件放置一起.
月度 4Hrs
每天
检测频次
每月或按客户要求或生产需要
每天第一次进入EPA区 每天第一次进入EPA区 每季度 每季度 每季度 进料检查和定期抽检
进料检查和定期抽检
防静电袋及其它防静电材料 进料检查和定期抽检
ESD 容器/托盘/盒子/箱子 静电耗散工作台 静电屏蔽袋
进料检查和定期抽检 月度 进料检查和定期抽检
的。如果他在危险场所走动或操作，就等于一个
流动的火种！！！
10
5.怎样正确的进行ESD防护
• 1. 生产车间、来料检查区、货仓为静电防 护区域，必須采取基本ESD防护措施。 静 电防护区域可分为非静电操作区域和静电操 作区域，静电操作区域又可分为0级(静电控 制<50V)、I级(静电控制<100V)、II级(静电 控制<2000V)三个级别，不同级别的静电操 作区域须相应采取额外ESD防护措施。
ESD进阶培训A丶B级_[全文]
ESD进阶培训A、B级目录:第一部分: ESD基本原理介绍第二部分: 半导体的抗静电能力第三部分: 静电防护序言序言◆在电子产品越来越细小,越来越复杂的今天,半导体材料的品质要求也是越来越高的3></a>. 而静电对半导体的破坏却因半导体的高集成化而变得更加容易.为了产品的品质和提升客户的满意度,我们必须在静电的防护方面作出更有效的行动,来迖成我们的品质目标.ESD 基本原理介绍ESD 基本原理介绍一静电放电(ESD)现象◆严寒的冬天,当您脱下暖和的毛衣,您会听到哔哔啪啪声◆握手或手接触时常被电击一下,是由于人身带了静电,接触时突然放电所致◆云层相互摩擦而带大量的电荷,相互放电形成能量巨大的雷电,对地放电则可能形成雷击这些就是静电瞬间放电(ESD)所主导产生的现象ESD-- Electro Static DischargeESD 基本原理介绍二. 静电的本质物质由分子和原子组成,原子由原子核和电子组成,原子核带正电,电子带负电.自然条件下,正负电荷平衡,物体不带电.这类物体叫电中性物体.在某种条件下,正负电荷的平衡被打破,则物体带电--这种现象叫物体带电.所谓静电指对观察者而言,电荷静止不动或运动非常缓慢.动电则有电荷的快速运动和变化. ESD 基本原理介绍三. 静电起电摩擦起电:当两个物体产生摩擦时,摩擦表面的电子会从一种物体跑到另一种物体上,分离后,两个物体的正负电荷失去平衡,得到电子的带负电,失去电子的带正电.感应起电:当有强电场(大的带电体)存在时,附近的物体被感应,局部或整体产生电荷,这类带电称为感应带电.静电可有很多种方式产生,如物体间的摩擦,电场感应,介质极化,带电颗粒粘附等等ESD 基本原理介绍四. 静电放电当带电的物体与一些导体等接触时或靠的很近时,电荷会找到一途径途突然释放掉,这种现象叫静电放电.静电放电的条件是:首先有静电存在,其次要有一定的途径.静电放电的原因和条件多种多样,控制静电放电是在人们生活和工作中的各个方面所追求的. ESD 基本原理介绍ESD 基本原理介绍五. 静电产生原理静电产生8></a>1.分离2.摩擦ESD 基本原理介绍五. 静电产生原理分离,摩擦等起电的过程:ESD 基本原理介绍五. 静电产生原理分离,摩擦等起电的过程ESD 基本原理介绍五. 静电产生原理物质产生静电大小排列如下表，其中愈正性与愈负性物质互相摩擦产生之静电愈大空气石棉人手玻璃云母头发尼龙羊毛毛皮铅丝绸铝纸棉花钢木材琥珀封蜡橡胶镍铜黄铜纤维聚酯奥璐珞聚氨酯聚乙烯聚丙烯硅硅橡胶ESD 基本原理介绍五. 静电产生原理人体带电研究摩擦起电:操作中的动作和肢体运动,由衣服,鞋子与其他物体,地面摩擦,使衣服和鞋子带电,再通过传导和感应,使人体带电.感应起电:当不带电的人体进入带电的电场,静电感应而起电.