蔡司——SEM（SIGMA）操作规范一、仪器结构光学系统：电子枪、电磁透镜、扫描线圈、光阑组件机械系统：支撑部分、样品室真空系统样品所产生的信号收集、处理、显示系统二、三种主要信号背散射电子（BSD）：入射电子在样品中经散射后再从上表面射出来的电子。
反映样品表面不同取向、不同平均原子量的区域差别。
二次电子(SE2)：由样品中原子外壳层释放出来，在扫描电子显微术中反映样品上表面的形貌特征。
X射线(EDS)：入射电子在样品原子激发内层电子后外层电子跃迁至内层时发出的光子。
三、工作原理：扫描电镜的工作原理可以简单地归纳为“光栅扫描，逐点成像”。
从电子枪阴极发出的直径20um～30um的电子束，受到阴阳极之间加速电压的作用，射向镜筒，经过聚光镜及物镜的会聚作用，缩小成直径约几毫微米的电子探针。
在物镜上部的扫描线圈的作用下，电子探针在样品表面作光栅状扫描并且激发出多种电子信号。
这些电子信号被相应的检测器检测，经过放大、转换，变成电压信号，最后被送到显像管的栅极上并且调制显像管的亮度。
显像管中的电子束在荧光屏上也作光栅状扫描，并且这种扫描运动与样品表面的电子束的扫描运动严格同步，这样即获得衬度与所接收信号强度相对应的扫描电子像，这种图像反映了样品表面的形貌特征。
四、操作步骤(一)启动系统1、开机将仪器主机上绿色按钮“On”打开，双击软件图标，输入用户名及密码。
2、加高压左击图标，单击，待高压上升到设定值，状态栏中显示为，系统状态就绪。
(二)更换样品1、放真空左击→→→，放真空。
2、换样品排气完成后，缓慢地将样品室拉开，轻轻将原样品取下，装入新样品，旋紧固定，缓慢关闭样品室。
3、抽真空单击→抽真空，待显示为时，抽真空完毕，可进行正常测试。
注：样品室不开打开太久，制样及更换样品时需戴手套，以免污染样品及样品室。
(三)测试样品1、选择观察区点击，将视野切换到TV模式下，前后移动Z方向杆将样品台调整到合适的高度，点击，将视野切换到Normal模式下，点击，状态栏中显示为鼠标左键调整图像亮度，右键调整对比度，使图像视野清晰；点击，状态栏显示为将鼠标功能切换为调整倍数、聚焦，鼠标左键将放大倍数调到最小，右键聚焦，选择较快的扫描速度（=1-3），使用操纵杆移动样品台位置，找到要观察的样品，并将观察区移动到视野中心。