传导起电:人体直接接触带电体,或与带电体发生静电放电,另人体在静电的微尘粉体和雾状液粒空间活动,使带电微粒附在人体及衣服上产生静电.ESD 基本原理介绍五. 静电产生原理人体活动带电示意图ESD 基本原理介绍六. 静电电压典型静电电压我们在经受3000伏的静电电压!!ESD 基本原理介绍六. 静电电压人体电容静电模型ESD 基本原理介绍六. 静电电压人体电容典型值55001100021000用泡沫和包装线路板4007002000在塑料管中取IC4008006000移动凳子3000500012000在塑料地毯上行走75001500035000在地毯上行走55%40%10%相对湿度电压(伏)动作ESD 基本原理介绍六. 静电电压人体的典型静电电压值实际过程中,静电一边产生一边衰减静电的衰减符合指数规律Q(t)t电容越大,电阻越大, 衰减越慢七. 静电放电ESD 基本原理介绍静电荷的衰减规律七. 静电放电ESD 基本原理介绍放电时间常数举例人体的对地电容为200pF,若站到绝缘电阻为1012ohm 的普通橡胶垫上,放电速率为I0,时间常数为若站到电阻为105ohm 的导电橡胶垫上,放电速率为I0,时间常数为半导体的抗静电能力抗静电能力之量测(Human Body Model)依MIL-STD-883，Method 3015，测试线路图半导体的抗静电能力电子元器件静电损伤的典型电压阀值380~7000双极型晶体200~1000E/D MOS300~3000肖特基二极50~500HMOS380~7000DTL250~2000CMOS300~2500STTL100PROM680~1000SCL100~300GUAS FET140~1000JFET100~200MOSFET300~2500ECL30~1800VMOS耐ESD阀值器件类型耐ESD阀值器件类型半导体的抗静电能力大体而言只要100V以上的静电压就可以对半导体产生伤害，故ESD 之防护工作，我们不可不慎。
ESD培训讲义(操作类)
常见的防静电材料
常见的防静电材料
常见的防静电材料
防静电 海绵
黑色防静电 EPE
防静电 气泡袋
防静电标识
底色:黄色
底色:黄色
Arial Narrow粗体,42磅 Arial Narrow粗体,46磅
粗黑体,42磅,黑色
粗黑体,60磅,黑色
45mm
45mm
35mm 180mm
35mm 180mm
静电的危害
高静电敏感器件失效原因排序
EOS/ESD 59% 电子测试 3% 氧化/钝化 3% 导体失效 3% 硅片断裂 4% 引脚短路/开路 7% 引脚连接 15% 其他 6%
EOS/ESD引起的失效 排在第一位
静电的危害
电介质 击穿
失效的原因
--半导体氧化层周围的电压超过了氧化层 介质击穿电压 --氧化层越薄，对静电越敏感。过热和短 路会损坏器件 --在ESD事件中产生的热量使器件局部过 热和使接点融化 --热是由放电电流产生的 --热能与放电电流的平方成正比
静电控制（HOW）
L N
典 型 的 EPA 接 地 系 统
PE
14 2 4
5
6 3 1 B 4
3
5
6
2
12
B 10
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
1
A 10
A 10 公共接地点 10 13
公共接地点
8
7 11 专用防静电线 13
9 E
13
1 工作台 2 防静电台垫 3 台垫接地扣 4 腕带插孔 5 防静电器具
6 设备/仪器/工具 7 防静电地垫 8 地垫接地扣 9 防静电工作椅 10 接地线
静电的产生
感应起电
ESD基础知识培训教材职员员工
5
课 第一章 什么是ESD?
第二章 常见的静电和静电放电现象。
程
第三章 静电放电对电子产品的破坏。
内
第四章 静电产生的途径和静电放电模型。
容
第五章 静电防护区域要求和防护设施检测 。
第六章 静电防护区域的职责和控制流程。
6
3.1 ESD对产品破坏的类型:
1.完全破坏:
元器件功能完全失效,介质层被击穿.引脚电阻呈现短路或 开路,电磁质性能反转.
2.上班时不要戴手饰,如介指,手镯,手链。 3.每天上班前测试静电手腕带和鞋(定期检查),开拉生产前检查自
己工位设备接地 ,操作时遵守静电防护操作要求规范。
30
Sea Star Corporation
公司使用的静电防护设施:
Sea Star
实益达
31
9.个人防护设施的检测:
>>人体综合测试仪器界面介绍:
8
3.3 静电敏感器件的敏感电压．
项次
器件种类
ESD敏感电压 (HBM)
1 读写磁头(TMR);离散型场效应晶体管(V MOS) 30-1200V
2
晶体闸流管(SCR)
68-1000V
3
微波器件(肖特基二极管,点触二极管等)
100-300V
4 集成电路(ICs);结型场效应晶体管(JEETs) 140-700V
ESD包装适合性 外层结构 外层结构
适合紧密接触层
不适合
15
- 不同区域对包装材料要求:
防静电特性
参数
低带电
<±100V
表面
≥1X103 ohms
导电性耗散性 <1X1011 ohms
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速度等。
静电的危害
❖ ESD对半导体元件的损害可能是当今半导体界最为头痛，也是最 重要的一个问题，其造成的破坏也是不易被觉察的。
❖ 由于静电在很小的电阻上快速泄放电压，泄放电流会很大，可能 超过20安培，如果这种放电通过集成电路或其他静电敏感元件进 行，这么大的电流将对设计为仅导通微安或毫安级电流的电路造 成严重损害。
1. 當不在靜電防護區域或工作站時所有的靜電敏感材料必須裝在靜電防護 包裝之内.
2. 材料在貯存或運送中必須以導電管子,袋子或導電容器等法拉第容器包裝. 3. 管子要用抗靜電或導電的材質． 4. 線上用做循環使用之管子，使用期限不得超過一年。
❖ 提醒標籤
1. 黃色的ESD 警告標誌必須貼在導電袋及包裝箱上. 2. 每件靜電防護包裝物必須有明顯的靜電警告標籤.這靜電警告標籤必須能
❖ 靜電手環或腳環
靜電環必須有 1 M 歐姆+/-10% 的電阻連接到導電或靜電傳導的工作 桌面. 若因此使得靜電環與接地間形成2M 歐姆 +/- 10% 之電阻是可接受 的.靜電環的工作電阻必須以如下的迴路每班檢驗並做記錄,而其阻抗值 需 介於 : 或500k 到 10 MEGA 歐姆.
❖ 導電袋及抗靜電管
管 ❖ Caution Label : 提醒标签 ❖ Anti-Static Void Filler :抗静电泡垫 ❖ Dissipative Table/Floor MAT (Optional) : 静电地毯或桌
垫 ❖ Esd protected work station : 无静电工作桌 ❖ Caution Sign : 提醒看板 ❖ ESD Protective Shoes Tester : 静电鞋测试器
此種潛在失效不可見亦無法於功能測試中顯現出來
為什麼要作ESD 控制?
❖ 避免灰塵吸附 ❖ 減低元件被破壞 ❖ 減少產品失效或運作不穩定 ❖ 避免人員受傷 ❖ 預防火災或爆炸發生 ❖ 每年因靜電不當釋放所造成損失高達數十億美金以上
如何做好ESD控制
1. 設立ESD小組與聯絡人 2. 確定損失程度 3. 評估設備，製程與需求 4. 確認ESD敏感元件 5. 建立評審制度 6. 獲取高階管理的支持 7. ESD控制步驟與規範 8. 人員訓練 9. 審視，監督，分析，報告，回饋，改善
ESD培训教程
静电放电(ESD) 简介
❖ 静电放电（ESD）就是不同电位的两个物体之间产生的电荷快速 流动的现象，简而言之即电荷的快速中和 。
❖ 静电电荷会不断积累，直到造成电荷产生的作用停止、电荷被泄 放或者达到足够的强度可以击穿周围物质为止。电介质被击穿后 ，静电电荷会很快得到平衡，这种电荷的快速中和就称为静电放 电。
常用静电使用设备
❖ Electrostatic Voltmeters/fieldmeters : 静电表 ❖ Digital OHM Meter : 数字欧姆表 ❖ Air Ionizer : 离子风扇 ❖ Wrist strap or Foot Strap (Optional) : 静电手环或脚环 ❖ Conductive Bag & Antistatic Magazine : 导电袋及抗静电
在三英尺外以正常目視可辨識出.
❖ 抗靜電泡墊
靜電敏感材料的包裝及填充物當使用時不得因摩擦而產生大於 +/200(TCP100V) 伏特之靜電壓.
❖ 靜電地氈或桌墊(1)
1. 靜電防護傳導物表面至靜電接地之電阻等於或大於10E5 歐姆 到 10E9 歐姆 2. 建議最低的阻抗值是10E5 歐姆. 但是如果能夠符合當地安全要求則低於此建
5. 連結儀表的一端到接地點,另一端到電極. 將電極置於待量測物體表面相 距 至少3 英尺. 輸入測試電壓並在量度穩定或 15秒後記錄阻抗值. 停止測試 電 壓且將電極也移開.
❖ 数位欧姆表
三用電錶或直流電阻表應可量測 0.1 歐姆到 1 M 歐姆 +/-10% 範 圍的電阻,且開路電壓應大 於1.5 V 以上.
❖ 离子风扇
工作時必須置於距離離子風扇4英尺圓弧內, 兩邊各近似45度角範圍 內.且方向正對著工作區域 任何靜電敏感的材料放於工作台之前, 必須把 離子風扇先打開,而且中途不可關掉.
議值的阻抗可以採用. 3. 電極-兩個重約 2.27 公斤(5 磅),直徑 6.35 公分(2.5 英吋) 的圓柱型電極每個
都要有硬度在 (IRHD) 50-70 間的導電物相接觸. 兩個電極間的電阻在金屬 表面及10 伏特或更低的量測電壓下時不得大於 1 k 歐姆. 4. 使用清潔且不會脫纖維的布料來清潔電極.或用至少含有70% 的異丙醇水溶 液來清潔電極生活中常遇到靜電造成的困擾
日常生活中常遇到靜電造成的困擾（如：尼龍衣服吸附身體 、梳子吸附頭髮、螢光幕吸附灰塵、手摸門把感到電擊等…） ，工業界靜電的危害類型為化工製程中設備或產品摩擦產生靜 電，當大量靜電累積產生靜電放電現象時，若周遭為易燃性蒸 氣或粉塵則可能被引燃，造成火災或爆炸等不幸的事故，亦或 電子工業中靜電的放電造成CMOS 積體電路氧化層損壞，產品良 率下降，雖然靜電未放電，但累積在晶圓上的靜電根據布朗定 律也比未帶靜電的晶圓增加250倍的粒子吸附能力，而造成產品 的品質缺陷，有鑑於靜電在化工業與電子工業不同型態之危害 ，將分別敘述其危害形成的原因與防制的方法。
静电是怎样产生的？
❖ 我们知道所有的物质都由原子构成，原子中有电子和质子。当物 质获得或失去电子时，它将失去电平衡而变成带负电或正电，正 电荷或负电荷在材料表面上积累就会使物体带上静电。电荷积累 通常因材料互相接触分离而产生，也可由摩擦引起，称为摩擦起 电。
❖ 有许多因素会影响电荷的积累，包括接触压力、摩擦系数和分离
ESD 影響電子系統的四種基本模 式
❖ ESD 電流直接貫穿系統較弱部份並且造成系統混亂或損害
❖ 藉由靜電電場感應而造成系統混亂 ❖ ESD 電流流經系統接地線路影響而造成系統混亂或損害 ❖ ESD 發生時產生的高頻電磁場因耦合而造成系統混亂
ESD 引起的失效模式
❖ 直接損壞線路元件並使線路故障失去功能 ❖ 消弱線路元件功能並在一段時間後失去功能 (潛在失效)
静电的危害
❖ ESD对半导体元件的损害可能是当今半导体界最为头痛，也是最 重要的一个问题，其造成的破坏也是不易被觉察的。
❖ 由于静电在很小的电阻上快速泄放电压，泄放电流会很大，可能 超过20安培，如果这种放电通过集成电路或其他静电敏感元件进 行，这么大的电流将对设计为仅导通微安或毫安级电流的电路造 成严重损害。
1. 當不在靜電防護區域或工作站時所有的靜電敏感材料必須裝在靜電防護 包裝之内.
2. 材料在貯存或運送中必須以導電管子,袋子或導電容器等法拉第容器包裝. 3. 管子要用抗靜電或導電的材質． 4. 線上用做循環使用之管子，使用期限不得超過一年。
❖ 提醒標籤
1. 黃色的ESD 警告標誌必須貼在導電袋及包裝箱上. 2. 每件靜電防護包裝物必須有明顯的靜電警告標籤.這靜電警告標籤必須能
❖ 靜電手環或腳環
靜電環必須有 1 M 歐姆+/-10% 的電阻連接到導電或靜電傳導的工作 桌面. 若因此使得靜電環與接地間形成2M 歐姆 +/- 10% 之電阻是可接受 的.靜電環的工作電阻必須以如下的迴路每班檢驗並做記錄,而其阻抗值 需 介於 : 或500k 到 10 MEGA 歐姆.
❖ 導電袋及抗靜電管
管 ❖ Caution Label : 提醒标签 ❖ Anti-Static Void Filler :抗静电泡垫 ❖ Dissipative Table/Floor MAT (Optional) : 静电地毯或桌
垫 ❖ Esd protected work station : 无静电工作桌 ❖ Caution Sign : 提醒看板 ❖ ESD Protective Shoes Tester : 静电鞋测试器
此種潛在失效不可見亦無法於功能測試中顯現出來
為什麼要作ESD 控制?
❖ 避免灰塵吸附 ❖ 減低元件被破壞 ❖ 減少產品失效或運作不穩定 ❖ 避免人員受傷 ❖ 預防火災或爆炸發生 ❖ 每年因靜電不當釋放所造成損失高達數十億美金以上
如何做好ESD控制
1. 設立ESD小組與聯絡人 2. 確定損失程度 3. 評估設備，製程與需求 4. 確認ESD敏感元件 5. 建立評審制度 6. 獲取高階管理的支持 7. ESD控制步驟與規範 8. 人員訓練 9. 審視，監督，分析，報告，回饋，改善
ESD培训教程
静电放电(ESD) 简介
❖ 静电放电（ESD）就是不同电位的两个物体之间产生的电荷快速 流动的现象，简而言之即电荷的快速中和 。
❖ 静电电荷会不断积累，直到造成电荷产生的作用停止、电荷被泄 放或者达到足够的强度可以击穿周围物质为止。电介质被击穿后 ，静电电荷会很快得到平衡，这种电荷的快速中和就称为静电放 电。
常用静电使用设备
❖ Electrostatic Voltmeters/fieldmeters : 静电表 ❖ Digital OHM Meter : 数字欧姆表 ❖ Air Ionizer : 离子风扇 ❖ Wrist strap or Foot Strap (Optional) : 静电手环或脚环 ❖ Conductive Bag & Antistatic Magazine : 导电袋及抗静电
在三英尺外以正常目視可辨識出.
❖ 抗靜電泡墊
靜電敏感材料的包裝及填充物當使用時不得因摩擦而產生大於 +/200(TCP100V) 伏特之靜電壓.
❖ 靜電地氈或桌墊(1)
1. 靜電防護傳導物表面至靜電接地之電阻等於或大於10E5 歐姆 到 10E9 歐姆 2. 建議最低的阻抗值是10E5 歐姆. 但是如果能夠符合當地安全要求則低於此建
5. 連結儀表的一端到接地點,另一端到電極. 將電極置於待量測物體表面相 距 至少3 英尺. 輸入測試電壓並在量度穩定或 15秒後記錄阻抗值. 停止測試 電 壓且將電極也移開.
❖ 数位欧姆表
三用電錶或直流電阻表應可量測 0.1 歐姆到 1 M 歐姆 +/-10% 範 圍的電阻,且開路電壓應大 於1.5 V 以上.
❖ 离子风扇
工作時必須置於距離離子風扇4英尺圓弧內, 兩邊各近似45度角範圍 內.且方向正對著工作區域 任何靜電敏感的材料放於工作台之前, 必須把 離子風扇先打開,而且中途不可關掉.
議值的阻抗可以採用. 3. 電極-兩個重約 2.27 公斤(5 磅),直徑 6.35 公分(2.5 英吋) 的圓柱型電極每個
都要有硬度在 (IRHD) 50-70 間的導電物相接觸. 兩個電極間的電阻在金屬 表面及10 伏特或更低的量測電壓下時不得大於 1 k 歐姆. 4. 使用清潔且不會脫纖維的布料來清潔電極.或用至少含有70% 的異丙醇水溶 液來清潔電極生活中常遇到靜電造成的困擾
日常生活中常遇到靜電造成的困擾（如：尼龍衣服吸附身體 、梳子吸附頭髮、螢光幕吸附灰塵、手摸門把感到電擊等…） ，工業界靜電的危害類型為化工製程中設備或產品摩擦產生靜 電，當大量靜電累積產生靜電放電現象時，若周遭為易燃性蒸 氣或粉塵則可能被引燃，造成火災或爆炸等不幸的事故，亦或 電子工業中靜電的放電造成CMOS 積體電路氧化層損壞，產品良 率下降，雖然靜電未放電，但累積在晶圓上的靜電根據布朗定 律也比未帶靜電的晶圓增加250倍的粒子吸附能力，而造成產品 的品質缺陷，有鑑於靜電在化工業與電子工業不同型態之危害 ，將分別敘述其危害形成的原因與防制的方法。
静电是怎样产生的？
❖ 我们知道所有的物质都由原子构成，原子中有电子和质子。当物 质获得或失去电子时，它将失去电平衡而变成带负电或正电，正 电荷或负电荷在材料表面上积累就会使物体带上静电。电荷积累 通常因材料互相接触分离而产生，也可由摩擦引起，称为摩擦起 电。
❖ 有许多因素会影响电荷的积累，包括接触压力、摩擦系数和分离
ESD 影響電子系統的四種基本模 式
❖ ESD 電流直接貫穿系統較弱部份並且造成系統混亂或損害
❖ 藉由靜電電場感應而造成系統混亂 ❖ ESD 電流流經系統接地線路影響而造成系統混亂或損害 ❖ ESD 發生時產生的高頻電磁場因耦合而造成系統混亂
ESD 引起的失效模式
❖ 直接損壞線路元件並使線路故障失去功能 ❖ 消弱線路元件功能並在一段時間後失去功能 (潛在失效)